JPWO2018154729A1 - ヒータ一体型フィルタ、及び回転機械システム - Google Patents

ヒータ一体型フィルタ、及び回転機械システム Download PDF

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Abstract

圧縮機(2)からプロセスガス(PG)の一部を取り込む吸込口(23)、及びプロセスガス(PG)を吐き出す吐出口(31)が形成されたケーシング(11)と、ケーシング(11)の内部に設けられ、吸込口(23)からのプロセスガス(PG)を通過させるフィルタ本体(12)と、ケーシング(11)の内部に配置され、フィルタ本体(12)を通過したプロセスガス(PG)が延在方向に沿って吐出口(31)に向かって流通可能な棒状をなすヒータ(13)と、を備えるヒータ一体型フィルタ(10)である。

Description

本発明は、回転機械のガスシール装置に用いるシールガスを生成するヒータ一体型フィルタ、及び、ヒータ一体型フィルタを備える回転機械システムに関する。
流体としてプロセスガスを圧縮する遠心圧縮機等の回転機械には、機内のプロセスガスの外部への漏洩を抑制するため、ガスシール装置が設けられることがある。
このガスシール装置は、例えば特許文献1に開示されている。
具体的には、ガスシール装置は、回転軸の軸端部に設けられ、回転環と静止環とを備えている。回転環は、回転軸の外周部に回転軸と一体に設けられ、静止環は、ケーシングに固定され、回転環に対して回転軸の軸方向において対向するよう設けられている。静止環は、バネによって回転環に押し付けられている。これにより、回転機械が停止している状態では静止環と回転環とが突き当たって隙間が無い状態となっている。また、回転環における静止環に対向する表面には螺旋状の溝が形成されているので、回転機械が作動して回転軸が回転すると、螺旋状の溝にシールガスが導入される。そしてこのガスの圧力により、静止環がコイルバネの付勢力に抗して回転軸の軸方向に沿って押圧され、回転環と静止環との間に微少な隙間が形成される。この隙間によって回転環と静止環との接触による摩耗が抑制されつつ、隙間からのシールガスの漏れ量が最小限に抑制されつつ、回転機械の機内にプロセスガスが封止される。
ところで、このようなガスシール装置に導入されるシールガスは、圧縮機からのプロセスガスの一部を用いて生成される場合がある。この場合、プロセスガスをフィルタを通過させ、プロセスガス中の異物を取り除くことでシールガスとする。さらに、プロセスガスの組成によってはプロセスガスが液化し易いことがあるため、フィルタを通過したガスをヒータによって露点温度以上に昇温する場合がある。
特許第3979091号公報
近年、フィルタを通過したガスをヒータによって昇温する必要があるケースが増加している。しかしながら、このようなヒータを含むユニットは、既存のガスシール装置に追設することで設置されるため、設置スペースの制約がある場合、追設は困難である。さらに、ヒータのユニットを追設する方法では、さらなる省スペース化は難しいのが現状である。
本発明は、省スペース化が可能なヒータ一体型フィルタ、及びこれを備える回転機械システムを提供する。
本発明の第一の態様に係るヒータ一体型フィルタは、回転機械の流体の一部又は外部流体を取り込み、前記回転機械内に前記流体の封止を行うためのシールガスを生成するヒータ一体型フィルタであって、前記回転機械から前記流体の一部又は外部流体を取り込む吸込口、及び前記流体又は前記外部流体を吐き出す吐出口が形成されたケーシングと、前記ケーシングの内部に設けられ、前記吸込口からの前記流体又は前記外部流体を通過させるフィルタ本体と、前記ケーシングの内部に設けられ、前記フィルタ本体を通過した前記流体又は前記外部流体が、外周面を延在方向に沿って前記吐出口に向かって流通可能な棒状をなすヒータと、を備えている。
