JPWO2018092223A1 - ワーク厚さ測定装置および工作機械 - Google Patents

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Abstract

工作機械(100)の機上でワーク(W)の表面に接触し、超音波の送信時と受信時の時間差からワークの厚さを測定するワーク厚さ測定装置(10)が、主軸(114)の先端部に着脱可能なシャンク部(76a)を有した本体(12)と、ワークの表面に接触可能に本体に設けられた測定子(26)と、本体に設けられ、測定子によって超音波を送受信し超音波の送信時と受信時の時間差からワークの厚さを演算により求め、測定データを外部に無線送信する制御部(30)と、本体に設けられ、測定子とワーク表面との間に塗布するゲル状の接触媒質を貯留する媒質タンク(58)と、工作機械のスピンドルエア管路(114a)から受け入れた空圧を利用して、一定量の接触媒質をワーク表面に吐出する定量供給器(44)とを具備する。

Description

本発明は、工作機械の機上にてワークの厚さを測定する超音波式のワーク厚さ測定装置および該ワーク厚さ測定装置を備えた工作機械に関する。
特許文献1には、工作機械の主軸に取付けられるテーパーシャンクと、このテーパーシャンクに設けられ、その先端の超音波プローブをワークの表面に接触させながら超音波を発信し、その反響音波を検知してワークの厚さを計測し、その計測データを制御部に無線送信する超音波板厚計測部とを具備し、主軸に設けられた主軸噴射ノズルと、超音波板厚計測装置に設けられた測定噴射ノズルとからクーラントを噴射して、厚さ計測時に超音波プローブとワークの表面との間における接触状態を向上させた超音波板厚計測装置が開示されている。
WO2016/056499
特許文献1の超音波板厚計測装置では、接触媒質としてワークを切削加工する際に供給されるクーラントを用いているが、通常クーラントは粘性が低いので、ワークの測定部位の表面が傾斜面や鉛直面である場合に、ワークの表面に適用されたクーラントが沿って流下して、超音波によるワーク厚さ測定に必要な量のクーラントがワークの表面に残留できない問題がある。
また、特許文献1の超音波板厚計測装置は、主軸を軸方向に貫通させてクーラントを加工領域に供給する、いわゆるスルースピンドル方式のクーラント供給装置を備えた工作機械にのみ適用可能であって、その汎用性が低い問題がある。
本発明は、こうした従来技術の問題を解決することを技術課題としており、ワークの測定部位の表面に粘性の比較的高いゲル状の接触媒質を塗布することができ、また、既存の工作機械に容易に適用可能なワーク厚さ測定装置および該ワーク厚さ測定装置を備えた工作機械を提供することを目的としている。
上述の目的を達成するために、本発明によれば、主軸とワークとを相対移動させる少なくともX軸、Y軸、Z軸の直交3軸の送り装置を備えた工作機械において、空圧源と、前記空圧源に連通し、前記主軸を貫通して延びるスピンドルエア管路と、前記主軸の工具装着部に着脱可能なワーク厚さ測定装置とを具備し、
前記ワーク厚さ測定装置が、前記主軸の先端部に装着したときに、該主軸に対面する基端側壁および該基端側壁の反対側に設けられワークに対面可能な先端側壁を有した測定装置本体と、前記基端側壁から突出し、前記主軸の先端部に着脱可能なシャンク部と、ワークの表面に接触可能に前記測定装置本体の先端側壁に設けられ超音波を送受信する測定子と、前記測定装置本体に設けられ、前記ワークの表面に前記測定子を接触させた状態で前記測定子によって超音波を送受信し、超音波の送信時と受信時の時間差から前記ワークの厚さを演算により求め、測定データを外部に無線送信する制御部と、前記測定装置本体に設けられ、前記測定子とワーク表面との間に塗布するゲル状の接触媒質を貯留する媒質タンクと、前記測定装置本体が前記主軸に装着されている間、前記スピンドルエア管路から受け入れた空圧を利用して、一定量の接触媒質をワーク表面に吐出する定量供給器とを具備する工作機械が提供される。
