JPWO2020243112A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. ５０重量パーセント～８０重量パーセントの多層カーボンナノ繊維及び２０重量パーセント～５０重量パーセントの単層または数層カーボンナノ繊維を合計１００重量パーセントになるようにして含む、カーボンナノ繊維の第一層
   を備える、ナノ繊維膜であって、
   前記多層カーボンナノ繊維は、４層～２０層を備え、
   前記数層カーボンナノ繊維は、２層及び／または３層を備え、
   前記単層カーボンナノ繊維は、１層を備える、ナノ繊維膜。
2. ５０重量パーセント～８０重量パーセントの多層カーボンナノ繊維及び２０重量パーセント～５０重量パーセントの単層または数層カーボンナノ繊維を合計１００重量パーセントになるようにして含む、カーボンナノ繊維の第二層、ならびに
   前記第一層と前記第二層の間のカーボンナノ繊維の第三層であって、５０重量パーセント以上の単層及び／または数層カーボンナノ繊維及び５０重量パーセント未満の多層カーボンナノ繊維を、合計が１００重量パーセントになるようにして含む、前記第三層
   をさらに備える、請求項１に記載のナノ繊維膜。
3. 前記多層カーボンナノ繊維は、６ｎｍ～１００ｎｍの断面直径及び２５０μｍ～４００μｍの長さを備え、
   前記数層カーボンナノ繊維は、２ｎｍ～６ｎｍの断面直径及び０．５μｍ～３０μｍの長さを備え、ならびに
   前記単層カーボンナノ繊維は、０．２ｎｍ～２ｎｍの断面直径及び０．５μｍ～３０μｍの長さを備える、
   請求項１または請求項２に記載のナノ繊維膜。
4. 前記第一層、前記第二層、及び前記第三層は、ランダムに配向及びランダムに分布した、多層カーボンナノ繊維、数層カーボンナノ繊維、及び単層カーボンナノ繊維を含む、請求項２に記載のナノ繊維膜。
5. 露出面は、大部分が多層カーボンナノ繊維で構成される前記第一層または前記第二層のうち１つを含む、請求項１または請求項２に記載のナノ繊維膜。
6. 第一露出面は、多層カーボンナノ繊維が大部分を占めるナノ繊維フィルムを備え、及び第二露出面は、数層及び／または単層カーボンナノ繊維が大部分を占めるナノ繊維フィルムを備える、請求項１または請求項２に記載のナノ繊維膜。
7. カーボンナノ繊維の前記第三層の周辺縁と接触しているが、前記第三層の自立部分とは接触していない枠をさらに備える、請求項２に記載のナノ繊維膜。
8. 前記枠と前記第三層の間に、カーボンナノ繊維の第四層をさらに備え、前記第四層は、大部分が数層及び単層カーボンナノ繊維で構成されている、請求項７に記載のナノ繊維膜。
9. カーボンナノ繊維の前記層の１つまたは複数は、フィルムを構成する、請求項１に記載のナノ繊維膜。
10. 前記層のうち少なくとも１つは、均一であって、その直径を横断する厚さの変動は５０パーセント未満である、請求項２または請求項８に記載のナノ繊維膜。
11. 前記層または前記膜のうち少なくとも１つは、不均一であって、厚さが１０パーセントより大きく変動する、請求項２または請求項８に記載のナノ繊維膜。
12. 前記層のうち少なくとも１つは、第一領域及び第二領域を有し、前記第一領域が有するナノ繊維の第一面密度は、前記第二領域のナノ繊維の第二面密度の少なくとも２倍の高さである、請求項２または請求項８に記載のナノ繊維膜。
13. 前記第一領域は、前記膜のマージンにある、請求項１２に記載のナノ繊維膜。
14. 請求項１に記載のナノ繊維膜を含むペリクル膜であって、波長５５０ｎｍを有する放射線の透過率が８５パーセント超を呈する、前記ペリクル膜。
15. シートの平面に整列した多層カーボンナノ繊維からなる前記シートを含むカーボンナノ繊維の第一層、ならびに
    ５０重量パーセント～８０重量パーセントの多層カーボンナノ繊維及び２０重量パーセント～５０重量パーセントの単層または数層カーボンナノ繊維を合計が１００重量パーセントになるようにして含む、カーボンナノ繊維の第二層
    を備える、ナノ繊維膜であって、
    前記多層カーボンナノ繊維は、４層～２０層を備え、
    前記数層カーボンナノ繊維は、２層及び／または３層を備え、
    前記単層カーボンナノ繊維は、１層を備える、ナノ繊維膜。
16. 前記第一層と反対の前記第二層の側にカーボンナノ繊維の第三層をさらに有し、前記第三層は、
    ５０重量パーセント超の単層または数層カーボンナノ繊維を含む層、及び
    前記シートの平面に整列した多層カーボンナノ繊維の第二シート、のうち１つを備える、請求項１５に記載のナノ繊維膜。