JP2022068641A - 粒子測定装置、粒子測定方法およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】従来よりも高機能な粒子測定装置を提供する。【解決手段】粒子測定装置は、シート状のレーザ光を照射する照射部と、前記レーザ光の照射位置を移動させる走査光学系と、受光光学系および撮像素子を含み、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像部と、前記撮像部によって撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出部と、を備える。前記受光光学系の焦点距離を、前記レーザ光の照射位置に応じて調整する制御部をさらに備えてもよく、受光光学系は可変液体レンズを含んでもよい。また、レーザ光の走査を粒子の想定最大速度よりも大きくすることで粒子速度の奥行成分も求められる。また、複数波長のレーザ光を用いて撮影を行い、波長変化に伴う粒子輝度の変化から、個々の粒子の粒径を求められる。【選択図】図１

Description

本発明は、粒子測定装置、粒子測定方法およびプログラムに関する。

咳やくしゃみによって飛ばされる飛沫のように環境中の粒子（エアロゾル）の分布や挙動を測定したいというニーズがある。従来、粒子の３次元位置および３次元速度を測定するためのステレオＰＩＶ（Particle Image Velocimetry: 粒子画像流速測定法）と呼ばれる手法が知られている（特許文献１等）。

ステレオＰＩＶでは、１つのライトシート内を２台のカメラにより撮影し、ライトシートとカメラの位置関係に基づいて画像中の粒子位置から、３次元空間における粒子位置を求めることができる。また、複数フレームの画像によって得られる３次元位置の軌跡に基づいて、粒子の３次元速度を求めることができる。

ステレオＰＩＶにおいて計測が可能な範囲（計測ボリューム）は、ライトシートの厚さ範囲内である。セルや配管のような小さなボリュームであれば単一のライトシートで全体を計測できるが、ライトシートの厚さを大きくすることは奥行き分解能、費用および安全性の観点から困難である。

また、粒子の位置および速度だけでなく、粒子の粒径を合わせて測定することも望まれている。

特開２００４－２８６７３３号公報 国際公開第２０１８／１７３２９０号公報

上記のような現状を考慮して、本発明は、従来よりも高機能な粒子測定装置を提供することを目的とする。

本発明の第一態様は、大きなボリュームを対象として粒子の位置および速度を求める粒子測定装置である。本態様に係る粒子測定装置は、シート状のレーザ光を照射する照射部と、前記レーザ光の照射位置を移動させる走査光学系と、受光光学系および撮像素子を含み、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像部と、前記撮像部によって撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出部と、を備える。

本態様に係る粒子測定装置は、前記撮像部の前記受光光学系の焦点距離を前記レーザ光の照射位置に応じて調整する焦点制御部をさらに備える、ことが望ましい。また、受光光学系に可変液体レンズを採用することが望ましい。シート状のレーザ光（ライトシート）を走査するための走査光学系として、ガルバノスキャナまたはポリゴンミラーを採用することも望ましい。

上記構成によれば、大きなボリューム全体を高速にスキャンして粒子を計測することができる。

本態様において、前記レーザ光の照射位置は所定の速度より大きい速度で走査され、前記算出部は、粒子が連続して撮影されたフレーム数、前記レーザ光のシートの厚さ、および前記レーザ光の走査速度に基づいて、前記レーザ光のシートの奥行き方向に対する前記粒子の速度を求める、ことも好ましい。ここで、所定の速度は、想定される粒子の最大速度以上とする。

上記の構成によれば、１台の撮像部のみによって奥行き方向の粒子の速度を求めることができる。

本態様において、前記照射部は、前記レーザ光の波長を切り替えて照射可能であり、前記算出部は、異なる波長の前記レーザ光を照射して撮影された複数の画像における前記粒子の輝度の変化に基づいて、前記粒子の粒径を求める、ことも好ましい。

上記の構成によれば、粒子の位置および速度に加えて粒径を求めることができる。

本態様において、前記受光光学系の焦点距離を無限遠に設定して前記撮像部によって撮影された画像の回折パターンに基づいて、前記粒子の粒径を求める、ことも好ましい。

上記の構成によって、粒子の粒径を求めることができる。

本態様において、前記照射部、前記走査光学系、および自己位置特定・地図作成機能を有する第１のＳＬＡＭ部が、一体として照射部ユニットを構成し、前記撮像部、および自己位置特定・地図作成機能を有する第２のＳＬＡＭ部が、一体として撮像部ユニットを構成し、前記算出部は、前記第１のＳＬＡＭ部および前記第２のＳＬＡＭ部の計測結果に基づくキャリブレーションを行う、ことも好ましい。

