JPWO2018066143A1 - 光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の更に別な目的は、通常の量産プロセスで量産でき、一光子光量域から高照度光量域までのダイナミックレンジを備えた、高感度・高速・広光波長帯域対応の光センサと固体撮像装置並びにそれらのその信号読み出し方法を提供することである。
受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと画素信号出力線、を有し、前記画素信号出力線に信号読出経路が接続されていて、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
前記信号読出経路には、前記CFD容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記CFD容量と前記CLOFIC容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅することを特徴とする光センサにある。
受光素子と、電荷を蓄積する蓄積容量と、前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を有する画素部が平面的に複数配されていて、
前記蓄積容量が、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある画素部列;
前記画素部の夫々が順次結線されている画素信号出力線;、
前記画素信号出力線の前記画素部列における配列最後の画素部が結線されている位置より下流の位置で前記画素信号出力線に結線されているとともに、1より大きい増幅率とこれとは異なる増幅率を使い分けて増幅する機能を備えている信号読出経路部;
を有し、
前記信号読出経路部には、前記フローティングディフュージョン(CFD)容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号と、が入力される、ことを特徴とするマルチ画素の光センサにある。
受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を画素部毎に有し、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン容量と横型オーバーフロー蓄積容量であり、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
そのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
各画素部が、結線されている画素信号出力線と、
該画素信号出力線に結線されている信号読出経路と、
を具備する光センサを用い、
前記フローティングディフュージョン容量によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量と前記横型オーバーフロー蓄積容量とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を前記信号読出経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする光センサの信号読出し方法。
受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線;
を有し、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
を有し、該読取部には、前記フローティングディフュージョン容量(CFD)によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(CFD)と横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号は前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅されることを特徴とする撮像装置にある。
受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
と、を具備した撮像装置を用意し、
前記フローティングディフュージョン容量によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量と横型オーバーフロー蓄積容量とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を前記信号読出し経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする撮像装置の信号読出し方法にある。
(1)光電変換機能を備えた画素部;
該画素部は、光電変換された電荷を蓄積する蓄積容量と前記電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチとを備え、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
(2)前記画素部に結線されている画素信号出力線;
(3)前記画素信号出力線に接続されている信号読出経路;
該信号読出経路には、前記CFD容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記CFD容量と前記CLOFIC容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅する、
ことを特徴とする光センサにある。
AMPEN・・・「第1−1信号」および「第1−2信号」読出し用スイッチ
NS1H・・・・「第1−1BG信号」サンプリング用スイッチ
SS1H・・・・「第1−1光信号」サンプリング用スイッチ
N1H・・・・・「第1−1BG信号」ホールド用容量
S1H・・・・・「第1−1光信号」ホールド用容量
NS1・・・・・「第1−2BG信号」サンプリング用スイッチ
SS1・・・・・「第1−2光信号」サンプリング用スイッチ
N1・・・・・・「第1−2BG信号」ホールド用容量
S1・・・・・・「第1−2光信号」ホールド用容量