このようなヒータ一体型フィルタによれば、まずケーシング内に取り込まれた流体(又は外部流体)を、フィルタ本体を通過させることで流体中の異物を除去する。その後に、ヒータの外周面をヒータの延在方向に沿って流体が流通することによって流体が昇温する。このため、流体が露点温度以上の温度に保たれた状態として、流体を吐出口から吐き出すことができる。従って、吐出口から吐出された流体を、回転機械内に流体の封止を行うためのシールガスとして用いることができる。
ここでシールガスを生成する際には、フィルタ本体、及びヒータをケーシング内に一体として収容するヒータ一体型フィルタを用いる。このため、フィルタ本体とヒータとを設置するスペースをそれぞれ別途で設ける必要がなくなる。
さらに棒状のヒータを用いているため、仮にコイル状のヒータ等を用いる場合に比べて流体を昇温させ易いことや、ヒータの設置が容易となる。
また、本発明の第二の態様に係るヒータ一体型フィルタでは、上記第一の態様における前記ヒータには、外周面を覆うように前記ヒータと隙間を空けて筒状部材が設けられ、前記流体又は前記外部流体は、前記ヒータと前記筒状部材との隙間を流通可能であってもよい。
このようにヒータと筒状部材との隙間を流体(又は外部流体)が流通することで、ヒータの外周面を延在方向に沿って流体を流通させることができる。このため、流体をヒータによってしっかりと昇温でき、流体を露点温度以上の温度に保つことが可能である。
また、本発明の第三の態様に係るヒータ一体型フィルタでは、上記第二の態様における 前記フィルタ本体は、軸線を中心とした筒状をなし、前記ケーシングの内部には、前記軸線の方向に離れて配置され、前記ケーシングの内部を前記軸線の方向の一方に向かって互いに隔離された第一の空間、第二の空間、及び第三の空間に区画する一対の壁部が設けられ、前記吸込口は前記第三の空間に開口し、前記吐出口は前記第二の空間に開口し、前記フィルタ本体は前記第一の空間内に配置され、かつ、前記フィルタ本体には、前記第三の空間に開口して前記流体又は前記外部流体が流通可能な導入路が接続され、前記筒状部材と前記ヒータとの間の前記隙間が前記第一の空間と前記第二の空間とを連通していてもよい。
このようにケーシング内に互いに隔離された三つの空間を形成することで、吸込口から取り込まれた流体(又は外部流体)は、第三の空間へ流入し、その後に導入路を通じてフィルタ本体に導入される。フィルタ本体を通過した流体は、第一の空間内に流出した後にヒータと筒状部材との間を流通して第二の空間内に流出する。そして第二の空間に開口する吐出口からケーシングの外部に吐き出される。このようにしてフィルタ本体を通過した流体をしっかりと昇温し、流体が露点温度以上の温度に保たれた状態として、流体を吐出口から吐き出すことができる。
また、本発明の第四の態様に係るヒータ一体型フィルタでは、上記第一から第三の態様における前記ヒータに電力を供給する電源装置をさらに備え、三の倍数の数量の前記ヒータが設けられ、前記電源装置は三相交流電源であって、各相に対応して各々の前記ヒータが設けられていてもよい。
このように電源装置に三相交流電源を用いることで、商用電源を電源装置として用いることができる。
また、本発明の第五の態様に係るヒータ一体型フィルタでは、上記第一から第四のいずれかの態様における前記ケーシングは、軸線を中心とした筒状をなすとともに、前記軸線の方向に貫通する貫通孔が形成された本体部と、前記貫通孔を前記本体部に対して着脱可能に覆うとともに前記フィルタ本体の一端を支持する蓋部とを有し、前記ヒータは、延在方向が前記軸線に沿うように前記本体部の内外にわたって配置され、前記ケーシングの周方向に互いに離れて前記フィルタ本体及び前記蓋部を外周側から取り囲むように複数設けられ、かつ、前記周方向の一部の領域のみに設けられていてもよい。
