JPWO2021220752A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2021220752A5 JPWO2021220752A5 JP2022517591A JP2022517591A JPWO2021220752A5 JP WO2021220752 A5 JPWO2021220752 A5 JP WO2021220752A5 JP 2022517591 A JP2022517591 A JP 2022517591A JP 2022517591 A JP2022517591 A JP 2022517591A JP WO2021220752 A5 JPWO2021220752 A5 JP WO2021220752A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- entrance
- shutter
- exterior cover
- processing tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024060073A JP7786857B2 (ja) | 2020-05-01 | 2024-04-03 | 加工装置の加工具の取付方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020081378 | 2020-05-01 | ||
| JP2020081378 | 2020-05-01 | ||
| PCT/JP2021/014826 WO2021220752A1 (ja) | 2020-05-01 | 2021-04-07 | 加工装置、及び加工装置の加工具の取付け方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024060073A Division JP7786857B2 (ja) | 2020-05-01 | 2024-04-03 | 加工装置の加工具の取付方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2021220752A1 JPWO2021220752A1 (https=) | 2021-11-04 |
| JPWO2021220752A5 true JPWO2021220752A5 (https=) | 2023-01-23 |
| JP7467611B2 JP7467611B2 (ja) | 2024-04-15 |
Family
ID=78331522
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022517591A Active JP7467611B2 (ja) | 2020-05-01 | 2021-04-07 | 加工システム |
| JP2024060073A Active JP7786857B2 (ja) | 2020-05-01 | 2024-04-03 | 加工装置の加工具の取付方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024060073A Active JP7786857B2 (ja) | 2020-05-01 | 2024-04-03 | 加工装置の加工具の取付方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230182253A1 (https=) |
| JP (2) | JP7467611B2 (https=) |
| WO (1) | WO2021220752A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW202439517A (zh) | 2023-03-16 | 2024-10-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 維護作業支援系統、控制方法及控制程式 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3483648B2 (ja) * | 1995-03-24 | 2004-01-06 | 東芝機械株式会社 | 研磨装置 |
| JP2773745B2 (ja) * | 1997-05-08 | 1998-07-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 切屑排出装置を備えた正面フライス |
| JP3883256B2 (ja) * | 1997-06-06 | 2007-02-21 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング装置 |
| JP3548416B2 (ja) * | 1998-03-24 | 2004-07-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP2000052185A (ja) * | 1998-08-10 | 2000-02-22 | Brother Ind Ltd | 工作機械用洗浄装置 |
| JP2000343310A (ja) | 1999-06-01 | 2000-12-12 | Mori Seiki Co Ltd | 工具折損検出装置 |
| EP1112812A3 (en) * | 1999-12-27 | 2003-10-15 | Nippei Toyama Corporation | Grinding spindle with dual tool mounting means |
| US6665580B1 (en) * | 2000-09-18 | 2003-12-16 | Thermwood Corporation | Automatic cutting tool management system for a computer numeric controlled machining system |
| JP4699111B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2011-06-08 | 有限会社ニューリー研究所 | 自動工具交換装置および加工機械 |
| US7494929B2 (en) * | 2006-04-27 | 2009-02-24 | Applied Materials, Inc. | Automatic gain control |
| JP2008080409A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Nippei Toyama Corp | 工作機械の加工ライン |
| JP4984135B2 (ja) | 2007-03-29 | 2012-07-25 | ブラザー工業株式会社 | 工作機械、工具マガジン制御プログラム及び記録媒体 |
| JP5332153B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2013-11-06 | 村田機械株式会社 | ローダ付き工作機械 |
| JP2012168742A (ja) | 2011-02-15 | 2012-09-06 | Hitachi Ltd | 砥石摩耗補正機能を備えるマシニングセンタ |
| WO2014084376A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | コマツNtc株式会社 | 工作機械 |
| JP5689504B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2015-03-25 | ファナック株式会社 | サーボ自動開閉扉を備えた加工システム |
| JP2015093367A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | トヨタ自動車株式会社 | 加工室の扉開閉制御方法 |
| US9881820B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Front opening ring pod |
| JP6309939B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2018-04-11 | ファナック株式会社 | ワークが加工される空間を画定するエンクロージャを備える加工システム |
| JP6836143B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2021-02-24 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械 |
| JP6270297B1 (ja) | 2017-01-06 | 2018-01-31 | 西島株式会社 | 丸鋸切断機 |
| JP6860416B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2021-04-14 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| JP7126749B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-08-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP7119603B2 (ja) | 2018-06-07 | 2022-08-17 | 株式会社ジェイテクト | 加工システム及び加工方法 |
| JP6563622B1 (ja) * | 2018-09-06 | 2019-08-21 | ヤマザキマザック株式会社 | 工具保管装置、工作機械及び複合加工機械 |
-
2021
- 2021-04-07 JP JP2022517591A patent/JP7467611B2/ja active Active
- 2021-04-07 US US17/997,557 patent/US20230182253A1/en active Pending
- 2021-04-07 WO PCT/JP2021/014826 patent/WO2021220752A1/ja not_active Ceased
-
2024
- 2024-04-03 JP JP2024060073A patent/JP7786857B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2021220752A5 (https=) | ||
| TW202132931A (zh) | 具有基板載具及清洗腔室環境控制的基板處理系統、設備及方法 | |
| JP2015116639A (ja) | 無菌アイソレータ | |
| CN112828478A (zh) | 一种打孔设备 | |
| WO2020255803A1 (ja) | 工作機械 | |
| JPWO2021220753A5 (https=) | ||
| CN110639893A (zh) | 人脸识别风淋室 | |
| EP3492572A1 (en) | Germ-free glove box | |
| JP6505209B2 (ja) | 半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置 | |
| US8510904B2 (en) | Suction cleaning apparatus | |
| CN105546992B (zh) | 一种具有可升降吸尘炉盖的工业炉 | |
| CN118204317A (zh) | 蒸镀物料清洗设备和蒸镀物料清洗方法 | |
| CN212286548U (zh) | 薄片自动上下料装置 | |
| CN207480226U (zh) | 一种数控机床防护门 | |
| CN211414545U (zh) | 一种车床的自动防护门 | |
| JP2020198324A5 (https=) | ||
| JPH07213966A (ja) | 塗装ブース | |
| TWI385329B (zh) | Vacuum gate valve and its opening and closing method | |
| CN211191934U (zh) | 一种热室压铸机的安全防护机构 | |
| CN211760201U (zh) | 一种数控机床用防护罩 | |
| JP2022106817A5 (https=) | ||
| JPH07280313A (ja) | クリーン自動作業装置 | |
| CN219235767U (zh) | 切割室框架及线切割装置 | |
| CN220195882U (zh) | 一种全封闭通风柜结构 | |
| CN207508771U (zh) | Cnc机床 |