JPWO2018083986A1 - ステルスダイシング用粘着シート - Google Patents
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Abstract
Description
ΔL90℃−ΔL60℃<0μm …(1)
の関係を満たすことを特徴とするステルスダイシング用粘着シートを提供する(発明1)。
H30℃−100℃/H25℃≦4.0 …(2)
の関係を満たすことが好ましい(発明2)。
H105℃−200℃/H25℃≧1.0 …(3)
の関係を満たすことが好ましい(発明3)。
H105℃−200℃/H30℃−100℃≧0.1 …(4)
の関係を満たすことが好ましい(発明4)。
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートは、基材と、基材における片面側に積層された粘着剤層とを備える。
(1)基材
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートでは、熱機械分析装置を用いて、基材を昇温速度20℃/分で25℃から120℃まで加熱しながら、0.2gの荷重で引っ張る場合において、基材の60℃のときの長さから基材の初期の長さを減じて得られる基材の長さの変化量をΔL60℃(μm)とし、基材の90℃のときの長さから基材の初期の長さを減じて得られる基材の長さの変化量をΔL90℃(μm)としたときに、基材が、下記式(1)
ΔL90℃−ΔL60℃<0μm …(1)
の関係を満たす。
H30℃−100℃/H25℃≦4.0 …(2)
の関係を満たすことが好ましい。基材が上記式(2)を満たす場合、基材が、30℃から100℃という温度範囲に吸熱ピークを有しない傾向が高まり、基材の融点は比較的高いものとなる。そのため、基材、および当該基材を備えるステルスダイシング用粘着シートが優れた耐熱性を有するものとなる。特に、ステルスダイシング用粘着シートを、加熱された吸着テーブル上に載置する場合であっても、基材の軟化による吸着テーブルへの密着が抑制され、ステルスダイシング用粘着シートを吸着テーブルから良好に分離することができる。なお、上記示差走査熱量計を用いた測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
H105℃−200℃/H25℃≧1.0 …(3)
の関係を満たすことが好ましい。基材が上記式(3)を満たす場合、基材が、前述した式(1)の関係を満たし易くなり、当該基材を備えるステルスダイシング用粘着シートは、優れたヒートシュリンク性を効果的に発揮するものとなる。その結果、ヒートシュリンク後において、チップ同士が離間した状態をより良好に維持することができ、チップ同士の衝突が抑制された良好なピックアップを効果的に行うことができる。なお、上記示差走査熱量計を用いた測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
H105℃−200℃/H30℃−100℃≧0.1 …(4)
の関係を満たすことが好ましい。基材が上記式(4)を満たす場合、基材が、前述した式(1)の関係を満たし易くなり、当該基材を備えるステルスダイシング用粘着シートは、優れたヒートシュリンク性を効果的に発揮するものとなる。その結果、ヒートシュリンク後において、チップ同士が離間した状態をより良好に維持することができ、チップ同士の衝突が抑制された良好なピックアップを効果的に行うことができる。さらに、基材が上記式(4)を満たす場合、基材が、30℃から100℃という温度範囲に吸熱ピークを有しない傾向が高まるとともに、105℃から200℃という温度範囲に吸熱ピークを有する傾向が高まり、基材の融点は比較的高いものとなる。その結果、基材、および当該基材を備えるステルスダイシング用粘着シートが優れた耐熱性を有するものとなる。特に、ステルスダイシング用粘着シートを、加熱された吸着テーブル上に載置する場合であっても、基材の軟化による吸着テーブルへの密着が抑制され、ステルスダイシング用粘着シートを吸着テーブルから良好に分離することができる。なお、上記示差走査熱量計を用いた測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートにおいて、粘着剤層は、ステルスダイシング用粘着シートの使用工程における所望の機能を発揮するものである限り、特に限定されない。ステルスダイシング用粘着シートが粘着剤層を備えることで、当該粘着剤層側の面に対してワークを良好に貼付し易くなる。
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートでは、粘着剤層における粘着面をワークに貼付するまでの間、当該面を保護する目的で、当該面に剥離シートが積層されていてもよい。剥離シートの構成は任意であり、プラスチックフィルムを剥離剤等により剥離処理したものが例示される。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、およびポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルムが挙げられる。剥離剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系等を用いることができ、これらの中で、安価で安定した性能が得られるシリコーン系が好ましい。剥離シートの厚さについては特に制限はないが、通常20μm以上、250μm以下である。
