JP2014202522A - 三次元測定システム - Google Patents
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Description
また、ラインセンサは線像との交差部分しか受光しないため、集光させた線像の殆どを使用できていない。動解析を考慮した場合、数メートル離れた点光源からの光は十分ではないため、測定可能範囲に限界がある。また、素子に十分な電荷を蓄えるためには露光時間を一定時間確保する必要があり、その結果、スループットや測定精度などに制限がかかってしまう。
また、回転対称レンズに入射した光を、集光光学部品によって回転対称レンズの光軸及びラインセンサの画素配列方向に対して直交する方向へ屈曲させてラインセンサに集光する構成のため、回転対称レンズに入射した光はラインセンサの画素方向に分割され、強度分布を維持したままラインセンサで受光される。従って、回転対称レンズに入射した光のほとんどをラインセンサで受光できるため、測定範囲の拡大、スループットの向上、高精度化を実現できる。
また、各集光素子は、矩形形状の光入射口から光射出口に向かって断面矩形の導光路を有し、この導光路の四側外周壁が光反射面によって形成されるから、隣接する集光素子とは光学的に分離された構造である。そのため、回転対称レンズに入射した光はラインセンサの画素方向に分割され、強度分布を維持したままラインセンサで受光される。
また、導光路は、画素の配列方向寸法が画素の幅寸法以下で、かつ、回転対称レンズの光軸および画素配列方向に対して直交する方向の寸法が、光入射口から光射出口に向かうに従って次第に小さくなる寸法に形成されているから、回転対称レンズに入射した光のほとんどが、導光路によって導かれてラインセンサに届くため、測定範囲の拡大、スループットの向上、高精度化を実現できる。
このような構成によれば、コアとクラッドとの境界面において全反射面が構成されているから、光ファイバと同様に、集光素子に入射した光を効率よく全反射させてラインセンサへ導光することができる。
このような構成によれば、反射板を矩形筒状に形成することにより集光素子の導光路を構成することができるので、安価に製造することができる。また、内部が中空に形成されているので、集光光学部品の全体の重量を軽量化することができ、ひいては、三次元測定システム全体の重量を軽量化できる。従って、携帯に便利である。
図1および図2に示すように、本実施形態の三次元測定システムは、プローブ10と、撮像部20と、プローブ10および撮像部20を制御するとともに、撮像部20からの検出信号を基にプローブ10の位置およびプローブ10の接触子17の位置を演算する演算制御装置30と、表示装置40とを備える。ここで、撮像部20および演算制御装置30によって位置検出装置が構成されている。
プローブ本体11は、測定者が両手で掴めるように、一端が結合され、他端が次第に離れるように弓状に湾曲したのち再び結合した2本のアーム12,13を有する形状に形成されている。また、プローブ本体11の正面において、アーム12,13の一端結合部14と、アーム12,13の他端結合部15を挟んだ両側部とには、測定用光源としての3個のLED(発光ダイオード)1〜3,4〜6,7〜9がそれぞれ配置されている。つまり、プローブ本体11には、合計9個のLED1〜9が配置されている。これらのLED1〜9は、演算制御装置30からのパルス信号に同期して予め設定された順番で点灯されるように構成されている。
スタイラス16は、プローブ本体11のアーム12,13の他端結合部15から一端結合部14とは反対側に突出して設けられ、先端に球状の接触子17を有する。従って、プローブ本体11に対してLED1〜9と接触子17とが所定の位置関係で配置されているため、LED1〜9の座標を求めることにより、これらの座標から接触子17の座標を求めることができる。
検出部23A〜23Cは、集光領域から入射した光を1軸上に集光させる光学系24A〜24Cと、この光学系24A〜24Cによって集光された光を受光し、1軸上における輝度分布を表す輝度分布信号を出力するラインセンサ25A〜25Cとから構成されている。ラインセンサ25A〜25Cは、例えば、CCD(charge coupled device)を一列に配列した構成である。
制御基板27は、演算制御装置30からのパルス信号に同期して、フレームグラバ26を介して各検出部23A〜23Cのラインセンサ25A〜25Cの画像を取り込み、輝度分布信号として演算制御装置30へ送る。
タイミング制御部31は、プローブ10のLED1〜9を順番に点灯させるパルス信号を常時発信すると同時に、これに同期して、撮像部20に対してもラインセンサ25A〜25Cの輝度分布信号の取り込みを制御するパルス信号を常時発信する。
プローブ演算部32は、撮像部20からの輝度分布信号を取り込んだのち、この輝度分布信号の輝度重心位置を求め、この輝度重心位置からプローブ10の位置を演算する。つまり、各LED1〜9の座標を演算する。
測定点演算部33は、プローブ演算部32によって演算されたプローブ10の位置(LED1〜9の座標)と、プローブ10のLED1〜9に対する接触子17の位置とから、三次元測定システムにおける接触子17の座標を算出する。
