JPWO2020066578A1 - 濾過フィルタ及び濾過方法 - Google Patents

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Abstract

濾過対象物の乾燥を抑えることができる濾過フィルタを提供する。本発明に係る濾過フィルタは、第1主面と、前記第1主面に対して対向する第2主面と、第1主面から第2主面まで貫通する複数の貫通孔を画定するフィルタ基体部と有し、フィルタ基体部で液体に含まれる濾過対象物を捕捉する濾過フィルタであって、互いに隣接する貫通孔を通るように第1主面から第2主面まで切った断面において、当該互いに隣接する貫通孔の間に位置するフィルタ基体部の幅方向の両端部には、第1主面から突出する一対の突起部が設けられ、フィルタ基体部の第1主面と一対の突起部とで液体の一部を溜める液溜まり部が構成されている。

Description

本発明は、液体に含まれる濾過対象物を捕捉する濾過フィルタ及び当該濾過フィルタを用いた濾過方法に関する。
従来、この種の濾過フィルタとして、例えば、特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1には、濾過対象物として細胞分散液に含まれる細胞を捕捉する濾過フィルタが記載されている。
特開2015−188314号公報
しかしながら、従来の濾過フィルタにおいては、濾過対象物の乾燥を抑えるという観点で改善の余地がある。
本発明の目的は、前記課題を解決することにあって、濾過対象物の乾燥を抑えることができる濾過フィルタを提供する。
前記目的を達成するために、本発明の一態様に係る濾過フィルタは、
第1主面と、前記第1主面に対して対向する第2主面と、前記第1主面から前記第2主面まで貫通する複数の貫通孔を画定するフィルタ基体部と有し、前記フィルタ基体部で液体に含まれる濾過対象物を捕捉する濾過フィルタであって、
互いに隣接する貫通孔を通るように前記第1主面から前記第2主面まで切った断面において、当該互いに隣接する貫通孔の間に位置するフィルタ基体部の幅方向の両端部には、前記第1主面から突出する一対の突起部が設けられ、前記フィルタ基体部の第1主面と前記一対の突起部とで前記液体の一部を溜める液溜まり部が構成されている。
本発明によれば、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
本発明の実施の形態に係る濾過フィルタの平面図である。 図1の濾過フィルタの一部拡大断面図である。 図1の濾過フィルタの液溜まり部が液体を捕捉した状態を示す一部拡大断面図である。 フィルタ部を第1主面側から見た一部拡大斜視図である。 図4の一部を更に拡大して見た斜視図である。 フィルタ部を第2主面側から見た一部拡大斜視図である。 図6の一部を更に拡大して見た斜視図である。 図1の濾過フィルタのフィルタ部の製造方法の一例を模式的に示す断面図である。 図8Aに続く工程を示す断面図である。 図8Bに続く工程を示す断面図である。 図8Cに続く工程を示す断面図である。 図8Dに続く工程を示す断面図である。 図8Eに続く工程を示す断面図である。 図8Fに続く工程を示す断面図である。 図8Eの点線で囲まれた領域の拡大断面図である。 本発明の実施例に係る濾過フィルタのフィルタ部の一部の拡大断面図である。 本発明の実施例に係る濾過フィルタのフィルタ部の一部の各種角度及び寸法を模式的に示す拡大断面図である。
(本発明の基礎となった知見)
本発明者らは、濾過対象物の乾燥を抑えるために鋭意検討した結果、以下の知見を得た。
濾過対象物を含む液体を濾過フィルタを用いて濾過した場合、濾過対象物は、濾過フィルタ上で空気中に晒されることになる。濾過対象物が特に細胞などの生体由来物質である場合、濾過対象物が空気中に晒されて乾燥すると、濾過対象物が濾過フィルタに密着して回収が困難になったり、濾過対象物の活性が低下することが起こり得る。
そこで、本発明者らは、鋭意検討した結果、濾過フィルタの主面上に液体の一部を溜める液溜まり部を設け、当該主面上に捕捉した濾過対象物が液溜まり部に溜められた液体に浸かるように構成することで、濾過対象物の乾燥を抑えられることを見出した。この新規な知見に基づいて、本発明者らは、以下の発明に至った。
本発明の一態様に係る濾過フィルタは、
第1主面と、前記第1主面に対して対向する第2主面と、前記第1主面から前記第2主面まで貫通する複数の貫通孔を画定するフィルタ基体部と有し、前記フィルタ基体部で液体に含まれる濾過対象物を捕捉する濾過フィルタであって、