上記の構成によれば、照射部と撮像部の位置関係を自動的に取得でき、したがってキャリブレーションの手間を軽減でき、したがって、照射部ユニットと撮像部ユニットの位置関係を変えた場合でも計測が容易に行える。

本発明の他の態様は、シート状のレーザ光を照射する照射ステップと、前記レーザ光の照射位置を移動させる走査ステップと、撮像部によって、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像ステップと、前記撮像ステップにおいて撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出ステップと、を含む、粒子測定方法である。

本発明の他の態様は、シート状のレーザ光を照射する照射ステップと、前記レーザ光の照射位置を移動させる走査ステップと、撮像部によって、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像ステップと、前記撮像ステップにおいて撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出ステップと、を含む、粒子測定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

また、本発明の他の態様は、シート状のレーザ光を照射する照射部と、受光光学系および撮像素子を含み、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像部と、前記撮像部によって撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出部と、を備え、前記レーザ光の照射位置は所定の速度より大きい速度で走査され、前記算出部は、粒子が連続して撮影されたフレーム数、前記レーザ光のシートの厚さ、および前記レーザ光の走査速度に基づいて、前記レーザ光のシートの奥行き方向に対する前記粒子の速度を求める、粒子測定装置である。本態様によれば、粒子の位置および速度に加えて粒径を求めることができる。

本発明によれば、従来よりも高機能な粒子測定装置を提供することができる。

実施形態に係る粒子測定装置の構成を示す図である。 実施形態１に係る粒子測定装置の処理を示すフローチャートである。 実施形態に係る粒子測定装置の動作を説明する図である。 実施形態１において粒子速度の奥行き成分の算出方法を説明する図である。 実施形態１に係る粒子測定装置を用いて粒径分布を求める方法を説明する図である。 実施形態２に係る粒子測定装置の処理を示すフローチャートである。 実施形態２において粒径算出方法を説明する図である。 実施形態３に係る粒子測定装置の構成を示す図である。

＜実施形態１＞
本発明の第１の実施形態は、大ボリュームを対象にして、１つのカメラで粒子（エアロゾル）の位置および速度を計測可能な粒子測定装置である。

図１は、本実施形態に係る粒子測定装置１の構成を示す図である。粒子測定装置１は、高速カメラ１０、照射部２０、走査光学系２１、制御部３０、算出部４０を有する。

高速カメラ１０は、撮像素子１１と、レンズ１２および可変液体レンズ１３を含む受光光学系とを有しており、例えば１０００ｆｐｓ以上の高速な撮影が可能である。撮像素子１１は、ＣＭＯＳイメージセンサであってもＣＣＤイメージセンサであってもよく、典型的には数百万画素から数千万画素を有する。レンズ１２は、レンズ側の観測深度を大きく取れるように望遠レンズであることが好ましく、可変焦点レンズであっても固定焦点レンズであってもよい。レンズ１２として、例えば、４Ｋ放送機器用レンズを用いることができる。可変液体レンズ１３は、液体界面を屈折面として利用し、液体レンズ中の電極に印加する電圧を変化させることで界面形状、すなわち焦点距離を変化可能なレンズである。可変液体レンズ１３を用いることで、２～３ミリ秒程度の高速な焦点合わせが可能である。なお、可変液体レンズ１３の焦点制御は、制御部３０からの指令に基づいて行われる。

照射部２０は、レーザ光源を有しており、薄いシート状に収束したレーザ光を照射する。以下、本明細書では、シート状のレーザ光のことをライトシートとも称する。レーザ光の波長は、撮像素子１１が受光感度を有する範囲であれば特に限定されない。また、レーザ光はパルスレーザ光であることが好ましいが、高速カメラ１０が十分に高速であれば連続波レーザ光であってもよい。走査光学系２１は、例えばガルバノスキャナ等の１軸モータを有しており、シート状のレーザの照射位置を移動させることができる。ガルバノスキャナは、１～１０ミリ秒程度での高速な応答が可能である。なお、走査光学系２１としてポリゴンミラーを用いてもよく、同様に高速な応答が得られる。照射部２０からのレーザ光照射、および走査光学系２１の制御は、いずれも制御部３０からの指令に基づいて行われる。

