JPWO2018066313A1 - 反射屈折光学系および光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
0≦f/|f2|<5.50
但し、
f:前記反射屈折光学系の焦点距離、
|f2|:前記第2レンズ群の焦点距離。
但し、
f:反射屈折光学系LSの焦点距離、
|f2|:第2レンズ群G2の焦点距離。
但し、
RM1a:第1透過面Th1の曲率半径、
RM1b:第1反射面Rf1の曲率半径。
但し、
RM2a:第2透過面Th2の曲率半径、
RM2b:第2反射面Rf2の曲率半径。
但し、
R1a:第1レンズ群G1のレンズにおける第1反射鏡M1が配置される側のレンズ面の曲率半径、
R1b:第1レンズ群G1のレンズにおける第2反射鏡M2が配置される側のレンズ面の曲率半径。
但し、
RM1b:第1反射面Rf1の曲率半径、
RM2b:第2反射面Rf2の曲率半径。
但し、
|Dexit|:反射屈折光学系LSの像面から射出瞳までの距離。
まず、本願の第1実施例について図1〜図2および表1を用いて説明する。図1は第1実施例に係る反射屈折光学系LS(1)の構成図である。第1実施例に係る反射屈折光学系LS(1)は、光軸に沿って配置された、第1反射鏡M1と、第2反射鏡M2と、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2とから構成される。
[諸元データ]
f=859.26
f2=-208.99
FNO=6.6
ω=1.44°
BF=175.06
RC=80.7
|Dexit|=260.35
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd φ
1 ∞ 141.26 153.4
2 -403.274 6.51 1.45847 67.8 146.7
3*a -559.404 -6.51 1.45847 67.8 147.4
4 -403.274 -149.72 143.7
5 -99.039 -9.76 1.45847 67.8 69.3
6 -1003.581 -5.21 67.0
7 304.543 -6.51 1.45847 67.8 64.5
8*a -371.850 6.51 1.45847 67.8 61.4 (開口絞り)
9 304.543 5.21 61.4
10 -1003.581 9.76 1.45847 67.8 61.7
11 -99.039 65.10 62.2
12 ∞ 37.69 49.5 (迷光絞り)
13 -84.395 6.51 1.45847 67.8 43.3
14 -78.131 5.50 43.5
15 276.139 4.56 1.45847 67.8 41.6
16 65.824 BF 40.3
[条件式対応値]
条件式(1) f/|f2|=4.10
条件式(2) RM1a/RM1b=0.72
条件式(3) RM2a/RM2b=-0.82
条件式(4) R1a/R1b=0.10
条件式(5) RM1b/RM2b=1.50
条件式(6) |Dexit|/f=0.30
以下、本願の第2実施例について図3〜図4および表2を用いて説明する。図3は第2実施例に係る反射屈折光学系LS(2)の構成図である。第2実施例に係る反射屈折光学系LS(2)は、光軸に沿って配置された、第1反射鏡M1と、第2反射鏡M2と、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2とから構成される。第2実施例において、第1反射鏡M1、第2反射鏡M2、および第1レンズ群G1は、第1実施例と同様の構成であり、第1実施例の場合と同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
[諸元データ]
f=859.26
f2=14802.50
FNO=6.3
ω=1.44°
BF=209.26
RC=72.3
|Dexit|=317.92
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd φ
1 ∞ 185.52 175.1
2 -779.543 8.46 1.45847 67.8 166.0
3*a -730.348 -8.46 1.45847 67.8 166.2
4 -779.543 -188.78 162.8
5 -126.859 -9.76 1.45847 67.8 62.1
6 -204.625 -8.46 58.0
7 374.574 -6.51 1.45847 67.8 54.5
8*a -540.073 6.51 1.45847 67.8 51.4 (開口絞り)
9 374.574 8.46 50.9
10 -204.625 9.76 1.45847 67.8 50.7
11 -126.859 78.11 51.1
12 ∞ 3.25 43.0 (迷光絞り)
13 606.874 7.81 1.45847 67.8 43.0
14 -162.790 8.93 43.0
15 207.980 5.21 1.45847 67.8 41.4
16 77.027 BF 40.3
[条件式対応値]
条件式(1) f/|f2|=0.06
条件式(2) RM1a/RM1b=1.07
条件式(3) RM2a/RM2b=-0.69
条件式(4) R1a/R1b=0.62
条件式(5) RM1b/RM2b=1.35
条件式(6) |Dexit|/f=0.37