互いに隣接する貫通孔を通るように前記第1主面から前記第2主面まで切った断面において、当該互いに隣接する貫通孔の間に位置するフィルタ基体部の幅方向の両端部には、前記第1主面から突出する一対の突起部が設けられ、前記フィルタ基体部の第1主面と前記一対の突起部とで前記液体の一部を溜める液溜まり部が構成されている。
この構成によれば、濾過対象物を捕捉するフィルタ基体部に液溜まり部が構成されているので、濾過対象物を液溜まり部に溜められた液体に浸けることができ、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
なお、前記突起部は、前記液溜まり部を形成する内面が、前記第1主面から離れるに従い前記液溜まり部の外形を大きくするように傾斜又は湾曲するよう構成されてもよい。この構成によれば、液溜まり部に液体をより溜めやすくすることができる。
また、前記突起部は、前記液溜まり部を形成する内面とは反対側の外面が、前記第1主面から離れるに従い当該突起部が隣接する貫通孔の内側に向けて傾斜又は湾曲するように構成されてもよい。この構成によれば、液溜まり部に液体をより一層溜めやすくすることができる。
また、互いに隣接する貫通孔を通るように前記第1主面から前記第2主面まで切った断面において、前記一対の突起部の内面の頂部同士を結ぶ直線の長さが、前記第2主面の長さよりも長くてもよい。この構成によれば、液溜まり部に液体をより一層溜めやすくすることができる。
また、前記突起部は、当該突起部が隣接する貫通孔の外周部に沿って環状に設けられてもよい。この構成によれば、液溜まり部に液体をより一層溜めやすくすることができる。
また、前記突起部は、平面視において、第1直線部と、第2直線部と、前記第1直線部の一端部と前記第2直線部の一端部とが接続されるコーナー部とを有し、前記コーナー部は、前記第1主面からの高さが、前記第1直線部及び前記第2直線部よりも低くなるように構成されてもよい。この構成によれば、例えば、濾過フィルタが厚さ方向に凹むように湾曲した際に、コーナー部にかかる応力を緩和することができ、突起部が破損することを抑えることができる。
また、前記第2主面は、平坦面であってもよい。このような本質的には平坦なフィルタであっても、液溜まり部を意図的に構成しているので、濾過対象物を液溜まり部に溜められた液体に浸けることができ、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
また、前記濾過フィルタは、前記濾過対象物として生物由来物質を濾過する金属製多孔膜で構成されてもよい。金属製多孔膜は熱伝導性が高いので、生物由来物質が乾燥しやすい。これに対して、この構成によれば、液溜まり部を意図的に構成しているので、濾過フィルタを金属製多孔膜で構成した場合であっても、生物由来物質を液溜まり部に溜められた液体に浸けることができ、生物由来物質の乾燥を抑えることができる。これにより、生物由来物質を生存状態でより長時間観察することが可能になる。
また、前記第1主面から前記突起部の頂部までの高さが、10nm以上であり且つ前記フィルタ基体部の厚みの10倍以下であってもよい。この構成によれば、濾過対象物が生物由来物質である場合に、当該生物由来物質の乾燥を抑えて、当該生物由来物質を生存状態で回収する回収率を向上させることができる。
また、本発明の一態様に係る濾過方法は、
本発明の一態様に係る濾過フィルタを用意する工程と、
前記第1主面に向けて前記濾過対象物を含む液体を供給し、前記液溜まり部で前記濾過対象物とともに前記液体の一部を捕捉する工程と、を含む。
この方法によれば、濾過フィルタの第1主面に向けて濾過対象物を含む液体を供給し、液溜まり部で濾過対象物とともに液体の一部を捕捉するので、濾過対象物を液溜まり部に溜められた液体に浸けることができ、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、各図においては、説明を容易なものとするため、各要素を誇張して示している。
(実施の形態)
本実施の形態に係る濾過フィルタの構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る濾過フィルタの平面図である。図2は、図1の濾過フィルタの一部拡大断面図である。
