JP2005233759A - 3次元計測システム - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 53
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
【解決手段】 互いに異なる位置に配置され、シングルスポット光の反射光をX軸上の異なる領域に集束する光学系23L及び23Rと、互いに異なる位置に配置され、光学系23L及び23RによってX軸上の異なる領域に集束されたシングルスポット光の反射光をそれぞれ受光し、X軸上における輝度分布を表す第1及び第2の検出信号をそれぞれ出力するラインセンサ22L及び22Rと、シングルスポット光の反射光を、Y軸上に集束する光学系23Cと、該光学系23CによってY軸上に集束された反射光を受光し、Y軸上における輝度分布を表す第3の検出信号を出力するラインセンサ22Cと、第1〜第3の検出信号に基づいて、検出対象におけるシングルスポット光の照射位置に関する情報を求める演算処理部3とを含む。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る3次元計測システムの構成を示すブロック図である。この3次元計測システムは、シングルスポット光走査投影部1と、3次元計測部2と、演算処理部3と、制御部4と、表示部5とを含んでいる。
図2は、図1に示すシングルスポット光走査投影部1の構成を示す模式図である。シングルスポット光走査投影部1は、レーザ発振装置11と、ガルバノメータ12及び13と、発散レンズ14とを含んでいる。
まず、ステップS1において、図1に示すように、制御部4の制御の下で、シングルスポット光走査投影部1が、シングルスポット光を発生して物体100に照射する。ここで、シングルスポット光の照射位置の座標を(X0,Y0,Z0)とする。
Z=d・f/(XL−XR) …(1)
この原理を用いることによって求められた奥行きZと、3次元計測部2との位置関係とから、シングルスポット光101のZ座標Z0が求められる。
X0=d・XL/(XL−XR)=XL×Z/f …(2)
Y0=d・YC/(XL−XR)=YC×Z/f …(3)
これにより、シングルスポット光の座標(X0,Y0,Z0)が求められる。
1次元PSDとしては、例えば、浜松ホトニクス社の製品(例えば、型番S8554)を用いることができる。
2 3次元計測部
3 演算処理部
4 制御部
5 表示部
6 パーソナルコンピュータ(PC)
11 レーザ発振装置
12、13 ガルバノメータ
14 発散レンズ
21L、21C、21R 検出部
22、22L、21C、21R ラインCCDセンサ
23、23L、23C、23R 平凸型シリンドリカルレンズ
24、24L、24C、24R 集光領域
25 集光レンズ
100 物体
101 シングルスポット光
110 検出対象
Claims (8)
- 検出対象にシングルスポット光を照射し、検出対象によって反射された反射光を受光することにより、検出対象の位置又は形状を3次元的に計測するシステムであって、
互いに異なる位置に配置され、シングルスポット光の反射光を第1の軸上の異なる領域に集束する第1及び第2の光学系と、
互いに異なる位置に配置され、前記第1及び第2の光学系によって第1の軸上の異なる領域に集束された反射光をそれぞれ受光し、第1の軸上における輝度分布を表す第1及び第2の検出信号をそれぞれ出力する第1及び第2のラインセンサと、
シングルスポット光の反射光を、第1の軸とは異なる第2の軸上に集束する第3の光学系と、
前記第3の光学系によって第2の軸上に集束された反射光を受光し、第2の軸上における輝度分布を表す第3の検出信号を出力する第3のラインセンサと、
前記第1〜第3の検出信号に基づいて、検出対象におけるシングルスポット光の照射位置に関する情報を求める演算処理手段と、
を具備する3次元計測システム。 - 前記第1〜第3の光学系の各々が、シリンドリカルレンズを含む、請求項1記載の3次元計測システム。
- 前記第1〜第3のラインセンサが、ラインCCD(charge coupled device)センサ、又は、1次元PSD(position sensitive detector、若しくは、position sensitive device)を含む、請求項1又は2記載の3次元計測システム。
- 前記演算処理手段が、前記第1及び第2の検出信号に基づいて、三角測量の原理を用いて、第1及び第2の軸とは異なる第3の軸上におけるシングルスポット光の照射位置に関する情報を求める、請求項1〜3のいずれか1項記載の3次元計測システム。
- 前記演算処理手段が、第3の軸上におけるシングルスポット光の照射位置に関する情報と、前記第1又は第2の検出信号とに基づいて、第1の軸上におけるシングルスポット光の照射位置に関する情報を求めると共に、第3の軸上における前記シングルスポット光の照射位置に関する情報と前記第3の検出信号とに基づいて、第2の軸上における前記シングルスポット光の照射位置に関する情報を求める、請求項4記載の3次元計測システム。
- 検出対象に照射されるシングルスポット光を発生するシングルスポット光発生手段をさらに具備する請求項1〜5のいずれか1項記載の3次元計測システム。
- 前記シングルスポット光発生手段が発生するシングルスポット光によって検出対象を走査する走査手段と、
前記走査手段によるシングルスポット光の走査を制御する制御手段と、
をさらに具備する、
請求項6記載の3次元計測システム。 - 前記第1〜第3のラインセンサの各々が、検出対象の複数の位置に順次照射されるシングルスポット光の反射光を順次検出し、
前記演算処理手段が、前記第1〜第3のラインセンサから順次出力される複数の第1〜第3の検出信号に基づいて、第1〜第3の軸上におけるシングルスポット光の複数の照射位置に関する情報を求め、該情報に基づいて、検出対象の形状を表す画像データを生成する、請求項1〜7のいずれか1項記載の3次元計測システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004042960A JP4045341B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 3次元計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004042960A JP4045341B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 3次元計測システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005233759A true JP2005233759A (ja) | 2005-09-02 |
JP4045341B2 JP4045341B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=35016881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004042960A Expired - Lifetime JP4045341B2 (ja) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | 3次元計測システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4045341B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009168581A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Saki Corp:Kk | 被検査体の検査装置 |
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DE102015005327A1 (de) | 2014-05-07 | 2015-11-12 | Mitutoyo Corporation | Koordinatenmesssystem, ein Koordinatenmessverfahren, ein Computerprogrammprodukt und eine Sonde |
-
2004
- 2004-02-19 JP JP2004042960A patent/JP4045341B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2015212673A (ja) * | 2014-05-07 | 2015-11-26 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定システム、三次元測定方法、および、被測定体 |
DE102015005327B4 (de) | 2014-05-07 | 2021-10-07 | Mitutoyo Corporation | Koordinatenmesssystem, ein Koordinatenmessverfahren, ein Computerprogrammprodukt und eine Sonde |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4045341B2 (ja) | 2008-02-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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