JPWO2018037700A1 - 検知光発生素子および検知光照射方法 - Google Patents
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Abstract
検知光発生素子1は、光導波路4、光導波路4に周期的に形成された溝からなるグレーティング部5A、および光導波路4に接し、光導波路4の材質の屈折率よりも低い屈折率を有する材質からなるクラッド部3を備える。光導波路4を伝搬する伝搬光をグレーティング部5Aで回折させ、伝搬光を回折光A1〜A5として互いに異なる複数の方向へと向かって出射させる。【選択図】 図1
Description
本発明は、複数の相異なる方向へと検知光を出射して情報を得るための、検知光発生素子に関するものである。
マルチメディアやデジタルサイネージの進展により、高精細、高画質、大画面のディスプレイやプロジェクタの需要が高くなっており、レーザ光を広角に走査する光走査素子の開発が活発化している。最近では、光走査素子は、レーザレーダ、レーザスキャナ、LiDAR(Light Detection and Ranging)として使用でき、自動車の自動運転制御用や、ロボット、ドローンの位置制御用の障害物検知システム、測距システムへの適用が検討されている。
これらの光走査(スキャニング)の機構は、ポリゴンミラー方式やMEMSミラー方式といった、メカニカルな方式が主流となっている。
特許文献1、2は、モーター駆動のミラーにレーザ光を走査するメカニカルな方式である。モーター駆動のミラーを回転させ、レーザ光を走査する。物体からの反射光を受光素子で検出し、時間遅れから物体との距離や位置を割り出している。ミラーとしては、平面ミラーや多角形形状のポリゴンミラーが使用されている。
特許文献3は、MEMSミラーを使用したメカニカルな方式である。MEMSの構造は、シリコン上に、半導体プロセスを利用して、2軸の自由度を持つ梁によって可動部を形成しており、可動部の表面に反射率の高い金属反射膜を形成して、ミラーとしている。稼働部の周囲に永久磁石を配置し、可動部のコイルに電流を流すことによりローレンツ力を発生させ、出射方向を制御する。
特許文献4に記載された受光素子分割方式では、稼働部を必要としない。これは、レーザ光をレンズで広げることで広角にし、その反射光を、分割した受光素子で検知することにより、被測定面体の検知を実現している。しかし、分割数を多くすると、1つの受光素子に入射する反射光量が小さくなるために、信号ノイズ(S/N)比が悪くなってしまう。この場合、受光量を大きくするために光源のパワーを大きくするという考え方もあるが、光源のハイパワー化によって光源のコストが高くなるし、アイセーフの問題も生ずる。
一方、本発明者は、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウム基板を利用し、基板に複数のプリズム状の分極反転部を形成し、さらに基板を薄片化し、電極形成することで、光スイッチング素子を提案した。しかし、これは電気光学効果による出射光の方向変位が10°以下であり、広角にスキャンするための光走査素子ではない。
また、電気光学効果を利用した素子の場合、プリズムに電極を形成したものがよく知られている(非特許文献1)。
しかし、ニオブ酸リチウムなどの電気光学結晶を利用したプリズム偏向素子は、電気光学効果による屈折率変化が比較的に小さい。たとえば、ニオブ酸リチウムの場合、屈折率変化△n=0.001を得るためには、4.5kV/mm程度の大きな電界を結晶に印加する必要がある。
このため駆動電圧を低減するため、ニオブ酸リチウム基板の厚みを薄くする構造が特許文献6に開示されている。
特許文献7は、グレーティングを応用したスイッチング素子の例であり、スラブ型光導波路とグレーティング部とグレーティング部上部に形成した電極から構成される。この場合、1つのグレーティング部は長くスラブ導波路の進行側に沿って形成されており、スラブ導波路の進行方向と垂直の方向に周期的に構成される。スラブ導波路を伝搬する光は、電圧印加によりグレーティング部が周期的な屈折率構造となるために、回折格子として機能する。その回折効果によって光が偏向することを利用している。この場合、偏向角は2−3°である。
Scrymgeour, D.A.,"Large-angle electro-optic laserscanner on LiTaO3 fabricated by in situ monitoring of ferroelectric-domainmicropatterning, Appl. Opt., 40-34, (2001)
しかし、従来の光走査素子は、可動部が必要であったり、あるいは受光素子での信号/雑音比が大きくなるという問題がある。また、プリズム形状の分極反転部を利用した光スイッチング素子は知られているが、これは伝搬光の向きを10°以下程度偏向させるものであり、レーザスキャナとして適当なものではない。
