JPWO2021250733A5 - - Google Patents

Description

高さ情報マップに基づいたフォーカスの自動調整の選択画面３０１は、フォーカスの自動調整機能を使用するか否かを設定するフォーカス自動調整機能設定ボタン３０２と、フォーカスを対物レンズで調整するか否かを設定する対物レンズ調整選択ボタン３０３と、作動距離設定ボタン３０４と、フォーカスをステージ高さの上下動で調整するか否かを設定するステージ高さ調整選択ボタン３０５と、光学画像および荷電粒子像を表示する像表示部３０６と、光学像撮影ボタン３０７と、高さマップ作成ボタン３０８と、ステレオ像作成ボタン３０９と、フォーカス値マップ作成ボタン３１０と、を有する。ここで、作動距離（Working Distance：ＷＤ）は、対物レンズ１０４下面と試料１０８の間の距離を示している。フォーカスの調整は、ステージ１１０を上下方向に移動させることによりＷＤを変える、または、ＷＤを一定のまま対物レンズで調整する両方をユーザは任意に選択可能である。さらに、ＷＤをユーザが望む任意の値に設定し、ＷＤを常に一定としてフォーカス調整を行い観察することが可能である。

Claims (11)

1. 試料を保持する試料ホルダと、
   前記試料を移動させる試料ステージと、
   前記試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子銃および荷電粒子線鏡筒と、
   前記荷電粒子線に対する収束作用の強度を変更することでフォーカス調整が可能な対物レンズと、
   前記試料からの電子を検出し、電子像を形成するための信号を出力する検出器と、
   前記試料の光学画像を撮影する光学撮像装置と、
   前記光学撮像装置で撮像した少なくとも２枚の前記試料の光学画像からステレオ像を生成し、当該ステレオ像に基づいて前記試料の高さ情報マップを作成し、当該高さ情報マップに基づいて観察箇所のフォーカス調整値の設定を自動で実行する制御装置と、
   を備える荷電粒子線装置。
2. 請求項１において、
   前記制御装置は、前記設定されたフォーカス調整値に従って、前記試料の前記観察箇所に前記荷電粒子線を照射し、前記電子像を形成し、出力する荷電粒子線装置。
3. 請求項１において、
   前記制御装置は、前記試料を水平方向に移動させて光学撮像装置で撮像した少なくとも２枚の光学画像から得られるステレオ像に基づいて、前記試料の高さ情報マップを作成する荷電粒子線装置。
4. 請求項１において、
   前記試料ステージは、試料傾斜機構を備え、
   前記制御装置は、試料傾斜角度が異なる少なくとも２枚の光学画像からステレオ像に基づいて、前記試料の高さ情報マップを作成する荷電粒子線装置。
5. 請求項３または４において、
   前記制御装置は、前記試料の高さ情報マップに基準点を設定し、当該基準点の高さ位置を示すオフセット値と、前記試料の各領域における、前記基準点との相対的なフォーカス値とを算出することにより、前記試料のフォーカス値マップを作成する荷電粒子線装置。
6. 請求項５において、
   前記制御装置は、前記試料のフォーカス値マップに基づいて、前記試料ステージの移動による観察視野移動に追随し、フォーカスの自動調整を実行する荷電粒子線装置。
7. 請求項１において、
   前記試料ステージは、少なくともｘｙｚ３軸方向の駆動機構を備え、
   前記制御装置は、前記高さ情報およびフォーカス値と、前記試料ステージの座標とをリンクさせる荷電粒子線装置。
8. 請求項１において、
   前記制御装置は、前記高さ情報に基づいたフォーカス自動調整の条件を設定するためのユーザインターフェイスを表示装置の画面上に表示させる荷電粒子線装置。
9. 請求項８において、
   前記ユーザインターフェイスは、前記フォーカス自動調整を前記対物レンズによる調整、あるいは前記試料ステージによる調整を選択できるようにする選択欄と、前記対物レンズの作動距離を設定欄と、を含み、
   前記制御装置は、前記対物レンズの前記作動距離を一定にして前記フォーカス自動調整を実行する荷電粒子線装置。
10. 請求項８において、
    前記ユーザインターフェイスは、前記光学撮像装置で撮像した前記光学画像と前記電子像を重ね合わせて表示する像表示欄を含む荷電粒子線装置。
11. 荷電粒子線装置に載置された試料に対するフォーカスを自動調整するフォーカス調整方法であって、
    前記荷電粒子線装置の動作を制御する制御装置が、光学撮像装置によって取得した前記試料の光学画像を少なくとも２枚取得し、ステレオ像を生成することと、
    前記制御装置が、前記ステレオ像に基づいて前記試料の高さ情報マップを作成することと、
    前記制御装置が、前記高さ情報マップに基づいて前記試料の観察箇所のフォーカス調整値を設定することと、
    前記制御装置が、前記フォーカス調整値に基づいて、前記荷電粒子線装置のフォーカスを制御することと、
    を含むフォーカス調整方法。