JPWO2018147111A1

JPWO2018147111A1 - ガラスフィルムの製造方法

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Publication number: JPWO2018147111A1
Application number: JP2018567370A
Authority: JP
Inventors: 弘樹森; 浩一森; 修二秋山; 弥浩植村; 直之松本
Original assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date: 2017-02-07
Filing date: 2018-01-29
Publication date: 2019-11-21
Anticipated expiration: 2038-01-29
Also published as: US20190375666A1; CN110177766B; US11459264B2; TWI729265B; KR102410719B1; CN110177766A; TW201834985A; JP6929525B2; KR20190111896A; WO2018147111A1

Abstract

ガラスフィルムの製造方法は、長尺状のガラスフィルムＧをその長手方向に沿って搬送する搬送工程と、搬送工程によりガラスフィルムＧを搬送しつつ、ガラスフィルムＧにレーザ照射装置１９からレーザ光Ｌを照射することにより、ガラスフィルムＧを分離する切断工程と、を備える。切断工程は、分離されたガラスフィルムＧの幅方向端部から糸状剥離物Ｇｅを螺旋状に発生させる。糸状剥離物Ｇｅの幅Ｗは、１８０μｍ以上３００μｍ以下である。また、糸状剥離物Ｇｅの螺旋直径Ｄは、８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下である。

Description

本発明は、ロール状に巻き取ることが可能なガラスフィルムを製造する方法に関する。

周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられるガラス板、更には太陽電池のパネル等に用いられるガラス板は、薄肉化が推進されているのが実情である。

例えば特許文献１には、厚みが数百μｍ以下のガラスフィルム（薄板ガラス）が開示されている。この種のガラスフィルムは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を採用した成形装置によって連続成形されるのが一般的である。

オーバーフローダウンドロー法により連続成形された長尺のガラスフィルムは、例えばその搬送方向が鉛直方向から水平方向に変換された後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって継続して下流側に搬送される。この搬送途中において、ガラスフィルムは、その幅方向両端部（耳部）が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとして構成される。

ガラスフィルムの幅方向両端部を切断する技術として、特許文献１ではレーザ割断が開示されている。レーザ割断では、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザ光を照射して加熱する。その後、加熱された部分を冷却手段により冷却し、ガラスフィルムに生じる熱応力により初期クラックを進展させてガラスフィルムを切断する。

他の切断方法として、特許文献２には、いわゆるピーリング現象を利用したガラスフィルムの切断技術が開示されている。この技術は、ガラスフィルム（ガラス基板）を搬送しつつ、当該ガラスフィルムにレーザ光を照射してその一部を溶断し、その溶断部分をレーザ光の照射領域から遠ざけることにより冷却する。

この場合において、溶断部分が冷却されることにより略糸状の剥離物（析出物）が生じる（例えば特許文献２の段落００４４及び図３参照）。この糸状剥離物がガラスフィルムの端部から剥がれ落ちる現象を一般にピーリングと呼ぶ。糸状剥離物が生じることで、ガラスフィルムには、均一な切断面が形成されることになる。

特開２０１２−２４０８８３号公報国際公開第２０１４／００２６８５号公報

さらに特許文献２には、この糸状剥離物を除去する方法として、例えばガスにより吹き飛ばす、吸引する、あるいはブラシや邪魔板等を使用することが記載されている（同文献の段落００４６参照）。

しかしながら、ガラスフィルムの切断中に糸状剥離物を上記の手段により除去すると、糸状剥離物がその途中で破断し、その際の破片がガラスフィルムに付着し、ガラスフィルムの表面を損傷させるおそれがある。このため、糸状剥離物は、途中で破断しないように連続的に回収することが望ましい。また、ピーリング現象を利用したガラスフィルムの切断では、ガラス切断部において、糸状剥離物の発生が途切れると（ピーリング現象が止まると）、糸状剥離物の途切れた箇所のガラスの切断品位が悪くなり、切断後のガラスが破損し易くなるため、糸状剥離物の発生が途切れないように切断を継続させることが望ましい。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、糸状剥離物を破断させることなく、且つ、糸状剥離物の発生を途切れさせることなく回収することが可能なガラスフィルムの製造方法を提供することを目的とする。