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートにおいて、基材の製造方法は、得られる基材が熱機械分析装置による測定に関する上記式(1)の関係を満たす限り、特に限定されない。例えば、前述した材料を使用して、Tダイ法、丸ダイ法等の溶融押出法;カレンダー法;乾式法、湿式法等の溶液法等によって基材を製造することができる。これらの製造方法の中でも、Tダイ法を使用することが好ましい。
本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートは、ステルスダイシングに使用することができる。また、本実施形態に係るステルスダイシング用粘着シートは、ステルスダイシングの工程を備える半導体装置の製造方法に使用することができる。
(1)基材の作成
低密度ポリエチレンを含有する樹脂組成物(住友化学社製,製品名「スミカセンF−412−1」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形し、厚さ70μmの基材を得た。
アクリル酸n−ブチル(BA)62質量部と、メタクリル酸メチル(MMA)10質量部と、アクリル酸2−ヒドロキシエチル(HEA)28質量部とを反応させて得られたアクリル系共重合体(a1)と、当該アクリル系共重合体(a1)のHEAに対して80mol%のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)とを反応させて、エネルギー線硬化型重合体(A)を得た。このエネルギー線硬化型重合体(A)の分子量を後述する方法で測定したところ、重量平均分子量(Mw)は、50万であった。
厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面にシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート(リンテック社製,製品名「SP−PET381031」)の剥離面に対して、上記粘着剤組成物を塗布し、加熱により乾燥させることで、剥離シート上に、厚さ20μmの粘着剤層を形成した。
上記工程(3)で形成した粘着剤層の剥離シートとは反対側の面と、上記工程(1)で作製した基材の片面とを貼り合わせることで、ステルスダイシング用粘着シートを得た。
基材として、低密度ポリエチレンを含有する樹脂組成物(住友化学社製,製品名「スミカセンF−723P」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形して得られた、厚さ70μmの基材を使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
基材として、低密度ポリエチレンを含有する樹脂組成物(住友化学社製,製品名「スミカセンCE3506」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形して得られた、厚さ70μmの基材を使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
基材として、ランダムポリプロピレンを含有する樹脂組成物(プライムポリマー社製,製品名「プライムTPO J−5710」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形して得られた、厚さ70μmの基材を使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
基材として、ランダムポリプロピレンを含有する樹脂組成物(プライムポリマー社製,製品名「プライムTPO F−3740」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形して得られた、厚さ70μmの基材を使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
基材として、エチレン−メタクリル酸共重合体を含有する樹脂組成物(三井デュポンポリケミカル社製,製品名「ニュクレルNH903C」)を、小型Tダイ押出機(東洋精機製作所社製,製品名「ラボプラストミル」)によって押出成形して得られた、厚さ70μmの基材を使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
基材として、厚さ80μmのポリブチレンテレフタレートフィルムを使用する以外、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを製造した。
<測定条件>
・GPC測定装置:東ソー社製,HLC−8020
・GPCカラム(以下の順に通過):東ソー社製
TSK guard column HXL−H
TSK gel GMHXL(×2)
TSK gel G2000HXL
・測定溶媒:テトラヒドロフラン
・測定温度:40℃
