JP7344285B2 - マルチ電子ビームシステム用偏向アレイ装置 - Google Patents
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Description
本願では、「マルチ電子ビーム装置用マイクロ偏向アレイ」(MICRO DEFLECTION ARRAY FOR MULTI ELECTRON BEAM APPARATUS)と題しXinrong Jiang及びChris Searsを発明者とする2018年10月12日付米国仮特許出願第62/744856号に基づき、米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張するので、参照により当該仮特許出願の全容を本願に繰り入れるものとする。
Claims (36)
- 電子源と、
前記電子源から1本又は複数本の一次電子ビームを受け取るよう構成されたマイクロレンズアレイ(MLA)であり、3次偏向収差をなくすように構成された複数個の六重極静電デフレクタが備わるマイクロ偏向アレイ(MDA)を有し、当該1本又は複数本の一次電子ビームを複数本の一次電子ビームレットへと分割するようそのマイクロ偏向アレイが構成されているマイクロレンズアレイと、
前記複数本の一次電子ビームレットを受け取りそれら複数本の一次電子ビームレットを標本の表面上へと集束させるよう構成されている投射光学系と、
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記マイクロ偏向アレイが、
絶縁体基板と、
その絶縁体基板上に配設された複数個の六重極静電デフレクタであり、それら複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが6枚の偏向プレートを備える、複数個の六重極静電デフレクタと、
前記絶縁体基板上に配設された複数本の電圧接続ラインであり、一通り又は複数通りの合焦電圧を前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加させるよう構成された1個又は複数個の電圧源に、複数本の接続ピン経由でそれら複数個の六重極静電デフレクタを電気的に結合させるよう構成された、複数本の電圧接続ラインと、
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、更に、1個又は複数個のプロセッサ及びメモリを有するコントローラを備え、当該1個又は複数個のプロセッサが、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加される一通り又は複数通りの合焦電圧を調整するよう、構成されているシステム。
- 請求項3に記載のシステムであって、前記1個又は複数個のプロセッサが、更に、前記一通り又は複数通りの合焦電圧を調整することで、前記複数本の一次電子ビームレットに含まれる一次電子ビームレットそれぞれの前記標本の表面での位置を個別調整するよう、構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、更に、前記電子源から一次電子ビームを受け取りその一次電子ビームを前記マイクロレンズアレイ(MLA)に差し向けるよう構成されたアパーチャを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記投射光学系が伝送レンズ及び対物レンズを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子源が熱電界放出(TFE)源を備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の双極性六重極静電デフレクタを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の単極性六重極静電デフレクタを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが六角形構成に従い配列されたシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記六角形構成の中央カラム沿いにある六重極静電デフレクタの個数が項Mcにより定まり、ひいてはマイクロ偏向アレイにおける六重極静電デフレクタの総数MBtotがMBtot=1/4・(1+3MC 2)により定まるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに第1偏向プレート、第2偏向プレート、第3偏向プレート、第4偏向プレート、第5偏向プレート、及び第6偏向プレートが順次配置され、前記第1偏向プレート、前記第3偏向プレート及び前記第5偏向プレートに、第1合焦電圧が印加され、
前記第2偏向プレート、前記第4偏向プレート及び前記第6偏向プレートに、第2合焦電圧が印加されるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに第1偏向プレート、第2偏向プレート、第3偏向プレート、第4偏向プレート、第5偏向プレート、及び第6偏向プレートが順次配置され、
前記第1~第6偏向プレートに含まれる偏向プレートそれぞれがギャップ角δで以て分離されており、
前記第2偏向プレート、前記第3偏向プレート、前記第5偏向プレート及び前記第6偏向プレートが、β+δ=20°となるプレート角βにより規定されるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが、単一の電圧接続ラインで以て1個の電圧源に結合された、あるいは複数個の電圧源にそれぞれ単一の電圧接続ラインで結合されたシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれがマイクロアインツェルレンズを備えるシステム。
- 絶縁体基板と、
