JPWO2021172592A5 - - Google Patents

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JPWO2021172592A5
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  1. 導入口と、前記導入口に連通する第１のチャンバと、前記第１のチャンバと連通する第２のチャンバと、前記第１のチャンバから前記第２のチャンバへのガスの流れを制限する通路部と、前記第２のチャンバに連通するガス排出部と、を有するケーシングと、
    前記第２のチャンバ内に配置され、ガス種に応じて異なる検出感度を有する複数のセンサ素子と
    を具備するガス検出装置。
  2. 請求項１に記載のガス検出装置であって、
    前記ケーシングは、前記複数のセンサ素子が搭載される第１の主面を有する配線基板と、前記第１の主面の周縁部に気密性を保つように取り付けられたケース本体とを有し、
    前記第１のチャンバおよび前記第２のチャンバは、前記配線基板と前記ケース本体との間に区画される
    ガス検出装置。
  3. 請求項２に記載のガス検出装置であって、
    前記導入口は、前記配線基板に設けられ、
    前記ガス排出部は、前記ケース本体に設けられる
    ガス検出装置。
  4. 請求項３に記載のガス検出装置であって、
    前記配線基板は、前記第１の主面とは反対側の第２の主面をさらに有し、
    前記導入口にはポンプ素子が設けられる
    ガス検出装置。
  5. 請求項２～４のいずれか１つに記載のガス検出装置であって、
    前記ケース本体は、前記第１の主面に固定される開口端部と、前記第１の主面に対向し前記開口端部から第１の高さで形成された第１の底面と、前記第１の主面に対向し前記開口端部から前記第１の高さよりも低い第２の高さで形成された第２の底面とを有する
    ガス検出装置。
  6. 請求項２～４のいずれか１つに記載のガス検出装置であって、
    前記ケース本体は、前記第１の主面に対向する底部を有し、
    前記通路部は、前記底部または前記第１の主面に立設される壁状突起部を有する
    ガス検出装置。
  7. 請求項１に記載のガス検出装置であって、
    前記ケーシングは、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとを含むガス導入空間を有する第１のケース本体と、前記第１のケース本体に取り付けられ、前記ガス導入空間を閉塞する第２のケース本体と、を有し、
    前記複数のセンサ素子は、前記第１のケース本体または前記第２のケース本体に配置される
    ガス検出装置。
  8. 請求項７に記載のガス検出装置であって、
    前記第１のケース本体は、前記第２のケース本体に固定される開口端部と、前記開口端部から第１の高さで形成された第１の底面と、前記開口端部から前記第１の高さよりも低い第２の高さで形成された第２の底面とを有する
    ガス検出装置。
  9. 請求項５又は８に記載のガス検出装置であって、
    前記第１の高さと前記第２の高さとの差は、前記第１の高さの半分以下の大きさである
    ガス検出装置。
  10. 請求項１～９のいずれか１つに記載のガス検出装置であって、
    前記ガス排出部は、前記第２のチャンバよりも小さい流路断面積を有する
    ガス検出装置。
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