NS2・・・・・「第2BG信号」サンプリング用スイッチ
SS2・・・・・「第2光信号」サンプリング用スイッチ
N2・・・・・・「第2BG信号」ホールド用容量
S2・・・・・・「第2光信号」ホールド用容量
次に、本発明の特徴を図2、図3A、図3B、図4A、図4B、図5に従って更に説明する。
次いで、サイドウォール304A、304B1、304B2の形成、拡散層302の形成の順で、形成される。
PN接合容量は、p-epi層300とn+層(拡散層)302に亘って形成される空乏層の幅によって決まる。即ち、空乏層の幅Wが大きくなればなるほど、PN接合の容量はより小さくなる。この空乏層の幅Wは、p-epi層300とn+層302の不純物の濃度によって決まる。
n型領域501−1,501−2、503―1〜503−11、n+型領域502−1〜502−5、n―型領域508,511、512、n型シリコン(n-Si)基体500−1である。
各領域におけるn型不純物のド−ピング濃度は、
(n―型領域の濃度)<(n型領域の濃度)<(n+型領域の濃度)・・・(1)
の関係にある。
(p型領域の濃度)<(p+型領域の濃度)・・・(2)
の関係にある。
転送用スイッチ手段(T)において、そのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあることである。
本発明において、式(1)は、好ましくは、1< N/ND ≦50、より好ましくは、1< N/ND ≦10、であるのが望ましい。式(2)は、好ましくは、1.0×1010 cm-3≦ N ≦ 5.0×1019 cm-3、より好ましくは、5.0×1010 cm-3≦ N ≦ 5.0×1019 cm-3、であるのが望ましい。
使用される製造技術は、通常の半導体製造技術であるので、当業者ならば容易に理解できる程度の範囲で省略(材料、薬品、製造条件、製造装置等)して説明する。
『工程表』
工程(1): 素子分離(Shallow Trench Isolation: STI)(506−1〜506−4)形成
工程(2):ウェル/チャネルストップ層(507−1〜507−3、510)形成イオン 注入
工程(3):活性化アニール
工程(4):ゲート絶縁膜形成
工程(5):ゲート電極成膜
工程(6):ゲート電極パターニング
工程(7):PD埋め込みn-層(508)形成イオン注入
工程(8):PD表面p+層(509)形成イオン注入
工程(9):Lightly Doped Drain(LDD)形成イオン注入
『フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去』
工程(10):活性化アニール
工程(11:)サイドウォール形成
工程(12:)S/D拡散層(501−1〜501−3、502−1〜502−5)形成イオン注入(1)
フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去
工程(13):S/D高濃度拡散層(502−1〜502−5)形成イオン注入(2)
『フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去』
工程(14):活性化アニール
工程(15):第一層間膜(605−1)形成
工程(16):コンタクトホール形成
工程(17):コンタクト電極(606−1〜606−3)形成
工程(18):メタル電極(607−1,607−2)形成
工程(19):水素シンタリング
上記工程で得られた光センサ部500の模式的構造図を図6に示す。
附番605−1〜605−2は配線層間絶縁体層、附番606−1〜606−3はコンタクト電極、附番607−1〜607−2はメタル配線、附番608−1〜608−4はLDD、附番609−1,609−2は拡散層である。
T1〜T5はアナログメモリへの信号サンプリング終了のタイミングである。
次にスイッチ手段(NS2)106N−1がON・OFF(パルスSNS22)する。このスイッチ手段(NS2)106N−1がOFF(パルスSNS22)した後にオーバフロースイッチ手段(S)205がOFF(パルスSS2)する。
スイッチ手段(SW/AMPEN)104HG及びスイッチ手段(SW/AMPEN)104LGをONさせる。
この時、蓄積期間(ST)内ないしは蓄積期間(ST)内と転送期間(TT)内に、容量(CFD)203からオーバーフローして蓄積容量(CLOFIC)204に蓄積されている電荷がある場合には、蓄積容量(CLOFIC)204に蓄積されている電荷量の電荷と容量(CFD)203に転送されて蓄積されている電荷量の電荷とがスイッチ手段(S)205を介して混ざり合い、蓄積容量(CLOFIC)204と容量(CFD)203の合計の容量によって電荷電圧変換される。
CG=q/CFD・・・・・・(1)
尚、「CG」は電荷電圧変換ゲインを、「q」は素電荷を、「CFD」はフローティン グディフュージョン容量を示す。
図12は、発明に係わるCMOSイメージセンサを撮像装置に適用した場合のセンサ部1200の好適な実施態様の一例を示す。
センサ部1300は、図1に示す画素回路部(一画素に相当する)101を備えた画素が「NxM」個、2次元配列されている画素アレイ1301、垂直(行)シフトレジスタ部1302、水平(列)シフトレジスタ部1303を備えている。
最終段バッファ1311は、水平シフトレジスタで順次選択される列におけるアナログメモリの保持信号を低出力インピーダンスでチップ外部に出力するためのバッファである。
以下、センサ部1200Aについては、センサ部1200と異なる点のみを説明する。
第二の信号A1−2については、図12の場合と同様である。
撮像が開始される(ステップ1101A)と、信号出力の準備前か否か(ステップ1102A)が判断される。信号出力の準備前であれば、第1−1信号(102S1)、第1−2信号(102S2)、第2信号(102N)の光電変換特性の取得及びゲイン切り替え信号レベルの設定のためにステップ1103Aに移行する。各信号の光電変換特性の取得とゲイン切り替え信号レベルの設定が完了すると、ステップ1104Aに移行する。