本発明の課題は、可動部が不要で、光を走査せずに広角に検知光を発生させ、広範囲の角度に出射できる検知光発生素子を提供することである。
本発明は、
被測定面に対して検知光を照射するための検知光発生素子であって、
光導波路、
前記光導波路に周期的に形成された溝および突起からなるグレーティング部、および
前記光導波路に接し、前記光導波路の材質の屈折率よりも低い屈折率を有する材質からなるクラッド部を備えており、
前記光導波路を伝搬する伝搬光を前記グレーティング部で回折させ、前記グレーティング部から発生する回折光を前記検知光として互いに相異なる複数の方向へと向かって出射させることを特徴とする。
被測定面に対して検知光を照射するための検知光発生素子であって、
光導波路、
前記光導波路に周期的に形成された溝および突起からなるグレーティング部、および
前記光導波路に接し、前記光導波路の材質の屈折率よりも低い屈折率を有する材質からなるクラッド部を備えており、
前記光導波路を伝搬する伝搬光を前記グレーティング部で回折させ、前記グレーティング部から発生する回折光を前記検知光として互いに相異なる複数の方向へと向かって出射させることを特徴とする。
また、本発明は、前記検知光発生素子を用いて被測定面を照射する方法であって、
前記検知光発生素子から出射した前記検知光を前記被測定面に照射し、前記被測定面からの反射光を用いて前記被測定面に関するデータを得ることを特徴とする。
前記検知光発生素子から出射した前記検知光を前記被測定面に照射し、前記被測定面からの反射光を用いて前記被測定面に関するデータを得ることを特徴とする。
本発明によれば、光導波路中にグレーティング部からなる回折格子を設け、回折格子の周期によって決まる方向(光導波路面とは異なる方向)に向かって光を光導波路の外部へ出射させることができる。また、この出射方向は波長ごとに変わるので、全体として広い範囲の角度で光を拡散できる。
さらに、異なる周期の回折格子を設けることにより、それぞれの回折格子で照射する範囲を足し合わすことで、一層広い範囲の角度で出射する検知光発生素子を実現し、広い範囲の被測定面に関するデータを得ることができる。
例えば、光を広角に照射することにより、それぞれ物体に入射した光が反射して戻ってきた光を受光するまでの時間を測定することによって、3次元情報を得ることが可能となり、障害物を検知することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る検知光発生素子1を模式的に示す斜視図である。
本例では、支持基板2上にクラッド層3を介して光導波路4が形成されており、光導波路4がスラブ型光導波路を構成している。光導波路4の上面4c上には、図示しない上側クラッド層を設けることができる。光導波路4には、光の入射面4aと、入射面4aに対向する対向面4bとが設けられている。また、光導波路4には、一定の周期のグレーティング溝によって形成される回折格子5Aが設けられている。
本例では、支持基板2上にクラッド層3を介して光導波路4が形成されており、光導波路4がスラブ型光導波路を構成している。光導波路4の上面4c上には、図示しない上側クラッド層を設けることができる。光導波路4には、光の入射面4aと、入射面4aに対向する対向面4bとが設けられている。また、光導波路4には、一定の周期のグレーティング溝によって形成される回折格子5Aが設けられている。
動作時には、光導波路の入射面4aから光を矢印Iのように入射させる。この光は、光導波路4内を伝搬し、光導波路がスラブ型光導波路として機能する。グレーティング部5Aが、回折格子として作用する。この結果、後述するように、回折格子の作用によって回折光が素子外に放射される。本例では、グレーティング部5Aから、一次回折光A1、二次回折光A2、三次回折光A3、四次回折光A4、五次回折光A5が放射されている。各回折光は異なる方向に向かって放射されるので、同時に広範囲に検知光を発生させることができる。
図1の例では、グレーティング部を一つとし、一次回折光および高次回折光を放射させた。しかし、また、図2、図3の例においては、グレーティング部を複数とし、また、各グレーティング部から複数次数の回折光を放射させる。
本例では、支持基板2上にクラッド層3を介して光学材料層14が形成されており、光学材料層14の上面14a側に細長いリッジ型光導波路6が設けられている。光学材料層14の上面14a上には、図示しない上側クラッド層を設けることができる。光導波路6には、光の入射面6aと、入射面6aに対向する対向面6bとが設けられている。また、光導波路6には、長手方向に向かってグレーティング部5B、5C、5D、5Eが設けられている。
動作時には、光導波路6の入射面6aから矢印Iのように光を入射させる。この光は、光導波路6内を伝搬する。ここで複数の異なる周期のグレーティング部5B〜5Eが形成されていると、各グレーティング部がそれぞれ回折格子として作用する。この結果、後述するように、各回折格子の作用によって各回折光が異なる方向へと向かって放射される。更に、各グレーティング部から、次数の異なる回折光はそれぞれ異なる方向に向かって放射されることになる。