制御部３０は、粒子測定装置１の全体の制御を行う機能部であり、特に、照射部２０からのレーザ光照射、走査光学系２１の制御、可変液体レンズ１３の焦点合わせ、撮像素子１１の撮影を制御する。算出部４０は、高速カメラ１０によって撮影された画像から、粒子の位置および速度を求める。制御部３０および算出部４０は、プロセッサとメモリを有しプログラムにしたがって動作するコンピュータを用いて実現される。

図２は、本実施形態に係る粒子測定装置１の測定動作を示すフローチャートである。図３は、本実施形態に係る粒子測定装置１の測定動作を説明する図である。本実施形態の測定動作は、制御装置３０がコンピュータプログラムを実行し、当該コンピュータプログラムにしたがって、粒子測定装置１のその他の機能部を制御することによって行われる。ステップＳ１１において、制御部３０はレーザ光の照射位置が所定の位置となるように走査光学系２１を制御する。具体的には、所定の走査周期で測定対象ボリュームＶ（図３参照）を走査するように照射位置が制御される。なお、レーザ光の照射位置が粒子の想定最大速度より大きい速度で走査されるように、走査光学系２１の制御が行われる。ステップＳ１２において、制御部３０は、可変液体レンズ１３を制御して、レーザ光の照射位置に高速カメラ１０の焦点が合うように焦点距離を調整する。ステップＳ１３において、制御部３０は、照射部２０からのレーザ光の照射と高速カメラ１０の画像撮影が同時に行われるように、照射部２０および撮像素子１１を制御する。ステップＳ１４において、算出部４０は、高速カメラ１０によって撮影された画像から、測定対象ボリュームＶ内に存在する粒子の位置および速度を求める。ステップＳ１４が終了したら、測定をする場合にはＳ１１に戻って上記の処理を繰り返す。なお、ここでは、１枚の画像を撮影する度に粒子の位置および速度を求めているが、全ての撮影が終了してから、あるいは、１回または複数回の全体ボリュームの走査が完了する度に粒子の位置および速度を求めるようにしてもよい。

ステップＳ１４における粒子の位置および速度の算出について、より詳しく説明する。

粒子の３次元位置は、レーザ光の照射位置（すなわち走査光学系２１のモータ位置）と撮影画像内の粒子（輝点）の位置から求められる。なお、高速カメラ１０と照射部２０の位置関係に基づくキャリブレーションをあらかじめ完了しているものとする。

ライトシートの面内方向の粒子速度は、連続する複数回の走査における粒子を追跡して、その時間あたりの変位量から求められる。

ライトシートの奥行き方向の粒子速度は、１回の走査において連続して撮影されたフレーム数を用いて求められる。図４を参照してより詳しく説明する。ライトシートの走査速度をＬｓ、ライトシートＬの厚さをｄ、粒子速度の奥行き成分をＶｚとすると、この粒子がライトシートＬ内にとどまる時間は、
ｔ＝ｄ／｜Ｌｓ－Ｖｚ｜
である。一般にはＬｓ－Ｖｚの符号が決定できないが、本実施形態では上述したように、レーザ光の走査速度Ｌｓが粒子の想定最大速度よりも大きいように設定されているので、Ｌｓ＞Ｖｚである。したがって、
Ｖｚ＝Ｌｓ―ｄ／ｔ
と求められる。ｔは、連続して撮影されるフレーム数にフレームレートの逆数を乗じた値として求められる。フレームレートを３０００ｆｐｓ、粒子の最大速度を２０ｍ／ｓの場合、ライトシートの走査速度Ｌｓ＝３０ｍ／ｓ、ライトシートの厚さｄ＞１０ｍｍとすれば粒子が確実に撮影され、奥行き成分Ｖｚを求めることができる。

