JPWO2020076588A5

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Publication number: JPWO2020076588A5
Application number: JP2021519722A
Authority: JP
Publication date: 2022-10-06
Anticipated expiration: 2039-10-03

Claims

電子源と、
前記電子源から１本又は複数本の一次電子ビームを受け取るよう構成されたマイクロレンズアレイ（ＭＬＡ）であり、３次偏向収差をなくすように構成された複数個の六重極静電デフレクタが備わるマイクロ偏向アレイ（ＭＤＡ）を有し、当該１本又は複数本の一次電子ビームを複数本の一次電子ビームレットへと分割するようそのマイクロ偏向アレイが構成されているマイクロレンズアレイと、
前記複数本の一次電子ビームレットを受け取りそれら複数本の一次電子ビームレットを標本の表面上へと集束させるよう構成されている投射光学系と、
を備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記マイクロ偏向アレイが、
絶縁体基板と、
その絶縁体基板上に配設された複数個の六重極静電デフレクタであり、それら複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが６枚の偏向プレートを備える、複数個の六重極静電デフレクタと、
前記絶縁体基板上に配設された複数本の電圧接続ラインであり、一通り又は複数通りの合焦電圧を前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加させるよう構成された１個又は複数個の電圧源に、複数本の接続ピン経由でそれら複数個の六重極静電デフレクタを電気的に結合させるよう構成された、複数本の電圧接続ラインと、
を備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、更に、１個又は複数個のプロセッサ及びメモリを有するコントローラを備え、当該１個又は複数個のプロセッサが、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加される一通り又は複数通りの合焦電圧を調整するよう、構成されているシステム。
請求項３に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、前記一通り又は複数通りの合焦電圧を調整することで、前記複数本の一次電子ビームレットに含まれる一次電子ビームレットそれぞれの前記標本の表面での位置を個別調整するよう、構成されているシステム。
請求項１に記載のシステムであって、更に、前記電子源から一次電子ビームを受け取りその一次電子ビームを前記マイクロレンズアレイ（ＭＬＡ）に差し向けるよう構成されたアパーチャを備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記投射光学系が伝送レンズ及び対物レンズを備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記電子源が熱電界放出（ＴＦＥ）源を備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の双極性六重極静電デフレクタを含むシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の単極性六重極静電デフレクタを含むシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが六角形構成に従い配列されたシステム。
請求項１０に記載のシステムであって、前記六角形構成の中央カラム沿いにある六重極静電デフレクタの個数が項Ｍ_ｃにより定まり、ひいてはマイクロ偏向アレイにおける六重極静電デフレクタの総数ＭＢ_ｔｏｔがＭＢ_ｔｏｔ＝１／４・（１＋３Ｍ_Ｃ ^２）により定まるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに備わる第１偏向プレート、第３偏向プレート及び第５偏向プレートに、第１合焦電圧が印加され、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに備わる第２偏向プレート、第４偏向プレート及び第６偏向プレートに、第２合焦電圧が印加されるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記６枚の偏向プレートに含まれる偏向プレートそれぞれがギャップ角δで以て分離されており、
第２偏向プレート、第３偏向プレート、第５偏向プレート及び第６偏向プレートが、β＋δ＝２０°となるプレート角βにより規定されるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが、単一の電圧接続ラインで以て前記１個又は複数個の電圧源に結合されたシステム。
請求項１に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれがマイクロアインツェルレンズを備えるシステム。
絶縁体基板と、
その絶縁体基板上に配設された複数個の六重極静電デフレクタであり、それら複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが３次偏向収差をなくすように構成された６枚の偏向プレートを備える、複数個の六重極静電デフレクタと、
前記絶縁体基板上に配設された複数本の電圧接続ラインであり、一通り又は複数通りの合焦電圧を前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加させるよう構成された１個又は複数個の電圧源に、複数本の接続ピン経由でそれら複数個の六重極静電デフレクタを電気的に結合させるよう構成された、複数本の電圧接続ラインと、
を備えるマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、電子源から１本又は複数本の一次電子ビームを受け取り、当該１本又は複数本の一次電子ビームを複数本の一次電子ビームレットへと分割するよう、構成されたマイクロ偏向アレイ。
請求項１７に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数本の一次電子ビームレットに含まれる一次電子ビームレットそれぞれの位置を個別調整するよう構成されたマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の双極性六重極静電デフレクタを含むマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の単極性六重極静電デフレクタを含むマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが六角形構成に従い配列されたマイクロ偏向アレイ。
請求項２１に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記六角形構成の中央カラム沿いにある六重極静電デフレクタの個数が項Ｍ_ｃにより定まり、ひいてはマイクロ偏向アレイにおける六重極静電デフレクタの総数ＭＢ_ｔｏｔがＭＢ_ｔｏｔ＝１／４・（１＋３Ｍ_Ｃ ^２）により定まるマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに備わる第１偏向プレート、第３偏向プレート及び第５偏向プレートに、第１合焦電圧が印加され、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに備わる第２偏向プレート、第４偏向プレート及び第６偏向プレートに、第２合焦電圧が印加されるマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、
前記６枚の偏向プレートに含まれる偏向プレートそれぞれがギャップ角δで以て分離されており、
第２偏向プレート、第３偏向プレート、第５偏向プレート及び第６偏向プレートが、β＋δ＝２０°となるプレート角βにより規定されるマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが、単一の電圧接続ラインで以て前記１個又は複数個の電圧源に結合されたマイクロ偏向アレイ。
請求項１６に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれがマイクロアインツェルレンズを備えるマイクロ偏向アレイ。
３次偏向収差をなくすように構成された、ほぼ半径Ｒで配列された６枚の偏向プレートを備え、それら６枚の偏向プレートに第１偏向プレート、第２偏向プレート、第３偏向プレート、第４偏向プレート、第５偏向プレート及び第６偏向プレートが含まれ、
第１偏向プレート、第３偏向プレート及び第５偏向プレートに第１合焦電圧が印加され、第２偏向プレート、第４偏向プレート及び第６偏向プレートに第２合焦電圧が印加される六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、単極性静電デフレクタを構成する六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、双極性静電デフレクタを構成する六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、第１合焦電圧が＋１Ｖ、第２合焦電圧が－１Ｖである六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、第２合焦電圧が０Ｖである六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、更に絶縁体基板を備え、前記６枚の偏向プレートがその絶縁体基板上に配設された六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、第２偏向プレート、第３偏向プレート、第５偏向プレート及び第６偏向プレートがプレート角βにより規定された六重極静電デフレクタ。
請求項３３に記載の六重極静電デフレクタであって、前記６枚の偏向プレートそれぞれが、β＋δ＝２０°となるギャップ角δにより分離された六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、更に、前記６枚の偏向プレートのうち３枚以上の偏向プレートを１個又は複数個の電圧源に電気的に結合させるよう構成された、１本又は複数本の電圧接続ラインを備える六重極静電デフレクタ。
請求項２７に記載の六重極静電デフレクタであって、マイクロアインツェルレンズを備える六重極静電デフレクタ。