JPWO2020174665A1 - マイケルソン干渉計およびそれを備えるフーリエ変換赤外分光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係るフーリエ変換赤外分光装置の基本的な構成を示すブロック図である。図1に示すように、フーリエ変換赤外分光装置100は、主としてマイケルソン干渉計1、試料室2および赤外光検出器3を備えるとともに、外部装置200に接続可能に構成される。
図3は、マイケルソン干渉計1の制御装置60における機能的な構成を示すブロック図である。図3に示すように、制御装置60は、機能部として、光源制御部61、移動制御部62、傾き検出部63、調整制御部64、判定部65、判定結果出力部66および取得部67を含む。これらの機能部は、制御装置60のCPUが予めメモリに記憶された劣化判定処理プログラムを実行することにより実現される。なお、制御装置60に含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
図4は、図3の制御装置60による移動機構41の劣化判定処理の一例を示すフローチャートである。移動機構41の劣化判定処理は、例えば、フーリエ変換赤外分光装置100の電源投入時、またはフーリエ変換赤外分光装置100における動作特性の自己診断時に開始される。なお、フーリエ変換赤外分光装置100は、移動機構41の劣化判定処理を指令するための操作部を有してもよい。この場合、移動機構41の劣化判定処理は、使用者による操作部の操作に応答して開始されてもよい。
図5は、移動鏡40の傾きの変化の具体例を示す図である。図5(a)に移動機構41が劣化していない場合の移動鏡40の傾きの変化が傾き調整機構31を駆動する一の駆動信号の電圧値で示される。また、図5(b)に移動機構41が劣化している場合の移動鏡40の傾きの変化が傾き調整機構31を駆動する一の駆動信号の電圧値で示される。図5(a),(b)においては、縦軸は電圧値を示し、横軸は移動可能範囲MAにおける位置を表す。図5(a),(b)の縦軸のダイナミックレンジは等しい。
上記のマイケルソン干渉計1においては、移動機構41による移動鏡40の移動中における移動鏡40の傾きが傾き検出部63により検出される。検出された傾きの変化に基づいて移動機構41の劣化が判定される。それにより、使用者は、判定結果に基づいて移動機構41の交換時期を容易に認識することができる。
(a)上記実施の形態においては、移動時における移動鏡40の傾きの変化に応じて固定鏡30の傾きが傾き調整機構31により調整されるが、本発明はこれに限定されない。フーリエ変換赤外分光装置100には、傾き調整機構31が設けられなくてもよい。この場合、傾き調整機構31の駆動信号が生成されない場合でも、移動可能範囲MA内の複数の位置に対応して算出された複数の位相差のばらつきに基づいて移動機構41の劣化を判定することができる。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明する。
Claims (7)
- 移動鏡と、
前記移動鏡を一方向およびその逆方向に移動させる鏡移動部と、
前記鏡移動部による前記移動鏡の移動中における前記移動鏡の傾きを検出する傾き検出部と、
前記傾き検出部により検出された傾きの変化に基づいて前記鏡移動部の劣化を判定する判定部とを備える、マイケルソン干渉計。 - 固定鏡と、
前記移動鏡の傾きを検出するための検出用光を出射する検出用光出射部と、
複数の受光領域に分割された受光面を有する受光部と、
前記検出用光出射部から出射された検出用光を分割して前記固定鏡および前記移動鏡に導くとともに、前記固定鏡および前記移動鏡でそれぞれ反射された検出用光から検出用干渉光を生成するように構成された光学素子とをさらに備え、
前記受光部は、前記光学素子において生成された前記検出用干渉光を前記受光面で受光することにより、前記複数の受光領域に対応する複数の受光信号をそれぞれ出力し、
前記傾き検出部は、前記鏡移動部による前記移動鏡の移動中に、前記受光部から出力される複数の受光信号に基づいて前記複数の受光領域にそれぞれ入射する複数の検出用干渉光間の位相差を前記移動鏡の傾きとして検出する、請求項1記載のマイケルソン干渉計。 - 前記固定鏡の傾きを調整する傾き調整部と、
前記移動鏡の傾きに応じて前記固定鏡の傾きが調整されるように、前記傾き検出部により検出された位相差に基づいて前記傾き調整部を駆動するための駆動信号を変化させる調整制御部をさらに備え、
前記判定部は、前記調整制御部により変化する駆動信号に基づいて前記鏡移動部の劣化を判定する、請求項2記載のマイケルソン干渉計。 - 前記判定部は、前記移動鏡の移動経路上の複数の位置にそれぞれ対応して生成された駆動信号のばらつきの大きさを前記移動鏡の傾きの変化量として算出し、算出された傾きの変化量に基づいて前記鏡移動部の劣化を判定する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のマイケルソン干渉計。
- 前記判定部による前記鏡移動部の劣化の判定時に、前記移動鏡が当該移動鏡の移動可能な範囲の全体を移動するように前記鏡移動部を制御する移動制御部をさらに備え、
前記判定部は、前記移動鏡の移動可能な範囲内の予め定められた単位部分ごとに前記傾きの変化量を算出する、請求項4記載のマイケルソン干渉計。 - 前記鏡移動部の劣化の判定結果を出力する判定結果出力部をさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載のマイケルソン干渉計。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のマイケルソン干渉計を備える、フーリエ変換赤外分光装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168522A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Shimadzu Corp | 干渉計の調整装置 |
JPS6459019A (en) * | 1987-08-29 | 1989-03-06 | Shimadzu Corp | Fourier transformation type spectrophotometer |
JP2012042257A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 平行移動機構、干渉計および分光器 |
WO2012064655A1 (en) * | 2010-11-11 | 2012-05-18 | Thermo Electron Scientific Instruments Llc | Interferometer velocity control of beamsplitter and moving mirrors |
WO2012073681A1 (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-07 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | レーザ光源、干渉計および分光器 |
WO2014132379A1 (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-04 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
JP2014182065A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
JP2016142527A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168522A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Shimadzu Corp | 干渉計の調整装置 |
JPS6459019A (en) * | 1987-08-29 | 1989-03-06 | Shimadzu Corp | Fourier transformation type spectrophotometer |
JP2012042257A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 平行移動機構、干渉計および分光器 |
WO2012064655A1 (en) * | 2010-11-11 | 2012-05-18 | Thermo Electron Scientific Instruments Llc | Interferometer velocity control of beamsplitter and moving mirrors |
WO2012073681A1 (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-07 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | レーザ光源、干渉計および分光器 |
WO2014132379A1 (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-04 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
JP2014182065A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
JP2016142527A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
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