JP5947193B2 - 干渉計、分光分析装置及び干渉計の制御プログラム - Google Patents
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Description
一方、特許文献1にも記載されているように、位置情報を時間微分すれば速度情報が得られるので、速度情報で反射ミラーの往復移動を制御することも可能ではあるが、反転時をも速度情報のみで反射ミラーの移動を制御すると、反転運動時に反射ミラーが低速で移動するので、位置センサの分解能に起因する量子化ノイズの影響により、反射ミラーの反転位置を正確に制御することが難しい。反射ミラーの反転位置がずれると、反射ミラーの直線運動時の移動距離が短くなったり長くなったりするので、干渉計の装置性能が悪化するという問題が生じる。
また、この量子化ノイズの影響を減らす方法として、センサの分解能を向上することが挙げられるが、コスト等の制約からセンサの分解能の向上にも限界がある。
特に、FTIRに用いられる干渉計では、直線運動時に設定される一定のサンプリング時間において、反射ミラーの移動速度を等速にすることが求められるが、本発明の干渉計では、直線運動時に速度情報を用いて精密に等速移動させて、一定のサンプリング時間において反射ミラーの移動速度を精度よく等速にすることができるため、結果として一定距離毎に干渉波を得ることができ、FTIRの測定精度を向上させることができる。また、高分解能のセンサを用いずに高精度に移動機構を制御することができるので、コストを抑えることができる。
これにより、反転運動時は、位置情報に基づいて移動機構を制御するので、速度情報に基づく制御よりも量子化ノイズの影響を低減させて、常に所定の同位置で移動機構を反転させて干渉計の装置性能を向上させることができる。
特に、FTIRに用いられる干渉計では、干渉波を得る必要のない反転運動時において、より正確な位置制御ができるので、所定の定位置で反転させることができ、干渉波の誤差を抑えてFTIRの測定精度をより向上させることができる。
なお、第2フィードバック制御部102における目標位置REFは、この図3に示す目標位置REFと同様のものである。
具体的には、第1フィードバックループAにおいて、検出速度が目標速度の所定割合(例えば90%)以下、又は、検出速度が所定速度以下となると、スイッチ制御部が直線運動から反転運動への切り替え点と判断し、スイッチ部106を制御して、第1フィードバックループAから第2フィードバックループBへと切り替えるものである。
また、第2フィードバックループBにおいて、検出速度が目標速度の所定割合(例えば90%)以上、又は、検出速度が所定速度以上となると、スイッチ制御部が反転運動から直線運動への切り替え点と判断し、スイッチ部106を制御して、第2フィードバックループBから第1フィードバックループAへと切り替えるものである。
初動制御後、直線運動時の反射ミラー8の移動速度が測定を開始できる程度に安定すると、制御装置10が、直線運動を第1フィードバックループAで制御し、反転運動を第2フィードバックループBで制御する。
移動機構9の位置を位置センサが受信すると、第1フィードバック制御部101は、この検出位置を用いて速度制御信号を生成して加算部105へ出力する。このとき、フィードフォワード制御部103は、目標位置制御信号を生成して加算部105へ出力する。加算部105は、速度制御信号及び目標位置制御信号を加算した加算制御信号を生成する。この加算制御信号は移動機構9に入力され、移動機構9はこの信号に従って駆動する。
ここで、第1フィードバック制御部101に入力される目標位置REFは、前述したように時間微分すると一定の目標速度となるので、加算部105が生成した加算制御信号が入力された移動機構9は、図4の模式図に示すように等速運動を行う。
移動機構9の位置を位置センサが受信すると、第2フィードバック制御部102は、位置制御信号を生成する。この位置制御信号は移動機構9へ入力されて、移動機構9はこの位置制御信号に沿って移動する。
ここで、第2フィードバック制御部102に入力される目標位置REFは、予め定めた所定位置であるので、第2フィードバック制御部102が生成する位置制御信号が入力された移動機構9は、図4の模式図に示すように反転運動を行う。
そして、反転運動時に、位置情報に基づいて移動機構9を制御するので、速度情報に基づく制御よりも量子化ノイズの影響を低減させて、常に所定の同位置で移動機構9を反転させて干渉計2の装置性能を向上させることができる。
