JPWO2020095514A1 - 距離センサ装置、制御方法及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

被検体からの反射光を受光する受光部を有し、受光部は、受光素子部と、受光素子部に駆動電圧を供給する駆動部とを有し、駆動電圧により、受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きく、且つ、時間の経過に伴って印加電圧が大きくなるように構成されている距離センサ装置である。図1

Description

本開示は、距離センサ装置、制御方法及び電子機器に関する。
従来から、光を照射しその反射光を受光することにより、光を反射した物体(以下、被検体と適宜、称する)に関する距離情報を取得する装置が提案されている(例えば、下記特許文献1を参照のこと。)。
特開2015−117970号公報
このような分野では、被検体までの距離に関係なく、当該距離を高精度に計測(測定)できることが望まれる。
したがって、本開示は、被検体までの距離を高精度に計測できる距離センサ装置、制御方法及び電子機器を提供することを目的の一つとする。
本開示は、例えば、
被検体からの反射光を受光する受光部を有し、
受光部は、受光素子部と、受光素子部に駆動電圧を供給する駆動部とを有し、
駆動電圧により、受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きく、且つ、時間の経過に伴って印加電圧が大きくなるように構成されている距離センサ装置である。
本開示は、上述した距離センサ装置を有する電子機器でも良い。
本開示は、例えば、
受光部が、被検体からの反射光を受光し、
駆動部が、受光部が有する受光素子部に駆動電圧を供給し、
駆動電圧により、受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きくされ、且つ、時間の経過に伴って印加電圧が大きくされる距離センサ装置の制御方法である。
図1は、実施の形態にかかる距離センサ装置の構成例を説明するためのブロック図である。 図2は、実施の形態にかかるLPF及びHPFの接続例を説明するための図である。 図3は、実施の形態にかかるLPF及びHPFの周波数特性を説明するための図である。 図4は、実施の形態にかかるHPFを通過するノイズの一例を説明するための図である。 図5は、実施の形態にかかる距離センサ装置の動作例を説明するための図である。 図6は、実施の形態で得られる動作の一例を説明する際に参照される図である。 図7は、実施の形態にかかる受光部からの出力信号の一例を示す図である。 図8は、距離測定装置を応用した電子機器の一例を説明するための図である。 図9は、変形例を説明するための図である。 図10は、応用例に係る車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 図11は、応用例に係る車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
以下、本開示の実施の形態等について図面を参照しながら説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
<一般的な技術に関する説明>
<実施の形態>
<変形例>
<応用例>
以下に説明する実施の形態等は本開示の好適な具体例であり、本開示の内容がこれらの実施の形態等に限定されるものではない。
[一般的な技術に関する説明]
始めに、本開示の理解を容易とするために、一般的な技術に関して説明する。パルスレーザを被検体に照射して散乱光の飛行時間を計測することにより、被検体までの距離を計測するToF(Time of Flight)方式の距離センサ装置は地形測定、自動運転における障害物測定、ジャスチャー検出、生産ラインにおける不良検査など多岐の用途に利用されている。
距離センサ装置の構造は用途に応じて種々の提案があり、これらの提案では、測定レンジ、距離精度、繰返し周波数、利用環境(特に屋外利用の可否)の点が考慮されている。受光素子には感度が求められるため、増倍率が〜103のAPD(Avalanche photo diode)の他、近年では単一光子検出が可能な増倍率が105〜106のSPAD(Single photon avalanche diode)やSiPM(Silicon Photomultiplier)と呼ばれる複数のSPADセルを電気的に接続した素子も利用されている。
APDはリニアモードで動作し、また受光後のリチャージタイムが短く、ノイズと被検体からの散乱光、あるいは、複数の距離にある被検体からの散乱光を時間軸上で分離することが可能となる。照射強度が高く、また、受光系の光の取り込み効率が大きい場合に優れている。SPADやSiPMは、ガイガーモードで動作するため散乱光強度が弱い場合でも十分な電気信号を得る事ができる反面、リチャージタイムが長く、憂慮すべき検出不可期間が存在する。特に、散乱光の取り込み効率は測定距離の二乗に反比例して低下するため、長距離用途に用いられることが多い。
ライン走査や2次元走査などの走査光学系を備えた距離センサ装置では走査光学系のミラー面積がアパーチャとして機能する。走査光学系のミラー径、振り角、繰返し周波数はトレードオフの関係を持ち、振り角が大きく、また繰返し周波数が大きくなるにつれてミラー径が小さくなり、その結果散乱光の取り込み効率が低下する。
何れの受光素子においても太陽光などの外光の影響を受けやすく、特に増倍率が大きいSPADやSiPMでは対策が必要になる。出射光路と散乱光の入射光路が同軸上にある同軸光学系では前記アパーチャにより非同軸上の光の取り込み効率が大幅に小さくなるため外光の影響を抑制できる。しかしながら、同軸光学系では出射光の距離センサ内部での散乱によりSPADやSiPMが誤動作することが知られている。内部散乱で励起されたSPADはアバランシェ増幅による起電圧によってブレークダウン電圧以下になり、アバランシェ増幅停止後はクエンチング抵抗を介してリチャージされる。しかしながら欠陥等にトラップされた電子によるアフターパルスによるアバランシェ増幅が生じるためリチャージタイムはSPADのキャパシタとクエンチング抵抗の積から求まる時定数に従った時間よりも長くなる。長距離用途ではこのようなリチャージタイムに起因した検出不可期間は問題にならない。中距離用途ではより短いリチャージタイムが求められ、例えば上述した特許文献1では、パルスレーザ照射のタイミングで駆動電圧をブレークダウン電圧以下に下げることで、内部散乱光によるアバランシェ増幅が起こらず、前述のアフターパルスが生じない。その後駆動電圧をブレークダウン電圧以上の設定値まで回復している。これにより検出不可期間はSPADのキャパシタとクエンチング抵抗の積から求まる時定数に従う。なお、SPADの時定数は数十ナノ秒から数百ナノ秒である。