すなわち、本例では、グレーティング部5Bから、一次回折光B1が放射されており、グレーティング部5Cから一次回折光C1、二次回折光C2が放射されており、グレーティング部5Dから一次回折光D1、二次回折光D2、三次回折光D3が放射されており、グレーティング部5Eから一次回折光E1、二次回折光E2、三次回折光E3が放射されている。各グレーティング部から放射される一次回折光の方向は互いに異なっており、また同じグレーティング部から放射される次数の異なる回折光の放射方向もそれぞれ異なる。これらを適宜選択することで、同時に広範囲を走査することができる。一方、グレーティング周期(ピッチ)が狭い場合には、一次回折光のみを出射させることができ、このピッチの設計によって使用する回折次数を決めることができる。
図4は、グレーティング部から放射される出射光ビームの広がり方を説明するための模式図である。
本例では、光学材料層14にリッジ型光導波路6が形成されており、この中にグレーティング部5Aが形成されているものとする。光導波路を伝搬する伝搬光は、グレーティング部によって回折され所定方向に向かって回折光として放射される。ここで、素子の長手方向をLとし、グレーティング面と平行かつ光導波路6の上面6cに平行な方向をWとする。放射光はほぼW方向に放射される。この結果、Eに示すように、グレーティング部からは広い範囲に向かって出射光が放射されることになる。一方、光導波路6の上面6cの法線Pに対する放射光の角度(放射角度)θaは、グレーティング部の周期によって異なる。これによって、複数のグレーティング部について放射角度θaを順次変化させることができる。
本例では、光学材料層14にリッジ型光導波路6が形成されており、この中にグレーティング部5Aが形成されているものとする。光導波路を伝搬する伝搬光は、グレーティング部によって回折され所定方向に向かって回折光として放射される。ここで、素子の長手方向をLとし、グレーティング面と平行かつ光導波路6の上面6cに平行な方向をWとする。放射光はほぼW方向に放射される。この結果、Eに示すように、グレーティング部からは広い範囲に向かって出射光が放射されることになる。一方、光導波路6の上面6cの法線Pに対する放射光の角度(放射角度)θaは、グレーティング部の周期によって異なる。これによって、複数のグレーティング部について放射角度θaを順次変化させることができる。
本発明では、光導波路に伝搬光を伝搬させ、各グレーティング素子を回折格子として機能させることによって、光導波路を伝搬する伝搬光の進行方向を変更し、光導波路から回折光を外部へと放射する。このグレーティングカプラの原理について説明する。
図5に示すように、光導波路4、6に入射した入射光Iは、例えば、長手方向Lに伝搬定数βoで伝搬する。突起8と凹部7とが周期的に形成されており、ブラッググレーティングを形成している。ブラッググレーティングにおいて、周期構造のピッチをΛとした場合、下式(1)の位相条件を満足する伝搬定数の光が伝搬する。
βq=βo+qK (q=0、±1、±2、・・・)・・・・・・(1)
ここで、βoはグレーティングがない場合の導波路中の導波モードの伝搬定数である。K=2π/Λである。
βq=βo+qK (q=0、±1、±2、・・・)・・・・・・(1)
ここで、βoはグレーティングがない場合の導波路中の導波モードの伝搬定数である。K=2π/Λである。
|βq|<na・k、または
|βq|<ns・k
を満たす次数qがある場合、光導波路の上側と支持基板側との両方に放射する。
ここで、na、nsはそれぞれ光導波路コアの上側クラッド20、下側クラッド3の屈折率を示す。またkは波数を示す。
|βq|<ns・k
を満たす次数qがある場合、光導波路の上側と支持基板側との両方に放射する。
ここで、na、nsはそれぞれ光導波路コアの上側クラッド20、下側クラッド3の屈折率を示す。またkは波数を示す。
このときの放射角度θa、θsは、下式(2)で決められる。
na・k・sinθa=ns・k・sinθs=βq ・・・・(2)
na・k・sinθa=ns・k・sinθs=βq ・・・・(2)
(1)式は、更に(3)式で表すことができる。実際に成立する条件は、q≦−1の場合である。そして、一次回折光はq=−1のときに算出される放射角度θa、θsで導波路外部に放射されることになる。
上記から放射角度は波長により異なることがわかる。ゆえに、グレーティング部の周期を変化させることによって、各グレーティング部から放射される出射光の放射角度θa、θsを変化させることができる。
また、式(1)、(3)は、q≦−1の場合に成立する。このため、伝搬光の一部は、高次回折光としても出射するので、高次回折光を利用することもできる。ここで、高次回折光とは、二次以上の回折光を意味する。