図1に示すように、本実施の形態に係る濾過フィルタ1は、液体に含まれる濾過対象物を捕捉するフィルタ部2と、フィルタ部2の外周部を囲むように配置された環状の枠部3とを備えている。
本実施の形態において、「濾過対象物」とは、液体に含まれる対象物のうち濾過されるべき対象物を意味している。例えば、濾過対象物は、液体に含まれる生物由来物質であってもよい。「生物由来物質」とは、細胞(真核生物)、細菌(真性細菌)、ウィルス等の生物に由来する物質を意味する。細胞(真核生物)としては、例えば、人工多能性幹細胞(iPS細胞)、ES細胞、幹細胞、間葉系幹細胞、単核球細胞、単細胞、細胞塊、浮遊性細胞、接着性細胞、神経細胞、白血球、再生医療用細胞、自己細胞、がん細胞、血中循環がん細胞(CTC)、HL−60、HELA、菌類を含む。細菌(真性細菌)としては、例えば、大腸菌、結核菌を含む。
図2に示すように、フィルタ部2は、第1主面2aと、第1主面2aに対向する第2主面2bとを有する薄板状又は膜状の構造体である。本実施の形態において、フィルタ部2は、濾過対象物として生物由来物質を濾過する金属製多孔膜で構成されている。フィルタ部2には、第1主面2aから第2主面2bまで貫通する複数の貫通孔21が設けられている。フィルタ部2は、複数の貫通孔21を画定するフィルタ基体部22を備えている。第1主面2aに向けて濾過対象物を含む液体を供給すると、フィルタ基体部22が液体に含まれる濾過対象物を捕捉し、液体は複数の貫通孔21を通じてフィルタ部2を通過する。
フィルタ部2の形状は、濾過フィルタ1の厚み方向から見て、例えば、円形、長方形、楕円形である。本実施の形態において、フィルタ部2の形状は、図1に示すように、略円形である。なお、本明細書において、「略円形」とは、短径の長さに対する長径の長さの比が1.0以上1.2以下であることをいう。枠部3は、フィルタ部2の外周部を保持し、フィルタ部2の機械的強度を高めるように構成されている。なお、枠部3は必ずしも設ける必要はない。
複数の貫通孔21は、フィルタ部2の第1主面2a及び第2主面2b上に周期的に配置されている。本実施の形態において、複数の貫通孔21は、フィルタ部2においてマトリクス状に等間隔で設けられている。
本実施の形態において、貫通孔21の形状は、フィルタ部2の第1主面2a側から見て正方形である。なお、貫通孔21の形状は、正方形に限定されるものではなく、例えば、長方形、円形、又は楕円などの他の形状であってもよい。
また、本実施の形態において、図2に示すように、フィルタ部2の厚み方向に切った断面における貫通孔21の形状(断面形状)は、台形である。具体的には、貫通孔21の断面形状は、第1主面2a側に短辺が位置し、第2主面2b側に長辺が位置する台形である。台形の斜辺の第2主面2bに対する傾斜角度は、例えば80度である。なお、貫通孔21の断面形状は、台形に限定されるものではなく、例えば、長方形であってもよい。また、貫通孔21の断面形状は、対称形状であってもよいし、非対称形状であってもよい。
また、本実施の形態において、複数の貫通孔21は、フィルタ部2の第1主面2a側から見て正方形の各辺と平行な2つの配列方向に等間隔で設けられている。即ち、複数の貫通孔21は、正方格子配列に設けられている。この構成によれば、濾過フィルタ1の開口率を高めることが可能となり、濾過フィルタ1に対する液体の通過抵抗を低減することができる。また、濾過の時間を短くし、濾過対象物へのストレスを低減することができる。
なお、複数の貫通孔21の配列は、正方格子配列に限定されるものではなく、例えば、準周期配列、又は周期配列であってもよい。周期配列の例としては、方形配列であれば、2つの配列方向の間隔が等しくない長方形配列でもよく、三角格子配列又は正三角格子配列などであってもよい。なお、貫通孔21は、フィルタ部2に複数設けられていればよく、配列は限定されない。
複数の貫通孔21の間隔は、濾過対象物の種類(大きさ、形態、性質、弾性)又は量に応じて適宜設計されるものである。ここで、貫通孔21の間隔とは、貫通孔21をフィルタ部2の第1主面2a側から見て、任意の貫通孔21の中心と隣接する貫通孔21の中心との距離を意味する。周期配列の構造体の場合、貫通孔21の間隔は、例えば、貫通孔21の一辺の1倍より大きく10倍以下であり、好ましくは貫通孔21の一辺の3倍以下である。また、例えば、フィルタ部2の開口率は、10%以上であり、好ましくは25%以上である。この構成によれば、フィルタ部2に対する液体の通過抵抗を低減することができる。その結果、処理時間を短くすることができ、濾過対象物へのストレスを低減することができる。なお、開口率とは、(貫通孔21が占める面積)/(貫通孔21が空いていないと仮定したときの第1主面2aの投影面積)で計算される。