例えばナチュラルUI(User Interface)など、人の動的活動における自然なジェスチャー入力の検出に距離センサを用いる場合、出射光を高振り角、高繰返し周波数のミラーを使用し、且つ、十数センチメートルの近距離から十数メートルの中距離までを測距することが必要である。また、外光耐性も求められるため、同軸光学系であって、且つガイガーモードによる高感度計測が必要になる。内部散乱光による検出不可期間は数ナノ秒以内であることが求められ、例えば、測定可能最短距離が15センチメートルであってはレーザ出射タイミング以降の検出不可期間は1ナノ秒である。特許文献1に記載の技術のようにSPADの駆動電圧をオーバ電圧以下から駆動電圧までスイッチングする手法ではSPADの時定数から求まるリチャージタイムが検出不可期間となり、数十ナノ秒以上計測できないという問題がある。従って、リチャージタイムは設けないほうが好ましい。以上の点を踏まえ、実施の形態について詳細に説明する。
<実施の形態>
[距離センサ装置の構成例]
(全体の構成例)
図1は、実施の形態にかかる距離センサ装置(距離センサ装置1)の構成例を説明するためのブロック図である。図1に示すように、概略的には、距離センサ装置1から出射されたレーザ光が基準光L1として測距対象である被検体30に照射され、被検体30からの反射光L2(散乱光)が距離センサ装置1に受光される。このように出射光と反射光が同じ光路を通る構成は、同軸光学系と称される。そして、距離センサ装置1により被検体30までの距離が測定される。
距離センサ装置1は、例えば、制御部11、光源駆動部12、半導体レーザ13、光合波部14、走査駆動部15、光走査部16、受光部21A、受光部21B、増幅部17、計測部18及び演算部19を有している。
制御部11は、CPU(Central Processing Unit)等から構成されており、距離センサ装置1の各部を統括的に制御する。制御部11は、不図示のROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)を有している。ROMには、制御部11により実行されるプログラムが格納されている。RAMは、制御部11によってプログラムが実行される際のワークメモリや、データの一時記憶領域として使用される。
光源駆動部12は、制御部11による制御に応じて、半導体レーザ13を駆動する。例えば、光源駆動部12は、制御部11からタイミング信号を受信した場合に、半導体レーザ13を駆動する。
発光部の一例である半導体レーザ13は、光源駆動部12による駆動制御に応じて半導体レーザを駆動しパルスレーザを出射する。なお、パルスレーザが出射された正確なタイミングが半導体レーザ13から制御部11に供給されるようにしても良い。
半導体レーザ13から出射されたパルスレーザは、コリメータレンズやミラー等の光学部位(不図示)及び光合波部14を通る。光合波部14は、光路を変更するものであり、ハーフミラーやビームスプリッタ等を適用することができる。
走査駆動部15は、光走査部16を所望の周波数および振り角で動作させる。走査駆動部15は、例えば、制御部11の制御に応じて動作する。
光走査部16は、走査駆動部15による駆動制御に応じて動作することにより、光の方向を走査するものである。光走査部16が走査駆動部15による駆動制御に応じて1次元ないしは2次元に走査しながら測距することにより、一方向(0次元)の距離情報に限定されることなく、1次元面、2次元面若しくは3次元面内の距離情報を取得することができる。光走査部16としては、ガルバノミラーやポリゴンミラーといった回転式ミラーの他、小型化が可能であり高速駆動が可能であるMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーを適用することができる。なお、光走査部16と被検体30との間に窓があっても良い。
なお、レーザ照射タイミングと光走査部16の動作が同期してあっても良いし、非同期であっても良い。光走査部16の位置や角度を示す信号は、走査駆動部15から制御部11に供給される。
受光部21Aは、被検体30からの反射光L2を受光する。受光部21Aの詳細については後述する。受光部21Aからの出力信号SA(例えば、電圧)が増幅部17に供給される。他の受光部の一例である受光部21Bは、光合波部14により分波された基準光L1を受光する。受光部21Bからの出力信号SB(例えば、電圧)が増幅部17に供給される。受光部21Bは、PIN-PD、APD、SiPM等の受光素子を有する受光素子部を有している。なお、受光部21Bの構成は、受光部21Aと同一でも良いし、異なっていても良い。
増幅部17は、出力信号SA及び出力信号SBのそれぞれを所定の増幅率でもって増幅したり、波形成形する回路である。増幅部17としては、例えば、増幅後の電圧が所定の制限値を超える場合には、当該制限値を出力するリミッティングアンプを適用することができる。
計測部18は、時間デジタル変換器により反射光L2の飛来時間を計測する。なお、半導体レーザから出力されたパルスレーザの一部は光走査部16を経由せずに受光部21Bに到達し、受光部21Bの受光素子を励起する。光起電圧は増幅部17を経由して計測部18に入力される。受光部21Bを経由した信号は受光部21Aを経由した信号よりも早い時間に到達するため、受光部21Aが反射光L2を受光したタイミング(時間)から受光部21Bが基準光L1を受光したタイミング(時間)を差し引き、その結果に光速及び1/2を乗算することで被検体30までの距離を測定することができる。なお、受光したタイミングとは、例えば、増幅部17により増幅された出力信号SA、SBが、所定の閾値を超えたタイミングである。計測部18は、計測結果である被検体30までの距離情報を制御部11に供給する。制御部11は、距離情報を演算部19に供給する。
演算部19は、制御部11を介して供給された距離情報に対する各種のデータ補正処理を行う。データ補正処理がなされた距離情報は、アプリケーションに応じた処理に使用される。
(受光部の構成例)
次に、受光部21Aの構成例について説明する。なお、以下に説明する構成例は、受光部21Bに対しても適用することができる。
受光部21Aは、受光素子部201、駆動部202、LPF205及びHPF206とを有している。駆動部202は、SiPM駆動部202A、パルス駆動部202B及びBias-T202Cを有している。
受光素子部201は、例えば、ガイガーモードで動作するAPDをマルチピクセル化した構成を有有するSiPMである。なお、SiPMは、MPPC(Multi Pixel Photon Counter)等とも称される。受光素子部201は、並列に接続された複数の受光セルを有している。1個の受光セル(例えば、図1に示す受光セル210)は、APD210Aと、クエンチング抵抗201Bと、キャパシタ(容量成分)210Cを有している。APD210Aのアノードが接地されている。APD210Aのカソードには、クエンチング抵抗201Bと並列キャパシタ210Cとが並列に接続された構成が接続されている。即ち、APD210Aのカソードには、クエンチング抵抗201Bの一端が接続されている。なお、十分な励起強度を得るために受光セル210の数は100セル以上であることが好ましい。