例えば、二次回折光はq=−2のときに算出される放射角度θa、θsで導波路外部に放射され、三次回折光はq=−3のときに算出される放射角度θa、θsで導波路外部に放射され、四次回折光はq=−4のときに算出される放射角度θa、θsで導波路外部に放射される。そして、回折光の次数が変わると、放射角度が変化するので、少ないグレーティング部で広い放射角をカバーすることができるという利点がある。
ただし、回折光の次数が大きくなると、回折光の強度は弱くなるので、遠くまで光が伝搬できずに検出可能な距離が短くなる、または、近距離であっても被測定物からの反射光の強度が小さく信号/雑音比(SN比)が小さくなるという問題がおこる。この観点からは、回折光の次数は、八次以下が好ましく、四次以下が更に好ましい。
以下、本発明の構成要素について更に述べる。
光導波路および光学材料層を構成する光学材料は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム、KTP(KTiOPO4)、KTN(KTa(1-x)NbxO3)、KLN(K3Li2Nb5O15)、酸化タンタル、酸化アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ニオブ、窒化珪素、炭化珪素、酸化珪素、酸化珪素を含むガラスが好ましい。
光導波路および光学材料層を構成する光学材料は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム、KTP(KTiOPO4)、KTN(KTa(1-x)NbxO3)、KLN(K3Li2Nb5O15)、酸化タンタル、酸化アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ニオブ、窒化珪素、炭化珪素、酸化珪素、酸化珪素を含むガラスが好ましい。
好適な実施形態においては、伝搬光の波長をλ、光導波路の厚さをTsubとしたときに、Tsub/λを0.6以上、10以下とする。この条件を満足すれば、伝搬光が光導波路伝搬するので、分解能の高い回折光を得ることができる。
支持基板の具体的材質は特に限定されず,ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、石英、水晶、石英ガラスなどのガラスであってよい。しかし、光源の熱がグレーティング部に伝導することを抑制するために、放熱特性のよい支持基板を使用することができる。この場合には、アルミナ、窒化アルミニウム、炭化珪素、Siなどを例示することができる。
支持基板と光導波路とは接合層を介して接合してよく、あるいは常温直接接合してもよい。直接接合の場合には、支持基板がクラッド部として機能する。また、この場合、支持基板と光導波路との間に光導波路よりも屈折率の小さいクラッド層を設けることが好ましい。接合面はアモルファス層となり、光を散乱し伝搬損失が増大することから、光導波路の下部に低屈折率クラッド層を成膜したのち、この低屈折率クラッド層と支持基板が直接接合の貼り合わせ面になることが好ましい。
支持基板と光導波路とを接合する場合には、接合層の厚さは特に限定されないが、光導波路を薄板研磨するための接着強度を確保するために0.1μm以上とすることが好ましく、0.5μm以上とすることが更に好ましい。また、接合層の応力を低減するために厚さを3μm以下とすることが好ましく、1.5μm以下とすることが更に好ましい。
また、支持基板と光導波路との間には、クラッド層として機能する接合層を設けて良く、あるいは接合層に加えて更に光導波路に接するクラッド層を設けても良い。
好適な実施形態においては、光導波路と支持基板との間に、光導波路からの出射光を反射する反射膜を設ける。これによって、素子外に放射する出射光の光量を高くすることができる。こうした反射膜としては、金、アルミニウム、銅、銀、等の金属膜、あるいは、誘電体膜であってよい。反射膜が金属膜である場合は、金属膜は支持基板と下側クラッドの間に設け、光導波路を伝搬する光が金属膜に吸収されることを防ぐことができる。
反射膜として金属膜を使用する場合には、その上に形成するクラッド層がはがれないようにするために、Cr、Ni、Ti等の金属層を金属膜のバッファ層として形成することができる。また、誘電体膜の材質は、TiO2、Si3N4、Ta2O5、SiO2、MgF、CaFなどからなる単層膜、あるいは多層膜である
リッジ型光導波路は、例えば外周刃による切削加工やレーザアブレーション加工することによって物理的に加工し、成形することによって得られる。あるいは、リッジ型光導波路も、ドライエッチングによって形成することができる。
下側クラッド層、上側クラッド層の材質は、光導波路を構成する単結晶よりも屈折率の小さい材料であればよく、接着層であってもよい。上側クラッドは、空気であってもよい。また、各クラッド層の材質は、酸化シリコン、弗化マグネシウム、弗化カルシウム、窒化珪素、アルミナ、五酸化タンタルを例示できる。