更に、本発明によれば、主軸とワークとを相対移動させる少なくともX軸、Y軸、Z軸の直交3軸の送り装置を備えた工作機械の機上でワーク表面に接触し、超音波の送信時と受信時の時間差からワークの厚さを測定するワーク厚さ測定装置において、前記主軸の先端部に装着したときに、該主軸に対面する基端側壁および該基端側壁の反対側に設けられワークに対面可能な先端側壁を有した測定装置本体と、前記基端側壁から突出し、前記主軸の先端部に着脱可能なシャンク部と、ワークの表面に接触可能に前記測定装置本体の先端側壁に設けられ超音波を送受信する測定子と、前記測定装置本体に設けられ、前記ワークの表面に前記測定子を接触させた状態で前記測定子によって超音波を送受信し、超音波の送信時と受信時の時間差から前記ワークの厚さを演算により求め、測定データを外部に無線送信する制御部と、前記測定装置本体に設けられ、前記測定子とワーク表面との間に塗布するゲル状の接触媒質を貯留する媒質タンクと、前記測定装置本体が前記主軸に装着されている間、前記工作機械の空圧源に連通し前記主軸を貫通して延びるスピンドルエア管路から受け入れた空圧を利用して、一定量の接触媒質をワーク表面に吐出する定量供給器とを具備するワーク厚さ測定装置が提供される。
本発明によれば、定量供給器によって、工作機械のスピンドルエアを利用して所定量のゲル状の接触媒質がワークへ向けて吐出され、確実に測定部位に塗布される。更に、本発明によれば、ワーク厚さ測定装置が、主軸の先端部に装着可能なシャンク部を有しているので、容易に種々の工作機械に、また既存の工作機械に装着することが可能である。
本発明による工作機械の一例を示す略図である。 本発明の好ましい実施形態によるワーク厚さ測定装置の略図である。 本発明のワーク厚さ測定装置を用いたワークの厚さ測定方法を説明するフローチャートである。
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
図1は、本発明の好ましい実施形態による工作機械の略図である。工作機械100は、主軸114および該主軸114を回転軸線Oを中心として回転可能に支持するハウジング112を有した主軸装置110と、主軸装置110の前方で、ベッドの案内面120に沿って、Z軸方向(図1では左右方向)に往復動可能に設けられたテーブル122とを具備している。
工作機械100は、更に、主軸装置110をX軸方向(図1の紙面に垂直な方向)およびY軸方向(図1では上下方向)に送るためのX軸送り装置(図示せず)およびY軸送り装置(図示せず)、並びに、テーブル122を回転主軸Oに対して平行なZ軸方向に送るためのZ軸送り装置(図示せず)を具備している。X軸送り装置、Y軸送り装置、および、Z軸送り装置は、X軸、Y軸およびZ軸方向に延設されたボールねじ(図示せず)、および、X軸、Y軸およびZ軸の各ボールねじを駆動するサーボモータ(図示せず)を具備することができる。
本実施形態では、テーブル122の上面には、Y軸に平行な軸線を中心としてB軸方向に回転送り可能な回転テーブル124が設けられている。加工すべきワークWは、回転テーブル124の上面に取付けられたイケール126を介して主軸114の先端に対面するように固定される。本実施形態において、イケール126は両面イケールであって、ワークWを取付けるワーク取付面126a、126bを有している。
X軸、Y軸およびZ軸の各送り装置を駆動するサーボモータおよび回転テーブル124をB軸方向に駆動するサーボモータ(図示せず)は、工作機械100の制御装置(NC装置)140に接続されており、該制御装置140によって、X軸、Y軸、Z軸およびB軸の各サーボモータが制御される。制御装置140は、工作機械100の操作盤内に収納することができ、該操作盤には、工作機械100の動作状況、制御装置140に送出される加工プログラム、工作機械100を操作するための各種パラメータをオペレータが入力する入力画面を表示するディスプレイ142を有している。
主軸114の先端部には工具(図示せず)を取付けるための工具取付穴114aが形成されており、該工具取付穴114aに工具を装着した工具ホルダ(図示せず)のシャンク部を導入することによって、工具が主軸114の先端に取付けられる。工具を主軸114の先端部に着脱するために、例えば自動工具交換装置130を用いることができる。自動工具交換装置130もまた制御装置140によって制御することができる。
主軸114は、また軸線Oに沿って延びるスピンドルエア管路114bを備えることができる。スピンドルエア管路114bは、外部空圧管路106を介して空圧源102に接続されている。外部空圧管路106には、空圧制御弁としてソレノイド式の遮断弁106aが配設されている。