SiPM駆動部202Aは、DC(Direct Current)駆動のための直流電圧を供給する電源である。パルス駆動部202Bは、パルス信号(矩形波)を出力する。パルス駆動部202Bは、制御部11より供給されるタイミング信号を受信することに応じて、パルス信号のレベル(ハイ又はロー)を切り替える。制御部11が、パルスレーザを出射するタイミングに対応するようにパルス駆動部202Bに対するタイミング信号を供給することにより、パルス駆動部202Bの動作がパルスレーザの出射タイミングに同期する。
Bias-T202Cは、SiPM駆動部202Aから供給されるDC(Direct Current)成分とパルス駆動部202Bから供給されるAC(Alternating Current)成分とを合成する。具体的には、Bias-T202Cは、SiPM駆動部202Aから供給される直流電圧をパルス駆動部202Bが出力するパルス信号で変調する。そして、Bias-T202Cは、変調した信号を出力する。本実施の形態では、この変調された信号(変調電圧)が駆動電圧として使用される。
駆動部202から出力された駆動電圧は、駆動電圧線LN1を介して受光素子部201に供給される。また、受光素子部201から出力される信号は、信号読出線LN2を介して読み出され、受光素子部201から読み出された信号が増幅部17に供給される。駆動電圧線LN1と信号読出線LN2との接続点である接続点P1に、受光素子部201の出力側(クエンチング抵抗201Bの他端側)が接続されている。
本実施の形態では、駆動電圧線LN1にLPF205が接続されている。また、信号読出線LN2にHPF206が接続されている。LPF205及びHPF206によりダイプレクサ回路が形成されている。図1に示すようにLPF205及びHPF206が受光素子部201に結線されている。かかる構成において、LPF205を経由して受光素子部201に数Vのステップ電圧が印加される場合、HPF206にもステップ電圧が混入する。受光素子部201から出力される計測最小レベルは数十ミリVであるため、LPF205からHPF206へのゲインを-40dB以下にすることが望ましい。ステップ電圧や受光素子部201から出力されるパルス信号はいずれも周波数帯域が広く、通信用のダイプレクサのように明確な周波数帯域分離ができないからである。
図2は、LPF205及びHPF206の接続例を説明するための図である。LPF205は、例えば5段のLCフィルタにより構成されており、入力及び出力のそれぞれにインダクタが配されている。図2に示すように、LPF205の入力側にマッチング用の抵抗207が接続されていても良く、LPF205の出力側にアッテネータ208が接続されていても良い。アッテネータ208を接続することにより、HPF206からの反射ノイズを軽減することができる。
HPF206は、例えば7段のLCフィルタにより構成されており、入力及び出力のそれぞれにキャパシタが配されている。受光素子部201の全受光セルの合成インピーダンスは低周波数側で高く、高周波側で低くなる。従って、全受光セルの電圧を変調する場合には所望の周波数帯の合成インピーダンスとLPF205の合成インピーダンスを合わせる。一方、励起されたセルから見た受光素子部201の非励起セルと励起セルとのクエンチング抵抗および並列キャパシタからなる合成インピーダンスは受光セル数に依存するため受光素子部201とHPF206のインピーダンス整合が難しく、所望の特性に合わせた調整がなされる。
図2に示すように、LPF205の出力側をキャパシタではなくインダクタとする構成により、受光素子部201からの高周波成分がキャパシタで減衰し、HPF206経由のゲインが低下してしまうことを防止することができる。また、HPF206の入力側をインダクタではなくキャパシタとする構成により、LPF205から入力したステップ電圧がインダクタで減衰してしまうことを防止することができる。なお、具体的なLPF205及びHPF206としては、ベッセル、バタワース、チェビシェフ等の公知のLCフィルタを適用することができる他、これらをベースに調整されたフィルタや、抵抗が挿入されたフィルタ等も適用することができる。
図3は、LPF205及びHPF206の周波数特性を説明するための図(グラフ)である。図3における縦軸はゲイン(dB)を示し、横軸は周波数(Hz)を示している。図3に示す例はLPF205にチェビシェフフィルタを、HPF206にベッセルフィルタを使用した場合の周波数特性を示す。LPFから受光素子部201までの周波数特性(図3におけるラインLA1)は300MHz〜400MHzに急峻なカットオフ周波数をもつ。このカットオフ周波数はLPF205単体よりも高く、LPF205と受光素子部201とが結合したことによる共振である。このような高周波成分は受光素子部201を構成する受光セル210のクエンチング抵抗ではなく、並列キャパシタ経由で受光素子部201のジャンクションの電圧を変調するため、ジャンクションキャパシタンスとの比により減衰される。
LPF205からHPF206までの周波数特性(図3におけるラインLA2)は該LPF205と受光素子部201の共振周波数でピークを持つが-40dB以下に抑えられている。受光素子部201の受光セル210が10セル程度励起された場合を想定した励起セルからHPF206までの周波数特性(図3におけるラインLA3)は、ベッセルフィルタの特性に従ってなだらかであるが、LPF205と受光素子部201の共振周波数で段がある。このようにLPF205とHPF206とは明確な周波数帯域分離を持たずにそれぞれ受光素子部201への入力及び出力に対応している。
図4は、7Vのステップ電圧を与えた場合のHPF206を通過するノイズの一例を示している。図4における縦軸は電圧(V)を示し、横軸は時間(秒)を示している。入力から数十ナノ秒の期間で僅かな振動成分が現れる。この周波数は300MHz〜400MHzであり、LPF205と受光素子部201との共振である。最大振幅は5ミリV以下となった。これは受光素子部201が受光する光子に換算して2個以下であり、計測閾値レベル以下である。
[距離センサ装置の動作例]
次に、図5を参照して、距離センサ装置1の動作例について説明する。図5のグラフにおける縦軸は電圧のレベルを示し、横軸は時間軸を示している。図5におけるV_1(ロー)、V_2(ハイ)の間で切り替えられるV_DRは駆動部202から出力される駆動電圧、V_BDは受光素子部201のAPDのブレークダウン電圧、V_SiPMは受光素子部201に印加される印加電圧である。
パルスレーザが被検体30に照射されるタイミング前は、V_SiPMがブレークダウン電圧以下にされている。そして、V_DRがV_1からV_2に引き上げられるタイミングで、パルスレーザが被検体30に照射される。本実施の形態では、パルス駆動部202Bと制御部11の制御(具体的には、光源駆動部12に対する駆動制御を行い、半導体レーザ13からパルスレーザを出射する制御)とが同期しているので、駆動電圧のV_1からV_2への立ち上がりに応じてパルスレーザを被検体30に照射することが可能となる。