以下、本願の第3実施例について図5〜図6および表3を用いて説明する。図5は第3実施例に係る反射屈折光学系LS(3)の構成図である。第3実施例に係る反射屈折光学系LS(3)は、光軸に沿って配置された、第1反射鏡M1と、第2反射鏡M2と、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2とから構成される。第3実施例において、第1反射鏡M1および第2反射鏡M2は、第1実施例と同様の構成であり、第1実施例の場合と同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
[諸元データ]
f=859.26
f2=307.22
FNO=6.3
ω=1.44°
BF=45.94
RC=72.3
|Dexit|=5027.53
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd φ
1 ∞ 172.50 174.4
2 -943.552 13.02 1.45847 67.8 165.9
3*a -738.268 -13.02 1.45847 67.8 166.1
4 -943.552 -175.76 161.0
5 -80.835 -9.76 1.45847 67.8 60.4
6 -78.932 -8.46 54.8
7 849.598 -6.51 1.45847 67.8 53.0
8*a -678.636 6.51 1.45847 67.8 50.2 (開口絞り)
9 849.598 8.46 49.6
10 -78.932 9.76 1.45847 67.8 49.2
11 -80.835 71.60 50.6
12 ∞ 56.23 44.3 (迷光絞り)
13 4145.615 7.81 1.45847 67.8 44.0
14 -207.703 15.24 43.9
15 409.401 5.21 1.45847 67.8 42.1
16 81.728 121.23 41.3
17 85.641 11.07 1.45847 67.8 51.6
18 458.143 BF 50.6
[条件式対応値]
条件式(1) f/|f2|=2.80
条件式(2) RM1a/RM1b=1.28
条件式(3) RM2a/RM2b=-1.25
条件式(4) R1a/R1b=1.02
条件式(5) RM1b/RM2b=1.09
条件式(6) |Dexit|/f=5.85
以下、本願の第4実施例について図7〜図8および表4を用いて説明する。図7は第4実施例に係る反射屈折光学系LS(4)の構成図である。第4実施例に係る反射屈折光学系LS(4)は、光軸に沿って配置された、第1反射鏡M1と、第2反射鏡M2と、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2とから構成される。第4実施例において、第1反射鏡M1は、第1実施例と同様の構成であり、第1実施例の場合と同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
[諸元データ]
f=859.26
f2=504.06
FNO=6.3
ω=1.44°
BF=32.98
RC=72.0
|Dexit|=771.62
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd φ
1 ∞ 217.18 176.3
2 -957.090 20.75 1.45847 67.8 166.0
3*a -773.034 -20.75 1.45847 67.8 166.0
4 -957.090 -181.53 166.0
5 -119.707 -11.99 1.45847 67.8 60.3
6 -132.217 -7.77 54.5
7 ∞ -0.66 51.6 (開口絞り)
8 506.098 -14.26 1.45847 67.8 51.6
9*a -636.999 14.26 1.45847 67.8 48.6
10 506.098 8.43 51.9
11 -132.217 11.99 1.45847 67.8 54.5
12 -119.707 82.34 60.3
13 ∞ 18.15 44.1 (迷光絞り)
14 1916.086 6.48 1.45847 67.8 44.7
15 -167.799 21.39 44.7
16 152.338 7.78 1.45847 67.8 42.1
17 65.842 123.18 40.8
18 155.591 9.72 1.45847 67.8 46.7
19 1242.230 32.98 46.7
[条件式対応値]
条件式(1) f/|f2|=1.70
条件式(2) RM1a/RM1b=1.24
条件式(3) RM2a/RM2b=-0.79
条件式(4) R1a/R1b=0.91
条件式(5) RM1b/RM2b=1.21
条件式(6) |Dexit|/f=0.90
LS 反射屈折光学系
M1 第1反射鏡 Ho1 開口部
Th1 第1透過面 Rf1 第1反射面
M2 第2反射鏡
Th2 第2透過面 Rf2 第2反射面
G1 第1レンズ群 G2 第2レンズ群
I 像面
0≦f/|f2|<5.50
但し、
f:前記反射屈折光学系の焦点距離、
|f2|:前記第2レンズ群の焦点距離。
Claims (22)
- 物体からの光を反射させる第1反射鏡と、
前記第1反射鏡で反射した光を反射させる第2反射鏡と、
前記第1反射鏡で反射して前記第2反射鏡に向かう光を透過させ、且つ前記第2反射鏡で反射した光を透過させる第1レンズ群と、
前記第2反射鏡で反射して前記第1レンズ群を透過した光を透過させる第2レンズ群とを備え、
前記第2レンズ群を透過した光によって物体の像が結像され、
以下の条件式を満足する反射屈折光学系。
0≦f/|f2|<5.50
但し、
f:前記反射屈折光学系の焦点距離、