遮断弁106aは、スピンドルエア管路114bが空圧源102から遮断されるとともに外気に解放される第1の位置(図2参照)と、スピンドルエア管路114bが空圧源102に連通する第2の位置との間で動作可能となっている。遮断弁106aには、第1の位置において、スピンドルエア管路114bからの排気騒音を低減するマフラ106bを配設することができる。遮断弁106aのソレノイドは制御装置140に接続されており、該制御装置140によって遮断弁106aの動作が制御される。
空圧源102は、工作機械100が設置される工場のサービスエアとすることができる。しかしながら、空圧源102は、例えばサービスエアとは別設されたコンプレッサ(図示せず)およびタンク(図示せず)、更にはドライヤ(図示せず)等を備えた空圧源としてもよい。
主軸装置110のハウジング112にはクーラント通路112aが形成されており、該クーラント通路112aは、クーラント管路108を介して外部のクーラント源104に接続されている。クーラント通路112aは、ハウジング112の端部に設けられた受け部材116を貫通して延びている。クーラント通路112aは、好ましくは、ハウジング112の側壁を貫通させて形成されるが、ハウジング112の内部または外部に延設された管路またはホースによって形成してもよい。
クーラント源104は、例えばクーラントを貯留するタンク(図示せず)と、該タンクからクーラント管路108へクーラントを送り出すポンプ(図示せず)とを具備することができる。クーラント管路108には、クーラント制御弁としてソレノイド式の遮断弁108aが配設されている。遮断弁108aは、クーラント通路112aをクーラント源104から遮断する第1の位置(図2参照)と、クーラント通路112aをクーラント源104に連通させる第2の位置との間で動作可能となっている。遮断弁108aのソレノイドは制御装置140に接続されており、該制御装置140によって遮断弁108aの動作が制御される。
主軸装置110のハウジング112には、また、後述するワーク厚さ測定装置10の送受信部36と通信する送受信装置80を取付けることができる。送受信装置80は制御装置140に接続されている。更に、ハウジング112には、後述する、受け部材116が取付けられている。
本実施形態において、ワーク厚さ測定装置10は主軸114の先端部に装着される。ワーク厚さ測定装置10は中空状の本体12を具備し、該本体12は、主軸114の先端部に装着したときに主軸114に対面する基端側壁12aと、ワークWに対面する先端側壁12bとを有している。主軸114の先端部に形成された工具取付穴114aに適合したシャンク部76a、自動工具交換装置130の交換アーム132に係合する周方向に延びるV溝76bを有した軸部76が基端側壁12aから外方に突出している。
軸部76には空圧通路76cが形成されており、該空圧通路76cは、シャンク部76aが工具取付穴114aに装着されたときに、主軸114を軸方向に貫通するスピンドルエア管路114bに連通する。空圧通路76cは、また、後述する内部空圧管路52に連通している。
軸部76には、また回転止め部材78が設けられている。回転止め部材78は、ワーク厚さ測定装置10を主軸114の先端部に装着したときに、主軸装置110のハウジング112に設けられた受け部材116に係合して、ワーク厚さ測定装置10の回転を防止する。回転止め部材78が受け部材116と係合すると、クーラント通路112aと本体12内のクーラント通路72とが連通し、遮断弁108aが開放されたとき、クーラント源104からクリーニングクーラントが逆止弁74を押し開けてクリーニングクーラントノズル40から吐出される。
ワーク厚さ測定装置10は、また本体12の先端側壁12bから外方に突出する測定部14、媒質ノズル38を具備している。ワーク厚さ測定装置10は、更にクリーニングクーラントノズル40を具備することができる。測定部14は、筒状の測定部本体16、軸方向に摺動可能に測定部本体16内に配設されたスライダ18、スライダ18の先端に設けられた測定子26、本体16の後端を閉鎖する後端壁20、本体16内においてスライダ18と後端壁20との間に配設され、スライダ18を先端方向に付勢するばね22、本体16とスライダ18との間に配設されたシール部材としてのOリング24を具備することができる。
本実施形態では、スライダ18は、先端部に円筒状の凹所18aが形成されており、該凹所18aに測定子26が配置される。測定子26は、超音波を送受信する超音波トランスデューサとすることができる。スライダ18の凹所18aから後端面に中心穴18bが延設されている。また、スライダ18が本体16の先端から脱落することを防止するために、スライダ18の後端部にはフランジ部18cが形成されており、本体16の内周面には、フランジ部18cに当接可能に肩部16aが形成されている。後端壁20には、中心穴20aが形成されている。