なお、ライトシートの走査を往復走査によって行えば粒子が奥行き方向の正負いずれの方向に移動している場合でも、粒子速度の奥行き成分を精度よく求めることができる。

本実施形態によれば、可変液体レンズを用いて焦点調整をし、ガルバノスキャナを用いてライトシートの走査を行っており、いずれも応答速度が極めて速い。例えば、可変液体レンズの応答速度は２～５ミリ秒であり、１軸ガルバノスキャナの応答速度は１～１０ミリ秒程度である。したがって１０ショット以上を要する広いボリュームを測定対象とする
場合も、全体を５０～１００ミリ秒でスキャンすることができる。したがって、測定対象ボリューム内の粒子の分布（位置）および速度の瞬間的な値を取得することができる。

また、本実施形態によれば、１つのカメラのみで粒子速度の奥行き成分を求めることができる。ライトシートを走査するので、その移動速度がオフセットとして設定される。ライトシートの走査速度を粒子の想定最大速度より大きくする、すなわち、ライトシートの走査速度が粒子の速度よりも速くすれば、ライトシートに粒子がとどまる時間から粒子の奥行き方向の移動速度を求めることができる。

＜実施形態１の変型例＞
実施形態１に係る粒子測定装置は、粒径を測定するためにも用いることができる。顕微撮影でない限り、高速カメラ１０の画素分解能が粒子の粒径よりも粗いので、上記の撮影画像から粒径を求めることはできない。そこで、本変形例では、以下のようにして粒子の粒径を測定する。

図５（Ａ）に示すように、粒径測定を行う場合には、制御部３０はレンズ１２および可変液体レンズ１３からなる高速カメラ１の受光光学系の焦点距離を無限遠に設定して、撮像素子１１による撮影を行う。粒子にレーザ光が照射されると回折パターンが撮影される。大型粒子はフラウンホーファー回折やミー散乱、小型粒子はレイリー散乱で数学的な解析が可能であり、単一の粒子に関しては、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）に示すように、回折像はリング構造を示す。図に示す半径ｒ０は最初の暗い環までの距離である。半径ｒ０は粒径に依存し、粒径が小さいほど大きく、粒径が大きいほど小さくなる。

撮影範囲内に複数の粒子（粒子群）が存在する場合、複数の粒子による回折パターンを重ね合わせたパターンが撮影される。したがって、算出部４０は、撮影された画像における回折パターンと、様々な粒径の粒子について理論的に計算された回折パターンとを比較することで、粒径分布を求めることができる。

粒子による散乱は前方散乱が強いので、粒子測定装置１のセットアップ（図１）において、照射部２０からのレーザ光を高速カメラ１０のほぼ正面から照射するようにするか、または、高速カメラ１０のほぼ正面からレーザ光を照射する第２の照射部を用いることが好ましい。

なお、粒径測定を行うのであればレーザ光の走査は不要であり、レーザ光の照射位置を固定して測定を行ってもよい。あるいは、実施形態１で説明したような、測定対象ボリュームをスキャンしつつ粒子の位置および速度を測定する最中に、粒径測定を行ってもよい。例えば、ライトシートの照射位置に焦点を合わせた撮影を１回または複数回行う度に、無限遠に焦点を合わせた撮影を行って回折パターンを撮影して粒径分布を測定してもよい。

本変形例によれば、粒子測定装置１によって粒径も計測することができる。

＜実施形態２＞
実施形態１の変形例では粒径を求めることができるが、複数の粒子が存在する場合は粒径分布が得られるだけであり、個々の粒子の粒径は測定できない。本実施形態は、個々の粒子について、位置および速度に加えて粒径を測定可能な粒子測定装置である。

本実施形態に係る粒子測定装置の構成は、実施形態１（図１）と基本的に同じであるが、照射部２０が複数の波長のレーザ光を照射可能である。照射部２０は、照射するレーザ光の波長変換処理を変えることで異なる波長のレーザ光を照射してもよいし、複数の光源
を有し光源を切り替えることで異なる波長のレーザ光を照射してもよい。照射部２０が照射可能な波長の数は、複数であればいくつであっても構わない。例えば、照射部２０は、４００ｎｍと９００ｎｍの２種類の波長のレーザ光を照射可能に構成される。

本実施形態においては、同じ照射位置に波長を切り替えてレーザ光を複数回照射し、波長を切り替えて撮影した複数の画像における粒子の輝度の変化に基づいて粒子の粒径を求める。