V_DRがV_1からV_2に変化することに伴い、受光素子部201にはV_2とV_SiPMの電圧差がかかり、受光素子部201の時定数に従って指数関数的にV_SiPMが上昇する。V_SiPMがV_BDを上回ったタイミングで受光素子部201からの出力が得られるようになり、ここから距離計測期間に入る。なお、距離計測期間中にもV_SiPMは、時間の経過に伴って徐々に上昇する。距離計測期間経過後にV_DRがV_2からV_1に下げられる。この電圧差によりV_SiPMは時定数に従って指数関数的に電圧が降下してV_BD以下になり、次の距離計測期間までの待機状態となる。即ち、距離非計測期間において、V_SiPMがV_BDより大きい値からV_BD以下に変化する。
上述した駆動方法により距離センサ装置1を動作させた際に得られる効果の一例について、図6を参照して説明する。図6は、ある距離計測期間及び距離非計測期間における、V_DR、V_SiPM等の変化を示している。この点は、図5を参照して既に説明しているので、重複した説明を省略する。また、図6では、タイミングtaで受光素子部201が反射光L2を受光した場合に受光素子部201から出力される出力信号SG1と、タイミングtbで受光素子部201が反射光L2を受光した場合に受光素子部201から出力される出力信号SG2とが示されている。以下の説明では、前者をパターン1、後者をパターン2と称する。
パターン1は、出力信号SG1が時間的に早い段階で得られていることから、距離センサ装置1に対する距離が近い位置にある被検体30からの反射光L2を受光部21Aが受光した場合である。被検体30が距離センサ装置1に対して近い位置にあるので、反射光L2の強度は大きくなる。一方で、パターン2は、出力信号SG2が時間的に遅い段階で得られていることから、距離センサ装置1に対する距離が遠い位置にある被検体30からの反射光L2を受光部21Aが受光した場合である。被検体30が距離センサ装置1に対して遠い位置にあるので、反射光L2の強度は小さくなる。
ここで、ブレークダウン電圧以上のV_SiPMからV_BDを引いた値をオーバ電圧V_ODと呼び、出力信号の増倍率はV_SiPMがV_2以下であってはV_ODに概ね比例する。距離計測期間初期では、V_SiPMとV_BDとの差分が小さくなりV_ODが小さくなることから、増倍率も小さくなる。例えば、増倍率は、最大値の1/10程度になる。しかしながら、距離計測期間初期では、上述したように反射光L2の強度が大きいことから、増倍率が小さくても距離計測に必要なレベルの出力信号SG1が得られる。
一方で、上述したように、被検体30が距離センサ装置1に対して遠い位置にある場合には、反射光L2の強度が小さくなる。従って、計測に十分な出力信号を得られず、測距の精度が低下したり、測距ができなくなる虞もある。しかしながら、計測期間において時間が経過するにつれ、V_SiPMが大きくなる。従って、V_SiPMとV_BDとの差分が大きくなりV_ODが大きくなることから、増倍率も大きくなる。従って、図6の点線で模式的に示すような計測に十分ではないレベルではなく、図6の実線で模式的に示すような計測に十分なレベルの出力信号SG2を得ることができる。また、V_SiPMのリチャージタイムを設ける必要も無く、距離センサ装置1の高速駆動が可能となる。また、距離センサ装置1が測定可能な距離範囲(例えば、近距離)に対する制約を最小限にすることができる。
[出力信号の一例]
図7は、V_SiPMがV_2(最大)において、10受光セル(10個の受光セル)励起された場合のHPF206から出力信号の一例を示す図である。図7における縦軸はVを示し、横軸は時間軸を示している。励起直後の急峻なインパルス応答に続いて、LPF205と受光素子部201の共振による信号が伝搬する。これらの何れもステップ電圧によるノイズよりも大きく、また励起タイミングを反映しているため時間計測に利用することができる。例えば双方の時間を計測することで、時間精度を改善したり、あるいは双方の時間差から信号強度を算出したりしても良い。これらの信号は、受光素子部201を構成するSiPMのアバランシェ増幅時間やSiPMに入射する光のジッタにより信号のパルス幅が広がることもあるが、そのような場合でも時間計測に利用することができる。V_SiPMがV_BDより僅かに大きい場合では、例えば100受光セル励起された場合に図7と同等の出力信号が得られる。被検体30からの散乱光は距離の二乗に反比例するため、例えば10メートルの距離に被検体がある場合に10光子が受光素子部201に入射できるシステムでは10センチメートルでは105光子が受光素子部201に入射する可能性がある。従って、ステップ電圧によるノイズとSiPMからの信号とのS/Nは問題にならず、ステップ電圧によるノイズレベルは計測系の誤検出を防止するため、検出閾値以下に抑えることが可能となる。
[距離センサ装置を応用した電子機器]
本開示の距離センサ装置1は、単体としてではなく、各種の機器とシステム化された電子機器として実現することも可能である。電子機器の例について説明する。
図8は、距離センサ装置1を電子機器の一例であるジェスチャ認識装置に適用した例を示している。距離センサ装置1は、例えば、部屋の中にいる人物5の手までの距離を測定し、その距離の変化から手や指の動きを計測する。これにより、遠隔からのジェスチャ認識ができる。勿論、ジェスチャ認識装置は、手や指の動きだけでなく、顔、足、全身の動きを認識しても良い。また、認識対象に応じて、複数のジェスチャ認識装置を用いたシステムであっても良い。また、ジェスチャ認識装置は、人物5以外の動きを認識するものであっても良い。係るジェスチャ認識装置により、ゲームや各種電子機器の操作をしたり、プロジェクタ装置などを用いて対象者および周辺にAR(Augmented Reality)表示したりできるほか、ジェスチャ認識装置を公共な場所に配置して人の動作をビッグデータとして得ることができる。
また、距離センサ装置1が、電子機器の他の例であるプロジェクタ装置に適用されても良い。そして、投影面である壁面の各点に対して測距がなされるようにし、当該壁面の凹凸を識別するようにしても良い。識別した壁面の凹凸に応じて投影画像の画像データの全体または一部に補正処理(コントラスト改善処理や色調改善処理等)が行われても良い。
また、本開示の距離測定装置は、歩行者や障害物等までの距離を検知し、距離に応じてブレーキを作動させる安全装置にも適用可能である。即ち、本開示の距離測定装置は、このような安全装置が使用され得る自動車、電車、飛行機、ヘリコプター、小型飛行体等の移動体にも適用可能である。また、本開示の距離測定装置は、ロボット(接客用ロボットや災害救助用ロボット、掃除用ロボット等)や防犯装置にも適用可能である。これらの安全装置、移動体、防犯装置においても何らかの電気的な処理が行われるものであることから、上述した電子機器に含まれる。なお、具体的な応用例については後述する。
<変形例>