フィルタ部2の厚みtは、貫通孔21の大きさの0.1倍より大きく100倍以下であることが好ましい。より好ましくは、フィルタ部2の厚みtは、貫通孔21の大きさの0.5倍より大きく10倍以下である。この構成によれば、液体に対する濾過フィルタ1の抵抗を低減することができ、濾過の時間を短くすることができる。その結果、濾過対象物へのストレスを低減することができる。
フィルタ部2において、濾過対象物を含む液体が接触する第1主面2aは、表面粗さが小さいことが好ましい。ここで、表面粗さとは、第1主面2aの任意の5箇所において触針式段差計で測定された最大値と最小値の差の平均値を意味する。本実施の形態において、表面粗さは、濾過対象物の大きさより小さいことが好ましく、濾過対象物の大きさの半分より小さいことがより好ましい。言い換えると、フィルタ部2の第1主面2a上の複数の貫通孔21の開口が同一平面上に形成されている。また、フィルタ部2のうち貫通孔21が形成されていない部分であるフィルタ基体部22は、繋がっており、一体に形成されている。この構成によれば、フィルタ部2の第1主面2aへの濾過対象物の付着が低減され、液体の抵抗を低減することができる。
フィルタ基体部22を構成する材料は、金属又は金属酸化物を主成分としている。フィルタ基体部22は、例えば、金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、チタン、これらの合金及びこれらの酸化物であってもよい。
また、図2に示すように、互いに隣接する貫通孔21を通るように第1主面2aから第2主面2bまで切った断面(すなわち、フィルタ部2の厚み方向に切った断面)において、当該互いに隣接する貫通孔21の間に位置するフィルタ基体部22の幅方向の両端部には、第1主面2aから突出する一対の突起部22a,22bが設けられている。本実施の形態においては、図3に示すように、フィルタ基体部22の第1主面2aと一対の突起部22a,22bとで、濾過対象物を含む液体23の一部を溜める液溜まり部24が構成されている。濾過対象物を捕捉するフィルタ基体部22に液溜まり部24が構成されているので、濾過対象物を液溜まり部24に溜められた液体23に浸けることができ、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
突起部22a,22bは、液溜まり部24を形成する内面22aa,22baが、第1主面2aから離れるに従い液溜まり部24の外形を大きくするように傾斜又は湾曲するよう構成されている。この構成によれば、液溜まり部24に液体23を捕捉しやすくなり、液体23をより溜めやすくすることができる。
本実施の形態においては、図2に示すように、互いに隣接する貫通孔21を通るように第1主面2aから第2主面2bまで切った断面において、一対の突起部22a,22bの内面22aa,22baの頂部同士を結ぶ直線SLの長さL1が、第2主面2bの幅方向の長さL2よりも長くなるように構成されている。この構成によれば、濾過対象物を含む液体23が供給される側における液溜まり部24の開口を大きくして、液体23の表面張力を大きくし、液溜まり部24に液体23をより一層溜めやすくすることができる。
また、本実施の形態において、突起部22aは、液溜まり部24を形成する内面22aaとは反対側の外面22abが、第1主面2aから離れるに従い突起部22aが隣接する貫通孔21の内側に向けて傾斜又は湾曲するように構成されている。同様に、突起部22bは、液溜まり部24を形成する内面22baとは反対側の外面22bbが、第1主面2aから離れるに従い突起部22bが隣接する貫通孔21の内側に向けて傾斜又は湾曲するように構成されている。この構成によれば、濾過対象物を含む液体23が供給される側における液溜まり部24の開口を大きくして、液体23の表面張力を大きくし、液溜まり部24に液体23をより一層溜めやすくすることができる。
図4は、フィルタ部2を第1主面2a側から見た一部拡大斜視図である。図5は、図4の一部を更に拡大して見た斜視図である。
図4及び図5に示すように、突起部22aは、当該突起部22aが隣接する貫通孔21の外周部に沿って環状に設けられている。同様に、突起部22bは、当該突起部22bが隣接する貫通孔21の外周部に沿って環状に設けられている。これらの構成によれば、液溜まり部24に溜められた液体23が貫通孔21を通じて漏れることを抑えることができ、液溜まり部24に液体をより一層溜めやすくすることができる。