光源としては、GaN、GaAs、InPを主たる混晶材料により構成される半導体レーザが好適である。また、一次元状に配列したレーザアレイ等の光源も実現可能である。スーパールミネッセンスダイオードやLED、半導体光アンプ(SOA)であってもよい。
上記のスーパールミネッセンスダイオードやLEDなど多波長を含む光源の場合には、回折格子で回折される角度が波長ごとに異なるためにより広い角度でかつ抜けのない拡散光を得ることができるので、空間分解能の高い被測定面の三次元データを採取することができる。
上記のスーパールミネッセンスダイオードやLEDなど多波長を含む光源の場合には、回折格子で回折される角度が波長ごとに異なるためにより広い角度でかつ抜けのない拡散光を得ることができるので、空間分解能の高い被測定面の三次元データを採取することができる。
ブラッググレーティングは物理的、あるいは化学的なエッチングにより形成することができる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、電子ビーム露光やステッパ露光によるフォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、電子ビーム露光やステッパ露光によるフォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
グレーティングの周期は、伝搬光の波長および目的とする放射角度によって適宜決定できる。好適な実施形態においては、伝搬光の波長が800nm、1μmのときに、周期グレーティング部の周期を0.1〜2μmで変化させることができ、これによって放射角度を+90〜−90°の範囲で適宜調節できる。
なお、放射角度は、図4に示すθaで光導波路の法線方向Pを基準に出射側の放射角度を正としている。
なお、放射角度は、図4に示すθaで光導波路の法線方向Pを基準に出射側の放射角度を正としている。
以上は、回折次数が一次の場合であるが、前述したように高次の回折光を利用できる。図6は、一次から四次までの回折光におけるグレーティング周期と放射角度の計算値を示す。図6から、二次以上の回折光を使用することにより、一次回折光を利用した場合に対して放射角度を変化させることができる。また、グレーティング周期を大きくしても、一次回折光を利用した場合と同じ放射角度が得られる。これによりグレーティングのパターニングプロセスにおいて、ステッパーや電子ビーム露光機などの高価な装置を使用せずとも、マスクアライナーでパターニングが可能となり安価な光スキャナー素子を実現することができる。
ここで、各グレーティング部では一次回折光以外に、二次回折光、三次回折光、四次回折光を利用することも可能であり、各放射光を足し合わせることにより、原理的にグレーティング形成面の半球面に放射させることが可能である。
この場合、入射光源の波長を多波長、ブロードな波長とすることにより、個々の回折格子からの放射角度を広げることができるので、より広角に光を拡散することが可能となる。
この場合、入射光源の波長を多波長、ブロードな波長とすることにより、個々の回折格子からの放射角度を広げることができるので、より広角に光を拡散することが可能となる。
さらに、次数の異なる複数種類の回折光を組み合わせて使用することにより、広範囲の放射角度を実現することができる。例えば、図7に例示するように、グレーティング周期1μmから2μmのグレーティング部を形成するだけで、+90°から+60°は一次回折光、+60°から+30°は二次回折光、+30°から0°は三次回折光、0°から−90°は四次回折光とすることにより、少ないグレーティング部で広角な可変検知光発生素子を構成することが可能となり、小型化、高角度分解能化、低コスト化を実現することが可能となる。
本発明の検知光発生素子を用いて被測定面を走査することができる。すなわち、検知光発生素子から出射した出射光を被測定面に照射し、被測定面からの反射光を用いて被測定面に関するデータを得ることができる。こうしたデータとしては、被測定面の位置が挙げられる。
好適な実施形態においては、検知光発生素子を検知光発生素子の長手方向に向かって移動させながら被測定面を走査する。この実施形態について更に述べる。
図4に示したように、素子からの出射光の拡がり角度は、導波路伝搬方向(素子の長手方向)Lに向かって狭く、グレーティング面に平行かつ光導波路の上面6cに平行な方向Wに向かって広くなる。素子の長手方向に見ると、各グレーティング部から、相異なる放射角度θaで出射光が放射される。
このため自動車の自動運転用3次元レーザスキャナとして使用する場合に、素子の長手方向Lを水平方向に合わせ、方向Wを垂直方向に合わせることによって、垂直方向のスキャニングをなくすことができるので、受光素子数を減らすことができ、安価な装置構成とすることができる。
例えば、図8に示すシステムは、受光素子分割方式を示す。