以上、本開示の実施の形態について具体的に説明したが、本開示の内容は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
例えば、受光素子部201の周辺回路は実施の形態で示した回路構成に限定されるものではない。例えば、図9に示すように、受光素子部201のAPDのアノードにクエンチング抵抗と並列キャパシタとを接続しても良い。駆動電圧としての変調電圧を供給するパルス駆動部202B、LPF205及びHPF206はAPDのアノード側に接続される。なお受光セル210に並列キャパシタが無い場合、各受光セルに独立してキャパシタ結合線があっても良い。また、各受光セルのクエンチング抵抗が共通ラインによって接続された回路構成であっても良いし、各受光セルのキャパシタが共通ラインによって接続された回路構成であっても良い。
なお、図9に示す回路構成は、受光部21Bがない構成である。かかる構成の場合は、計測部18は、半導体レーザ13がパルスレーザを出射したタイミングを制御部11等から取得して、被検体30までの距離を計測する。
上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、実施の形態および変形例で説明した事項は、技術的な矛盾が生じない限り相互に組み合わせることができる。また、なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。
本開示は、以下の形態も採ることが可能である。
(1)
被検体からの反射光を受光する受光部を有し、
前記受光部は、受光素子部と、前記受光素子部に駆動電圧を供給する駆動部とを有し、
前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きく、且つ、時間の経過に伴って前記印加電圧が大きくなるように構成されている距離センサ装置。
(2)
前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離非計測期間において、ブレークダウン電圧以下に変化する
(1)に記載の距離センサ装置。
(3)
前記駆動部に接続される駆動電圧線と、前記駆動電圧線に接続され、前記受光部から出力される信号を読み出す信号読出線とを有し、
前記駆動電圧線と前記信号読出線との接続点に、前記受光素子部が接続されている
(1)又は(2)に記載の距離センサ装置。
(4)
前記駆動電圧線にローパスフィルタが接続され、前記信号読出線にハイパスフィルタが接続されている
(3)に記載の距離センサ装置。
(5)
前記受光素子部は、並列に接続される複数の受光セルを有し、
前記受光セルは、アノードが接地され、カソードがクエンチング抵抗の一端側に接続されるアバランシェフォトダイオードを有し、
前記クエンチング抵抗の他端側が前記接続点に接続されている
(3)又は(4)に記載の距離センサ装置。
(6)
前記受光セルの数が100以上である
(5)に記載の距離センサ装置。
(7)
発光部と、
前記発光部から出射された光を受光する他の受光部とを有し、
前記発光部から出射された光が前記被検体により反射された反射光を前記受光部が受光した第1のタイミングと、前記他の受光部が前記発光部から出射された光を受光した第2のタイミングとに基づいて、前記被検体までの距離を計測する計測部を有する
(1)から(6)までの何れかに記載の距離センサ装置。
(8)
受光部が、被検体からの反射光を受光し、
駆動部が、前記受光部が有する受光素子部に駆動電圧を供給し、
前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きくされ、且つ、時間の経過に伴って前記印加電圧が大きくされる距離センサ装置の制御方法。
(9)
(1)から(7)までの何れかに記載の距離センサ装置を有する電子機器。
<応用例>
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械(トラクター)などのいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図10は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システム7000の概略的な構成例を示すブロック図である。車両制御システム7000は、通信ネットワーク7010を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図10に示した例では、車両制御システム7000は、駆動系制御ユニット7100、ボディ系制御ユニット7200、バッテリ制御ユニット7300、車外情報検出ユニット7400、車内情報検出ユニット7500、及び統合制御ユニット7600を備える。これらの複数の制御ユニットを接続する通信ネットワーク7010は、例えば、CAN(Controller Area Network)、LIN(Local Interconnect Network)、LAN(Local Area Network)又はFlexRay(登録商標)等の任意の規格に準拠した車載通信ネットワークであってよい。
各制御ユニットは、各種プログラムにしたがって演算処理を行うマイクロコンピュータと、マイクロコンピュータにより実行されるプログラム又は各種演算に用いられるパラメータ等を記憶する記憶部と、各種制御対象の装置を駆動する駆動回路とを備える。各制御ユニットは、通信ネットワーク7010を介して他の制御ユニットとの間で通信を行うためのネットワークI/Fを備えるとともに、車内外の装置又はセンサ等との間で、有線通信又は無線通信により通信を行うための通信I/Fを備える。図10では、統合制御ユニット7600の機能構成として、マイクロコンピュータ7610、汎用通信I/F7620、専用通信I/F7630、測位部7640、ビーコン受信部7650、車内機器I/F7660、音声画像出力部7670、車載ネットワークI/F7680及び記憶部7690が図示されている。他の制御ユニットも同様に、マイクロコンピュータ、通信I/F及び記憶部等を備える。
駆動系制御ユニット7100は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット7100は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。駆動系制御ユニット7100は、ABS(Antilock Brake System)又はESC(Electronic Stability Control)等の制御装置としての機能を有してもよい。
駆動系制御ユニット7100には、車両状態検出部7110が接続される。車両状態検出部7110には、例えば、車体の軸回転運動の角速度を検出するジャイロセンサ、車両の加速度を検出する加速度センサ、あるいは、アクセルペダルの操作量、ブレーキペダルの操作量、ステアリングホイールの操舵角、エンジン回転数又は車輪の回転速度等を検出するためのセンサのうちの少なくとも一つが含まれる。駆動系制御ユニット7100は、車両状態検出部7110から入力される信号を用いて演算処理を行い、内燃機関、駆動用モータ、電動パワーステアリング装置又はブレーキ装置等を制御する。
