JPWO2017175341A1 - 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Abstract
基準面に投影された格子を撮像し、前記基準面に投影された格子を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、投影されている格子の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny(=M)等分されているように光学系を調節し、前記基準面に載置された物体に投影された格子模様を撮像し、前記物体に投影された格子模様を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをMx×Ny等分した輝度値を求め、前記輝度値を用いて位相を求め、前記基準面に載置された物体に投影された格子模様を撮像し、前記物体に投影された格子模様を撮像した画像の画素毎にずらして前記位相を求め、該位相に基づいて物体面の位置を求める、計測方法。
Description
本発明は、大型構造物や工業製品、シート状構造物、人体や動植物、自然の造形物等の三次元の表面形状を有する測定対象物の表面の三次元形状計測を非接触かつ高速・高精度で行うことが可能な三次元形状計測装置に関する。また、非接触の振動面位置計測や変位分布計測に用いることもできる。
計測対象物に格子パターンを投影し、計測対象物に投影された格子パターンを撮像して得られた格子パターン像の画素毎の位相を求めることにより三次元形状計測を行う格子投影法が公知である。
図1に一次元格子投影法による形状計測装置の光学系の例を示す。
基準面に対して、カメラレンズの中心とプロジェクタの光源の高さが同じであり、カメラ撮像面および格子の面は基準面に平行であるモアレトポグラフィの光学系である。この図の場合、基準面の位置において、投影された格子の1ピッチと基準面上で撮像される画素ピッチが一致しており、図1のWの位置には白い線が、Bの位置には黒い線が等高線として撮影できる。カメラの画素ピッチが細かくなっても投影された格子の画像の1ピッチの画素数はどの高さでも一定である。
格子投影法では格子の位相を解析することにより高精度でその変形を解析でき、面外変形や三次元形状を高精度に計測することができる。従来の位相解析法としては、位相シフト法やフーリエ変換法が用いられている。
新井泰彦,倉田忠雄,縞走査干渉計の手法による高速かつ高精度なモアレトポグラフィ法,光学,Vol.15,No.5,402-406 (1986).
森本吉春,藤垣元治,米山聡: モアレ法・格子法による形状・変形計測の最近の研究,非破壊検査,52-3(2003),116-121.
李志遠,森本吉春,藤垣元治,サンプリングモアレ法による構造物の非接触変位分布計測、日本工業出版 検査技術,14(5),(2009),1-6
Takeda, M. and Mutoh, K., Fourier transform profilometry for the automatic measurement of 3-D object shapes, Applied Optics, 22-24, 3977-3982(1983).
Morimoto, Y., Seguchi, Y. and Higashi, T., Two-dimensional Moire Method and Grid Method Using Fourier Transform, Experimental Mechanics, Vol. 29, No. 4, 399-404(1989).
藤垣元治,森本吉春,全空間テーブル化手法による格子投影三次元形状計測,実験力学,8-4, 92-98(2008).
格子投影法やモアレ法では、格子の位相を解析することによって高精度で対象の変形を解析することができ、面内変形や三次元形状の高精度の計測が可能である(非特許文献1,2)。従来の位相解析法としては、位相シフト法やフーリエ変換法が用いられている。これらの中で、サンプリングモアレ法(非特許文献3)やフーリエ変換法(非特許文献4,5)は1枚の画像で位相を解析できるため、運動物体などの解析に有用である。
運動物体をリアルタイムに計測するには計算を高速に行う必要があり、できるだけ少ない画像データで位相計算をするほうが良い。しかしながら、サンプリングモアレ法は2周期のデータを用いて位相計算を行ない、またフーリエ変換法は全画素のデータを用いて位相の解析を行っており、少ない画像データにより動画像での計測をすることができなかった。
一方、本出願人は、格子1周期分の画像データをフーリエ変換などにより位相を解析する新しい格子投影法を出願している(以下、「前提技術」という)。これにより1枚の画像から位相分布を高速に解析することができ、動画像の解析も可能となる。
