JPWO2018153729A5

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Publication number: JPWO2018153729A5
Application number: JP2019545266A
Authority: JP
Publication date: 2023-02-07
Anticipated expiration: 2038-02-13

Description

この方策は、全体システムを通過した後の、放射方向において偏光している光と、接線方向（ｔａｎｇｅｎｔｉａｌｄｉｒｅｃｔｉｏｎ：タンジェンシャル方向）において偏光している光との間の位相リタデーション（ｐｈａｓｅｒｅｔａｒｄａｔｉｏｎ）における低減をもたらす。この位相リタデーションにおける低減は、偏光状態の変化に同等（ｔａｎｔａｍｏｕｎｔ）である。ここにおいて、偏光状態を不可避的に変化させる第１のＨＲコーティングの効果は、単数又は複数のさらなるコーティングの効果によって補償（相殺）される。例として、先行技術に対応する場合に関し、使用される波長範囲、特に広帯域波長範囲の少なくとも１つの波長に対して、放射方向において偏光している光と接線方向において偏光している光との間の位相リタデーションを少なくとも２分の１だけ低減させることが可能である。先行技術は、複数の面上での同じＨＲコーティングの使用によって特徴づけられる。高い反射性の、及び／又は反射防止のコーティングを、少なくとも１つの光学要素に、より詳細にはレンズのさらなる光学要素につけることができる。さらなる好ましい構成において、レンズは少なくとも１つのさらなるミラー、マンギンミラー、及び／又はレンズ要素を含む。

さらなる好ましい構成において、少なくとも最大及び最小の使用される波長の間の波長に対し、好ましくは、使用される波長範囲内の波長帯に対し、光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）のうちの少なくとも１つのさらなる１つの高い反射性のコーティングにおける光の反射、又は、光学要素（Ｍ１’，Ｍ２’，５９，６３，６７，７１，７５，７９，８３，８７，９１，９５）のうちの１つの反射防止コーティング（ＡＲコーティング）を通る光の透過によって、光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）のうちの１つの高い反射性のコーティングにおける光の反射に続く（従う）、放射方向において、及び接線方向において偏光している光の間の位相リタデーションを少なくとも２分の１だけ低減するよう、レンズは設計される。

このように、光線１１，１３は全てのコーティングされた面２０ｂ，２２ｂ，３２ｂ，３４ｂに突き当たる（ｓｔｒｉｋｅ）。この結果として、放射方向に、及び接線方向に偏光している光の間の位相リタデーションは、好ましくは広帯域の使用される波長範囲の、最大と最小の使用される波長の間の少なくとも１つの波長に対して少なくとも２分の１だけ低減される。先行技術からのＨＲコーティングの層（レイヤ）構造が、比較の目的のために、また示される。

このようにして、各々の面５０ｂ，５６ｂにおける反射に続いて、光線４１，４３は、レンズ１０’のさらなる光学要素上の少なくとも１つのＡＲコーティングを通過する。この結果として、放射方向に、及び接線方向に偏光した光の間の位相リタデーションは、好ましくは広帯域の使用される波長範囲の、最大と最小の使用される波長の間の少なくとも１つの波長に対して少なくとも２分の１だけ低減される。先行技術からのＡＲコーティングの組成が、比較の目的のために、また示される。

図１３から明らかなとおり、６３％のストレールレシオは、式（４）からの１２０°の位相リタデーションに対して現れる。これは、結像特性における悪化に対応し、接線方向に偏光した光によって形成される点像（ｐｏｉｎｔｉｍａｇｅｓ）と、放射方向に偏光した光によって形成される点像の重なりによる結像収差である。これら点像は、お互いに関してぼかされる（ｄｅｆｏｃｕｓｅｄ：デフォーカスされる）。重なりは、点像のスミアリングにつながり、そしてしたがって、ストレールレシオにおける上述の低減につながる。例として、これは、先行技術からのレンズにおける場合である。位相リタデーションは、発明によるレンズ１０，１０’を用いて、少なくとも２分の１だけ低減させることが可能である。１２０°のもとの（original）位相リタデーションから続いて、後者は、その結果として、６０°を超えないよう（たったの６０°に）低減させることができ、ストレールレシオは少なくとも８５％であり、その結果として、結像特性における著しい改善を表す。