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、長尺状のガラスフィルムをその長手方向に沿って搬送する搬送工程と、前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、前記ガラスフィルムにレーザ照射装置からレーザ光を照射することにより、前記ガラスフィルムを分離する切断工程と、を備え、前記切断工程では、分離された前記ガラスフィルムの幅方向端部から糸状剥離物を螺旋状に発生させ、前記糸状剥離物の幅が１８０μｍ以上３００μｍ以下であり、かつ前記糸状剥離物の螺旋直径が８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とする。

本方法によれば、切断工程において糸状剥離物を螺旋状に発生させるとともに、ガラスフィルムの切断中に糸状剥離物が所定の寸法となるように管理することで、当該糸状剥離物を途中で破断させずに、且つ、当該糸状剥離物の発生を途切れさせることなく継続して形成できる。すなわち、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、糸状剥離物の幅を１８０μｍ以上３００μｍ以下、螺旋状に構成される糸状剥離物の螺旋直径を８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下に制御することにより、当該糸状剥離物を途中で破断させることなく、且つ、当該糸状剥離物の発生を途切れさせることなく回収できることを見出した。これにより本方法では、端面を高品位に維持した状態で長尺状のガラスフィルムを製造できる。

本発明に係るガラスフィルムの製造方法において、前記糸状剥離物の前記幅は、より好ましくは２００μｍ以上２７０μｍ以下であり、前記糸状剥離物の前記螺旋直径は、より好ましくは９０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下である。

本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、前記ガラスフィルムに照射される前記レーザ光の前記直径が１６０μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは、１６０μｍ以上３００μｍ以下とされる。

本発明によれば、糸状剥離物を破断させることなく、且つ、糸状剥離物の発生を途切れさせることなく回収することが可能になる。

図１は、第一実施形態に係るガラスロールの製造装置の全体構成を示す側面図である。図２は、ガラスロールの製造装置の要部を示す平面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図４Ａは、糸状剥離物の発生原理を説明するための図であり、ガラスフィルムにレーザ光を照射した状態を示す断面図である。図４Ｂは、糸状剥離物の発生原理を説明するための図であり、レーザ光の照射によりガラスフィルムが溶断された状態を示す断面図である。図４Ｃは、糸状剥離物の発生原理を説明するための図であり、製品部及び非製品部から糸状剥離物が生じた状態を示す断面図である。図５は、螺旋状に変形した糸状剥離物の一部を示す平面図である。図６は、第二実施形態に係るガラスロールの製造装置の全体構成を示す側面図である。図７は、ガラスロールの製造装置を示す平面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図５は、ガラスフィルムの製造装置及び当該製造装置を用いてガラスフィルムを製造する方法の第一実施形態を示す。

図１は、ガラスフィルムの製造装置の全体構成を模式的に示す概略側面図である。図１に示すように、製造装置１は、ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後にガラスフィルムＧを横方向に搬送する横搬送部４と、横搬送部４で横方向に搬送しつつガラスフィルムＧの幅方向端部（耳部）Ｇａ，Ｇｂを非製品部Ｇｃとして切断する切断部５と、この切断部５により非製品部Ｇｃを切断除去してなる製品部Ｇｄをロール状に巻き取ってガラスロールＲを構成する巻取り部６とを備える。なお、本実施形態において、製品部Ｇｄの厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下とされ、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下とされるが、これに限定されない。

成形部２は、上端部にオーバーフロー溝７ａが形成された断面視略楔形の成形体７と、成形体７の直下に配置されて、成形体７から溢出した溶融ガラスを表裏両側から挟むエッジローラ８と、エッジローラ８の直下に配備されるアニーラ９とを備える。

成形部２は、成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスを成形する。エッジローラ８は、溶融ガラスの幅方向収縮を規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。アニーラ９は、ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。このアニーラ９は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１０を有する。

アニーラ９の下方には、ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１１が配設されている。支持ローラ１１とエッジローラ８との間、または支持ローラ１１と何れか一箇所のアニーラローラ１０との間では、ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。

方向変換部３は、支持ローラ１１の下方位置に設けられている。方向変換部３には、ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１２が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１２は、鉛直方向に搬送されるガラスフィルムＧを横方向へと案内する。

横搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。この横搬送部４は、第一搬送装置１３と、第二搬送装置１４とを有する。第一搬送装置１３は、方向変換部３の下流側に配置され、第二搬送装置１４は、第一搬送装置１３の下流側に配置されている。