また、突起部22aは、平面視において、第1直線部22acと、第2直線部22adと、第1直線部22acの一端部と第2直線部22adの一端部とが接続されるコーナー部22aeとを有している。コーナー部22aeは、第1主面2aからの高さが、第1直線部22ac及び第2直線部22adよりも低くなるように構成されている。言い換えれば、コーナー部22aeは、第1直線部22ac及び第2直線部22adの頂部の稜線を凹ませるように構成されている。この構成によれば、例えば、濾過フィルタ1が厚さ方向に凹むように湾曲した際に、コーナー部22aeにかかる応力を緩和することができ、突起部22aが破損することを抑えることができる。
同様に、突起部22bは、平面視において、第1直線部22bcと、第2直線部22bdと、第1直線部22bcの一端部と第2直線部22bdの一端部とが接続されるコーナー部22beとを有している。コーナー部22beは、第1主面2aからの高さが、第1直線部22bc及び第2直線部22bdよりも低くなるように構成されている。この構成によれば、濾過フィルタ1が湾曲した際に、コーナー部22beにかかる応力を緩和することができ、突起部22bが破損することを抑えることができる。
図6は、フィルタ部2を第2主面2b側から見た一部拡大斜視図である。図7は、図6の一部を更に拡大して見た斜視図である。
本実施の形態においては、本質的には両主面が平坦なフィルタを加工して、一方の主面に液溜まり部24を意図的に構成している。このため、図6及び図7に示すように、フィルタ部2の第2主面2bは、平坦面になっている。すなわち、フィルタ部2の第2主面2bは、水平面に載置したときに、当該水平面に全面が接触するように構成されている。このような本質的には平坦なフィルタであっても、液溜まり部24を意図的に構成することで、濾過対象物を液溜まり部24に溜められた液体23に浸けることができ、濾過対象物の乾燥を抑えることができる。
本実施の形態において、フィルタ部2は、前述したように、濾過対象物として生物由来物質を濾過する金属製多孔膜で構成されている。金属製多孔膜は、本質的には両主面が平坦なフィルタである。また、金属製多孔膜は熱伝導性が高いので、生物由来物質が乾燥しやすい。これに対して、本実施の形態においては、フィルタ部2に液溜まり部24を意図的に構成しているので、濾過フィルタ1を金属製多孔膜で構成した場合であっても、生物由来物質を液溜まり部24に溜められた液体に浸けることができ、生物由来物質の乾燥を抑えることができる。これにより、生物由来物質を生存状態でより長時間観察することが可能になる。
また、金属製多孔膜は、樹脂製多孔膜に比べて、貫通孔の寸法、配置等を精度良く作製することができる。このため、フィルタ部2を金属製多孔膜で構成することによって、濾過対象物の回収率を向上させることができる。また、金属製多孔膜は、濾過対象物が密着した場合でも樹脂製多孔膜に比べて比較的容易に濾過対象物を剥離することができる。その結果、金属製多孔膜に密着した濾過対象物を剥離する際に、濾過対象物が損傷するようなことを抑えることができる。
次に、本実施の形態に係る濾過フィルタ1を用いた濾過方法について説明する。
まず、図1〜図7を用いて説明した構造を有する濾過フィルタ1を用意する。
次いで、第1主面2aに向けて濾過対象物を含む液体を供給し、図3に示すように、液溜まり部24で濾過対象物とともに液体23の一部を捕捉する。液溜まり部24に捕捉されなかった液体23は、複数の貫通孔21を通じてフィルタ部2を通過する。
このとき、液溜まり部24に捕捉された濾過対象物は、液体23に浸けられることになる。これにより、濾過対象物の乾燥が抑えられる。
次に、本実施の形態に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2の製造方法の一例を説明する。図8A〜図8Gは、本実施の形態に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2の製造方法の一例を模式的に示す断面図である。図9は、図8Eの点線で囲まれた領域の拡大断面図である。
まず、図8Aに示すように、基板41を用意する。
次いで、図8Bに示すように、基板41上にスパッタ膜42を形成する。
次いで、図8Cに示すように、スパッタ膜42上にレジスト膜43を形成する。