集光光学部品62A〜62Cは、図5に詳細を示すように、ラインセンサ25A〜25Cの画素配列方向に沿って積層された複数の集光素子63によって構成されている。各集光素子63は、図6および図7に示すように、回転対称レンズ61A〜61C側に矩形形状の光入射口64を有し、ラインセンサ25A〜25C側に矩形形状の光射出口65を有するとともに、これら光入射口64から光射出口65に向かって断面矩形の導光路66を有する。
なお、測定用点光源であるLED1〜9からの光が特定の波長である場合、その波長以外の内部透過率を低下させるようなコア68を選択することにより、仮に外乱光が入射したとしても減衰させることで、S/N比を向上させることができる。
ここで、導光路66を構成する四側外周壁のうち、回転対称レンズ61A〜61Cの光軸に対して傾斜した傾斜面66A,66Bについては、平面で構成することもできるが、取り込んだ光を効率よく全反射させて光の漏れを極力抑えるために、自由曲面を採用することもできる。その形状は、回転対称レンズ61A〜61Cのレンズバック、開口数、テレセントリシティ、回転対称レンズ61A〜61Cとラインセンサ25A〜25Cまでの間隔、ラインセンサ25A〜25Cの素子高さなどを考慮して設計する。
(a)ワーク測定作業を行うには、プローブ10の接触子17をワークの測定部位に接触させた状態において、プローブ10に設けられた図示省略の測定スイッチを押す。すると、その信号をトリガとして、タイミング制御部31から発信されているパルス信号に同期して、プローブ10に設けられたLED1〜9が順番に点灯していくとともに、各LED1〜9からの光が各検出部23A〜23Cにおいて検出される。
つまり、LED1〜9からの光は、回転対称レンズ61A〜61Cを通して集光光学系62A〜62Cの導光路66に入射される。すると、導光路66の光反射面67で全反射されてラインセンサ25A〜25Cに達するので、各LED1〜9からの光がラインセンサ25A〜25Cにおいて輝度分布信号として検出される。
各検出部23A〜23Cにおいて検出された輝度分布信号はプローブ演算部32に送られる。プローブ演算部32では、輝度分布信号から輝度重心位置G1,G2,G3を算出する。
本実施形態によれば、検出部23A〜23Cを構成する光学系24A〜24Cが、回転対称レンズ61A〜61Cと、この回転対称レンズ61A〜61Cと各ラインセンサ25A〜25Cとの間に配置され、回転対称レンズ61A〜61Cの点像を回転対称レンズ61A〜61Cの光軸及びラインセンサ25A〜25Cの画素配列方向に対して直交する方向へ屈曲させてラインセンサ25A〜25Cに導光する集光光学部品62A〜62Cとから構成されているから、LED1〜9からの光は回転対称レンズ61A〜61Cおよび集光光学部品62A〜62Cを介して、ラインセンサ25A〜25Cに導かれ、ラインセンサ25A〜25Cによって輝度分布信号として検出される。
このため、従来のように、シリンドリカルレンズなどの回転非対称な光学系を用いなくてもよいので、設計の難易度を低下させることができ、開発・製造コストの低減が図れる。
また、各集光素子62A〜62Cは、矩形形状の光入射口64から光射出口65に向かって断面矩形の導光路66を有し、この導光路66の四側外周壁が光反射面67によって形成されるから、隣接する集光素子62A〜62Cとは光学的に分離された構造である。そのため、回転対称レンズ61A〜61Cに入射した光はラインセンサ25A〜25Cの画素方向に分割され、強度分布を維持したままラインセンサ25A〜25Cで受光される。
第1実施形態では、導光路66を、中心に配置された断面矩形状のコア68と、このコア68の四側外周壁を覆うクラッド69とから構成したが、これに限らず、他の構成であってもよい。
例えば、光入射口64および光射出口65を結ぶ四側外周壁が金属などの反射板によって形成し、内部を中空構造としてよい。具体的には、図5〜図7に示す集光素子62において、クラッド69の部分を金属などの反射板によって形成するようにしてもよい。
このような構成とすれば、反射板を矩形筒状に形成することにより集光素子63の導光路66を構成することができるので、安価に製造することができる。また、内部が中空に形成されているので、集光光学部品62A〜62Cの全体の重量を軽量化することができ、ひいては、三次元測定システム全体の重量を軽量化できる。従って、携帯に便利である。
例えば、図8に示すように、プローブ本体11に、光をワークに向けて射出する発光器18Aと、ワークからの反射光を受光する受光器18Bと、この受光器18Bにおいて光を受光した位置からプローブ本体11に対するワークの位置情報を演算する演算器(図示省略)とを備えた非接触測定器18を内蔵させた構成のプローブ10を用いてもよい。
この場合、測定点演算部33は、プローブ演算部32によって求められたプローブ10の位置と、非接触測定器18によって求められた測定点の位置とから、三次元測定システムに対する非接触測定器18の光照射位置の座標を求める。