実施例および比較例で作製した基材を15mm×140mmの試験片に裁断し、JIS K7161:2014に準拠して、温度23℃および相対湿度50%における引張弾性率を測定した。具体的には、上記試験片を、引張試験機(オリエンテック社製,製品名「テンシロンRTA−T−2M」)にて、チャック間距離100mmに設定した後、200mm/minの速度で引張試験を行い、引張弾性率(MPa)を測定した。なお、測定は、基材の成形時の押出方向(MD)およびこれに直角の方向(CD)の双方で行い、これらの測定結果の平均値を引張弾性率破断伸度とした。結果を表1に示す。
実施例および比較例で作製した基材から4.0mg分を切り出して、測定サンプルとした。当該測定サンプルを、示差走査熱量計(TAインスツルメンツ社製,製品名「Q2000」)を用いて、昇温速度10℃/分で0℃から200℃まで加熱して、DSC曲線を得た。
実施例および比較例で作製した基材を4.5mm×20mmのサイズにカットし、測定サンプルとした。当該測定サンプルを、熱機械分析装置(BRUKER社製,製品名「TMA4000SA」)に、チャック間距離を15mmとして設置した後、昇温速度20℃/分で25℃から120℃まで加熱しながら、0.2gの荷重で長軸方向に引っ張った。そして、60℃および90℃における測定サンプルのチャック間距離をそれぞれ測定した。
実施例および比較例で製造したステルスダイシング用粘着シートから剥離シートを剥離した後、当該ステルスダイシング用粘着シートにおける基材側の面を、マルチウエハマウンター(リンテック社製,製品名「RAD−2700 F/12」)が備える吸着テーブルに2分間吸着させた。当該吸着の間、吸着テーブルを70℃に加熱した。
実施例および比較例で製造したステルスダイシング用粘着シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層の粘着面に対して、マルチウエハマウンター(リンテック社製,製品名「RAD−2700 F/12」)を用いて、シリコンウエハ(外径:8インチ,厚さ:100μm)およびリングフレーム(ステンレス製)に貼付した。
Claims (7)
- 基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えたステルスダイシング用粘着シートであって、
前記基材が、熱機械分析装置を用いて、昇温速度20℃/分で25℃から120℃まで加熱しながら、前記基材を0.2gの荷重で引っ張る場合において、前記基材の60℃のときの長さから前記基材の初期の長さを減じて得られる前記基材の長さの変化量をΔL60℃とし、前記基材の90℃のときの長さから前記基材の初期の長さを減じて得られる前記基材の長さの変化量をΔL90℃としたときに、下記式(1)
ΔL90℃−ΔL60℃<0μm …(1)
の関係を満たすことを特徴とするステルスダイシング用粘着シート。 - 前記基材は、示差走査熱量計を用いて、昇温速度10℃/分で0℃から200℃まで加熱することで得られる前記基材についてのDSC曲線において、30℃から100℃の範囲における測定値の最小値をH30℃−100℃とし、25℃のときの測定値をH25℃としたときに、下記式(2)
H30℃−100℃/H25℃≦4.0 …(2)
の関係を満たすことを特徴とする請求項1に記載のステルスダイシング用粘着シート。 - 前記基材は、示差走査熱量計を用いて、昇温速度10℃/分で0℃から200℃まで加熱することで得られる前記基材についてのDSC曲線において、105℃から200℃の範囲における測定値の最小値をH105℃−200℃とし、25℃のときの測定値をH25℃としたときに、下記式(3)
H105℃−200℃/H25℃≧1.0 …(3)
の関係を満たすことを特徴とする請求項1または2に記載のステルスダイシング用粘着シート。 - 前記基材は、示差走査熱量計を用いて、昇温速度10℃/分で0℃から200℃まで加熱することで得られる前記基材についてのDSC曲線において、30℃から100℃の範囲における測定値の最小値をH30℃−100℃とし、105℃から200℃の範囲における測定値の最小値をH105℃−200℃としたときに、下記式(4)
H105℃−200℃/H30℃−100℃≧0.1 …(4)
の関係を満たすことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のステルスダイシング用粘着シート。 - 前記基材は、23℃における引張弾性率が50MPa以上、450MPa以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のステルスダイシング用粘着シート。
- 貫通電極を有する半導体ウエハをワークとすることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のステルスダイシング用粘着シート。
- ワークが積層された前記ステルスダイシング用粘着シートにおける、前記ワークが積層されていない領域を、加熱により収縮する工程を備える半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のステルスダイシング用粘着シート。
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