ボディ系制御ユニット7200は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット7200は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット7200には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット7200は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
バッテリ制御ユニット7300は、各種プログラムにしたがって駆動用モータの電力供給源である二次電池7310を制御する。例えば、バッテリ制御ユニット7300には、二次電池7310を備えたバッテリ装置から、バッテリ温度、バッテリ出力電圧又はバッテリの残存容量等の情報が入力される。バッテリ制御ユニット7300は、これらの信号を用いて演算処理を行い、二次電池7310の温度調節制御又はバッテリ装置に備えられた冷却装置等の制御を行う。
車外情報検出ユニット7400は、車両制御システム7000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット7400には、撮像部7410及び車外情報検出部7420のうちの少なくとも一方が接続される。撮像部7410には、ToF(Time Of Flight)カメラ、ステレオカメラ、単眼カメラ、赤外線カメラ及びその他のカメラのうちの少なくとも一つが含まれる。車外情報検出部7420には、例えば、現在の天候又は気象を検出するための環境センサ、あるいは、車両制御システム7000を搭載した車両の周囲の他の車両、障害物又は歩行者等を検出するための周囲情報検出センサのうちの少なくとも一つが含まれる。
環境センサは、例えば、雨天を検出する雨滴センサ、霧を検出する霧センサ、日照度合いを検出する日照センサ、及び降雪を検出する雪センサのうちの少なくとも一つであってよい。周囲情報検出センサは、超音波センサ、レーダ装置及びLIDAR(Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging)装置のうちの少なくとも一つであってよい。これらの撮像部7410及び車外情報検出部7420は、それぞれ独立したセンサないし装置として備えられてもよいし、複数のセンサないし装置が統合された装置として備えられてもよい。
ここで、図11は、撮像部7410及び車外情報検出部7420の設置位置の例を示す。撮像部7910,7912,7914,7916,7918は、例えば、車両7900のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部のうちの少なくとも一つの位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部7910及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部7918は、主として車両7900の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部7912,7914は、主として車両7900の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部7916は、主として車両7900の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部7918は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図11には、それぞれの撮像部7910,7912,7914,7916の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲aは、フロントノーズに設けられた撮像部7910の撮像範囲を示し、撮像範囲b,cは、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部7912,7914の撮像範囲を示し、撮像範囲dは、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部7916の撮像範囲を示す。例えば、撮像部7910,7912,7914,7916で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両7900を上方から見た俯瞰画像が得られる。
車両7900のフロント、リア、サイド、コーナ及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部7920,7922,7924,7926,7928,7930は、例えば超音波センサ又はレーダ装置であってよい。車両7900のフロントノーズ、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部7920,7926,7930は、例えばLIDAR装置であってよい。これらの車外情報検出部7920〜7930は、主として先行車両、歩行者又は障害物等の検出に用いられる。
図10に戻って説明を続ける。車外情報検出ユニット7400は、撮像部7410に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像データを受信する。また、車外情報検出ユニット7400は、接続されている車外情報検出部7420から検出情報を受信する。車外情報検出部7420が超音波センサ、レーダ装置又はLIDAR装置である場合には、車外情報検出ユニット7400は、超音波又は電磁波等を発信させるとともに、受信された反射波の情報を受信する。車外情報検出ユニット7400は、受信した情報に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット7400は、受信した情報に基づいて、降雨、霧又は路面状況等を認識する環境認識処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット7400は、受信した情報に基づいて、車外の物体までの距離を算出してもよい。
また、車外情報検出ユニット7400は、受信した画像データに基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等を認識する画像認識処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット7400は、受信した画像データに対して歪補正又は位置合わせ等の処理を行うとともに、異なる撮像部7410により撮像された画像データを合成して、俯瞰画像又はパノラマ画像を生成してもよい。車外情報検出ユニット7400は、異なる撮像部7410により撮像された画像データを用いて、視点変換処理を行ってもよい。
