JPWO2018173884A1 - プローブ構造体、及びプローブ構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(第一実施形態)
(第二実施形態)
導通部5の貫通孔24の内部に位置する部分が比較的弱い力でも塑性変形しやすいものであったり貫通孔24の内壁と導通部5との接着強度が十分に強いものではなかったりした場合でも、電線9から貫通孔24内の導通部5にかけた力が電極3に伝わって保持板2またはその第一面21上の絶縁膜23から電極3が剥離したり電極3が破壊変形したりすることなく、電線9をしっかりと導通部5に接続できる。第二面側から見たとき、当該接続部の形状を貫通孔24と同心円としても良いし、貫通孔24の中心から偏心した楕円などの形状としても良い。当該接続部と貫通孔24内の導通部5とは同一材質のものを用いることもできるし、異なる材質のものを用いることもできる。当該接続部と貫通孔24内の導通部5とは同一工程で形成しても良いし、貫通孔24内に導通部5を形成する工程と当該接続部を第二面22側に形成する工程とを別の工程としてもよい。
2 保持板
3 電極
4 カーボンナノチューブ構造体
5 導通部
6 保形層
21 第一面
22 第二面
24 貫通孔
25 絶縁層
31 触媒
41 カーボンナノチューブ
Claims (11)
- 第一面と第二面とを有し、少なくとも前記第一面が絶縁された保持板と、
当該保持板の第一面に、互いに分離した状態で形成された複数の電極と、
当該各電極上に立設されたカーボンナノチューブ構造体とを備え、
前記保持板には、前記各電極と対応する貫通孔が形成されているプローブ構造体。 - 前記各電極から前記貫通孔を通って前記保持板の第二面側に延びる導通部をさらに備えている請求項1記載のプローブ構造体。
- 前記各カーボンナノチューブ構造体の前記各電極から立ち上がる立上り部分よりも、前記各カーボンナノチューブ構造体の中間部分が収束されている請求項1又は2記載のプローブ構造体。
- 前記各カーボンナノチューブ構造体は、絶縁性と弾力性とを有する素材からなる保形層により囲繞され、前記各カーボンナノチューブ構造体の先端部が前記保形層の表面から露出している請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブ構造体。
- 第一面と第二面とを有し、少なくとも前記第一面が絶縁された保持板の第一面に複数の電極を互いに分離させた状態で形成する電極形成工程と、
前記複数の電極上に触媒を配設する触媒配設工程と、
前記触媒の存在下で複数本のカーボンナノチューブを化学気相成長させてカーボンナノチューブ構造体を前記各電極上に生成するカーボンナノチューブ構造体生成工程と、
前記各電極と対応する貫通孔を前記保持板に形成する貫通孔形成工程とを備えているプローブ構造体の製造方法。 - 前記カーボンナノチューブ構造体生成工程において生成された前記各カーボンナノチューブ構造体を、液体にさらした後、乾燥させることにより、前記各カーボンナノチューブ構造体の前記各電極から立ち上がる立上り部分よりも、前記各カーボンナノチューブ構造体の中間部分を収束させる収束工程をさらに備えている請求項5記載のプローブ構造体の製造方法。
- 前記各カーボンナノチューブ構造体を囲繞するように流動性を有する充填材料を充填した後、当該充填材料を硬化させて絶縁性と弾力性とを有する保形層を形成する保形層形成工程をさらに備えている請求項5又は6記載のプローブ構造体の製造方法。
- 前記保形層形成工程において、前記カーボンナノチューブ構造体を構成する複数本のカーボンナノチューブの間に前記流動性を有する充填材料を充填して硬化させる請求項7記載のプローブ構造体の製造方法。
- 前記各カーボンナノチューブ構造体の先端部と、前記保形層の表面とを切除する切除工程をさらに備えている請求項7又は8記載のプローブ構造体の製造方法。
- 前記保持板に形成された前記貫通孔に導電性を有する材料を充填して、前記電極の設置部から前記保持板の第二面側に延びる導通部を形成する導通部形成工程をさらに備える請求項5〜9のいずれか1項に記載のプローブ構造体の製造方法。
- 前記貫通孔形成工程で前記保持板に前記貫通孔を形成するとともに、前記導通部形成工程で前記貫通孔に導電性を有する材料を充填して前記導通部を形成した後に、前記電極形成工程で、前記保持板の第一面に前記電極を形成する請求項10記載のプローブ構造体の製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007111107A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Fujitsu Limited | 炭素系繊維のデバイス構造およびその製造方法 |
WO2009101664A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Fujitsu Limited | 半導体装置の製造方法 |
JP2009531864A (ja) * | 2006-03-31 | 2009-09-03 | インテル コーポレイション | インターコネクト用カーボンナノチューブはんだ組成物構造、当該はんだ組成物構造の作製方法、当該はんだ組成物構造を含むパッケージ、及び当該はんだ組成物構造を含むシステム |
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JP2013504509A (ja) * | 2009-09-14 | 2013-02-07 | フォームファクター, インコーポレイテッド | カーボンナノチューブカラムと、カーボンナノチューブカラムをプローブとして作成及び使用する方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007111107A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Fujitsu Limited | 炭素系繊維のデバイス構造およびその製造方法 |
JP2009531864A (ja) * | 2006-03-31 | 2009-09-03 | インテル コーポレイション | インターコネクト用カーボンナノチューブはんだ組成物構造、当該はんだ組成物構造の作製方法、当該はんだ組成物構造を含むパッケージ、及び当該はんだ組成物構造を含むシステム |
WO2009101664A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Fujitsu Limited | 半導体装置の製造方法 |
WO2010023720A1 (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | 株式会社 東芝 | 構造体、電子装置及び構造体の形成方法 |
JP2013504509A (ja) * | 2009-09-14 | 2013-02-07 | フォームファクター, インコーポレイテッド | カーボンナノチューブカラムと、カーボンナノチューブカラムをプローブとして作成及び使用する方法 |
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