その絶縁体基板上に配設された複数個の六重極静電デフレクタであり、それら複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが3次偏向収差をなくすように構成された6枚の偏向プレートを備える、複数個の六重極静電デフレクタと、
前記絶縁体基板上に配設された複数本の電圧接続ラインであり、一通り又は複数通りの合焦電圧を前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに印加させるよう構成された1個又は複数個の電圧源に、複数本の接続ピン経由でそれら複数個の六重極静電デフレクタを電気的に結合させるよう構成された、複数本の電圧接続ラインと、
を備えるマイクロ偏向アレイ。 - 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、電子源から1本又は複数本の一次電子ビームを受け取り、当該1本又は複数本の一次電子ビームを複数本の一次電子ビームレットへと分割するよう、構成されたマイクロ偏向アレイ。
- 請求項17に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数本の一次電子ビームレットに含まれる一次電子ビームレットそれぞれの位置を個別調整するよう構成されたマイクロ偏向アレイ。
- 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の双極性六重極静電デフレクタを含むマイクロ偏向アレイ。
- 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが複数個の単極性六重極静電デフレクタを含むマイクロ偏向アレイ。
- 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタが六角形構成に従い配列されたマイクロ偏向アレイ。
- 請求項21に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記六角形構成の中央カラム沿いにある六重極静電デフレクタの個数が項Mcにより定まり、ひいてはマイクロ偏向アレイにおける六重極静電デフレクタの総数MBtotがMBtot=1/4・(1+3MC 2)により定まるマイクロ偏向アレイ。
- 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、
前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれに第1偏向プレート、第2偏向プレート、第3偏向プレート、第4偏向プレート、第5偏向プレート、及び第6偏向プレートが順次配置され、前記第1偏向プレート、前記第3偏向プレート及び前記第5偏向プレートに、第1合焦電圧が印加され、
前記第2偏向プレート、前記第4偏向プレート及び前記第6偏向プレートに、第2合焦電圧が印加されるマイクロ偏向アレイ。 - 請求項23に記載のマイクロ偏向アレイであって、
前記第1~第6偏向プレートの偏向プレートそれぞれがギャップ角δで以て分離されており、
前記第2偏向プレート、前記第3偏向プレート、前記第5偏向プレート及び前記第6偏向プレートが、β+δ=20°となるプレート角βにより規定されるマイクロ偏向アレイ。 - 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれが、単一の電圧接続ラインで以て前記1個の電圧源に結合された、あるいは前記複数個の電圧源にそれぞれ単一の電圧接続ラインで結合されたマイクロ偏向アレイ。
- 請求項16に記載のマイクロ偏向アレイであって、前記複数個の六重極静電デフレクタに含まれる六重極静電デフレクタそれぞれがマイクロアインツェルレンズを備えるマイクロ偏向アレイ。
- 3次偏向収差をなくすように構成された、ほぼ半径Rで配列された6枚の偏向プレートを備え、それら6枚の偏向プレートに第1偏向プレート、第2偏向プレート、第3偏向プレート、第4偏向プレート、第5偏向プレート及び第6偏向プレートが順次含まれ、
前記第1偏向プレート、前記第3偏向プレート及び前記第5偏向プレートに第1合焦電圧が印加され、前記第2偏向プレート、前記第4偏向プレート及び前記第6偏向プレートに第2合焦電圧が印加される六重極静電デフレクタ。 - 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、単極性静電デフレクタを構成する六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、双極性静電デフレクタを構成する六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、第1合焦電圧が+1V、第2合焦電圧が-1Vである六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、第2合焦電圧が0Vである六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、更に絶縁体基板を備え、前記6枚の偏向プレートがその絶縁体基板上に配設された六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、前記第2偏向プレート、前記第3偏向プレート、前記第5偏向プレート及び前記第6偏向プレートがプレート角βにより規定された六重極静電デフレクタ。
- 請求項33に記載の六重極静電デフレクタであって、前記6枚の偏向プレートそれぞれが、β+δ=20°となるギャップ角δにより分離された六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、更に、前記6枚の偏向プレートのうち3枚以上の偏向プレートを1個又は複数個の電圧源に電気的に結合させるよう構成された、1本又は複数本の電圧接続ラインを備える六重極静電デフレクタ。
- 請求項27に記載の六重極静電デフレクタであって、マイクロアインツェルレンズを備える六重極静電デフレクタ。
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