JPWO2019239497A1 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 試料に照射する荷電粒子線を生成する荷電粒子源と、
前記試料に前記荷電粒子線を照射したときに発生する荷電粒子を検出する荷電粒子検出部と、
前記荷電粒子検出部で検出された荷電粒子の強度のデータを生成する強度データ生成部と、
前記荷電粒子検出部で検出された荷電粒子の波高値のデータを生成する波高値データ生成部と、
前記強度のデータに基づいた前記試料の第1画像と前記波高値のデータに基づいた前記試料の第2画像とを出力する出力部と、を含む荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部において、前記強度のデータを生成するための荷電粒子の感受面の前記試料から見た立体角は、前記波高値のデータを生成するための荷電粒子の感受面の前記試料から見た立体角よりも大きい、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部において、前記強度のデータを生成するための荷電粒子の感受面積は、前記波高値のデータを生成するための荷電粒子の感受面積よりも大きい、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部の感受面の少なくとも一部は、第1の期間において前記強度のデータを生成するための荷電粒子の検出のために使用され、前記第1の期間と異なる第2の期間において前記波高値のデータを生成するための荷電粒子の検出のために使用される、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部は、
前記強度のデータを生成するための荷電粒子を検出する第1荷電粒子検出部と、
前記第1荷電粒子検出部と異なる位置に配置された、前記波高値のデータを生成するための荷電粒子を検出する第2荷電粒子検出部と、を含む、荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部は、複数のピクセルを含み、
前記複数のピクセルの第1の部分は、前記強度のデータを生成するための荷電粒子を検出するために使用され、
前記複数のピクセルの第2の部分は前記波高値のデータを生成するための荷電粒子の検出のために使用され、
前記第1の部分のピクセル数は、前記第2の部分のピクセル数よりも多い、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子検出部と前記荷電粒子検出部の電流信号を増幅するプリアンプとは、シリコン集積回路内に収容されている、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記第2画像は、前記荷電粒子のエネルギスペクトルの一部のエネルギ帯を利用したバンドパス画像である、荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置であって、
前記出力部は、前記第1画像と前記第2画像とを重ねて表示する、荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記波高値のデータのエネルギ分解能を向上するようにデジタル信号処理を実行する、荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置であって、
ユーザ指定に応じて前記デジタル信号処理のアルゴリズムを切り替える、荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置であって、
前記出力部は、前記デジタル信号処理のアルゴリズムの適用により分離されたピークを含むエネルギスペクトルを表示する、荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置であって、
前記出力部は、前記デジタル信号処理を実行した後のエネルギスペクトルと、前記デジタル信号処理の実行前のエネルギスペクトルを同時に表示する、荷電粒子線装置。
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