JPWO2022138693A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2022138693A5 JPWO2022138693A5 JP2022571534A JP2022571534A JPWO2022138693A5 JP WO2022138693 A5 JPWO2022138693 A5 JP WO2022138693A5 JP 2022571534 A JP2022571534 A JP 2022571534A JP 2022571534 A JP2022571534 A JP 2022571534A JP WO2022138693 A5 JPWO2022138693 A5 JP WO2022138693A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- less
- supported
- deflection
- substrate according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020214053 | 2020-12-23 | ||
| JP2020214053 | 2020-12-23 | ||
| PCT/JP2021/047481 WO2022138693A1 (ja) | 2020-12-23 | 2021-12-22 | ガラス基板及びガラス基板の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022138693A1 JPWO2022138693A1 (https=) | 2022-06-30 |
| JPWO2022138693A5 true JPWO2022138693A5 (https=) | 2023-09-11 |
| JP7800444B2 JP7800444B2 (ja) | 2026-01-16 |
Family
ID=82156991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022571534A Active JP7800444B2 (ja) | 2020-12-23 | 2021-12-22 | ガラス基板及びガラス基板の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12040212B2 (https=) |
| JP (1) | JP7800444B2 (https=) |
| CN (1) | CN116745243A (https=) |
| TW (1) | TW202241820A (https=) |
| WO (1) | WO2022138693A1 (https=) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5263152B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2013-08-14 | 旭硝子株式会社 | データ記憶媒体用基板ガラスおよびガラス基板 |
| WO2014083923A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | AvanStrate株式会社 | ガラス基板の製造方法 |
| JP6443668B2 (ja) | 2014-12-17 | 2018-12-26 | 日本電気硝子株式会社 | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体 |
| JP6645502B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2020-02-14 | Agc株式会社 | ガラス基板、積層基板、積層基板の製造方法、積層体、梱包体、およびガラス基板の製造方法 |
| KR102809471B1 (ko) | 2019-07-29 | 2025-05-19 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 지지 유리 기판 |
| US20230135358A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | AGC Inc. | Glass and method for manufacturing glass |
-
2021
- 2021-12-22 JP JP2022571534A patent/JP7800444B2/ja active Active
- 2021-12-22 WO PCT/JP2021/047481 patent/WO2022138693A1/ja not_active Ceased
- 2021-12-22 CN CN202180087122.7A patent/CN116745243A/zh active Pending
- 2021-12-23 TW TW110148390A patent/TW202241820A/zh unknown
-
2023
- 2023-06-22 US US18/339,476 patent/US12040212B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6593669B2 (ja) | 支持ガラス基板及びこれを用いた搬送体 | |
| JP5679513B2 (ja) | ガラス基板及びその製造方法 | |
| TW506952B (en) | Glass-ceramics | |
| KR102436789B1 (ko) | 적층체, 반도체 패키지 제조 방법, 반도체 패키지 및 전자기기 | |
| JP6443668B2 (ja) | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体 | |
| JP6741214B2 (ja) | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体 | |
| CN1268567C (zh) | 一种无碱金属的玻璃组合物及其制法和应用 | |
| JP2017007939A (ja) | 無アルカリガラス | |
| CN116199432A (zh) | 玻璃基板及层叠基板 | |
| JP6593676B2 (ja) | 積層体及び半導体パッケージの製造方法 | |
| TWI912546B (zh) | 支撐玻璃基板、積層體、積層體的製造方法以及半導體封裝的製造方法 | |
| JPWO2022138693A5 (https=) | ||
| JP6675577B2 (ja) | 半導体ウエハ支持基板 | |
| JP2016169141A (ja) | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体 | |
| JP2019505471A (ja) | ガラスキャリアウェハー用の低cteボロアルミノシリケートガラス | |
| CN107074618A (zh) | 支承玻璃基板及使用其的层叠体 | |
| TW201509854A (zh) | 無鹼玻璃 | |
| TW202421596A (zh) | 無鹼玻璃板 | |
| JP7184845B2 (ja) | ガラスキャリアウェハー用の低cteボロアルミノシリケートガラス | |
| JP7800444B2 (ja) | ガラス基板及びガラス基板の製造方法 | |
| CN100337954C (zh) | 高比模数值的无碱的玻璃组合物及其应用 | |
| TW202604838A (zh) | 支撐玻璃基板、積層體、積層體的製造方法以及半導體封裝的製造方法 | |
| TW202604839A (zh) | 支撐玻璃基板、積層體、積層體的製造方法以及半導體封裝的製造方法 | |
| KR102957542B1 (ko) | 지지 유리 기판 | |
| TW202438463A (zh) | 無鹼玻璃板 |