撮像が開始される(ステップ1101B)と、信号出力の準備前か否か(ステップ1102B)が判断される。信号出力の準備前であれば、第1−1信号(102S1)、第1−2信号(102S2)、第2信号(102N)の光電変換特性の取得及びゲイン切り替え信号レベルの設定のためにステップ1103Bに移行する。各信号の光電変換特性の取得とゲイン切り替え信号レベルの設定が完了すると、ステップ1104Bに移行する。
以下、センサ部1200Bについては、センサ部1200と異なる点のみを説明する。
LFD・・・・フローティングディフュージョン長さ
WFD・・・・フローティングディフュージョン幅
LSF・・・・ソースフォロワゲート長さ
WSF_D・・・・ソースフォロワゲートのドレイン側の幅
WSF_S・・・・ソースフォロワゲートのソース側の幅
即ち、画素回路部101のデバイスは、フォトダイオード201(PD)、転送用スイッチ手段202(T)、フローティングディフュージョン容量203(FD)、オーバーフロー用のスイッチ手段205(S)、リセット用スイッチ手段206(R)、画素選択スイッチ手段207(X)、ソースフォロワ型スイッチ手段208(SF)を備えている。
・フォトダイオード201の受光面領域201−14APD、
・転送用スイッチ手段202のゲート電極領域202−14AT、
・フローティングディフュージョン容量203のFD領域203−14AFD,
・オーバーフロー用のスイッチ手段205のゲート電極領域205−14AS、
・リセット用スイッチ手段206のゲート電極領域206−14AR、
・画素選択スイッチ手段207のゲート電極領域207−14AX,
・ソースフォロワ型スイッチ手段208のゲート電極領域208−14ASF、
・転送信号фT印加用電極領域1401、
・スイッチ信号фS印加用電極領域1402、
・横型オーバーフロー蓄積容量204(CLOFIC)へ電荷信号を転送するための電極領域1403、
・リセント信号фR印加用電極領域1404、
・リセット電圧VR印加用の電極領域1405、
・画素信号出力用の電極領域1406、
・画素選択スイッチ信号фX印加用の電極領域1407、
・電源電圧AVDD印加用の電極領域1408
試作した画素のフローティングディフュージョン容量の測定の結果、表1および図15に示す特性を得た。
また、0.53fF以下のCFDを得る、すなわちコンバージョンゲインが300mV/e-以上となるより好適な結果を得るには、「WFD」、「LFD」が以下の条件式2を満たせばよいことが明らかになった。
尚、ここで「WFD」、「LFD」の単位はμmであるが、条件式1,2には、「WFD」、「LFD」の無名数が用いられる。
101、101−1〜101−N・・・・画素部
102、102−1、102−1A,102−1B・・・読出部
102HG、102HG−1・・・第一列読出部
102LG,102LG−1・・・第二列読出部
102N、102N−1・・・第三列読出部
102H/LG−1A・・・第一列、二列兼用読出部
102S1・・・第1−1信号
102S2・・・第1−2信号
102SN・・・第2信号
103、103−1・・・画素列出力信号線
104HG・・・スイッチ手段(SW/AMPEN)
104LG・・・スイッチ手段(SW/AMPEN)
105HG・・・高ゲインアンプ
105LG・・・低ゲインアンプ
106HG・・・アナログメモリ回路部
106LG・・・アナログメモリ回路部
106N・・・アナログメモリ回路部
106HG-1・・・スイッチ手段(NS1H)
106LG-1・・・スイッチ手段(NS1)
106N-1・・・スイッチ手段(NS2)
106HG-2・・・容量(N1H)
106LG-2・・・容量(N1)
106N-2・・・容量(N2)
106HG-3・・・スイッチ手段(SS1H)
106LG-3・・・スイッチ手段(SS1)
106N-3・・・スイッチ手段(SS2)
106HG-4・・・容量(S1H)
106LG-4・・・容量(S1)
106N-4・・・容量(S2)
107HG・・・第1−1信号用信号線
107LG・・・第1−2信号用信号線
107N1・・・画素列出力信号線から分岐した第2信号用信号線
108、108−1・・・電流源
200−1〜200−3・・・(ゲート)オーバーラップ容量
201・・・フォトダイオード(PD)
202・・・転送用スイッチ手段(T)
202−1・・・転送用スイッチ手段(T)の電極
203・・・フローティングディフュージョン容量(CFD)
204・・・横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)
204−1・・・横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)の電極
205・・・オーバーフロー用スイッチ手段(S)
205−1・・・オーバーフロー用スイッチ手段(S)の電極
206・・・リセット用スイッチ手段(R)
206−1・・・リセット用スイッチ手段(R)の電極
207・・・画素選択スイッチ手段(X)
207−1・・・画素選択スイッチ手段(X)の電極
208・・・ソースフォロア型のスイッチ手段(SF)
208−1・・・ソースフォロア型のスイッチ手段(SF)の電極
300・・・p-型epi基板
301A1、301A2、301B1、301B2・・・MOSトランジスタ
302・・・拡散層(n+型領域)
303A、303B・・・ゲート電極
304A、304B1,304B2・・・サイドウォール
305・・・LDD
306・・・絶縁膜層
400・・・p-型epi基板
401A1、401A2・・・MOSトランジスタ
402A・・・拡散層(n+型領域)
403A,403B・・・ゲート電極
404A、404B1,403B2・・・サイドウォール
500・・・光入力センサ部
500−1・・・n型シリコン(n-Si)基体
500−2・・・p型シリコン層
501−2〜501−3・・・不純物量低減化n型領域
502−1〜502−5・・・n+型領域
503−1〜503−6・・・LDD
504・・・FD拡散層部
505・・・画素SF部
506−1〜506−4・・・素子分離領域
507−1〜507−3・・・p型埋め込み領域
508・・・n―型領域
509・・・p+型領域
