JPWO2017188342A1 - 弾性波素子および通信装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(SAW素子の構成)
(基本構成)
図1は、本発明の実施形態に係るSAW素子1の基本構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における要部断面図である。SAW素子1は、弾性波としてSAWを利用し、図1に示すように、圧電基板2、圧電基板2の上面2Aに設けられた励振電極3(以下、IDT電極3と記載する)を有している。IDT電極3は、互いに対向する2本のバスバー31と、各バスバー31から他のバスバー31側へ延びる複数の電極指32と、それぞれの電極指32に対向するダミー電極33を有している。各電極指32のうちダミー電極33と対向する部分を先端部34とする。
ここで、端部領域A1,A2におけるIDT電極3の電極指32とダミー電極33との形状について詳述する。
圧電基板厚み:∞(通常LT基板を想定)
電極指材料 :Al
電極指厚み :121nm(部分Snの厚み)
電極指本数 :無限本数(周期境界条件)
電極指ピッチ:0.77μm
電極指幅 :0.385μm
交差幅 :30.8μm
ギャップ長 :0.3μm
ダミー電極長:3.08μm
なお、上述の基本構成において、一般的なSAW素子に比べ、若干ギャップ長を長くしている。これに対して、実施例1においては、図3に示す構成とし、増加部Shの厚みを部分Snの厚みに対して15%厚くし、電極指32のうち先端部34の占める幅(y方向における長さ)を3.25%(1μm)としてシミュレーションを行なった。比較例2の増加部Shの厚みも同様とした。このシミュレーションの結果を図5に示す。
次に、上述の共振周波数近傍のロスを抑制する構成について検証する。まず、先端領域Aeにおいて増加部Shを設けることの効果を検証するために、図6に示す4つのモデルについてシミュレーションを行なった。すなわち、比較例1と、比較例3と、実施例2と実施例3とのモデルを作成してシミュレーションを行なった。比較例3は、ギャップに重なる部分のみ膜厚を厚くしたSAW素子をモデル化した。実施例2は、先端部34は通常の厚みとし、ギャップと先端部34に重なる部分までの膜厚を厚くしたSAW素子をモデル化した。実施例3として、先端部34のみ膜厚を厚くしたSAW素子をモデル化した。なお、図6において、図3と同様に、厚みの厚い部分に斜線を付している。
次に、構成2について効果を検証するためにシミュレーションを行なった。具体的には、実施例1と実施例3と実施例4とのSAW素子についてモデルを作成してシミュレーションを行なった。実施例4は、ダミー電極33と先端部34と、電極指32のうちSAWの伝搬方向から見てギャップGpに重なる部分の厚みを厚くしたものである。すなわち、実施例1と4とが構成2を備え、実施例3は構成2を備えていない。さらに言い換えると、実施例4は、実施例1の構成において、比較例3で増加部Shとなっている部位に対応する部位も追加で増加部Shとした構成である。
次に、構成1による効果を検証するためにシミュレーションを行なった。具体的には、比較例1、比較例2、実施例1、実施例5、6のSAW素子についてモデルを作成してシミュレーションを行なった。これらのSAW素子の構成を図9に示す。図9において、図3と同様に、電極厚みが厚い部分に斜線を付している。図9に示すように、実施例5は、電極指32の根本部分(バスバー側)の厚みを端部領域で厚くし、かつダミー電極33の厚みを厚くしたものである。言い換えると、端部領域のうち先端部34のみ、厚みを中央部35と同じにし、それ以外を増加部Shとしている。すなわち、実施例5は、比較例2に対して、先端部34の厚みを中央部35の厚みを同じにして、構成1を実現するようにしたものである。また、実施例6は、電極指のバスバー側の根本部分の厚みを端部領域で厚くし、ダミー電極33の厚みは中央部分35と同じ厚みとしたものである。
なお、上述の例では、増加部Shは、厚みを厚くすることで実現したが、幅を拡幅することで実現してもよいし、それらを組み合わせて実現してもよい。
上述の例では、端部領域A1,A2の両方に増加部Shを設けた場合について説明したが、どちらか一方のみに設けてもよい。
次に、図13を用いて、上述のSAW素子1を用いた通信装置100について説明する。
2・・・圧電基板
3・・・IDT電極
30・・櫛歯電極
31・・バスバー
32・・電極指
33・・ダミー電極
34・・先端部
7・・・支持基板
第1端部領域・・A1
第2端部領域・・A2
中央領域・・・・Ac
先端領域・・・・Ae
増加部・・・・・Sh
Claims (11)
- 圧電基板と、前記圧電基板の上面に配置されたIDT電極と、を備え、
前記IDT電極は、
互いに異なる電位に接続され、互いに間隔を開けて配置された第1バスバーおよび第2バスバーと、
弾性波伝搬方向に沿って隣り合うように配置された、前記第1バスバーに接続され前記第2バスバー側に延びる第1電極指および前記第2バスバーに接続され前記第1バスバー側に延びる第2電極指と、
前記第2バスバーに接続され、前記第1電極指と第1ギャップを介して対向する第2ダミー電極と、
前記第1バスバーに接続され、前記第2電極指と第2ギャップを介して対向する第1ダミー電極と、を備え、
弾性波伝搬方向に沿って延びる3つの領域であって、前記第1電極指と前記第2電極指とが交差する部分を含む中央領域と、前記中央領域の両側に位置する、前記中央領域よりも前記第1バスバー側に位置する第1端部領域と、前記中央領域よりも前記第2バスバー側に位置する第2端部領域と、を仮定し、
前記第1電極指は、前記第2端部領域に位置する第1先端部を有し、
前記第1電極指および前記第2電極指のいずれか一方は、
弾性波伝搬方向に沿って延びる前記第1先端部と重なる先端領域において、前記第1電極指と前記第2電極指とが伸びる方向における単位長さあたりに対する電極体積が前記中央領域に比べて大きい増加部を備える、弾性波素子。 - 前記第1電極指および前記第2電極指のいずれか一方は、前記増加部において前記中央領域における厚みに比べて厚みが厚くなっている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1電極指および前記第2電極指のいずれか一方は、前記増加部において厚みが、前記中央領域における厚みに比べて10%以上50%以下の割合で厚くなっている、請求項2に記載の弾性波素子。
- 前記第1電極指および前記第2電極指のいずれか一方は、前記増加部において前記中央領域における幅に比べて幅が広くなっている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第2電極指のうち前記弾性波伝搬方向からみて前記第2ダミー電極と重なる領域に位置する部分と、前記第2ダミー電極との少なくとも一方は、前記増加部となっている、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記第2ダミー電極および前記第1先端部が増加部となっている、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記第2電極指は、前記第2端部領域において増加部となっている、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記第1ギャップは、弾性波伝搬方向と直交する方向において、前記第1電極指と前記第2電極指との幅の中心間隔の0.2倍以上である、請求項1乃至7のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記第2電極指は、前記第1端部領域に位置する第2先端部を有し、
前記第1電極指および前記第2電極指のいずれか一方は、
弾性波伝搬方向沿って延びる前記第2先端部と重なる第2先端領域において、前記増加部を備える、請求項1乃至8のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記圧電基板の下面には、前記圧電基板よりも線膨張係数の小さい材料からなる支持基板が配置されている、請求項1乃至9のいずれかに記載の弾性波素子。
- 第1通過帯域を有する第1フィルタと、前記第1通過帯域とは異なる第2通過帯域を有する第2フィルタとを備え、前記第1フィルタまたは前記第2フィルタに用いられる弾性波フィルタには請求項1乃至10のいずれかに記載の弾性波素子を用いている、通信装置。
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