次いで、図8Dに示すように、レジスト膜43を露光、現像処理して、フィルタ基体部22に対応する部分を除去し、レジスト像43Aを形成する。このとき、図9に示すように、レジスト像43Aにおけるフィルタ基体部22に対応する部分を、スパッタ膜42から離れるに従い外形が大きくなるようにテーパ状に形成する。
次いで、図8Eに示すように、レジスト像43Aの上方から金属44を蒸着する。
次いで、図8Fに示すように、フィルタ基体部22となる金属44をスパッタ膜42上に残して、レジスト像43A及びレジスト像43A上に蒸着した金属44を溶解及び剥離する。
次いで、図8Gに示すように、スパッタ膜42をエッチングして基板41上から除去し、フィルタ基体部22となる金属44を基板41から分離する。これにより、濾過フィルタ1のフィルタ部2を製造することができる。
(実施例)
次に、実施例に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2の製造方法を説明する。
まず、図8Aに示すように、基板41として表面洗浄を行ったシリコン基板を用意した。
次いで、図8Bに示すように、基板41上に、スパッタ膜42としてチタンと銅との2層の膜を形成した。ここでは、チタンの厚さは50nmとした。銅の厚さは500nmとした。
次いで、図8Cに示すように、スパッタ膜42上に、スピンコーターを用いて感光性ポジ型液体レジストを塗布し、ホットプレートで加熱乾燥してレジスト膜43を形成した。ここでは、スピンコーターは、回転数1140rpmで30秒間駆動させた。感光性ポジ型液体レジストとしては、住友化学製Pfi−37Aを用いた。ホットプレートは、温度90℃で90秒間駆動した。このような条件により、スパッタ膜42上に、厚さ2.0μmのレジスト膜43を形成した。
次いで、図8Dに示すように、露光機としてi線ステッパーを使用するとともに、現像機としてパドル現像装置を使用し、レジスト膜43を露光、現像処理して、レジスト像43Aを形成した。ここでは、現像液としてTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を使用した。その後、水洗、乾燥処理を行った。
なお、露光機による露光量を2200J/cm以上2450J/cm以下としたところ、図9に示すように、レジスト像43Aにおけるフィルタ基体部22に対応する部分を、所望のテーパ状(例えば、傾斜角度:10度)に形成することができた。一方、露光機による露光量を2500J/cm以上3300J/cm以下としたところ、レジスト像43Aにおけるフィルタ基体部22に対応する部分を、所望のテーパ状に形成することが困難であった。これは、レジスト膜43に対する露光量が大きくなることにより、露光ビームの侵入深さが深くなり、レジスト膜43の深さ方向に露光勾配が付き難くなるためと思われる。
また、露光機による露光フォーカス位置を+0.5μm以上+2.0μm以下としたところ、図9に示すように、レジスト像43Aにおけるフィルタ基体部22に対応する部分を、所望のテーパ状(例えば、傾斜角度:10度)に形成することができた。一方、露光機による露光フォーカス位置を−0.5μm以上0.0μm以下としたところ、レジスト像43Aにおけるフィルタ基体部22に対応する部分を、所望のテーパ状に形成することが困難であった。これは、露光フォーカス位置がレジスト膜43のより近くに位置することにより、露光ビームの侵入深さが深くなり、レジスト膜43の深さ方向に露光勾配が付き難くなるためと思われる。
次いで、図8Eに示すように、レジスト像43Aの上方から金属44としてチタンを蒸着した。また、このとき、レジスト像43Aのテーパ状の傾斜面に効率良く且つ均一にチタンを蒸着させるため、基板41を水平面に対して30度傾斜させるとともに、基板41の中心を回転中心として回転させながら、チタンの蒸着を行った。ここでは、蒸着機として日本電子製真空蒸着装置を使用し、基板無加熱下でチタンを0.5μmの厚さで蒸着した。成膜速度は5Å/秒とした。基板41の回転速度は5rpm以上40rpm以下(具体的には30rpm)とした。成膜時間は16.7分とした。
なお、基板41を水平面に対して平行に配置するとともに、基板41を回転させなかった場合、レジスト像43Aのテーパ状の傾斜面に沿ってチタンが滑り、当該傾斜面にチタンを効率良く且つ均一に蒸着させることが困難であった。また、レジスト像43Aのテーパ状の2つの隣接する傾斜面が接続されるコーナー部22ae,22beでは、チタンが他の部分よりも傾斜面に沿って滑りやすく、スパッタ膜42からの高さが低くなった。