測定子26は、ワイヤ28により制御部30に接続されている。制御部30は、ワイヤ28を介して測定子26から受信した信号を演算処理して、ワークWの厚さを演算する演算部32、ワーク厚さ測定装置10のオンオフスイッチ34、および、外部の送受信装置80と通信する送受信部36を具備する。制御部30は、また、電池39を内蔵することができる。
媒質ノズル38は、好ましくは、測定子26の前方へ向けて媒質を吐出可能なように、先端側壁12bから中心へ傾斜させて向けて突出している。媒質ノズル38は、媒質吐出管路42を介して定量供給器としてのシリンダ44に接続されている。シリンダ44は、同軸に配置された空圧室48と、媒質室46と、双頭ピストン50とを備えている。双頭ピストン50は、空圧室48内に配置される大径の第1のピストン部50aと、媒質室46内に配置される小径の第2のピストン部50bとを有している。
空圧室48は、内部空圧管路52、空圧通路76c、スピンドルエア管路114bおよび外部空圧管路106を介して外部の空圧源102に接続される。本実施形態では、内部空圧管路52、空圧通路76c、スピンドルエア管路114bおよび外部空圧管路106が空圧供給通路システムを形成している。
媒質室46は媒質吐出管路42を介して媒質ノズル38に連通している。媒質吐出管路42には、媒質室46から媒質ノズル38へ向かう流れを遮断する逆止弁56が配設されている。逆止弁56は、内部空圧管路52から分岐したパイロット管路54によって供給されるパイロット空圧によって操作されるパイロット操作式の逆止弁である。逆止弁56に供給されるパイロット空圧が高くなると逆止弁56が開き、媒質ノズル38が媒質室46に連通して媒質ノズル38から媒質の吐出が可能となる。パイロット空圧が消失すると逆止弁56が閉じて、媒質室46から媒質ノズル38へ向かう流れが遮断される。
媒質室46は、また媒質供給管路68を介して媒質供給源としての媒質タンク58に連通している。媒質タンク内にはゲル状の接触媒質が貯留される。ゲル状の接触媒質は、種々のゲル状物質とすることができるが、好ましくは、図1に示すように、ワークWの鉛直表面に塗布したときに、直ちに流下しない適当な粘度を有した物質、例えばグリースとすることができる。媒質供給管路68には媒質タンク58から媒質室46への媒質の流れを遮断する逆止弁70が配設されている。媒質タンク58内にはピストン60と、媒質タンク58内の媒質を押し出す方向にピストン60を付勢するばね62が配設されている。
また、媒質タンク58は媒質補充管路64を介してニップル66に接続されている。ニップル66は、媒質タンク58からの媒質の漏洩を防止する接手である。オペレータは、ニップル66を介して注入器を用いて外部から媒質タンク58に媒質を補充することが可能となる。媒質補充管路64は、媒質タンク58において媒質供給管路68が接続されている底壁の近傍に開口している。
以下、図3を参照して、本実施形態によるワーク厚さ測定装置10の作用を説明する。
まず、ワーク厚さ測定装置10が主軸114の先端に取付けられる(ステップS10)。これは制御装置140による制御の下で自動工具交換装置130によって行うことができる。ワーク厚さ測定装置10は、オペレータが手操作によって主軸114の先端に取付けてもよい。次いで、オペレータが手操作によって、ワーク厚さ測定装置10の本体に設けられているオンオフスイッチ34を操作することによってワーク厚さ測定装置10の電源がオンされる(ステップS12)。或いは、制御装置140からの電源オン指令を送受信装置80から制御部30に送信して、オンオフスイッチ34をオンさせてもよい。
次いで、工作機械100の制御装置140は、媒質タンク58内に所定量以上の媒質が貯留されているか否かを判別し、媒質タンク58内の媒質が所定量より少ない場合に、工作機械100の操作盤上のディスプレイ142に媒質を補充すべき旨の警告を表示する(ステップS14においてYesの場合)。媒質タンク58内に所定量の媒質が貯留されている場合(ステップS14においてNoの場合)、或いは、オペレータが警告に従い媒質を補充する(ステップS16)と、制御装置140は、工作機械100の送り装置を用いてワーク厚さ測定装置10をワークWの測定部位に移動する(ステップS18)。
