JPWO2022071236A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 厚みが２ｍｍ未満である多孔質の窒化物焼結体と、
前記窒化物焼結体の気孔に充填されている樹脂と、を含み、
最大高さ粗さＲｚが２０μｍ未満である主面を有する、複合シート。 - 前記気孔における前記樹脂の充填率が８５体積％以上である、請求項１に記載の複合シート。
- 前記窒化物焼結体が窒化ホウ素焼結体を含む、請求項１又は２に記載の複合シート。
- 請求項１～３のいずれか一項に記載の複合シートと金属シートとが積層されている積層体。
- 厚みが２ｍｍ未満である多孔質の窒化物焼結体の気孔に樹脂組成物を含浸する含浸工程と、
前記窒化物焼結体の主面に付着する前記樹脂組成物を平滑化して、前記主面の一部が露出した樹脂含浸体を得る平滑化工程と、
前記樹脂含浸体を加熱して前記気孔に含浸した前記樹脂組成物を硬化又は半硬化して、最大高さ粗さＲｚが２０μｍ未満である主面を有する複合シートを得る硬化工程と、を有する、複合シートの製造方法。 - 前記平滑化工程では、均し部材、研磨部材、研磨装置、熱水、前記樹脂組成物と相溶する溶剤、及び、熱風からなる群より選ばれる少なくとも一つを用いて、前記窒化物焼結体の前記主面に付着する前記樹脂組成物を平滑化する、請求項５に記載の複合シートの製造方法。
- 前記硬化工程で得られる前記複合シートの樹脂の充填率が８５体積％以上である、請求項５又は６に記載の複合シートの製造方法。
- 前記窒化物焼結体が窒化ホウ素焼結体を含む、請求項５～７のいずれか一項に記載の複合シートの製造方法。
- 請求項５～８のいずれか一項に記載の製造方法で得られた前記複合シートと金属シートとを積層し、加熱及び加圧する積層工程を有する、積層体の製造方法。
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