フィルタ本体を交換する際には、まずケーシングの蓋部を本体部から取り外すことで、蓋部とともにフィルタ本体をケーシングの本体部から引き抜く。その後、フィルタ本体を蓋部から取り外し、新たなフィルタ本体を蓋部に設置する。ここで本態様では、ケーシングの周方向の一部の領域にのみヒータが設けられている。よって蓋部とともにフィルタ本体をケーシングの本体部から引き抜いた後に、ヒータが設けられていない領域からケーシングの本体部の径方向の外側に向かって蓋部とともにフィルタ本体を抜き出すことができる。そしてこの状態で既設のフィルタ本体を蓋部から取り外し、新たなフィルタ本体を取り付けることができる。従ってフィルタ本体の交換が容易となる。
また、本発明の第八の態様に係る回転機械システムは、流体が流通する回転機械と、前記回転機械からの前記流体の一部又は外部流体を取り込んでシールガスを生成する上記第一から第五のいずれの態様におけるヒータ一体型フィルタと、前記回転機械に設けられ、前記シールガスによって前記回転機械での前記流体の封止を行うガスシール装置と、を備えている。
このような回転機械システムによれば、シールガスを生成する際に、フィルタ本体、及び、ヒータをケーシング内に一体として収容するヒータ一体型フィルタを用いる。このため、フィルタ本体とヒータとを設置するスペースをそれぞれ別途で設ける必要がなくなる。
上記のヒータ一体型フィルタ、及び回転機械システムによれば、ケーシング内にフィルタ本体及びヒータを一体に収容することで、省スペース化が可能となる。
本発明の実施形態における圧縮機システムを示す概略全体構成図である。 本発明の実施形態における圧縮機システムにおけるヒータ一体型フィルタを示す縦断面図である。 本発明の実施形態における圧縮機システムにおけるヒータ一体型フィルタを示す図であって、図2のX−X断面図である。
以下、本発明の実施形態に係る圧縮機システム(回転機械システム)1について説明する。
図1に示すように、圧縮機システム1は、プロセスガス(流体)PGを圧縮する圧縮機(回転機械)2と、圧縮機2を駆動する駆動源3と、プロセスガスPGの一部からシールガスSGを生成するヒータ一体型フィルタ10と、圧縮機2に設けられてヒータ一体型フィルタ10からシールガスSGが供給されるガスシール装置4とを備えている。
圧縮機2は、例えば遠心圧縮機であって、圧縮機ケーシング5と、圧縮機ケーシング5によって覆われるとともに圧縮機ケーシング5から突出するように設けられて圧縮機ケーシング5に対して相対回転する回転軸6と、回転軸6と一体に回転して圧縮機ケーシング5内でプロセスガスPGを圧縮するインペラ等の圧縮部7とを備えている。
また、圧縮機ケーシング5には、回転軸6の軸線Oの方向の一端側からプロセスガスPGが吸い込まれ、他端側から圧縮されたプロセスガスPGが吐出される。
駆動源3は、例えば電動モータや蒸気タービン等であって、回転軸6を回転させる回転動力を与える。
ガスシール装置4は、圧縮機ケーシング5における回転軸6の軸線Oの方向の両軸端に備えられており、回転軸6を外周から覆うように圧縮機ケーシング5に取り付けられている。ガスシール装置4は、ヒータ一体型フィルタ10で生成されたシールガスSGによって圧縮機ケーシング5と回転軸6との隙間からのプロセスガスPGの漏洩を抑制するシール機能を有している。
次に、図2及び図3を参照して、ヒータ一体型フィルタ10について説明する。
ヒータ一体型フィルタ10は、筒状をなすケーシング11と、ケーシング11内に収容されたフィルタ本体(フィルタエレメント)12と、ケーシング11内でフィルタ本体12とケーシング11との間に配置されたヒータ13と、ケーシング11内の下部に配置されたミストセパレータ(液分分離部)18とを備えている。
ケーシング11は、軸線O1を中心とした円筒状をなす本体部11aと、本体部11aの上部に着脱される蓋部11bとを有している。
ここで、以下は軸線O1が鉛直方向に延びていることを前提として説明を行なう。しかし、実際には軸線O1はいずれの方向に延びていてもよい。また、ヒータ一体型フィルタ10の上下方向は本実施形態の場合には限定されない。