半導体レーザ41からの出射光をレンズ22で集光し、被測定面23に投射する。そして、被測定面からの反射光をレンズ24によって受光素子アレイ25に投射する。ここで、受光素子アレイ25は、被測定面の情報を高分解能に検知するために、水平方向Xおよび垂直方向Yに向かって多数配列されたフォトダイードからなる。この方式では、ポリゴンミラーやMEMSミラーなどの高精度ミラーや複数のレーザを使用する光走査素子を使用しないことから比較的安価なシステムとすることができる。受光素子アレイは光走査素子や複数のレーザを使用するシステムよりコストを低くすることができる。しかし、被測定面の水平方向Xと垂直方向Yとに合わせてそれぞれ多数のフォトダイオードを設置する必要がある。しかも、一カ所の素子から出射光を投射しているので、各受光素子に対応する光強度が低く、信号/雑音比が低くなるというデメリットもある。
半導体レーザ41からの出射光をレンズ22で集光し、被測定面23に投射する。そして、被測定面からの反射光をレンズ24によって受光素子アレイ25に投射する。ここで、受光素子アレイ25は、被測定面の情報を高分解能に検知するために、水平方向Xおよび垂直方向Yに向かって多数配列されたフォトダイードからなる。この方式では、ポリゴンミラーやMEMSミラーなどの高精度ミラーや複数のレーザを使用する光走査素子を使用しないことから比較的安価なシステムとすることができる。受光素子アレイは光走査素子や複数のレーザを使用するシステムよりコストを低くすることができる。しかし、被測定面の水平方向Xと垂直方向Yとに合わせてそれぞれ多数のフォトダイオードを設置する必要がある。しかも、一カ所の素子から出射光を投射しているので、各受光素子に対応する光強度が低く、信号/雑音比が低くなるというデメリットもある。
図9は、レーザスキャナを利用した光走査システムを示す。
本例では、レーザ素子21AをポリゴンミラーによってX、Y方向に走査し、光をレンズ22によって集光して被測定面23に照射する。ここで、被測定面23をX方向およびY方向に向かって順次走査する。そして、被測定面からの反射光をレンズ24で集光し、受光素子25Aで受光する。しかし、この方法では、レーザ光によってX方向およびY方向の両方を走査する機構が必要である。
本例では、レーザ素子21AをポリゴンミラーによってX、Y方向に走査し、光をレンズ22によって集光して被測定面23に照射する。ここで、被測定面23をX方向およびY方向に向かって順次走査する。そして、被測定面からの反射光をレンズ24で集光し、受光素子25Aで受光する。しかし、この方法では、レーザ光によってX方向およびY方向の両方を走査する機構が必要である。
図10においては、本発明の検知光発生素子1、1Aを用いる。ここで、本発明の素子からの出射光は、素子の長手方向Lと垂直な方向Wに向かって広がる性質を持つ。このため、素子の長手方向Lを水平方向Xに一致させると、素子からの出射光は、水平方向Xと垂直方向Yにそれぞれ向かって広がることになる。この出射光をレンズ22を通して被測定面23に投射すると、被測定面23のうち垂直方向に延びた領域23aに向かって投射される。この領域23aからの反射光をレンズ24で集光し、受光素子アレイ25Bによって受光する。
なお、本発明の検知光発生素子から発生するビームはY方向に広角に広がるので、図11に示すように、検知光発生素子1(1A)からの出射光を集光するレンズ22を設けることなしに、被測定面を走査することが可能である。
ここで、本発明の素子を用いると、被測定面の全体を出射光が投射でき、反射光を2次元の受光素子アレイ25Bによって測定できる。このため、素子1、1Aを、素子の長手方向Lに向かって移動させることなく、被測定面の全体を一度に照射し、被測定面の全体の情報を得ることができる。この結果、従来よりも走査にかかる時間とコストを低減でき、かつ受光素子アレイのコストを著しく低減することができる。ただし、2次元配列した受光素子アレイは、フォトダイオード、あるいはCMOSカメラやCCDであってもよい。
半導体レーザを利用した測距方法について更に補足する。
本方法では、レーザ光を照射して障害物からの反射光を受光素子にて検出して照射後の伝搬時間を計測することによって、障害物までの距離を測定する。一般的に、タイム・オフ・フライト(TOF)法と呼ばれる。
本方法では、レーザ光を照射して障害物からの反射光を受光素子にて検出して照射後の伝搬時間を計測することによって、障害物までの距離を測定する。一般的に、タイム・オフ・フライト(TOF)法と呼ばれる。
本発明の素子を用いて3次元的な空間での測距を行う場合、素子からの出射光の拡がり角度は、導波路の形状や導波路のコアとクラッドの材料選定により導波路幅W方向で5°から40°に拡大することができ、素子の長手方向Lに向かって原理的に180°の放射角で全体を照射させることができる。この特性を利用し、図10、11に示すように、水平方向X,垂直方向Yの2次元フォトダイオードアレイを使用する測距システムを構築することが可能となる。これによって、従来の分割型受光方式と同等の測定距離を長くすることが可能であり、同時に低コストのシステムを実現できる。