510・・・STI周辺p+型領域
511、512・・・n-型領域
601−1〜601−3・・・LDD形成用フォトレジスト
602−1〜602−11・・・サイドウォール
603−1〜603−2・・・S/D拡散層形成用フォトレジスト
604−1〜604−3・・・S/D高濃度拡散層形成用フォトレジスト
605−1〜605−2・・・配線層間絶縁体層
606−1〜606−3・・・コンタクト電極
607−1〜607−2・・・メタル配線
608−1〜608−4・・・LDD
609−1,609−2・・・拡散層
1200、1200A,1200B・・・光センサ部
1200−1・・・画素部列
1200−2、1200−2A,1200−2B・・・信号読出経路部
1201,1201B・・・ゲイン選択手段
1202,1202B・・・ゲイン切換手段
1300・・・光センサ部
1301・・・画素アレイ
1302・・・垂直シフトレジスタ
1303・・・水平シフトレジスタ
1304・・・電流源列部
1305・・・画素出力線リセットスイッチ列部
1306・・・16倍アンプ部
1307・・・第1−1信号用アナログメモリ部
1308・・・1倍アンプ列部
1309・・・第1−2信号用アナログメモリ部
1310・・・第2信号用アナログメモリ部
1311・・・最終段バッファ
201−14APD・・・フォトダイオード201の受光面領域
202−14AT・・・転送用スイッチ手段202のゲート電極領域
203−14AFD・・・フローティングディフュージョン容量203のFD領域
205−14AS・・・オーバーフロー用のスイッチ手段205のゲート電極領域
206−14AR・・・リセット用スイッチ手段206のゲート電極領域
207−14AX・・・画素選択スイッチ手段207のゲート電極領域
208−14ASF・・・ソースフォロワ型スイッチ手段208のゲート電極領域
1401・・・転送信号фT印加用電極領域
1402・・・スイッチ信号фS印加用電極領域、
1403・・・横型オーバーフロー蓄積容量204(CLOFIC)へ電荷信号を転送するための電極領域
1404・・・リセント信号фR印加用電極領域
1405・・・リセット電圧VR印加用の電極領域
1406・・・画素信号出力用の電極領域
1407・・・画素選択スイッチ信号фX印加用の電極領域
1408・・・電源電圧AVDD印加用の電極領域
本発明の更に別な目的は、通常の量産プロセスで量産でき、一光子光量域から高照度光量域までのダイナミックレンジを備えた、高感度・高速・広光波長帯域対応の光センサと固体撮像装置並びにそれらのその信号読み出し方法を提供することである。
受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと画素信号出力線、を有し、前記画素信号出力線に信号読出経路が接続されていて、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン容量(C FD )と横型オーバーフロー蓄積容量(C LOFIC )で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
前記信号読出経路には、前記フローティングディフュージョン容量(CFD )によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(CFD )と前記横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC )とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅することを特徴とする光センサにある。
受光素子と、電荷を蓄積する蓄積容量と、前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を有する画素部が平面的に複数配されていて、
前記蓄積容量が、フローティングディフュージョン容量(C FD )と横型オーバーフロー蓄積容量(C LOFIC )で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある画素部列;
前記画素部の夫々が順次結線されている画素信号出力線;、
前記画素信号出力線の前記画素部列における配列最後の画素部が結線されている位置より下流の位置で前記画素信号出力線に結線されているとともに、1より大きい増幅率とこれとは異なる増幅率を使い分けて増幅する機能を備えている信号読出経路部;
を有し、
前記信号読出経路部には、前記フローティングディフュージョン容量(C FD )によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(C FD )と横型オーバーフロー蓄積容量(C LOFIC )とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号と、が入力される、ことを特徴とするマルチ画素の光センサにある。
受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を画素部毎に有し、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン容量と横型オーバーフロー蓄積容量であり、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
そのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
各画素部が、結線されている画素信号出力線と、
該画素信号出力線に結線されている信号読出経路と、
を具備する光センサを用い、
前記フローティングディフュージョン容量によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量と前記横型オーバーフロー蓄積容量とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を前記信号読出経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする光センサの信号読出し方法。