第一搬送装置１３は、無端帯状の搬送ベルト１５と、この搬送ベルト１５の駆動装置１６とを有する。第一搬送装置１３は、搬送ベルト１５の上面をガラスフィルムＧに接触させることで、方向変換部３を通過したガラスフィルムＧを下流側へと連続的に搬送する。駆動装置１６は、搬送ベルト１５を駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体１６ａと、この駆動体１６ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。

第二搬送装置１４は、ガラスフィルムＧを搬送する複数（本例では三本）の搬送ベルト１７ａ〜１７ｃと、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃの駆動装置１８とを有する。図２に示すように、搬送ベルト１７ａ〜１７ｃは、無端帯状に構成されるとともに、ガラスフィルムＧの幅方向一端部Ｇａ側の部分に接触する第一搬送ベルト１７ａと、ガラスフィルムＧの幅方向他端部Ｇｂ側の部分に接触する第二搬送ベルト１７ｂと、ガラスフィルムＧの幅方向中央部に接触する第三搬送ベルト１７ｃとを含む。駆動装置１８は、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃを駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体１８ａと、この駆動体１８ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。

図２に示すように、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃは、ガラスフィルムＧの幅方向において離間されている。これにより、第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間、第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間には、隙間が形成される。

図１乃至図３に示すように、切断部５は、第二搬送装置１４の上方位置に設けられるレーザ照射装置１９と、レーザ照射装置１９のレーザ光ＬをガラスフィルムＧに照射することにより生じる糸状剥離物Ｇｅを回収する複数の回収装置２０とを備える。

レーザ照射装置１９は、例えばＣＯ₂レーザ、ＹＡＧレーザその他のレーザ光Ｌを下方に向けて照射するように構成される。レーザ光Ｌは、ガラスフィルムＧに対して所定の位置（照射位置）Ｏに照射される。この照射位置Ｏにおけるレーザ光Ｌの照射径（直径）は、１６０μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１６０μｍ以上３００μｍ以下である。

レーザ照射装置１９のレーザ出力は、例えば５０Ｗ以上２００Ｗ以下とされるが、この範囲に限定されるものではない。また、レーザ照射装置１９におけるレーザ光Ｌの出力密度は、５００Ｗ／ｍｍ²以上１００００Ｗ／ｍｍ²以下とされるが、この範囲に限定されるものではない。この出力密度をＥとし、ガラスフィルムＧ又は製品部Ｇｄの板厚をｔ（ｍｍ）とし、第二搬送装置１４におけるガラスフィルムＧの搬送速度をｖ（ｍ／ｈ）とするとき、Ｅ≧１５ｔｖの関係にあることが好ましい。また、出力密度は、５０ｔｖ＞Ｅ≧１５ｔｖとされることが好ましく、より好ましくは、４０ｔｖ≧Ｅ≧１５ｔｖ、最も好ましくは、３５ｔｖ≧Ｅ≧１５ｔｖとされるが、その上限値はこれらに限定されない。

本実施形態では、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断するように、二台のレーザ照射装置１９が配置されている（図２参照）。レーザ光Ｌの照射位置Ｏは、図２に示すように、第二搬送装置１４における第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間、及び第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間に対応するように設定される。

図２及び図３に示すように、回収装置２０は、ガラスフィルムＧの下方に配置される。回収装置２０は、ベルトコンベア２０ａにより構成される。本実施形態では、ガラスフィルムＧの各端部Ｇａ，Ｇｂに対応して、二台のベルトコンベア２０ａが配置される。各ベルトコンベア２０ａは、ガラスフィルムＧの搬送方向（長手方向）に直交する方向（幅方向）に沿って、すなわち、ガラスフィルムＧの幅方向における内側から外側に向かって糸状剥離物Ｇｅを搬送する。

ここで、糸状剥離物Ｇｅの発生原理について図４及び図５を参照しながら説明する。図４Ａに示すように、レーザ光ＬがガラスフィルムＧに照射されると、図４Ｂに示すように、ガラスフィルムＧの一部がレーザ光Ｌの加熱により溶断される。ガラスフィルムＧは、第二搬送装置１４によって搬送されているため、溶断された部分はレーザ光Ｌから遠ざかる。

これにより、ガラスフィルムＧの溶断部分が冷却される。溶断部分は、冷却されることにより熱歪を生じ、これによる応力が、溶断されていない部分に対して引張力として作用する。この作用により、図４Ｃに示すように、糸状剥離物Ｇｅは、非製品部Ｇｃの幅方向端部、及び製品部Ｇｄの幅方向端部から分離する。