なお、非接触式のプローブでは、ワークに接触させる必要がないため、より複雑な形状をもつワークを測定することが可能となるが、そのためにプローブの様々な姿勢を検出できるように、より多くのLED、例えば、40個のLED1,2,3…が搭載されている。ただ、プローブの姿勢を検出するためには、必ずしも全てのLEDが検出できなくてもよく、少なくとも3個のLEDが検出できればプローブの姿勢を求めることができる。
第1実施形態の三次元測定システムにおいては、遮蔽物のない開放空間で使用されることが多いため、外乱光対策が必須である。外乱光対策として、第1実施形態では、測定用点光源であるLED1〜9からの光が特定の波長である場合、その波長以外の内部透過率を低下させるようなコア68を選択することにより、仮に外乱光が入射したとしても減衰させることで、S/N比を向上させることができる。
ここで、多波長LEDとは、複数の単波長を発光するタイプ、あるいは、連続した波長を発光するタイプのいずれでも用いることができる。
撮像部20の受光波長選択機能としては、例えば、複数の単波長フィルタを機械的駆動によって切り換える構成が採用できる。
このような構成にすれば、測定環境(外乱光状況)に応じて最もS/N比の高い波長を選択することができるので、外乱光による測定エラーを回避することができる。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は、本発明に含まれる。
前記各実施形態において、プローブ10に測定用光源として9個のLED1〜9を配置したが、必ずしも複数でなくてもよく、少なくとも1個あればよい。例えば、プローブ10にLED1〜9を設けることなく、測定用点光源をワークの測定位置に移動させて測定するようにすれば、測定用点光源としては1個でもよい。
20…撮像部(位置検出装置)、
24A,24C…光学系(第1光学系)、
24B…光学系(第2光学系)、
25A,25C…ラインセンサ(第1ラインセンサ)、
25B…ラインセンサ(第2ラインセンサ)、
30…演算制御装置(位置検出装置)、
32…プローブ演算部(位置演算部)、
61A,61B,61C…回転対称レンズ、
62A,62B,62C…集光光学部品、
63…集光素子、
64…光入射口、
65…光出射口、
66…導光路、
67…光反射面、
68…コア、
69…クラッド。
Claims (4)
- 任意の位置に移動可能な測定用点光源と、前記測定用点光源からの光を受光し、該測定用点光源の位置を検出する位置検出装置とを備え、
前記位置検出装置は、互いに離間して配置され前記測定用点光源からの光を第1軸上に集光する一対の第1光学系と、この各第1光学系によって前記第1軸上に集光された光を受光し第1軸上における輝度分布を表す第1輝度分布信号を出力する一対の第1ラインセンサと、前記測定用点光源からの光を前記第1軸とは直交する第2軸上に集光する第2光学系と、この第2光学系によって前記第2軸上に集光された光を受光し第2軸上における輝度分布を表す第2輝度分布信号を出力する第2ラインセンサ、前記第1輝度分布信号および第2輝度分布信号に基づいて前記測定用点光源の座標を演算する位置演算部を含んで構成された三次元測定システムにおいて、
前記第1光学系および第2光学系は、回転対称レンズと、この回転対称レンズと前記各ラインセンサとの間に配置され、該回転対称レンズの点像を前記回転対称レンズの光軸及び前記ラインセンサの画素配列方向に対して直交する方向へ屈曲させて前記ラインセンサに導光する集光光学部品とから構成されている、
ことを特徴とする三次元測定システム。 - 請求項1に記載の三次元測定システムにおいて、
前記集光光学部品は、前記ラインセンサを構成する画素の配列方向に沿って積層された複数の集光素子によって構成され、
前記各集光素子は、前記回転対称レンズ側に矩形形状の光入射口を有し、前記ラインセンサ側に矩形形状の光射出口を有するとともに、これら光入射口から光射出口に向かって断面矩形の導光路を有し、
前記導光路は、前記光入射口および光射出口を結ぶ四側外周壁が光反射面によって形成されるとともに、前記画素の配列方向寸法が前記画素の幅寸法以下で、かつ、前記回転対称レンズの光軸および前記画素の配列方向に対して直交する方向の寸法が、前記光入射口から光射出口に向かうに従って次第に小さくなる寸法に形成されている、
ことを特徴とする三次元測定システム。 - 請求項2に記載の三次元測定システムにおいて、
前記集光素子の導光路は、中心に配置された断面矩形状のコアと、このコアの外周面を覆うクラッドとを有し、前記コアの屈折率が前記クラッドに比べて高く形成されている、
ことを特徴とする三次元測定システム。 - 請求項2に記載の三次元測定システムにおいて、
前記集光素子の導光路は、光入射口および光射出口を結ぶ四側外周壁が反射板によって形成されるとともに、内部が中空に形成されている、
ことを特徴とする三次元測定システム。
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JP2016205901A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 株式会社フジタ | 検査対象物の位置認識装置 |
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