本体部11aは、軸線O1を中心とした有底円筒状の胴部20と、胴部20の上部を着脱可能に覆うカバー21とを有している。カバー21は軸線O1を中心とした円盤状をなしている。カバー21は例えば胴部20にボルト25によって固定されている。よってカバー21は胴部20に着脱可能に設けられている。これによりケーシング11の内部を開放可能となっている。なお、本実施形態のカバー32は、後述するヒータ13とともに胴部20から着脱可能とされている。
本実施形態では、カバー21は上部にのみ設けられているが、ケーシング11の下部にも同様にカバーを設け、ケーシング11の内部を開放可能となっていてもよい。
さらにカバー21には、その中心位置に軸線O1を中心とした円形状の貫通孔21aが形成されている。
蓋部11bは、貫通孔21aを上方から覆うように例えばボルト26によってカバー21に対して着脱可能に設けられている。
また、ケーシング11には、軸線O1の方向の中途位置で、内部の空間を軸線O1の方向に三つの空間に区画する一対の区画板(壁部)22が設けられている。
区画板22としては、軸線O1の方向の一方(下方)に向かって順に、第一板22aと第二板22bとが設けられている。また、上記の三つの空間を、軸線O1の一方(下方)に向かって順に、第一の空間S1、第二の空間S2、及び第三の空間S3とする。これらの空間は互いに隔離され、区画板22とケーシング11の本体部11aの内面との間では、流体が通過しないようになっている。
ここで、具体的にケーシング11に区画板22を設ける手法を例示する。即ちケーシング11の延在方向の中途位置に、ケーシング11の本体部11aの胴部20の内面から軸線O1に向かって突出する突起(不図示)を形成する。この突起に、別途製造した区画板22を載置するようにして設ける。
ケーシング11には吸込口23が設けられている。吸込口23は、ケーシング11内の第二板22bの下方の第三の空間S3に開口するように、ケーシング11の本体部11aの周面に設けられている。即ち、吸込口23は第二板22bの下方に配置されている。吸込口23はケーシング11の胴部20の外周面から径方向外側に突出している。
そして図1に示すように、吸込口23には、圧縮機2の吐出側からのプロセスガスPGの一部が導入され、このプロセスガスPGが第三の空間S3に流入するようになっている。
また、ケーシング11には吐出口31が設けられている。吐出口31は、ケーシング11内の第一板22aと第二板22bとで挟まれる第二の空間S2に開口するように、ケーシング11の胴部20の周面に設けられている。吐出口31はケーシング11の胴部20の外周面から径方向外側に突出している。
フィルタ本体12は、例えば炭化珪素繊維、アルミナ繊維、セラミック繊維等の耐熱性繊維や、ステンレス鋼によって形成されている。またフィルタ本体12はケーシング11の内部の第一の空間S1内に配置されている。
フィルタ本体12は筒状をなしている。またフィルタ本体12の一端(上端)は蓋部11bの下面に固定されて蓋部11bに支持されている。またフィルタ本体12の外径は、カバー21の貫通孔21aの内径よりも小さい。また、フィルタ本体12の下端には軸線O1を中心とした導入管28が接続されている。導入管28はフィルタ本体12に固定されておらず、挿入されて設けられている。導入管28は第一板22a及び第二板22bを軸線O1の方向に貫通して第一の空間S1、第二の空間S2、及び第三の空間S3の全ての空間にわたって配置されている。また導入管28の内部には導入路28aが形成されている。このようにして導入路28aは、一端が第三の空間S3に開口するとともに、他端がフィルタ本体12に接続されている。