次いで、クーラント管路108の遮断弁108aが所定時間開かれて、クーラント源104からクリーニングクーラントがクリーニングクーラントノズル40からワークWへ向けて噴射され、測定部位が清掃される(ステップS20)。次いで、外部空圧管路106の遮断弁106aが開かれ、空圧源102から空圧供給通路システムを介してシリンダ44の空圧室48に空圧が印加される。このとき、パイロット管路54を介して空圧がパイロット作動式の逆止弁56に印加され逆止弁56が開く。
これによって、空圧室48内の空圧によってピストン50が駆動され、媒質室46内の接触媒質が媒質吐出管路42を介して媒質ノズル38から吐出される。ピストン50が駆動される間、空圧室48内の空気は排気管路47を通じて外部へ排気される。ピストン50は、空圧室48内の空圧によってストロークエンドまで駆動され、ピストン50の小径の第2のピストン部50bの面積と行程によって決定される容積に相当する体積の接触媒質が一回量として媒質ノズル38から吐出され、ワークWの測定部位の表面に塗布される(ステップS22)。このとき、制御装置140は、今般の接触媒質吐出が、媒質タンク58に接触媒質を補充した後、何回目の吐出であるかカウントし、それを記憶する。
制御装置140が、外部空圧管路106の遮断弁106aを第1の位置に移動させると、空圧室48が前記空圧供給システムおよび遮断弁106aを通じて外気に連通し、空圧室48内の空圧が空圧供給通路システムを通じて遮断弁106aから排気される。そのとき、パイロット管路54内の圧力が低下して逆止弁56が閉じる。更には、媒質タンク58の圧力によって、媒質タンク58内に貯留されている接触媒質が媒質供給管路68を通じてシリンダ44の媒質室46内に導入される。
次いで、工作機械100のZ軸送り装置によって、ワーク厚さ測定装置10を主軸装置110とともにワークWへ向けて接近させ、測定子26がワークWの測定部位の表面に接触する(ステップS24)。次いで、測定子26から超音波が送信され、その反射波が測定子26によって検知される。超音波は物体と物体の境界面で反射する性質があり、この場合は、ワークWとイケール126との境界面、すなわちワーク取付面126aで反射される。演算部32は、超音波の送信から受信までの時間から、ワークWの厚さを演算により求める。こうして得られた測定結果は、送受信部36および送受信装置80を通じて制御装置140に送信され、該制御装置140の所定のメモリ領域に記憶される。測定結果をディスプレイ142に表示するようにしてもよい(ステップS28)。
次いで、制御装置140は、記憶した前記カウント値から媒質タンク58に残っている接触媒質の量を演算により求め記憶する(ステップS30)。制御装置140は、測定プログラムからワークWの全ての測定部位が終了したか否かを判断する。次の測定部位が残っている場合(ステップS32でYesの場合)、制御装置140は、ステップS14からの測定工程を再び実行する。全ての測定部位の測定が終了した場合(ステップS32でNoの場合)、オペレータがオンオフスイッチ34を操作して、ワーク厚さ測定装置10の電源がオフされる(ステップS34)。或いは、制御装置140からの電源オフ指令を送受信装置80から制御部30に送信して、オンオフスイッチ34をオフさせてもよい。次いで、ワーク厚さ測定装置10が、自動工具交換装置130によって主軸114の先端部から取り外され(ステップS36)、ワークWの厚さ測定プロセスが終了する。ワーク厚さ測定装置10は、オペレータが手操作によって主軸114の先端から取り外してもよい。
本実施形態によれば、ワーク厚さ測定装置10は、主軸114の先端部の工具取付穴114aに適合したシャンク部76aを有しているので、容易に種々の工作機械に装着することが可能である。
更に、本発明によれば、定量供給器によって、工作機械100のスピンドルエアを利用して所定量の接触媒質が媒質ノズル38からワークWへ向けて吐出される。また、ワーク厚さ測定装置10は、自動工具交換装置130によって、主軸114の先端部に着脱することができるので、ワークWの表面の清掃から接触媒質の吐出、ワークWの厚さの測定までプログラム化して自動化することが可能となる。
本実施の形態では、X軸、Y軸、Z軸の直動3軸と、B軸の回転1軸の4軸工作機械について述べたが、直動3軸だけの工作機械でも、或いは、更にもう1軸の回転送り軸を持った5軸工作機械等でも本発明は適用可能である。また、本発明は、立形工作機械にも横形工作機械にも適用可能である。