そのため、上述した構成を備える干渉計2を用いたFTIRは、直線運動時に速度情報を用いて精密に反射ミラー8を等速移動させることができるので、直線運動時に設定される一定のサンプリング時間において、反射ミラー8の移動速度を精度よく等速にすることができ、結果として一定距離毎に干渉波を得ることができる。また、干渉波を得る必要のない反転運動時においては、位置情報を用いてより正確な位置制御ができるので、所定の定位置で反転させて、干渉波の誤差を抑えることができる。従って、本発明の干渉計2を用いたFTIRは、測定精度を向上させることができる。
さらに、高分解能のセンサを用いずに高精度に移動機構9を制御することができるので、コストを抑えることができる。
この場合、例えばスイッチ制御部は、検出位置が予め定めた所定範囲(例えば、往復中心から所定距離の範囲)を超えると、直線運動から反転運動への切り替え点と判断し、前記移動機構9の制御を第1フィードバックループAから第2フィードバックループBに切り替える。そして、検出位置が予め定めた所定範囲(例えば、往復中心から所定距離の範囲)内であると、スイッチ制御部は、反転運動から直線運動への切り替え点と判断し、前記移動機構9の制御を、第2フィードバックループBから第1フィードバックループAに切り替える。
2・・・干渉計
8・・・反射ミラー
9・・・移動機構
10・・制御装置
101・第1フィードバック制御部
102・第2フィードバック制御部
103・フィードフォワード制御部
106・スイッチ部
Claims (6)
- 反射ミラーと、
前記反射ミラーを直線運動及び反転運動させて往復させる移動機構と、
前記移動機構を制御する制御装置とを備える干渉計であって、
前記制御装置が、
前記反射ミラーの検出速度と予め設定した一定の目標速度との速度偏差に演算処理を施し、その演算処理で生成した速度制御信号を入力して前記移動機構を制御する第1フィードバック制御部と、
前記反射ミラーの検出位置と予め設定した時間変化する目標位置との位置偏差に演算処理を施し、その演算処理で生成した位置制御信号を入力して前記移動機構を制御する第2フィードバック制御部とを有し、
前記反射ミラーの直線運動を判断した場合、第1フィードバック制御部によって、前記移動機構が制御される第1フィードバックループを形成し、前記反射ミラーの反転運動を判断した場合、第2フィードバック制御部によって、前記移動機構が制御される第2フィードバックループを形成する干渉計。 - 前記制御装置が、前記目標位置信号に演算処理を施して目標位置制御信号を生成するフィードフォワード制御部をさらに有し、
前記反射ミラーの直線運動時において、前記第1フィードバック制御部が生成した前記速度制御信号に前記フィードフォワード制御部が生成した前記目標位置制御信号を加算して前記移動機構に入力する請求項1記載の干渉計。 - 前記制御装置が、
前記移動機構の制御を第1フィードバックループ又は第2フィードバックループのいずれか一方から他方に切り替えるスイッチ部と、
前記スイッチ部を前記反射ミラーの検出位置又は検出速度のいずれか一方を用いて制御するスイッチ制御部とをさらに有し、
前記スイッチ制御部が前記スイッチ部を制御して、前記反射ミラーを直線運動から反転運動に切り替えるときに、第1フィードバックループから第2フィードバックループに切り替え、前記反射ミラーを反転運動から直線運動に切り替えるときに、第2フィードバックループから第1フィードバックループに切り替える請求項1又は2記載の干渉計。 - 前記第1フィードバックループが形成されているときに、前記第2フィードバック制御部が、前記位置制御信号を生成する前記演算処理を行い、
前記第2フィードバックループが形成されているときに、前記第1フィードバック制御部が、前記速度制御信号を生成する前記演算処理を行う請求項1乃至3何れかに記載の干渉計。 - 請求項1乃至4何れかに記載の干渉計を有する分光分析装置。
- 反射ミラーと、前記反射ミラーを直線運動及び反転運動させて往復させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御装置とを有する干渉計の制御プログラムであって、
前記反射ミラーの直線運動を判断した場合、前記反射ミラーの検出速度と予め設定された一定の目標速度との速度偏差に演算処理を施して、その演算処理により生成された速度制御信号を前記移動機構にフィードバックする第1フィードバックステップと、
前記反射ミラーの反転運動を判断した場合、前記反射ミラーの検出位置と予め設定した時間変化する目標位置との位置偏差に演算処理を施して、その演算処理で生成された位置制御信号を前記移動機構にフィードバックする第2フィードバックステップと、をコンピュータに実行させる干渉計の制御プログラム。
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