ヒータ13は、ケーシング11の内部で、軸線O1に沿って延びる棒状をなしている。本実施形態では、複数のヒータ13がフィルタ本体12を外周側から取り囲むように配置されている。そしてヒータ13は、蓋部11bよりも径方向外側の位置で、カバー21を軸線O1の方向に貫通してケーシング11の内外にわたって設けられている。これによりヒータ13はカバー21に固定されて支持されている。またヒータ13は、第一板22aを導入管28の径方向外側の位置で軸線O1の方向に貫通している。
本実施形態では、図3に示すようにヒータ13は互いに周方向に間隔をあけて六つ設けられている。即ち、本実施形態では三の倍数の数量のヒータ13が設けられている。しかしながらヒータ13の数量は特に限定されない。また図3に示すように、ヒータ13は、周方向の一部の領域Aのみに偏って設けられている。即ち、周方向の一部ではヒータ13が設けられていない領域Bが存在している。
各々のヒータ13には筒状部材13aが設けられている。筒状部材13aはヒータ13と同軸上に設けられ、ヒータ13を外周側から覆うように設けられている。ヒータ13と筒状部材13aとの間には隙間が設けられている。そして筒状部材13aの下端が第一板22aを貫通して筒状部材13aの下端が第一板22aに固定されている。また筒状部材13aの上端はケーシング11の胴部20の内周面から径方向内側に突出して設けられたブラケット15に固定されている。これにより、筒状部材13aは、第一の空間S1と第二の空間S2との間にわたって設けられている。そしてヒータ13と筒状部材13aとの隙間は、第一の空間S1と第二の空間S2とを連通している。
そして各々のヒータ13は電源装置14に接続されている。電源装置14は、蓋部11bの上方に配置されている。本実施形態では電源装置14は三相交流電源であって、U相、V相、及びW相の各々に対応してヒータ13が設けられている。本実施形態ではヒータ13は六つ設けられているが、本実施形態の電源装置14は一つのみ設けられている。
ミストセパレータ18は、例えば内部に螺旋状の流路(不図示)が形成されたサイクロン式のものが採用される。このミストセパレータ18は、第二板22bに隣接する位置で、かつ、吸込口23と導入管28との間の位置に配置され、即ち、第三の空間S3内に設けられている。そしてミストセパレータ18は、吸込口23から第三の空間S3内に流入したプロセスガスPGから液分を除去する。ミストセパレータ18で除去された液分は、不図示のドレン排出口を通じて、ケーシング11の外部に排出される。
以上説明した圧縮機システム1でのプロセスガスPGの流れを説明する。即ち、吸込口23から取り込まれたプロセスガスPGの一部が第三の空間S3に流入する。その後、プロセスガスPGが第三の空間S3から導入管28の導入路28aに流入し、フィルタ本体12へ導入される。
その後、フィルタ本体12をプロセスガスPGが通過して、フィルタ本体12の外面から第一の空間S1に流出する。そして、ヒータ13と筒状部材13aとの隙間へ筒状部材13aの上方からプロセスガスPGが流入して下方に向かって流通する。これによりプロセスガスPGはヒータ13の外周面をヒータ13の延在方向に沿って、即ち軸線O1の方向に流通する。
その後、プロセスガスPGは、筒状部材13aの下端から第二の空間S2へ流出する。最終的に第二の空間S2内のプロセスガスPGは吐出口31を通じてケーシング11の外部に吐出される。
以上説明した本実施形態の圧縮機システム1によると、上記のヒータ一体型フィルタ10を備えている。よってケーシング11内に取り込まれたプロセスガスPGを、フィルタ本体12を通過させることでプロセスガスPG中の異物を除去できる。そして異物除去後のプロセスガスPGを、棒状のヒータ13の延在方向に沿って流通させて、プロセスガスPGを昇温させることができる。
このため、プロセスガスPGを露点温度以上の温度に保たれた状態で吐出口31から吐き出すことができる。従って、吐出口31から吐出されたプロセスガスPGを、圧縮機2内でのプロセスガスPGの封止を行うためのシールガスSGとして用いることができる。
