JPWO2021100605A5 - - Google Patents
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まず、SOI基板や支持基板等を用いて、光電変換部PD1,PD2及びそれらに対応する画素回路、配線、貫通電極等を形成した半導体基板400を準備する。半導体基板400は、半導体基板300上に、電極216、光電変換膜212および電極210を半導体基板300側からこの順に含む基板である。半導体基板400は、本開示の「第2の基板」の一具体例に相当する。半導体基板300は、本開示の「第2の半導体基板」の一具体例に相当する。半導体基板400の表面には、電極210を封止する封止膜204が形成されている。このようにして、図7の下側に示される、半導体基板400を得る。
Applications Claiming Priority (2)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JPWO2021100605A5 true JPWO2021100605A5 (ja) | 2023-10-05 |
Family
ID=75981273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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-
2020
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- 2020-11-12 JP JP2021558338A patent/JPWO2021100605A1/ja active Pending
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- 2020-11-12 US US17/778,227 patent/US20220415969A1/en active Pending
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