10 測定装置
12 本体
12a 基端側壁
12b 先端側壁
26 測定子
30 制御部
32 演算部
36 送受信部
38 媒質ノズル
40 クリーニングクーラントノズル
44 シリンダ
58 媒質タンク
76a シャンク部
76b V溝
80 送受信装置
100 工作機械
114 主軸
114b スピンドルエア管路
140 制御装置(NC装置)

Claims (6)

  1. 主軸とワークとを相対移動させる少なくともX軸、Y軸、Z軸の直交3軸の送り装置を備えた工作機械において、
    空圧源と、
    前記空圧源に連通し、前記主軸を貫通して延びるスピンドルエア管路と、
    前記主軸の工具装着部に着脱可能なワーク厚さ測定装置と、
    を具備し、前記ワーク厚さ測定装置が、
    前記主軸の先端部に装着したときに、該主軸に対面する基端側壁および該基端側壁の反対側に設けられワークに対面可能な先端側壁を有した測定装置本体と、
    前記基端側壁から突出し、前記主軸の先端部に着脱可能なシャンク部と、
    ワークの表面に接触可能に前記測定装置本体の先端側壁に設けられ超音波を送受信する測定子と、
    前記測定装置本体に設けられ、前記ワークの表面に前記測定子を接触させた状態で前記測定子によって超音波を送受信し、超音波の送信時と受信時の時間差から前記ワークの厚さを演算により求め、測定データを外部に無線送信する制御部と、
    前記測定装置本体に設けられ、前記測定子とワーク表面との間に塗布するゲル状の接触媒質を貯留する媒質タンクと、
    前記測定装置本体が前記主軸に装着されている間、前記スピンドルエア管路から受け入れた空圧を利用して、一定量の接触媒質をワーク表面に吐出する定量供給器と、
    を具備することを特徴とした工作機械。
  2. 前記シャンク部は、前記基端側壁から突出した軸部の先端に形成されており、該軸部は、前記シャンク部と前記基端側壁との間に周方向に延びるV溝が形成されており、
    前記工作機械は、更に前記V溝に係合可能なアームを有した自動工具交換装置を具備し、該自動工具交換装置によって、前記ワーク厚さ測定装置を前記主軸の先端部に着脱可能にした請求項1に記載の工作機械。
  3. 主軸とワークとを相対移動させる少なくともX軸、Y軸、Z軸の直交3軸の送り装置を備えた工作機械の機上でワーク表面に接触し、超音波の送信時と受信時の時間差からワークの厚さを測定するワーク厚さ測定装置において、
    前記主軸の先端部に装着したときに、該主軸に対面する基端側壁および該基端側壁の反対側に設けられワークに対面可能な先端側壁を有した測定装置本体と、
    前記基端側壁から突出し、前記主軸の先端部に着脱可能なシャンク部と、
    ワークの表面に接触可能に前記測定装置本体の先端側壁に設けられ超音波を送受信する測定子と、
    前記測定装置本体に設けられ、前記ワークの表面に前記測定子を接触させた状態で前記測定子によって超音波を送受信し、超音波の送信時と受信時の時間差から前記ワークの厚さを演算により求め、測定データを外部に無線送信する制御部と、
    前記測定装置本体に設けられ、前記測定子とワーク表面との間に塗布するゲル状の接触媒質を貯留する媒質タンクと、
    前記測定装置本体が前記主軸に装着されている間、前記工作機械の空圧源に連通し前記主軸を貫通して延びるスピンドルエア管路から受け入れた空圧を利用して、一定量の接触媒質をワーク表面に吐出する定量供給器と、
    を具備することを特徴としたワーク厚さ測定装置。
  4. 前記定量供給器は、前記スピンドルエア管路に連通する空圧室および前記媒質タンクに連通する媒質室を有したシリンダと、
    前記空圧室内に配設された第1のピストン部および前記媒質室内に配設された第2のピストン部を有した双頭ピストンとを具備する請求項3に記載のワーク厚さ測定装置。
  5. 前記媒質タンクに連する媒質ノズルを更に具備し、該媒質ノズルが前記測定子に隣接させて前記基端側壁から突出するように設けられている請求項4に記載のワーク厚さ測定装置。
  6. 前記工作機械のクーラント源に連通し、ワーク表面に向けてクーラントを吐出可能に、測定子に隣接させて前記基端側壁から突出するクリーニングクーラントノズルを更に具備する請求項3に記載のワーク厚さ測定装置。
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