このようにシールガスSGを生成する際には、フィルタ本体12、及びヒータ13をケーシング11内に一体として収容するヒータ一体型フィルタ10を用いる。このため、フィルタ本体12とヒータ13とを設置するスペースをそれぞれ別々に設ける必要がない。よってプロセスガスPGからシールガスSGを生成する装置全体の省スペース化が可能となる。
さらに棒状のヒータ13を用いているため、仮にコイル状のヒータ等を用いる場合に比べてプロセスガスPGを昇温させ易いことや、ヒータ13の設置が容易となる。
また、本実施形態ではヒータ13と筒状部材13aとの隙間をプロセスガスPGが流通することで、ヒータ13の延在方向に沿ってヒータ13の近傍でプロセスガスPGを流通させることができる。よってプロセスガスPGの昇温効果を高めることが可能である。
またケーシング11内には、第一の空間S1、第二の空間S2、及び第三の空間S3が互いに隔離されて形成されている。よって、吸込口23から第三の空間S3内に流入したプロセスガスPGが、フィルタ本体12やヒータ13を通過せずにそのまま第二の空間S2に流入し、吐出口31からケーシング11の外部へ吐出されてしまうことを回避することができる。よってプロセスガスPGのフィルタリング、昇温を確実に行うことができる。
さらに電源装置14は三相交流電源である。よって、電源装置14に商用電源を用いることが可能である。
ここで、ヒータ13及びフィルタ本体12を交換する際、まず、蓋部11bを固定しているボルト26を外し、上方に蓋部11bを引っ張る。これによって貫通孔21aを通じて蓋部11bとともにフィルタ本体12をケーシング11から引き抜く。この際、フィルタ本体12と導入管28とは分離され、導入管28はケーシング11内に配置されたままとなる。
本実施形態ではカバー21よりも上方までヒータ13が延びているが、ヒータ13は周方向の一部の領域Aにしか設けられていない。よって、蓋部11bの上方に引き上げられたフィルタ本体12は、ヒータ13の設けられていない周方向の領域Bから径方向外側(図3の紙面に向かって上方)に引き抜かれることで、ケーシング11からフィルタ本体12を分離することができる。その後既設のフィルタ本体12を蓋部11bから取り外し、新たなフィルタ本体12を蓋部11bに取り付けることができる。よって、フィルタ本体12の交換が容易となる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、クレームの範囲によってのみ限定される。
例えば、ヒータ13の数量は三の倍数としたが、電源装置14が三相交流電源でなければ、ヒータ13の数量は上述の場合に限定されない。
また、吸込口23及び吐出口31の配置は上述の場合に限定されない。即ち、これら吸込口23から流入したプロセスガスPGが、ヒータ13を通過した後に吐出口31から吐出されるように、吸込口23及び吐出口31が配置されていればよい。
また、ヒータ13には筒状部材13aは必ずしも設けられていなくともよい。即ち、プロセスガスPGがヒータ13の外周面をヒータ13の延在方向に沿って流通可能であればよい。
また、ミストセパレータ18は必ずしも設けられなくともよい。例えばプロセスガスPGが乾燥したガスであれば、ミストセパレータ18は不要である。
また、ヒータ一体型フィルタ10を二つ並列して設け、一方をメンテナンス中に、他方を使用するといった運用も可能である。
また、上述の実施形態では、圧縮機2の吐出側からのプロセスガスPGの一部によってシールガスSGを生成していたが、外部流体を取り込んでシールガスSGを生成してもよい。外部流体としては、例えば、圧縮機システム1に取り込まれる前のプロセスガスPG(外部のプロセスガスPG)や、プロセスガスPGとは異なる系外の流体である。
上記のヒータ一体型フィルタ、及び圧縮機システムでは、ケーシング内にフィルタ本体及びヒータを一体に収容することで、省スペース化が可能となる。
