JPWO2022071293A5 - - Google Patents
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- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
Claims (12)
- 厚みが２ｍｍ未満である多孔質のセラミックス焼結体と、
前記セラミックス焼結体の気孔に充填されている樹脂と、を含み、
前記樹脂の硬化率が１０～７０％であり、
前記セラミックス焼結体がワイヤーソーによる切断面を有しない、複合シート。 - 前記樹脂の充填率が８５～１００体積％である、請求項１に記載の複合シート。
- 前記セラミックス焼結体が有する前記気孔の平均細孔径が０．２～１０μｍである、請求項１又は２に記載の複合シート。
- 前記セラミックス焼結体が窒化物焼結体である、請求項１～３のいずれか一項に記載の複合シート。
- 請求項１～４のいずれか一項に記載の複合シートと金属シートとが積層されている、積層体。
- 厚みが２ｍｍ未満である多孔質のセラミックス焼結体の気孔に樹脂組成物を含浸して樹脂組成物含浸体を得る含浸工程と、
前記樹脂組成物含浸体を７０～１６０℃で加熱して前記気孔に充填された前記樹脂組成物を半硬化する硬化工程と、を有し、
前記含浸工程における前記樹脂組成物の硬化率が５～６５％である、複合シートの製造方法。 - 前記硬化工程は、前記気孔に充填された前記樹脂組成物の硬化率が１０～７０％となるように半硬化する工程である、請求項６に記載の複合シートの製造方法。
- 前記樹脂の充填率が８５～１００体積％である、請求項６又は７に記載の複合シートの製造方法。
- 前記セラミックス焼結体が有する前記気孔の平均細孔径が０．２～１０μｍである、請求項６～８のいずれか一項に記載の複合シートの製造方法。
- 前記セラミックス焼結体が窒化物焼結体である、請求項６～９のいずれか一項に記載の複合シートの製造方法。
- 請求項６～１０のいずれか一項に記載の製造方法で得られた複合シートと金属シートとを積層し、加熱及び加圧する積層工程を有する、積層体の製造方法。
- 請求項１～４のいずれか一項に記載の複合シートと、前記複合シートに積層された金属シートと、を有する積層体を備える、パワーデバイス。
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Applications Claiming Priority (3)
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| JP2020163281 | 2020-09-29 | ||
| JP2020163281 | 2020-09-29 | ||
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| JP2022200562A Division JP7478803B2 (ja) | 2020-09-29 | 2022-12-15 | 複合シート、積層体、及び、パワーデバイス |
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