車内情報検出ユニット7500は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット7500には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部7510が接続される。運転者状態検出部7510は、運転者を撮像するカメラ、運転者の生体情報を検出する生体センサ又は車室内の音声を集音するマイク等を含んでもよい。生体センサは、例えば、座面又はステアリングホイール等に設けられ、座席に座った搭乗者又はステアリングホイールを握る運転者の生体情報を検出する。車内情報検出ユニット7500は、運転者状態検出部7510から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。車内情報検出ユニット7500は、集音された音声信号に対してノイズキャンセリング処理等の処理を行ってもよい。
統合制御ユニット7600は、各種プログラムにしたがって車両制御システム7000内の動作全般を制御する。統合制御ユニット7600には、入力部7800が接続されている。入力部7800は、例えば、タッチパネル、ボタン、マイクロフォン、スイッチ又はレバー等、搭乗者によって入力操作され得る装置によって実現される。統合制御ユニット7600には、マイクロフォンにより入力される音声を音声認識することにより得たデータが入力されてもよい。入力部7800は、例えば、赤外線又はその他の電波を利用したリモートコントロール装置であってもよいし、車両制御システム7000の操作に対応した携帯電話又はPDA(Personal Digital Assistant)等の外部接続機器であってもよい。入力部7800は、例えばカメラであってもよく、その場合搭乗者はジェスチャにより情報を入力することができる。あるいは、搭乗者が装着したウェアラブル装置の動きを検出することで得られたデータが入力されてもよい。さらに、入力部7800は、例えば、上記の入力部7800を用いて搭乗者等により入力された情報に基づいて入力信号を生成し、統合制御ユニット7600に出力する入力制御回路などを含んでもよい。搭乗者等は、この入力部7800を操作することにより、車両制御システム7000に対して各種のデータを入力したり処理動作を指示したりする。
記憶部7690は、マイクロコンピュータにより実行される各種プログラムを記憶するROM(Read Only Memory)、及び各種パラメータ、演算結果又はセンサ値等を記憶するRAM(Random Access Memory)を含んでいてもよい。また、記憶部7690は、HDD(Hard Disc Drive)等の磁気記憶デバイス、半導体記憶デバイス、光記憶デバイス又は光磁気記憶デバイス等によって実現してもよい。
汎用通信I/F7620は、外部環境7750に存在する様々な機器との間の通信を仲介する汎用的な通信I/Fである。汎用通信I/F7620は、GSM(登録商標)(Global System of Mobile communications)、WiMAX、LTE(Long Term Evolution)若しくはLTE−A(LTE−Advanced)などのセルラー通信プロトコル、又は無線LAN(Wi−Fi(登録商標)ともいう)、Bluetooth(登録商標)などのその他の無線通信プロトコルを実装してよい。汎用通信I/F7620は、例えば、基地局又はアクセスポイントを介して、外部ネットワーク(例えば、インターネット、クラウドネットワーク又は事業者固有のネットワーク)上に存在する機器(例えば、アプリケーションサーバ又は制御サーバ)へ接続してもよい。また、汎用通信I/F7620は、例えばP2P(Peer To Peer)技術を用いて、車両の近傍に存在する端末(例えば、運転者、歩行者若しくは店舗の端末、又はMTC(Machine Type Communication)端末)と接続してもよい。
専用通信I/F7630は、車両における使用を目的として策定された通信プロトコルをサポートする通信I/Fである。専用通信I/F7630は、例えば、下位レイヤのIEEE802.11pと上位レイヤのIEE16609との組合せであるWAVE(Wireless Access in Vehicle Environment)、DSRC(Dedicated Short Range Communications)、又はセルラー通信プロトコルといった標準プロトコルを実装してよい。専用通信I/F7630は、典型的には、車車間(Vehicle to Vehicle)通信、路車間(Vehicle to Infrastructure)通信、車両と家との間(Vehicle to Home)の通信及び歩車間(Vehicle to Pedestrian)通信のうちの1つ以上を含む概念であるV2X通信を遂行する。
測位部7640は、例えば、GNSS(Global Navigation Satellite System)衛星からのGNSS信号(例えば、GPS(Global Positioning System)衛星からのGPS信号)を受信して測位を実行し、車両の緯度、経度及び高度を含む位置情報を生成する。なお、測位部7640は、無線アクセスポイントとの信号の交換により現在位置を特定してもよく、又は測位機能を有する携帯電話、PHS若しくはスマートフォンといった端末から位置情報を取得してもよい。
ビーコン受信部7650は、例えば、道路上に設置された無線局等から発信される電波あるいは電磁波を受信し、現在位置、渋滞、通行止め又は所要時間等の情報を取得する。なお、ビーコン受信部7650の機能は、上述した専用通信I/F7630に含まれてもよい。
車内機器I/F7660は、マイクロコンピュータ7610と車内に存在する様々な車内機器7760との間の接続を仲介する通信インタフェースである。車内機器I/F7660は、無線LAN、Bluetooth(登録商標)、NFC(Near Field Communication)又はWUSB(Wireless USB)といった無線通信プロトコルを用いて無線接続を確立してもよい。また、車内機器I/F7660は、図示しない接続端子(及び、必要であればケーブル)を介して、USB(Universal Serial Bus)、HDMI(登録商標)(High-Definition Multimedia Interface)、又はMHL(Mobile High-definition Link)等の有線接続を確立してもよい。車内機器7760は、例えば、搭乗者が有するモバイル機器若しくはウェアラブル機器、又は車両に搬入され若しくは取り付けられる情報機器のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。また、車内機器7760は、任意の目的地までの経路探索を行うナビゲーション装置を含んでいてもよい。車内機器I/F7660は、これらの車内機器7760との間で、制御信号又はデータ信号を交換する。