図６は、本実施形態における粒子測定装置１の測定動作を示すフローチャートである。ステップＳ２１において、制御部３０はレーザ光の照射位置が所定の位置となるように走査光学系２１を制御する。ステップＳ２２において、制御部３０は、可変液体レンズ１３を制御して、レーザ光の照射位置に高速カメラ１０の焦点が合うように焦点距離を調整する。

ループ処理Ｌ１において、ステップＳ２３，Ｓ２４の処理がレーザ波長ごとに繰り返される。例えば、波長４００ｎｍと９００ｎｍのそれぞれについて、以下の処理が行われる。

ステップＳ２３では、制御部３０は、照射部２０から照射するレーザ波長を切り替える。ステップＳ２４では、制御部３０は、照射部２０からのレーザ光の照射と高速カメラ１０の画像撮影が同時に行われるように、照射部２０および撮像素子１１を制御する。

ステップＳ２５では、算出部４０は、高速カメラ１０によって撮影された画像から、測定対象ボリュームＶ内に存在する粒子の位置、速度、および粒径を求める。粒子の位置および速度は、いずれかの波長を用いて撮影された画像を用いて第１実施形態と同様にして求められるので説明を省略し、ここでは粒径の求め方について主に説明する。

本実施形態では、レーザ光の波長を変化させたときの粒子による散乱光強度が、粒径に応じて異なることに着目して粒径を求める。

図７は、複数の粒径および波長についてミー散乱強度対数プロットを示した図である。図から分かるように、特定の方向（例えば図中の矢印の方向）から観測する場合、波長に対して粒径が大きいほど波長を切り替えたときの輝度差が大きい。粒径ごとに輝度がどのように変化するかを求めることができるので、算出部４０は逆に、輝度がどのように変化したかに基づいて粒径を求めることができる。

本実施形態では、４００ｎｍと９００ｎｍの２つの波長を用いる例を説明しているが、３波長以上を用いることで、波長の変化に基づく輝度（散乱強度）の変化をより正確に求められる。ただし、波長数を増やすと、同じ位置でのレーザ光照射回数が増えるので時間分解能が低下する。逆に言うと、第１実施形態と同等の時間分解能を得るためには、撮影のフレームレートを波長数に応じて増やす必要がある。

また、粒径が大きいほど短波長での側方散乱強度が弱くなるので、大きい粒径を測定する場合には長波長のレーザ光を用いるとよい。例えば、波長２０００ｎｍのレーザ光を用いることで粒径２０μｍ程度まで高精度に測定できる。ただし、撮像素子１１はこの波長域に受光感度を有している必要がある。

以上のように、本実施形態によれば、簡易な構成で、個々の粒子の位置および速度に加えて、粒径まで測定することができる。

なお、粒径計測という目的を達成するためには、レーザ光の走査は必ずしも必要ではなく、したがって本実施形態においては粒子測定装置から走査光学系２１を省略してもよい。

＜実施形態３＞
本実施形態は、キャリブレーション処理を容易に行える粒子測定装置である。

粒子測定の実際の場面では、測定対象に合わせてライトシートの照射面やカメラの位置を何度も試行錯誤して決定することが多い。そうすると、位置関係を変更する度にキャリブレーションが必要となる。例えば、キャリブレーションプレートを用いてキャリブレーションを毎回行うと、ユーザの負担が大きい。そこで、本実施形態では、キャリブレーションを容易に行えるようにする。

図８は、本実施形態に係る粒子測定装置の構成を示す。本実施形態に係る粒子測定装置は、撮像部ユニット１００、照射部ユニット２００、制御部ユニット３００から構成される。

撮像部ユニット１００は、高速カメラ１０（撮像素子１１、レンズ１２，可変液体レンズ１３を含む）と、ＳＬＡＭ部１５を有する。自己位置特定・地図作成機能（Simultaneous Localization and Mapping）を有する。ＳＬＡＭ部１５は、周囲状況を把握するため
のセンサとして、ＬｉＤＡＲ（レーザスキャナ）、カメラ、ＴｏＦセンサ、慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）やオドメトリなどを有し、センシング結果から
周囲の３次元地図情報を生成する情報処理部を有する。撮像部ユニット１００は、ＳＬＡＭ１５によって、環境内での自身の位置を特定可能である。