この前提技術の特徴を以下に示す。
(1)位相解析による計測であるため精度が良い。
(2)1枚の画像で位相解析できるので、運動する物体の形状計測が可能である。
(3)フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、正確な余弦波の輝度分布をもつ格子を投影しなくても良い。
(4)また、フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、高周波部分に現れるノイズは自動的に削除されるためノイズに強い。
(5)処理が簡単で、高速に処理ができる。
(6)ゲージ長がN画素となり、サンプリングモアレ法よりも短い。一般的に、デジタル画像相関法よりもゲージ長が短い。
(7)サンプリングモアレ法では直線補間によりモアレ縞を生成しているが、本発明は余弦波と相関をとっていることになるため、精度がより高い。
(1)位相解析による計測であるため精度が良い。
(2)1枚の画像で位相解析できるので、運動する物体の形状計測が可能である。
(3)フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、正確な余弦波の輝度分布をもつ格子を投影しなくても良い。
(4)また、フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、高周波部分に現れるノイズは自動的に削除されるためノイズに強い。
(5)処理が簡単で、高速に処理ができる。
(6)ゲージ長がN画素となり、サンプリングモアレ法よりも短い。一般的に、デジタル画像相関法よりもゲージ長が短い。
(7)サンプリングモアレ法では直線補間によりモアレ縞を生成しているが、本発明は余弦波と相関をとっていることになるため、精度がより高い。
しかしながら、前提技術はx方向にM画素(Mは2以上の整数)、y方向に1画素の横長の画像データを用いて位相解析を行う必要がある。そのため、x方向の空間分解能が十分ではなく、x方向に段差のある部分など位相変化の大きいところでは広い範囲にわたって誤差が大きくなっていた。
そこで、本発明の目的は、位相解析に上記前提技術と同じ画素数を使っても、x方向にMx画素、y方向にNy画素(Mx、Nyは2以上の整数)の2次元領域のデータを使うことにより、x方向とy方向の空間分解能をほぼ同じ程度に小さくでき、段差のある部分でも、誤差の大きくなる部分の幅を狭くできる位相解析方法、および、前記位相解析方法を利用した装置、を提供することである。
本発明は、物体面に投影された格子像または前記物体面に描画された格子を撮影した撮影像から選択した、x方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、前記投影されている格子像の格子または描画された格子の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny等分されているように、光学系を調節された状態で、撮影像を入力し、前記撮影像から、前記格子像または前記格子の画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形領域(Mx、Nyは2以上の整数)を抽出し、前記長方形領域の画素の輝度を元に位相を求める計測方法である。
また、本発明は、基準面に投影された格子像を撮像するステップと、前記基準面に投影された格子像を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、投影された格子像の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny(=M)等分されているように光学系を調節するステップと、前記基準面に載置された物体に形成された格子像を撮像するステップと、前記物体に形成された格子像を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをMx×Ny等分した輝度値を得るステップと、前記輝度値を用いて位相を求めるステップと、を含む計測方法である。
また、本発明は、変形前の物体に描画された格子を撮像するステップと、前記物体に描画された格子を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、描画された格子の位相が2mπ(mは整数)をほぼMx×Ny(=M)等分されているように光学系を調節するステップと、前記物体に描画された格子の変形後の模様を撮像するステップと、前記物体に描画された格子の変形後の模様を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをほぼMx×Ny等分した輝度値を得るステップと、前記物体の変形前の前記輝度値を用いて前記長方形領域の変形前の位相を求めるステップと、該物体の変形前後の位相差に基づいて物体面の変位を求めるステップと、を含む計測方法である。