分離した糸状剥離物Ｇｅは、その自重により下方に移動する（図４Ｃ参照）。各糸状剥離物Ｇｅの幅Ｗは、１８０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは２００μｍ以上２７０μｍ以下とされる。

糸状剥離物Ｇｅは、非製品部Ｇｃ又は製品部Ｇｄから分離した後に、螺旋状に変形する。図５に示すように、糸状剥離物Ｇｅにおける螺旋の直径（外径）Ｄは、８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは９０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下である。尚、糸状剥離物Ｇｅは、載置面等に載置した場合に円形に束になった針金状を呈するため、螺旋の外径Ｄは、その数周分を載置しその最大の外径を測定することで、求めることができる。

巻取り部６は、切断部５及び第二搬送装置１４の下流側に設置されている。巻取り部６は、巻取りローラ２１と、この巻取りローラ２１を回転駆動するモータ（図示せず）と、巻取りローラ２１に保護シート２２ａを供給する保護シート供給部２２とを有する。巻取り部６は、保護シート供給部２２から送られる保護シート２２ａを製品部Ｇｄに重ね合わせつつ、モータにより巻取りローラ２１を回転させることで、製品部Ｇｄをロール状に巻き取る。巻き取られた製品部Ｇｄは、ガラスロールＲとして構成される。

以下、上記構成の製造装置１によりガラスロールＲを製造する方法について説明する。ガラスロールＲの製造方法は、成形部２によって帯状のガラスフィルムＧを成形する成形工程と、方向変換部３及び横搬送部４によりガラスフィルムＧを搬送する搬送工程と、切断部５によりガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇａ，Ｇｂを切断する切断工程と、切断工程後に製品部Ｇｄを巻取り部６によって巻き取る巻取り工程とを備える。

成形工程では、成形部２における成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスとする。この際、溶融ガラスの幅方向収縮をエッジローラ８により規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。その後、ガラスフィルムＧに対してアニーラ９により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１１の張力により、ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。

搬送工程では、方向変換部３によってガラスフィルムＧの搬送方向を横方向に変換するとともに、各搬送装置１３，１４によって、ガラスフィルムＧを下流側の巻取り部６へと搬送する。

切断工程では、第二搬送装置１４により搬送されるガラスフィルムＧに、切断部５のレーザ照射装置１９からレーザ光Ｌを照射して、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断する。これにより、ガラスフィルムＧは非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに分離される。また、切断工程では、非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとから生じる糸状剥離物Ｇｅを回収装置２０により回収する（回収工程）。

なお、非製品部Ｇｃは、第二搬送装置１４の第一搬送ベルト１７ａ及び第二搬送ベルト１７ｂにより下流側に搬送され、巻取り部６の上流側で、図示しない別の回収装置により回収される。

巻取り工程では、保護シート供給部２２から保護シート２２ａを製品部Ｇｄに供給しつつ、第二搬送装置１４によって搬送される製品部Ｇｄを巻取り部６の巻取りローラ２１にてロール状に巻き取る。所定長さの製品部Ｇｄを巻取りローラ２１により巻き取ることで、ガラスロールＲが完成する。

以上説明した本実施形態では、糸状剥離物Ｇｅの幅Ｗを１８０μｍ以上３００μｍ以下とし、その螺旋直径Ｄを８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下に制御することにより、当該糸状剥離物Ｇｅを破断させることなく、且つ、糸状剥離物の発生を途切れさせることなく回収装置２０により回収できる。加えて、ガラスフィルムＧに照射されるレーザ光Ｌの直径を１６０μｍ以上４００μｍ以下とすることにより、破断し難い糸状剥離物Ｇｅを発生させることができる。これにより、端面品位の高いガラスロールＲを製造することが可能になる。

図６及び図７は、ガラスフィルムの製造装置及び当該製造装置を用いてガラスフィルムを製造する方法の第二実施形態を示す。上記の第一実施形態では、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスフィルムＧを製造する例を示したが、本実施形態では、ロールトゥロール工程（ＲｏｌｌｔｏＲｏｌｌ）を用いてガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）を製造する方法を例示する。

図６及び図７に示すように、製造装置１は、第一実施形態における成形部２、方向変換部３に替えて、加工対象であるガラスフィルムＧをロール状に構成してなるガラスロール元材Ｒａを最も上流側に備える。ガラスロール元材Ｒａは、供給ローラ２３に巻き取られて成る。ガラスロール元材Ｒａの下流側には、第一実施形態と同様に、搬送部４、切断部５、巻取り部６が順に配置される。これらの各要素４〜６の構成は第一実施形態と同じである。