なお、本発明の検知光発生素子から発生するビームはY方向に広角に広がるので、図11に示すように、検知光発生素子1(1A)からの出射光を集光するレンズ22を設けることなしに、被測定面を走査することが可能である。
好適な実施形態においては、図12(a)に示すように、支持基板2上に下側バッファ層3を介して光学材料層14が形成されている。光学材料層14には例えば一対のリッジ溝30が形成されており、リッジ溝の間にリッジ型光導波路6が形成されている。グレーティング部は、光導波路の支持基板側に設けることができ、あるいは支持基板とは反対側に設けることができる。31は薄肉部であり、32は延在部である。本例では上側クラッド層がなく、光学材料層14上が空気に面している。クラッド層3と支持基板2との間に接着層を設けることもできる。
また、図12(b)に示す素子では、光学材料層14上に更に上側クラッド層50が形成されている。
また、図12(c)に示すように、支持基板2上に下側クラッド層3を介して光学材料層14が形成されている。光学材料層14には例えば一対のリッジ溝30が形成されており、リッジ溝の間にリッジ型光導波路6が形成されている。本例ではリッジ溝が支持基板側に設けられている。31は薄肉部であり、32は延在部である。
好適な実施形態においては、光導波路が、光学材料からなるコアからなり、コアの周りをクラッドが包囲している。このコアの横断面(光の伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は凸図形となるようにする。
凸図形とは、コアの横断面の外側輪郭線の任意の二点を結ぶ線分が、コアの横断面の外側輪郭線の内側に位置することを意味する。凸図形は、一般的な幾何学用語である。このような図形としては、三角形、四角形、六角形、八角形などの多角形、円形、楕円形などを例示できる。四角形としては、特に、上辺と下辺と一対の側面を有する四角形が好ましく、台形が特に好ましい。
たとえば図13(a)に示すように、支持基板2上に下側クラッド層3を介して、光導波路コア37が形成されている。コア37の横断面形状は台形であり、上面37aが下面37bよりも狭い。そして、コア37を被覆するようにクラッド層36が形成されている。なお、クラッド層36と支持基板2との間に接着層を形成することもできる。
図13(b)に示す素子では、支持基板2上にクラッド層39が設けられており、クラッド層39内に光導波路コア37が埋設されている。クラッド層39は、光導波路コアの上面を被覆する上面被覆部39b、光導波路の側面を被覆する側面被覆部39cおよび光導波路と支持基板との間に位置する底面被覆部39aを有する。
図13(c)に示す素子では、支持基板2上にクラッド層39が設けられており、クラッド層39内に光導波路コア37Aが埋設されている。クラッド層39は、光導波路コアの上面を被覆する上面被覆部39b、コアの側面を被覆する側面被覆部39cおよびコアと支持基板との間にある底面被覆部39aを有する。
また、図14(a)に示す素子では、支持基板2上に下側クラッド層3を介して光導波路コア37が形成されている。光導波路コア37の側面および上面37aには、上側クラッド層36が形成され、光導波路コア37を被覆している。上側クラッド層36は、光導波路コア37の側面を被覆する側面被覆部36bおよび上面を被覆する上面被覆部36aを有する。
また、図14(b)に示す素子では、光導波路コア37Aが形成されている。光導波路37Aの横断面形状は台形であり、下面が上面よりも狭い。上側クラッド層36は、光導波路コア37Aの側面を被覆する側面被覆部36bおよび上面を被覆する上面被覆部36aを有する。
(実験1)
図2、図3、図12(b)に示すような検知光発生素子1Aを作製した。
具体的には、石英からなる支持基板2にスパッタ装置にて、SiO2をクラッド層として0.5μm成膜し、その上にTa2O5を2μm成膜して光学材料層14を形成した。次に、光学材料層14上にTiを成膜して、電子ビーム露光によるフォトリソグラフィー技術によりグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、9個のグレーティング部を形成した。グレーティング部の溝深さは300μmとし、各グレーティング部の長さは100μmとし、グレーティング周期は、1.2μmから2μmまでの0.1μm間隔で9個形成した。
図2、図3、図12(b)に示すような検知光発生素子1Aを作製した。
具体的には、石英からなる支持基板2にスパッタ装置にて、SiO2をクラッド層として0.5μm成膜し、その上にTa2O5を2μm成膜して光学材料層14を形成した。次に、光学材料層14上にTiを成膜して、電子ビーム露光によるフォトリソグラフィー技術によりグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、9個のグレーティング部を形成した。グレーティング部の溝深さは300μmとし、各グレーティング部の長さは100μmとし、グレーティング周期は、1.2μmから2μmまでの0.1μm間隔で9個形成した。