前記輝度値を得るステップは、前記物体に投影された格子像を撮像した画像の画素毎に前記長方形領域をずらして前記位相を求めてもよい。
前記輝度値を得るステップは、前記物体に描画された格子を撮像した画像の画素毎に前記長方形領域をずらして前記位相を求めてもよい。
本発明は、全空間テーブル化手法を用いて、前記位相に基づいて物体面の位置を求めてもよい。
本発明は、前記x方向または前記y方向にピッチの異なる1画素より大きいピッチ以上の格子を用い、前記ピッチの異なる1画素より大きいピッチの格子に基づいて位相値を求めるステップと、前記ピッチの異なる格子に基づいて求めた位相より位相接続を行うステップと、を更に含む、計測方法としてもよい。
本発明は、上記輝度値に基づいて位相を求める計測装置としてもよい。
本発明は、上記計測方法を実行する計測プログラムとしてもよい。
本発明は、前記計測プログラムを記憶するコンピュータ読み取り可能な記録媒体としてもよい。
本発明により、位相解析に同じ画素数を使っても、x方向にMx画素、y方向にNy画素(Mx、Nyは整数)の領域のデータを使うことにより、x方向とy方向の空間分解能をほぼ同じ程度に小さくでき、段差のある部分でも、誤差の大きくなる部分の幅を狭くできる位相解析方法を提供できる。
本発明の位相解析方法を、面内変形の1次元変位(およびひずみ)解析方法に適用可能である。面内変位の場合は、変形前と変形後の位相の差は変位に対応する。従来のサンプリングモアレ法や前提技術はx方向に空間分解能が悪かったが、本発明ではx方向とy方向の空間分解能を同じ程度に小さくできる。
本発明は、発明が解決しようとする課題を克服し、高速、高精度な方法を提供可能である。本発明は物体面の格子をカメラにより撮影して解析し、計測する方法である。本発明は、物体に投影された格子像あるいは、物体に描画された格子を撮像した画像の輝度データをもとに、高精度に位相値を求めることが可能となる位相解析方法に関する。そして、高精度に求めた位相をもとに、物体面の高さを計測して物体面形状を計測するだけでなく、物体面に設けた格子模様をカメラによって撮影することにより、物体面の面内方向への変位を計測することもできる。
以下、本発明の実施形態を説明する。
<実施形態1>
まず、本発明の測定原理を説明する。
<実施形態1>
まず、本発明の測定原理を説明する。
本発明は、格子投影法で一次元格子を投影し、その格子画像の1ピッチが常に一定のM画素となることを利用して、そのM画素の輝度データより位相を解析し、位相から高さなどの情報を得る方法である。
<光学系と座標>
図2,図3A,図3Bに形状計測装置の格子投影機構と計測対象物の説明用概略図を示す。
<光学系と座標>
図2,図3A,図3Bに形状計測装置の格子投影機構と計測対象物の説明用概略図を示す。
まず、図2でモアレトポグラフィの光学系についてさらに説明する。
Lは光源の位置、Vはカメラレンズの中心を表す。格子は光源の位置Lからdの距離にあり、1周期の幅はpである。
この光学系では、基準面に対して、カメラレンズの中心Vとプロジェクタの光源Lの高さが同じであり、カメラ撮像面および格子面は基準面に平行である。
光源Lから距離z1離れた位置に物体面が、距離z2離れた位置に基準面があり、光源Lからd離れた位置には格子面がある。格子面は基準面に平行であり、周期がpである等間隔の一次元格子線が描かれている。光源には点光源を用いるが、格子線に平行な1ライン線光源を用いてもよい。
光源Lを含み基準面に平行な面を光源面と呼ぶ。説明のために光源を原点としてx,y,z座標をとり、基準面に垂直な方向をz方向とする。図2では下方がz方向の正になっている。
格子の面に描いた格子線に垂直な方向がx方向、格子線に平行な方向がy方向である。カメラレンズの中心は光源面内にあり、x方向に距離vだけ光源Lから離れている。カメラ撮像面は基準面と格子面に平行であり、カメラ撮像面の画素座標(i,j)のi方向,j方向は各々x方向とy方向と一致している。
この光学系では、物体面や基準面がどの高さにあってもカメラ撮像面での格子1周期の像は同じ幅になる。したがって、デジタルカメラ撮像面のN画素に格子の1周期が映るように設定すると、物体面や基準面がどの高さでも格子の1周期の像がN画素に映ることになる。このことを図2で説明すると以下の通りになる。
投影された格子1周期の影は、物体面ではx1に、基準面ではx2になる。光源面からの距離は、物体面ではz1、基準面ではz2、カメラ撮像面ではz3、格子面ではdである。