受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線;
を有し、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
を有し、該読取部には、前記フローティングディフュージョン容量(CFD)によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(CFD)と横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号は信号読出経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅されることを特徴とする撮像装置にある。
受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
と、を具備した撮像装置を用意し、
前記フローティングディフュージョン容量によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量と横型オーバーフロー蓄積容量とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を信号読出経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする撮像装置の信号読出し方法にある。
(1)光電変換機能を備えた画素部;
該画素部は、光電変換された電荷を蓄積する蓄積容量と前記電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチとを備え、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン容量(C FD )と横型オーバーフロー蓄積容量(C LOFIC )で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
(2)前記画素部に結線されている画素信号出力線;
(3)前記画素信号出力線に接続されている信号読出経路;
該信号読出経路には、前記フローティングディフュージョン容量(CFD )によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(CFD )と前記横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC )とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅する、
ことを特徴とする光センサにある。
AMPEN・・・「第1−1信号」および「第1−2信号」読出し用スイッチ
NS1H・・・・「第1−1BG信号」サンプリング用スイッチ
SS1H・・・・「第1−1光信号」サンプリング用スイッチ
N1H・・・・・「第1−1BG信号」ホールド用容量
S1H・・・・・「第1−1光信号」ホールド用容量
NS1・・・・・「第1−2BG信号」サンプリング用スイッチ
SS1・・・・・「第1−2光信号」サンプリング用スイッチ
N1・・・・・・「第1−2BG信号」ホールド用容量
S1・・・・・・「第1−2光信号」ホールド用容量
NS2・・・・・「第2BG信号」サンプリング用スイッチ
SS2・・・・・「第2光信号」サンプリング用スイッチ
N2・・・・・・「第2BG信号」ホールド用容量
S2・・・・・・「第2光信号」ホールド用容量
次に、本発明の特徴を図2、図3A、図3B、図4A、図4B、図5に従って更に説明する。
次いで、サイドウォール304A、304B1、304B2の形成、拡散層302の形成の順で、形成される。
PN接合容量は、p-epi層300とn+層(拡散層)302に亘って形成される空乏層の幅によって決まる。即ち、空乏層の幅Wが大きくなればなるほど、PN接合の容量はより小さくなる。この空乏層の幅Wは、p-epi層300とn+層302の不純物の濃度によって決まる。
n型領域501−1,501−2、503―1〜503−11、n+型領域502−1〜502−5、n―型領域508,511、512、n型シリコン(n-Si)基体500−1である。
各領域におけるn型不純物のド−ピング濃度は、
(n―型領域の濃度)<(n型領域の濃度)<(n+型領域の濃度)・・・(1)
の関係にある。
(p型領域の濃度)<(p+型領域の濃度)・・・(2)
の関係にある。
転送用スイッチ手段(T)において、そのドレイン領域における半導体不純物の濃度(N D )と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあることである。
本発明において、式(1)は、好ましくは、1< N/ND ≦50、より好ましくは、1< N/ND ≦10、であるのが望ましい。式(2)は、好ましくは、1.0×1010 cm-3≦ N ≦ 5.0×1019 cm-3、より好ましくは、5.0×1010 cm-3≦ N ≦ 5.0×1019 cm-3、であるのが望ましい。
使用される製造技術は、通常の半導体製造技術であるので、当業者ならば容易に理解できる程度の範囲で省略(材料、薬品、製造条件、製造装置等)して説明する。
『工程表』
工程(1): 素子分離(Shallow Trench Isolation: STI)(506−1〜506−4)形成
工程(2):ウェル/チャネルストップ層(507−1〜507−3、510)形成イオン 注入
工程(3):活性化アニール
工程(4):ゲート絶縁膜形成
工程(5):ゲート電極成膜
工程(6):ゲート電極パターニング
工程(7):PD埋め込みn-層(508)形成イオン注入
工程(8):PD表面p+層(509)形成イオン注入
工程(9):Lightly Doped Drain(LDD)形成イオン注入
『フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去』
工程(10):活性化アニール
工程(11:)サイドウォール形成
工程(12:)S/D拡散層(501−1〜501−3、502−1〜502−5)形成イオン注入(1)
フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去
工程(13):S/D高濃度拡散層(502−1〜502−5)形成イオン注入(2)
『フォトリソ⇒イオン注入⇒レジスト除去』
工程(14):活性化アニール
工程(15):第一層間膜(605−1)形成
工程(16):コンタクトホール形成
工程(17):コンタクト電極(606−1〜606−3)形成
工程(18):メタル電極(607−1,607−2)形成
工程(19):水素シンタリング
上記工程で得られた光センサ部500の模式的構造図を図6に示す。
附番605−1〜605−2は配線層間絶縁体層、附番606−1〜606−3はコンタクト電極、附番607−1〜607−2はメタル配線、附番608−1〜608−4はLDD、附番609−1,609−2は拡散層である。
T1〜T5はアナログメモリへの信号サンプリング終了のタイミングである。
次にスイッチ手段(NS2)106N−1がON・OFF(パルスSNS22)する。このスイッチ手段(NS2)106N−1がOFF(パルスSNS22)した後にオーバフロースイッチ手段(S)205がOFF(パルスSS2)する。
スイッチ手段(SW/AMPEN)104HG及びスイッチ手段(SW/AMPEN)104LGをONさせる。
この時、蓄積期間(ST)内ないしは蓄積期間(ST)内と転送期間(TT)内に、容量(CFD)203からオーバーフローして蓄積容量(CLOFIC)204に蓄積されている電荷がある場合には、蓄積容量(CLOFIC)204に蓄積されている電荷量の電荷と容量(CFD)203に転送されて蓄積されている電荷量の電荷とがスイッチ手段(S)205を介して混ざり合い、蓄積容量(CLOFIC)204と容量(CFD)203の合計の容量によって電荷電圧変換される。
CG=q/CFD・・・・・・(1)
尚、「CG」は電荷電圧変換ゲインを、「q」は素電荷を、「CFD」はフローティン グディフュージョン容量を示す。
図12は、発明に係わるCMOSイメージセンサを撮像装置に適用した場合のセンサ部1200の好適な実施態様の一例を示す。
センサ部1300は、図1に示す画素回路部(一画素に相当する)101を備えた画素が「NxM」個、2次元配列されている画素アレイ1301、垂直(行)シフトレジスタ部1302、水平(列)シフトレジスタ部1303を備えている。
最終段バッファ1311は、水平シフトレジスタで順次選択される列におけるアナログメモリの保持信号を低出力インピーダンスでチップ外部に出力するためのバッファである。
以下、センサ部1200Aについては、センサ部1200と異なる点のみを説明する。
第二の信号A1−2については、図12の場合と同様である。
撮像が開始される(ステップ1101A)と、信号出力の準備前か否か(ステップ1102A)が判断される。信号出力の準備前であれば、第1−1信号(102S1)、第1−2信号(102S2)、第2信号(102SN)の光電変換特性の取得及びゲイン切り替え信号レベルの設定のためにステップ1103Aに移行する。各信号の光電変換特性の取得とゲイン切り替え信号レベルの設定が完了すると、ステップ1104Aに移行する。
撮像が開始される(ステップ1101B)と、信号出力の準備前か否か(ステップ1102B)が判断される。信号出力の準備前であれば、第1−1信号(102S1)、第1−2信号(102S2)、第2信号(102SN)の光電変換特性の取得及びゲイン切り替え信号レベルの設定のためにステップ1103Bに移行する。各信号の光電変換特性の取得とゲイン切り替え信号レベルの設定が完了すると、ステップ1104Bに移行する。
以下、センサ部1200Bについては、センサ部1200と異なる点のみを説明する。
LFD・・・・フローティングディフュージョン長さ
WFD・・・・フローティングディフュージョン幅
LSF・・・・ソースフォロワゲート長さ
WSF_D・・・・ソースフォロワゲートのドレイン側の幅
WSF_S・・・・ソースフォロワゲートのソース側の幅
即ち、画素回路部101のデバイスは、フォトダイオード201(PD)、転送用スイッチ手段202(T)、フローティングディフュージョン容量203(FD)、オーバーフロー用のスイッチ手段205(S)、リセット用スイッチ手段206(R)、画素選択スイッチ手段207(X)、ソースフォロワ型スイッチ手段208(SF)を備えている。
・フォトダイオード201の受光面領域201−14APD、
・転送用スイッチ手段202のゲート電極領域202−14AT、
・フローティングディフュージョン容量203のFD領域203−14AFD,
・オーバーフロー用のスイッチ手段205のゲート電極領域205−14AS、
・リセット用スイッチ手段206のゲート電極領域206−14AR、
・画素選択スイッチ手段207のゲート電極領域207−14AX,
・ソースフォロワ型スイッチ手段208のゲート電極領域208−14ASF、
・転送信号фT印加用電極領域1401、
・スイッチ信号фS印加用電極領域1402、
・横型オーバーフロー蓄積容量204(CLOFIC)へ電荷信号を転送するための電極領域1403、
・リセット信号фR印加用電極領域1404、
・リセット電圧VR印加用の電極領域1405、
・画素信号出力用の電極領域1406、
・画素選択スイッチ信号фX印加用の電極領域1407、
・電源電圧AVDD印加用の電極領域1408
試作した画素のフローティングディフュージョン容量の測定の結果、表1および図15に示す特性を得た。
また、0.53fF以下のCFDを得る、すなわちコンバージョンゲインが300mV/e-以上となるより好適な結果を得るには、「WFD」、「LFD」が以下の条件式2を満たせばよいことが明らかになった。
尚、ここで「WFD」、「LFD」の単位はμmであるが、条件式1,2には、「WFD」、「LFD」の無名数が用いられる。
101、101−1〜101−N・・・・画素部
102、102−1、102−1A,102−1B・・・読出部
102HG、102HG−1・・・第一列読出部
102LG,102LG−1・・・第二列読出部
102N、102N−1・・・第三列読出部
102H/LG−1A・・・第一列、二列兼用読出部
102S1・・・第1−1信号
102S2・・・第1−2信号