車載ネットワークI/F7680は、マイクロコンピュータ7610と通信ネットワーク7010との間の通信を仲介するインタフェースである。車載ネットワークI/F7680は、通信ネットワーク7010によりサポートされる所定のプロトコルに則して、信号等を送受信する。
統合制御ユニット7600のマイクロコンピュータ7610は、汎用通信I/F7620、専用通信I/F7630、測位部7640、ビーコン受信部7650、車内機器I/F7660及び車載ネットワークI/F7680のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、各種プログラムにしたがって、車両制御システム7000を制御する。例えば、マイクロコンピュータ7610は、取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット7100に対して制御指令を出力してもよい。例えば、マイクロコンピュータ7610は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行ってもよい。また、マイクロコンピュータ7610は、取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行ってもよい。
マイクロコンピュータ7610は、汎用通信I/F7620、専用通信I/F7630、測位部7640、ビーコン受信部7650、車内機器I/F7660及び車載ネットワークI/F7680のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、車両と周辺の構造物や人物等の物体との間の3次元距離情報を生成し、車両の現在位置の周辺情報を含むローカル地図情報を作成してもよい。また、マイクロコンピュータ7610は、取得される情報に基づき、車両の衝突、歩行者等の近接又は通行止めの道路への進入等の危険を予測し、警告用信号を生成してもよい。警告用信号は、例えば、警告音を発生させたり、警告ランプを点灯させたりするための信号であってよい。
音声画像出力部7670は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図10の例では、出力装置として、オーディオスピーカ7710、表示部7720及びインストルメントパネル7730が例示されている。表示部7720は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。表示部7720は、AR(Augmented Reality)表示機能を有していてもよい。出力装置は、これらの装置以外の、ヘッドホン、搭乗者が装着する眼鏡型ディスプレイ等のウェアラブルデバイス、プロジェクタ又はランプ等の他の装置であってもよい。出力装置が表示装置の場合、表示装置は、マイクロコンピュータ7610が行った各種処理により得られた結果又は他の制御ユニットから受信された情報を、テキスト、イメージ、表、グラフ等、様々な形式で視覚的に表示する。また、出力装置が音声出力装置の場合、音声出力装置は、再生された音声データ又は音響データ等からなるオーディオ信号をアナログ信号に変換して聴覚的に出力する。
なお、図10に示した例において、通信ネットワーク7010を介して接続された少なくとも二つの制御ユニットが一つの制御ユニットとして一体化されてもよい。あるいは、個々の制御ユニットが、複数の制御ユニットにより構成されてもよい。さらに、車両制御システム7000が、図示されていない別の制御ユニットを備えてもよい。また、上記の説明において、いずれかの制御ユニットが担う機能の一部又は全部を、他の制御ユニットに持たせてもよい。つまり、通信ネットワーク7010を介して情報の送受信がされるようになっていれば、所定の演算処理が、いずれかの制御ユニットで行われるようになってもよい。同様に、いずれかの制御ユニットに接続されているセンサ又は装置が、他の制御ユニットに接続されるとともに、複数の制御ユニットが、通信ネットワーク7010を介して相互に検出情報を送受信してもよい。
なお、上述した実施の形態にかかる距離センサ装置の構成、機能等は、例えば、車外情報検出ユニット7400に対して適用することができる。
1・・・距離センサ装置、13・・・半導体レーザ、18・・・計測部、21A,21B・・・受光部、201・・・受光素子部、202・・・駆動部、205・・・LPF、206・・・HPF、210・・・受光セル、210A・・・APD、210B・・・クエンチング抵抗、30・・・被検体、LN1・・・駆動電圧線、LN2・・・信号読出線、P1・・・接続点

Claims (9)

  1. 被検体からの反射光を受光する受光部を有し、
    前記受光部は、受光素子部と、前記受光素子部に駆動電圧を供給する駆動部とを有し、
    前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きく、且つ、時間の経過に伴って前記印加電圧が大きくなるように構成されている距離センサ装置。
  2. 前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離非計測期間において、ブレークダウン電圧以下に変化する
    請求項1に記載の距離センサ装置。
  3. 前記駆動部に接続される駆動電圧線と、前記駆動電圧線に接続され、前記受光部から出力される信号を読み出す信号読出線とを有し、
    前記駆動電圧線と前記信号読出線との接続点に、前記受光素子部が接続されている
    請求項1に記載の距離センサ装置。
  4. 前記駆動電圧線にローパスフィルタが接続され、前記信号読出線にハイパスフィルタが接続されている
    請求項3に記載の距離センサ装置。
  5. 前記受光素子部は、並列に接続される複数の受光セルを有し、
    前記受光セルは、アノードが接地され、カソードがクエンチング抵抗の一端側に接続されるアバランシェフォトダイオードを有し、
    前記クエンチング抵抗の他端側が前記接続点に接続されている
    請求項3に記載の距離センサ装置。
  6. 前記受光セルの数が100以上である
    請求項5に記載の距離センサ装置。
  7. 発光部と、
    前記発光部から出射された光を受光する他の受光部とを有し、
    前記発光部から出射された光が前記被検体により反射された反射光を前記受光部が受光した第1のタイミングと、前記他の受光部が前記発光部から出射された光を受光した第2のタイミングとに基づいて、前記被検体までの距離を計測する計測部を有する
    請求項1に記載の距離センサ装置。
  8. 受光部が、被検体からの反射光を受光し、
    駆動部が、前記受光部が有する受光素子部に駆動電圧を供給し、
    前記駆動電圧により、前記受光素子部に対する印加電圧が、距離計測期間において、ブレークダウン電圧より大きくされ、且つ、時間の経過に伴って前記印加電圧が大きくされる距離センサ装置の制御方法。
  9. 請求項1に記載の距離センサ装置を有する電子機器。
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