次いで、図8Fに示すように、高圧スプレー処理が可能なリフトオフ装置を用い、レジスト剥離液NMP(N−メチル−2−ピロリドン)で、レジスト像43A及びレジスト像43A上に蒸着した金属44を剥離した。その後、IPA(イソプロピルアルコール)で洗浄した後、水洗処理して乾燥させた。
次いで、図8Gに示すように、エッチング液を使用し、スターラーを撹拌させながら浸漬処理して、スパッタ膜42の銅をエッチングして除去し、フィルタ基体部22となる金属44を基板41から分離した。ここでは、エッチング液として酢酸過水(酢酸:過酸化水素:水=5:5:90)を使用した。浸漬処理時間は12時間とした。
このようにして、実施例に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2を製造した。なお、貫通孔21の第2主面2b側の外形は、10μm角の正方形であるものとした。また、フィルタ基体部22の第2主面2b側の幅方向の長さL2は、4μmであるものとした。フィルタ部2の厚さ(第1主面2aから第2主面2bまでの長さ)は、0.5μmであるものとした。
次に、前述した実施例に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2を電子顕微鏡で観察した結果について説明する。
前述した実施例に係る濾過フィルタ1のフィルタ部2を電子顕微鏡で観察したところ、図10に示すように、突起部22aと突起部22bとが非対称形状である箇所があった。また、フィルタ部2の任意の6箇所において、図11に示す各種角度及び寸法を側長したところ、以下の表1の結果が得られた。表1において、「A1」は、第1主面2aに対する突起部22aの外面22abの傾斜角度を示している。「A2」は、第1主面2aに対する貫通孔21の傾斜角度を示している。「C1」は、突起部22aにおける内面22aaの頂部と外面22abの頂部との間の長さを示している。「C2」は、突起部22aにおける内面22aaの基端部と外面22abの基端部との間の長さを示している。「D」は、第1主面2aから突起部22aの頂部までの高さを示している。「T」は、フィルタ部2の厚み(フィルタ基体部22の厚み)を示している。
Figure 2020066578
表1より、「D」と「T」との長さ関係に関わらず、「A1」は90度未満であり、「A2」は「A1」よりも小さく、「C1」は「C2」より小さいことが分かった。
次に、フィルタ部2の厚みT及び突起部22aの高さDを異ならせた実施例1−8及び比較例1に係る濾過フィルタを作製し、各濾過フィルタで濾過対象物として生物由来物質である細胞を濾過した実験結果について説明する。下記表2は、1×10個の細胞を含む2mlの細胞懸濁液を各濾過フィルタで濾過した実験結果を示している。
Figure 2020066578
表2において、「細胞捕捉率」とは、各濾過フィルタに投入した細胞数に対して、フィルタ部に残存した細胞数の割合(残存細胞数/投入細胞数)をいう。また、「約3分後の全細胞の回収率」とは、前記投入から約3分後において、フィルタ部に残存した細胞数に対して、PBS(リン酸緩衝生理食塩水)洗浄によりフィルタ部から回収できた細胞数の割合をいう。また、「約3分後の回収細胞の生存率」とは、前記フィルタ部から回収できた細胞数に対して、生存状態である細胞数の割合をいう。また、「生存細胞回収率」とは、フィルタ部に残存した細胞数に対して、前記フィルタ部から生存状態で回収できた細胞数の割合をいう。
表2から分かるように、突起部の高さDが10nm以上である実施例1−8に係る濾過フィルタでは、生存細胞回収率が1%以上であった。一方、突起部の高さDが0nmである比較例に係る濾過フィルタでは、生存細胞回収率が0%であった。これにより、突起部の高さDを10nm以上にすることで、細胞の乾燥を抑えて、当該細胞を生存状態で回収する生存細胞回収率を向上させることができることが確認された。