|f2|:前記第2レンズ群の焦点距離。 - 前記第1反射鏡は、光の入射側に対して凹面の形状を有し、
前記第2反射鏡は、光の入射側に対して凸面の形状を有する請求項1に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1反射鏡は、開口部を有し、
前記開口部は、前記第2反射鏡で反射して前記第1レンズ群を透過した光が通過可能な位置に設けられる請求項1または2に記載の反射屈折光学系。 - 前記第2反射鏡は、前記第1反射鏡の前記開口部と対向して配置され、
前記第1レンズ群は、前記第1反射鏡と前記第2反射鏡との間に配置される請求項3に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1反射鏡は、物体からの光が透過可能な第1透過面と、前記第1透過面を透過した光が反射可能な第1反射面とを有する裏面鏡であり、
前記第1透過面の曲率半径と前記第1反射面の曲率半径とが異なる請求項1〜4のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。 - 以下の条件式を満足する請求項5に記載の反射屈折光学系。
0.50<RM1a/RM1b<2.00
但し、
RM1a:前記第1透過面の曲率半径、
RM1b:前記第1反射面の曲率半径。 - 前記第1透過面および前記第1反射面が球面である請求項5または6に記載の反射屈折光学系。
- 前記第2反射鏡は、前記第1反射鏡からの光が透過可能な第2透過面と、前記第2透過面を透過した光が反射可能な第2反射面とを有する裏面鏡であり、
前記第2透過面の曲率半径と前記第2反射面の曲率半径とが異なる請求項1〜7のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。 - 以下の条件式を満足する請求項8に記載の反射屈折光学系。
−2.00<RM2a/RM2b<−0.50
但し、
RM2a:前記第2透過面の曲率半径、
RM2b:前記第2反射面の曲率半径。 - 前記第2透過面および前記第2反射面が球面である請求項8または9に記載の反射屈折光学系。
- 前記第1レンズ群は、1枚のレンズからなり、
以下の条件式を満足する請求項1〜10のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
−0.50<R1a/R1b<1.50
但し、
R1a:前記第1レンズ群の前記レンズにおける前記第1反射鏡が配置される側のレンズ面の曲率半径、
R1b:前記第1レンズ群の前記レンズにおける前記第2反射鏡が配置される側のレンズ面の曲率半径。 - 前記第1レンズ群は、1枚の正メニスカスレンズからなる請求項11に記載の反射屈折光学系。
- 前記第1レンズ群の各レンズ面が球面である請求項1〜12のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
- 前記第1反射鏡は、物体からの光が透過可能な第1透過面と、前記第1透過面を透過した光が反射可能な第1反射面とを有する裏面鏡であり、
前記第2反射鏡は、前記第1反射鏡からの光が透過可能な第2透過面と、前記第2透過面を透過した光が反射可能な第2反射面とを有する裏面鏡であり、
以下の条件式を満足する請求項1〜13のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
0.80<RM1b/RM2b<2.00
但し、
RM1b:前記第1反射面の曲率半径、
RM2b:前記第2反射面の曲率半径。 - 前記第2レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第1正レンズと、負レンズと、第2正レンズとからなる請求項1〜14のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
- 前記第2レンズ群の各レンズ面が球面である請求項1〜15のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
- 前記第1反射鏡は、物体からの光が透過可能な第1透過面と、前記第1透過面を透過した光が反射可能な第1反射面とを有する裏面鏡であり、
前記第2反射鏡は、前記第1反射鏡からの光が透過可能な第2透過面と、前記第2透過面を透過した光が反射可能な第2反射面とを有する裏面鏡であり、
前記第1反射鏡を構成する前記第1透過面および前記第1反射面が設けられる光学素子と、前記第2反射鏡を構成する前記第2透過面および前記第2反射面が設けられる光学素子と、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群を構成する各レンズとが同じ材料からなる請求項1〜16のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。 - 前記材料の線熱膨張係数が6×10-7/K以下である請求項17に記載の反射屈折光学系。
- 前記材料の比重が3g/cm3以下である請求項17または18に記載の反射屈折光学系。
- 前記材料が石英ガラスである請求項17〜19のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
- 以下の条件式を満足する請求項1〜20のいずれか一項に記載の反射屈折光学系。
|Dexit|/f≧0.3
但し、
|Dexit|:前記反射屈折光学系の像面から射出瞳までの距離。 - 請求項1〜21のいずれか一項に記載の反射屈折光学系を備えることを特徴とする光学装置。
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