Claims

光学軸（１２）に沿って配置される少なくとも２つの光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）を含む反射屈折レンズ（１０，１０’）であって、
両方の光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）は、基板（１９，２１；４９，５３）と該基板（１９，２１；４９，５３）の境界層（レイヤ）につけられる高い反射性のコーティング（２０，２２；５０，５６）を含むミラーとして具現化され、
高い反射性のコーティング（１９ｓ，２１ｓ；４９ｓ，５３ｓ）が、前記基板（１９，２１；４９，５３）の前記境界層（レイヤ）から面法線に沿ってのびており、
前記高い反射性のコーティング（１９ｓ，２１ｓ；４９ｓ，５３ｓ）の少なくとも１つが、１又は２以上の層（プライ）を含み、１つの又は複数の該層（プライ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さが、内側から外に放射状に増大すること、そして、
最大及び最小の使用される波長の間の波長範囲に対し、光が光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）のうちの１つの高い反射性のコーティングにおいて以前に反射された後に、光学要素（Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１’，Ｍ２’）のうちの少なくとも１つのさらなる１つの高い反射性のコーティングにおける光の反射によって、又は、光学要素（Ｍ１’，Ｍ２’，５９，６３，６７，７１，７５，７９，８３，８７，９１，９５）のうちの１つの反射防止コーティングを通る光の透過によって、少なくとも２分の１だけ、放射方向において及び接線方向において偏光している光の間の位相リタデーションを低減させるように前記レンズが設計され、ここにおいて前記最大の使用される波長は前記最小の波長の１．１倍よりも大きいこと、
を特徴とする、
反射屈折レンズ。
前記１又は２以上の層（プライ）の最大の及び最大の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さの間の差異が、前記高い反射性のコーティング（１９ｓ，２１ｓ；４９ｓ，５３ｓ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さの平均値の２％を超える、ことを特徴とする請求項１に記載の反射屈折レンズ。
前記１又は２以上の層（プライ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さが、前記光学軸（１２）に関して放射対称なプロファイルを有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の反射屈折レンズ。
前記光学軸に関して、前記１又は２以上の層（プライ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さが、放射方向において外側へと単調に増大することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
前記１又は２以上の層（プライ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さが、前記光学軸から定義される放射位置の２次及び／又は４次のべき（冪）に依存することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
前記１又は２以上の層（プライ）の光学的な全体の層（レイヤ）の厚さが、前記放射位置の２次のべきと４次のべきとの和に線形に依存することを特徴とする、請求項５に記載の反射屈折レンズ。
低い方の限界が４００ｎｍより下、好ましくは３００ｎｍより下、さらに好ましくは２００ｎｍより下にあるような、使用される波長範囲に対して使用されるように設計されることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
少なくとも１つのさらなるミラー（Ｍ３，Ｍ４）、マンギンミラー（Ｍ１’，Ｍ２’）及び／又はレンズ要素（５９，６３，６７）によって特徴付けられる、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
前記光学要素の少なくとも１つが、光の通過のための穿孔（１６，２６）を有することを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
前記光学要素の少なくとも１つが、誘電性の材料及び／又は金属を含む高い反射性のコーティング（１９ｓ，２１ｓ；４９ｓ，５３ｓ）を含むことを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
平面境界層（レイヤ）を有し、ビームスプリッタとして振る舞う少なくとも１つの透過プレートによって特徴付けられる、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
前記光学要素の少なくとも１つが非球面化されたミラー面及び／又はレンズ面を含むことを特徴とする、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
０．７５よりも大きい開口数によって特徴付けられる、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
８５％よりも大きいストレールレシオによって特徴付けられる、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ。
ウェーハ又はマスクを検査するための、又は、該ウェーハ上での該マスクのフォトリソグラフィ結像のための光学システムであって、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の反射屈折レンズ（１０，１０’）を含む、光学システム。