本実施形態におけるガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）の製造方法は、ガラスロール元材Ｒａから加工用のガラスフィルムＧを引き出して下流側に供給するガラスフィルム供給工程と、搬送工程と、切断工程と、巻取り工程とを備える。ガラスフィルム供給工程において、製造装置１は、供給ローラ２３を回転させることにより、ガラスロール元材Ｒａから加工用のガラスフィルムＧを引き出して下流側へと移動させる。以降の搬送工程、切断工程及び巻取り工程は、第一実施形態と同様である。

本実施形態では、切断工程において、加工用のガラスフィルムＧを複数のガラスフィルムＧに分離させ、その一部又は全てを製品とすることができる。この場合、製造される製品の数に応じて、複数の巻取りローラ２１が巻取り部６に配置される。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

以下、本発明に係る実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。本発明者らは、本発明の効果を確認するための試験を行った。この試験では、図１に示す第一実施形態の製造装置を使用して長さ１００ｍのガラスフィルムをレーザ光により溶断した際に、製品部から生じる糸状剥離物が破断するか、或いは、製品部から発生する糸状剥離物が途切れるか否かを確認した。また、ガラスフィルムの板厚ｔ、ガラスフィルムの搬送速度ｖ、レーザ光の照射径（ビーム径）、レーザ光の出力及び出力密度の各条件を異ならせてなる実施例１〜１９及び比較例１〜６について、糸状剥離物の幅及び螺旋直径（巻径）を測定した。なお、糸状剥離物の螺旋直径は、ガラスフィルムの切断が終了した後に、回収した糸状剥離物を、その形状を崩すことなく測定台に載置した上で測定した。

試験結果を表１乃至表３に示す。表１乃至表３では、糸状剥離物が破断することなく、且つ、糸状剥離物の発生が途切れることなく製品（ガラスロール）を製造できた場合の評価を「〇」とし、製品の製造中に糸状剥離物が破断した場合、製品部からの糸状剥離物の発生が途切れた場合、或いは、糸状剥離物の発生がなかった場合の評価を「×」としている。

表１及び表２に示すように、実施例１〜１９では、糸状剥離物が破断することなく、且つ、糸状剥離物の発生が途切れることなく好適に製品を製造することができた。表３に示すように、糸状剥離物の螺旋直径が８０ｍｍ未満の場合（比較例１、２及び５参照）には、当該糸状剥離物が途中で破断したか、或いは、当該糸状剥離物の発生が途切れた。表３に示すように、糸状剥離物の螺旋直径が３００μｍを超える場合（比較例６参照）には、当該糸状剥離物が途中で破断したか、或いは、当該糸状剥離物の発生が途切れた。表３に示すように、糸状剥離物の幅が３００μｍを大きく超える場合（比較例３参照）には、当該糸状剥離物が螺旋形状を構成することができず、短く破断した。また、レーザ光の照射径が１６０μｍ未満の場合（比較例１、２及び５参照）、４００μｍを超える場合（比較例３及び６参照）に、糸状剥離物が途中で破断したか、或いは、当該糸状剥離物の発生が途切れた。また、比較例４の場合は、糸状剥離物の発生がなかった。

１９レーザ照射装置
Ｄ螺旋直径
Ｇガラスフィルム
Ｇｅ糸状剥離物
Ｌレーザ光

Claims

長尺状のガラスフィルムをその長手方向に沿って搬送する搬送工程と、
前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、前記ガラスフィルムにレーザ照射装置からレーザ光を照射することにより、前記ガラスフィルムを分離する切断工程と、を備え、
前記切断工程では、分離された前記ガラスフィルムの幅方向端部から糸状剥離物を螺旋状に発生させ、
前記糸状剥離物の幅が１８０μｍ以上３００μｍ以下であり、かつ前記糸状剥離物の螺旋直径が８０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
前記ガラスフィルムに照射される前記レーザ光の直径が１６０μｍ以上４００μｍ以下である請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
前記ガラスフィルムに照射される前記レーザ光の前記直径が１６０μｍ以上３００μｍ以下である請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
前記糸状剥離物の前記幅が２００μｍ以上２７０μｍ以下であり、かつ前記糸状剥離物の前記螺旋直径が９０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下である請求項１〜３のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。