102SN・・・第2信号
103、103−1・・・画素列出力信号線
104HG・・・スイッチ手段(SW/AMPEN)
104LG・・・スイッチ手段(SW/AMPEN)
105HG・・・高ゲインアンプ
105LG・・・低ゲインアンプ
106HG・・・アナログメモリ回路部
106LG・・・アナログメモリ回路部
106N・・・アナログメモリ回路部
106HG-1・・・スイッチ手段(NS1H)
106LG-1・・・スイッチ手段(NS1)
106N-1・・・スイッチ手段(NS2)
106HG-2・・・容量(N1H)
106LG-2・・・容量(N1)
106N-2・・・容量(N2)
106HG-3・・・スイッチ手段(SS1H)
106LG-3・・・スイッチ手段(SS1)
106N-3・・・スイッチ手段(SS2)
106HG-4・・・容量(S1H)
106LG-4・・・容量(S1)
106N-4・・・容量(S2)
107HG・・・第1−1信号用信号線
107LG・・・第1−2信号用信号線
107N1・・・画素列出力信号線から分岐した第2信号用信号線
108、108−1・・・電流源
200−1〜200−3・・・(ゲート)オーバーラップ容量
201・・・フォトダイオード(PD)
202・・・転送用スイッチ手段(T)
202−1・・・転送用スイッチ手段(T)の電極
203・・・フローティングディフュージョン容量(CFD)
204・・・横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)
204−1・・・横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)の電極
205・・・オーバーフロー用スイッチ手段(S)
205−1・・・オーバーフロー用スイッチ手段(S)の電極
206・・・リセット用スイッチ手段(R)
206−1・・・リセット用スイッチ手段(R)の電極
207・・・画素選択スイッチ手段(X)
207−1・・・画素選択スイッチ手段(X)の電極
208・・・ソースフォロア型のスイッチ手段(SF)
208−1・・・ソースフォロア型のスイッチ手段(SF)の電極
300・・・p-型epi基板
301A1、301A2、301B1、301B2・・・MOSトランジスタ
302・・・拡散層(n+型領域)
303A、303B・・・ゲート電極
304A、304B1,304B2・・・サイドウォール
305・・・LDD
306・・・絶縁膜層
400・・・p-型epi基板
401A1、401A2・・・MOSトランジスタ
402A・・・拡散層(n+型領域)
403A,403B・・・ゲート電極
404A、404B1,403B2・・・サイドウォール
500・・・光入力センサ部
500−1・・・n型シリコン(n-Si)基体
500−2・・・p型シリコン層
501−2〜501−3・・・不純物量低減化n型領域
502−1〜502−5・・・n+型領域
503−1〜503−6・・・LDD
504・・・FD拡散層部
505・・・画素SF部
506−1〜506−4・・・素子分離領域
507−1〜507−3・・・p型埋め込み領域
508・・・n―型領域
509・・・p+型領域
510・・・STI周辺p+型領域
511、512・・・n-型領域
601−1〜601−3・・・LDD形成用フォトレジスト
602−1〜602−11・・・サイドウォール
603−1〜603−2・・・S/D拡散層形成用フォトレジスト
604−1〜604−3・・・S/D高濃度拡散層形成用フォトレジスト
605−1〜605−2・・・配線層間絶縁体層
606−1〜606−3・・・コンタクト電極
607−1〜607−2・・・メタル配線
608−1〜608−4・・・LDD
609−1,609−2・・・拡散層
1200、1200A,1200B・・・光センサ部
1200−1・・・画素部列
1200−2、1200−2A,1200−2B・・・信号読出経路部
1201,1201B・・・ゲイン選択手段
1202,1202B・・・ゲイン切換手段
1300・・・光センサ部
1301・・・画素アレイ
1302・・・垂直シフトレジスタ
1303・・・水平シフトレジスタ
1304・・・電流源列部
1305・・・画素出力線リセットスイッチ列部
1306・・・16倍アンプ部
1307・・・第1−1信号用アナログメモリ部
1308・・・1倍アンプ列部
1309・・・第1−2信号用アナログメモリ部
1310・・・第2信号用アナログメモリ部
1311・・・最終段バッファ
201−14APD・・・フォトダイオード201の受光面領域
202−14AT・・・転送用スイッチ手段202のゲート電極領域
203−14AFD・・・フローティングディフュージョン容量203のFD領域
205−14AS・・・オーバーフロー用のスイッチ手段205のゲート電極領域
206−14AR・・・リセット用スイッチ手段206のゲート電極領域
207−14AX・・・画素選択スイッチ手段207のゲート電極領域
208−14ASF・・・ソースフォロワ型スイッチ手段208のゲート電極領域
1401・・・転送信号фT印加用電極領域
1402・・・スイッチ信号фS印加用電極領域、
1403・・・横型オーバーフロー蓄積容量204(CLOFIC)へ電荷信号を転送するための電極領域
1404・・・リセット信号фR印加用電極領域
1405・・・リセット電圧VR印加用の電極領域
1406・・・画素信号出力用の電極領域
1407・・・画素選択スイッチ信号фX印加用の電極領域
1408・・・電源電圧AVDD印加用の電極領域
Claims (6)
- 受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと画素信号出力線、を有し、前記画素信号出力線に信号読出経路が接続されていて、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
前記信号読出経路には、前記CFD容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記CFD容量と前記CLOFIC容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅することを特徴とする光センサ。 - 受光素子と、電荷を蓄積する蓄積容量と、前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を有する画素部が平面的に複数配されていて、
