JPWO2022163214A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 円板状の形状を有する基材と、
   前記基材に同軸状に取り付けられた筒状の支持体と、
   前記基材の中心を含む領域に配置された第一発熱体と、
   前記第一発熱体と同心状に配置された少なくとも一つの第二発熱体と、
   前記第一発熱体の第一温度を測定する温度センサと、
   前記少なくとも一つの第二発熱体に供給される電流を測定する少なくとも一つの電流センサと、
   前記第一温度が目標温度に近づくように第一制御信号を出力する第一温度調節器と、
   前記第一制御信号に応じて前記第一発熱体に供給される第一電力を制御する第一電力制御器と、
   前記第二発熱体に供給される第二電力を制御する第二電力制御器と、
   前記第二発熱体の温度を求める演算器と、を備え、
   前記基材は、加熱対象が載置される第一面と、前記第一面と向かい合う第二面とを有し、
   前記筒状の支持体は、前記第二面に取り付けられ、
   前記温度センサは、前記筒状の支持体の内側に配置され、
   前記第二電力制御器は、前記第一電力に対して予め設定された比率となるように前記第二電力を位相制御方式により制御し、
   前記演算器は、前記少なくとも一つの電流センサの測定値、前記第一温度、前記第二発熱体の第二電圧、及び予め定めた係数に基づいて前記第二発熱体の温度を求め、
   前記係数は、前記第二発熱体の抵抗と前記第二発熱体の温度との関係を表す複数の係数から、前記第一温度に応じて選択された係数であり、
   前記複数の係数は、前記第一発熱体及び前記第二発熱体の昇温時、温度保持時、及び降温時で異なる、
   ヒータ制御装置。
2. 前記係数は、前記温度保持時に、前記第一面に前記加熱対象が載置されていない状態で測定された前記第一温度に基づいて求められる、請求項１に記載のヒータ制御装置。
3. 前記第二発熱体の温度及び前記第二発熱体の温度が適正範囲にあるか否かの判定結果の少なくとも一方を表示又は外部装置に送信する外部出力部を備える、請求項１または請求項２に記載のヒータ制御装置。
4. さらに第二温度調節器を備え、
   前記第二温度調節器は、前記第二発熱体の温度が目標温度に近づくように前記比率を調整するための第二制御信号を出力し、
   前記第二電力制御器は、前記第二制御信号により調整された前記比率に応じて前記第二電力を制御する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のヒータ制御装置。
5. さらに第三温度調節器を備え、
   前記第三温度調節器は、前記第二発熱体の温度と前記第一温度との差が前記第二発熱体の温度と第一温度のそれぞれの目標温度の差になるように前記比率を調整するための第三制御信号を出力し、
   前記第二電力制御器は、前記第三制御信号により調整された前記比率に応じて前記第二電力を制御する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のヒータ制御装置。