照射部ユニット２００は、照射部２０と走査光学系２１とＳＬＡＭ部２５を有する。ＳＬＡＭ部２５は、ＳＬＡＭ部１５と同様であるため説明を省略する。

制御部ユニット３００は、制御部３０と算出部４０を有する。なお、制御部ユニット３００は独立したユニットとして構成せずに、例えば、撮像部ユニット１００あるいは照射部ユニット２００のいずれか一方と一体に構成しても構わない。

本実施形態においても、最初に撮像部ユニット１００と照射部ユニット２００を設置する際には、キャリブレーションプレート等を用いたキャリブレーション処理を行う。制御部３０は、キャリブレーションが完了した時点でのＳＬＡＭ部１５，２５が推定した自己位置を取得・記憶しておく。その後、撮像部ユニット１００あるいは照射部ユニット２００を移動したときには、ＳＬＡＭ部１５，２５から移動後の自己位置を取得する。制御部３０は、あらかじめ行ったキャリブレーションパラメータを、移動による位置関係の変化に基づく幾何学的計算により更新することで、新たなキャリブレーションパラメータを求めることができる。したがって、全ての計測結果を同一の座標にマッピングすることができる。

本実施形態によれば、カメラやレーザ光照射位置を変えながら測定を行う場合に、キャリブレーションを１度するだけでよくなり、ユーザの負担を軽減することができる。また、撮像部ユニット１００および照射部ユニット２００を手持ちで移動しながらの計測も可能となる。

１：粒子測定装置
１０：高速カメラ １１：撮像素子 １２：レンズ １３：可変液体レンズ
２０：照射部 ２１：走査光学系 ３０：制御部 ４０：算出部

Claims (9)

1. シート状のレーザ光を照射する照射部と、
   前記レーザ光の照射位置を移動させる走査光学系と、
   受光光学系および撮像素子を含み、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像部と、
   前記撮像部によって撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出部と、
   を備える、粒子測定装置。
2. 前記受光光学系の焦点距離を、前記レーザ光の照射位置に応じて調整する制御部をさらに備える、
   請求項１に記載の粒子測定装置。
3. 前記受光光学系は、可変液体レンズを含む、
   請求項１または２に記載の粒子測定装置。
4. 前記レーザ光の照射位置は所定の速度より大きい速度で走査され、
   前記算出部は、粒子が連続して撮影されたフレーム数、前記レーザ光のシートの厚さ、および前記レーザ光の走査速度に基づいて、前記レーザ光のシートの奥行き方向に対する前記粒子の速度を求める、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の粒子測定装置。
5. 前記照射部は、前記レーザ光の波長を切り替えて照射可能であり、
   前記算出部は、異なる波長の前記レーザ光を照射して撮影された複数の画像における前記粒子の輝度の変化に基づいて、前記粒子の粒径を求める、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の粒子測定装置。
6. 前記算出部は、前記受光光学系の焦点距離を無限遠に設定して前記撮像部によって撮影された画像の回折パターンに基づいて、前記粒子の粒径を求める、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の粒子測定装置。
7. 前記照射部、前記走査光学系、および自己位置特定・地図作成機能を有する第１のＳＬＡＭ部が、一体として照射部ユニットを構成し、
   前記撮像部、および自己位置特定・地図作成機能を有する第２のＳＬＡＭ部が、一体として撮像部ユニットを構成し、
   前記算出部は、前記第１のＳＬＡＭ部および前記第２のＳＬＡＭ部の計測結果に基づくキャリブレーションを行う、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の粒子測定装置。
8. シート状のレーザ光を照射する照射ステップと、
   前記レーザ光の照射位置を移動させる走査ステップと、
   撮像部によって、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像ステップと、
   前記撮像ステップにおいて撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出ステップと、
   を含む、粒子測定方法。
9. シート状のレーザ光を照射する照射ステップと、
   前記レーザ光の照射位置を移動させる走査ステップと、
   撮像部によって、粒子による前記レーザ光の散乱光を撮影する撮像ステップと、
   前記撮像ステップにおいて撮影した画像から、粒子の位置および速度を求める算出ステ
   ップと、
   を含む、粒子測定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。

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