次に、光導波路6を形成するために、上記と同様な方法で反応性イオンエッチングにより、幅3μm、深さ1μmの溝加工を実施した。
シリコン基板上に波長900nmの半導体レーザをAuSnはんだにて固定した後に、検知光発生素子チップを、レーザ光の光軸が光導波路の光軸とあうように調芯してAuSnはんだに固定し、レーザモジュールを作製した。
実装後、レーザを駆動させ、光導波路6に光を伝搬させ、各グレーティング部から放射する価値回折光の放射角度を測定した。
この結果、周期の短いグレーティング部から順に16A、16B、16C、16D、16E、16F、16G、16H、16Iとしたとき、以下のような回折光が放射された。
グレーティング部 回折光 放射角度
16B 一次回折光 80°
16A 一次回折光 71°
16I 二次回折光 57.5°
16H 二次回折光 54.2°
16G 二次回折光 50°
16F 二次回折光 47°
16E 二次回折光 43.6°
16D 二次回折光 39.7°
16C 二次回折光 35.5°
16B 二次回折光 31°
16H 三次次回折光 29.3°
16G 三次回折光 25.8°
16F 三次回折光 22°
16E 三次回折光 18°
16D 三次回折光 13.3°
16C 三次回折光 8.2°
16B 三次回折光 2.5°
16F 四次回折光 0.8°
16E 四次回折光 −4.3°
16D 四次回折光 −10.2°
16C 四次回折光 −17°
16B 四次回折光 −25.3°
16A 四次回折光 −35.8°
この結果、周期の短いグレーティング部から順に16A、16B、16C、16D、16E、16F、16G、16H、16Iとしたとき、以下のような回折光が放射された。
グレーティング部 回折光 放射角度
16B 一次回折光 80°
16A 一次回折光 71°
16I 二次回折光 57.5°
16H 二次回折光 54.2°
16G 二次回折光 50°
16F 二次回折光 47°
16E 二次回折光 43.6°
16D 二次回折光 39.7°
16C 二次回折光 35.5°
16B 二次回折光 31°
16H 三次次回折光 29.3°
16G 三次回折光 25.8°
16F 三次回折光 22°
16E 三次回折光 18°
16D 三次回折光 13.3°
16C 三次回折光 8.2°
16B 三次回折光 2.5°
16F 四次回折光 0.8°
16E 四次回折光 −4.3°
16D 四次回折光 −10.2°
16C 四次回折光 −17°
16B 四次回折光 −25.3°
16A 四次回折光 −35.8°
これにより、+80°から−35°の角度範囲で光が放射できることを確認した。また、素子外部に放射するレーザ光の拡がり角度は、光導波路の幅方向には40°、素子の長手方向には115°の広い角度領域で光を導波路外部に取り出すことを実証した。
Claims (8)
- 被測定面に対して検知光を照射するための検知光発生素子であって、
光導波路、
前記光導波路に周期的に形成された溝および突起からなるグレーティング部、および
前記光導波路に接し、前記光導波路の材質の屈折率よりも低い屈折率を有する材質からなるクラッド部を備えており、
前記光導波路を伝搬する伝搬光を前記グレーティング部で回折させ、前記グレーティング部から発生する回折光を前記検知光として複数の方向へと向かって出射させることを特徴とする、検知光発生素子。 - 複数の前記グレーティング部を備えており、複数の前記グレーティング部が互いに異なる周期を有していることを特徴とする、請求項1記載の素子。
- 前記回折光が一次回折光であることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記回折光が高次回折光であることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記回折光として、複数の相異なる次数の回折光を放射させることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記光導波路がリッジ型光導波路であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の検知光発生素子を用いて被測定面に前記検知光を照射する方法であって、
前記検知光発生素子から出射した前記検知光を前記被測定面に照射し、前記被測定面からの反射光を用いて前記被測定面に関するデータを得ることを特徴とする、検知光照射方法。 - 前記検知光発生素子を前記検知光発生素子の長手方向に向かって移動させながら前記被測定面を走査することを特徴とする、請求項7記載の方法。
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