前記蓄積容量が、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある画素部列;
前記画素部の夫々が順次結線されている画素信号出力線;、
前記画素信号出力線の前記画素部列における配列最後の画素部が結線されている位置より下流の位置で前記画素信号出力線に結線されているとともに、1より大きい増幅率とこれとは異なる増幅率を使い分けて増幅する機能を備えている信号読出経路部;
を有し、
前記信号読出経路部には、前記フローティングディフュージョン(CFD)容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号と、が入力される、ことを特徴とするマルチ画素の光センサ。 - 受光素子と電荷を蓄積する蓄積容量と前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチと、を画素部毎に有し、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン容量と横型オーバーフロー蓄積容量であり、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
そのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にあり、
各画素部が、結線されている画素信号出力線と、
該画素信号出力線に結線されている信号読出経路と、
を具備する光センサを用い、
前記フローティングディフュージョン容量によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量と前記横型オーバーフロー蓄積容量とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を前記信号読出経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする光センサの信号読み出し方法。 - 受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線;
を有し、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
を有し、該読取部には、前記フローティングディフュージョン容量(CFD)によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記フローティングディフュージョン容量(CFD)と横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号は前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅されることを特徴とする撮像装置。 - 受光素子(PD)、転送用のスイッチ(T)、オーバーフロー用のスイッチ(S)、リセット用のスイッチ(R)がこの順で直列に結線されており、前記転送用のスイッチ(T)と前記オーバーフロー用のスイッチ(S)との間の結線に結線されたフローティングディフュージョン容量(CFD)とソースフォロア型のスイッチ(SF)と、前記オーバーフロー用のスイッチ(S)と前記リセット用のスイッチ(R)との間の結線に結線された横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)と、を有し、
前記ソースフォロア型のスイッチ(SF)は、MOSトランジスタであり、
前記転送用のスイッチ(T)は、ドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
複数の画素部;
を有し、該複数の画素部の前記受光素子(PD)は、2次元的に配されて画素アレイを構成し、
前記複数の画素部が順次結線されている画素列出力信号線と、
該画素列出力信号線に結線された読取部;
と、を具備した撮像装置を用意し、
前記フローティングディフュージョン容量(CFD)によって読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第1の画素出力信号を形成し、前記フローティングディフュージョン容量(CFD)と横型オーバーフロー蓄積容量(CLOFIC)とを結合し読出しに寄与する電荷量の電荷を電荷電圧変換して第2の画素出力信号を形成し、これら2つの画素出力信号を前記信号読出し経路に入力し、
前記第1の画素出力信号は、前記信号読出し経路において1より大きい増幅率のアンプの少なくとも1つを含む複数のアンプによって増幅する、ことを特徴とする撮像装置の信号読み出し方法。 - (1)光電変換機能を備えた画素部;
該画素部は、光電変換された電荷を蓄積する蓄積容量と前記電荷を前記蓄積容量に転送するための転送スイッチとを備え、
前記蓄積容量は、フローティングディフュージョン(CFD)容量と横型オーバーフロー蓄積(CLOFIC)容量で、前記転送スイッチは、LDD・MOSトランジスタであり、
該LDD・MOSトランジスタのドレイン領域における半導体不純物の濃度(ND)と該ドレイン領域に隣接して設けられた拡散領域における半導体不純物の濃度(N)とが、
1< N/ND ≦100・・・・・(1)
0< N ≦ 1.0×1020 cm-3・・・・・(2)
の関係にある、
(2)前記画素部に結線されている画素信号出力線;
(3)前記画素信号出力線に接続されている信号読出経路;
該信号読出経路には、前記CFD容量によって電荷電圧変換された第1の画素出力信号と前記FD容量と前記CLOFIC容量とを結合して電荷電圧変換された第2の画素出力信号とが入力され、
前記第1の画素出力信号が、超高感度信号の場合は、1より大きい増幅率で増幅する、
ことを特徴とする光センサ。
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