1 圧縮機システム(回転機械システム)
2 圧縮機(回転機械)
3 駆動源
4 ガスシール装置
5 圧縮機ケーシング
6 回転軸
7 圧縮部
10 ヒータ一体型フィルタ
11 ケーシング
11a 本体部
11b 蓋部
12 フィルタ本体
13 ヒータ
13a 筒状部材
14 電源装置
15 ブラケット
18 ミストセパレータ
20 胴部
21 カバー
21a 貫通孔
22 区画板(壁部)
22a 第一板
22b 第二板
23 吸込口
25 ボルト
26 ボルト
28 導入管
28a 導入路
31 吐出口
PG プロセスガス
SG シールガス
O 軸線
O1 軸線
S1 第一の空間
S2 第二の空間
S3 第三の空間

Claims (6)

  1. 回転機械の流体の一部又は外部流体を取り込み、前記回転機械内に前記流体の封止を行うためのシールガスを生成するヒータ一体型フィルタであって、
    前記回転機械から前記流体の一部又は外部流体を取り込む吸込口、及び前記流体又は前記外部流体を吐き出す吐出口が形成されたケーシングと、
    前記ケーシングの内部に設けられ、前記吸込口からの前記流体又は前記外部流体を通過させるフィルタ本体と、
    前記ケーシングの内部に設けられ、前記フィルタ本体を通過した前記流体又は前記外部流体が、外周面を延在方向に沿って前記吐出口に向かって流通可能な棒状をなすヒータと、
    を備えるヒータ一体型フィルタ。
  2. 前記ヒータには、外周面を覆うように前記ヒータと隙間を空けて筒状部材が設けられ、
    前記流体又は前記外部流体は、前記ヒータと前記筒状部材との隙間を流通可能である請求項1に記載のヒータ一体型フィルタ。
  3. 前記フィルタ本体は、軸線を中心とした筒状をなし、
    前記ケーシングの内部には、前記軸線の方向に離れて配置され、前記ケーシングの内部を前記軸線の方向の一方に向かって互いに隔離された第一の空間、第二の空間、及び第三の空間に区画する一対の壁部が設けられ、
    前記吸込口は前記第三の空間に開口し、
    前記吐出口は前記第二の空間に開口し、
    前記フィルタ本体は前記第一の空間内に配置され、かつ、前記フィルタ本体には、前記第三の空間に開口して前記流体又は前記外部流体が流通可能な導入路が接続され、
    前記筒状部材と前記ヒータとの間の前記隙間が前記第一の空間と前記第二の空間とを連通している請求項2に記載のヒータ一体型フィルタ。
  4. 前記ヒータに電力を供給する電源装置をさらに備え、
    三の倍数の数量の前記ヒータが設けられ、
    前記電源装置は三相交流電源であって、各相に対応して各々の前記ヒータが設けられている請求項1から3のいずれか一項に記載のヒータ一体型フィルタ。
  5. 前記ケーシングは、軸線を中心とした筒状をなすとともに、前記軸線の方向に貫通する貫通孔が形成された本体部と、前記貫通孔を前記本体部に対して着脱可能に覆うとともに前記フィルタ本体の一端を支持する蓋部とを有し、
    前記ヒータは、延在方向が前記軸線に沿うように前記本体部の内外にわたって配置され、前記ケーシングの周方向に互いに離れて前記フィルタ本体及び前記蓋部を外周側から取り囲むように複数設けられ、かつ、前記周方向の一部の領域のみに設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載のヒータ一体型フィルタ。
  6. 流体が流通する回転機械と、
    前記回転機械からの前記流体の一部又は外部流体を取り込んでシールガスを生成する請求項1から5のいずれか一項に記載のヒータ一体型フィルタと、
    前記回転機械に設けられ、前記シールガスによって前記回転機械での前記流体の封止を行うガスシール装置と、
    を備える回転機械システム。
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