また、表2から分かるように、突起部の高さDがフィルタ部の厚みTの10倍以下である実施例1−6に係る濾過フィルタでは、生存細胞回収率が27%以上であった。一方、突起部の高さDがフィルタ部の厚みTの10倍よりも大きい実施例7,8に係る濾過フィルタでは、生存細胞回収率が1〜15%以下の範囲でばらついた。これは、実施例7,8に係る濾過フィルタでは、フィルタ部の厚みTに対する突起部の高さDの割合が高いため、突起部の高さDを安定して均一に形成することが難しく、突起部に不具合箇所が生じたためと考えられる。これにより、突起部の高さDをフィルタ部の厚みTの10倍以下にすることで、細胞の乾燥を抑えて、当該細胞を生存状態で回収する生存細胞回収率を向上させることができることが確認された。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、前記では、フィルタ部2が金属製多孔膜で構成されるものとしたが、本発明はこれに限定されない。フィルタ部2は、液体に含まれる濾過対象物を濾過することができるものであればよい。例えば、フィルタ部2は、メンブレンなどの他のフィルタであってもよい。また、例えば、フィルタ部2として熱伝導性が低いシリコン製多孔膜や樹脂製多孔膜を用いた場合、液溜まり部24に溜められた液体23が蒸発することを抑えることができる。その結果、濾過対象物の乾燥をより抑えることができる。
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
本発明の濾過フィルタは、濾過対象物の乾燥を抑えることができるので、特に、細胞等の生体由来物質を濾過する濾過フィルタとして有用である。
1 濾過フィルタ
2 フィルタ部
2a 第1主面
2b 第2主面
3 枠部
21 貫通孔
22 フィルタ基体部
22a,22b 突起部
22aa,22ba 内面
22ab,22bb 外面
22ac,22bc 第1直線部
22ad,22bd 第2直線部
22ae,22be コーナー部
23 液体
24 液溜まり部
41 基板
42 スパッタ膜
43 レジスト膜
43A レジスト像
44 金属

Claims (10)

  1. 第1主面と、前記第1主面に対して対向する第2主面と、前記第1主面から前記第2主面まで貫通する複数の貫通孔を画定するフィルタ基体部と有し、前記フィルタ基体部で液体に含まれる濾過対象物を捕捉する濾過フィルタであって、
    互いに隣接する貫通孔を通るように前記第1主面から前記第2主面まで切った断面において、当該互いに隣接する貫通孔の間に位置するフィルタ基体部の幅方向の両端部には、前記第1主面から突出する一対の突起部が設けられ、前記フィルタ基体部の第1主面と前記一対の突起部とで前記液体の一部を溜める液溜まり部が構成されている、濾過フィルタ。
  2. 前記突起部は、前記液溜まり部を形成する内面が、前記第1主面から離れるに従い前記液溜まり部の外形を大きくするように傾斜又は湾曲するよう構成されている、請求項1に記載の濾過フィルタ。
  3. 前記突起部は、前記液溜まり部を形成する内面とは反対側の外面が、前記第1主面から離れるに従い当該突起部が隣接する貫通孔の内側に向けて傾斜又は湾曲するように構成されている、請求項1又は2に記載の濾過フィルタ。
  4. 互いに隣接する貫通孔を通るように前記第1主面から前記第2主面まで切った断面において、前記一対の突起部の内面の頂部同士を結ぶ直線の長さが、前記第2主面の長さよりも長い、請求項1〜3のいずれか1つに記載の濾過フィルタ。
  5. 前記突起部は、当該突起部が隣接する貫通孔の外周部に沿って環状に設けられている、請求項1〜4のいずれか1つに記載の濾過フィルタ。
  6. 前記突起部は、平面視において、第1直線部と、第2直線部と、前記第1直線部の一端部と前記第2直線部の一端部とが接続されるコーナー部とを有し、
    前記コーナー部は、前記第1主面からの高さが、前記第1直線部及び前記第2直線部よりも低くなるように構成されている、請求項5に記載の濾過フィルタ。
  7. 前記第2主面は、平坦面である、請求項1〜6のいずれか1つに記載の濾過フィルタ。
  8. 前記濾過フィルタは、前記濾過対象物として生物由来物質を濾過する金属製多孔膜で構成されている、請求項1〜7のいずれか1つに記載の濾過フィルタ。
  9. 前記第1主面から前記突起部の頂部までの高さが、10nm以上であり且つ前記フィルタ基体部の厚みの10倍以下である、請求項8に記載の濾過フィルタ。
  10. 請求項1〜9のいずれか1つに記載の濾過フィルタを用意する工程と、
    前記第1主面に向けて前記濾過対象物を含む液体を供給し、前記液溜まり部で前記濾過対象物とともに前記液体の一部を捕捉する工程と、
    を含む、濾過方法。
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