格子の1周期pの影は、物体面ではpをz1/d倍したx1となり、基準面ではpをz2/d倍したx2となる。カメラ撮像面での大きさx4はx1をz3/z1倍したものであり、x5はx2をz3/z2倍した大きさであるから、x4とx5はともにpのz3/d倍になる。すなわち、カメラ撮像面に映る格子の1周期の大きさは光源面から格子までの距離と、カメラレンズの中心からカメラ撮像面までの距離の比によって定まり、物体面や基準面までの距離には影響されない。
格子の1周期pの影は、物体面ではpをz1/d倍したx1となり、基準面ではpをz2/d倍したx2となる。カメラ撮像面での大きさx4はx1をz3/z1倍したものであり、x5はx2をz3/z2倍した大きさであるから、x4とx5はともにpのz3/d倍になる。すなわち、カメラ撮像面に映る格子の1周期の大きさは光源面から格子までの距離と、カメラレンズの中心からカメラ撮像面までの距離の比によって定まり、物体面や基準面までの距離には影響されない。
このことから、格子1周期の像を捉えるカメラのセンサー画素数は基準面からの計測対象物体の高さによらず一定となる。すなわち、格子1周期をN画素に映るように設定すると、連続するN画素には常に格子1周期分が映っていることになる。
一方で、図1においてx4とx5の位置がずれていることから判るように、物体面や基準面までの距離が変化すると格子がカメラ撮像面に映る位置は変化する。換言すると、基準面から物体面までの高さにより、カメラ撮像面の画素に映る格子の位相が変わることになる。
以上のことから、位相解析を行えばその高さを求めることができる。すなわち、N画素をフーリエ変換し、最大のパワースペクトルをもつ周波数1を抽出し、その周波数1の位相を求めれば、物体面等の高さを計測できることになる。また、実際の測定に際しては、光学系に応じて、前記周波数を予め設定しておき、その予め設定した周波数の位相を求めることにより、物体面等の高さを計測することもできる。
なお、上記したように、基準面に投影された格子の1周期がデジタルカメラのN画素となるようにレンズの拡大率を調整しておくことが好ましい。
次に、図3を用いて基準面から物体面までの高さを求める方法を説明する。
図3Aは図3Bの上部を拡大したものである。
まず、カメラレンズの中心Vをx軸上の座標(v,0,0)の位置に置く。すなわちカメラレンズの中心Vは距離vだけ光源Lから離れている。基準面の点Rが映るカメラ撮像面の画素には、物体を置いた際に物体面の点Sが映る。図3Bでは、この画素および点S、点Rを通る線を、カメラ視線として示す。物体面における点Sをz軸に垂直に投影した点を点B、基準面における点Rをz軸に垂直に投影した点を点Iとする。また、光源の位置Lから点Rへの光が格子面を通過する点を点Qとし、光源の位置Lから点Rへの光が物体面の点Sからz軸に垂直に投影した線をその光が横切る点を点Pとする。さらに、光源の位置Lから点Sへの光が格子面を通過する点を点Gとする。z軸と格子面の交点を点Cとする。点Eは格子の原点であり、点Cと点Eの距離をeとする。そして、点Iと点Bの距離、すなわち基準面から物体面までの高さをhとする。
<投影格子の位相>
いま、z=dにある格子の透過率分布Igは余弦波状になっており、次の式で示される。
<投影格子の位相>
いま、z=dにある格子の透過率分布Igは余弦波状になっており、次の式で示される。
ここで、agは振幅、Φは格子の位相、bgは背景である。光源が格子を照射して、格子の影が基準面または物体面に投影される。その格子の影がカメラ撮像面に映る際の輝度分布は、格子1周期に相当する連続したN画素に対して、基準面や物体面等の高さzにおいて、次の式で表される。
ここで n=0,1,・・・N である。
数式2において、
と、置き直すと、数2式は数6式で表すことができる。
となる。
物体面の場所S(x,y,z)からx方向の格子の影の1周期は、カメラ撮像面の連続するN画素に映るように、カメラレンズにより調整されている。
そこで、このN個のデータに対して離散的フーリエ変換を行ない、その周波数1を抽出し、それより位相を求めると、滑らかな余弦波状の波の位相θを得ることができ、非常に精度の良い位相解析を行うことができる。
この位相θ(−π<θ≦π)は、次の式を用いて計算できる。
x方向の全画素について上記の位相θを求めてx方向に位相接続すると、格子の位相Θを得ることができる。
<等高線を表すモアレ縞の位相>
モアレトポグラフィにおいては、等高線を表すモアレ縞の位相ΘMは、基準面に投影された格子の位相ΘRと物体の上に投影された格子の位相Θの差ΘM=Θ−ΘRとして求められる。これよりzが求められ、あるいは基準面からの高さh=zR−zが求められる。
モアレトポグラフィにおいては、等高線を表すモアレ縞の位相ΘMは、基準面に投影された格子の位相ΘRと物体の上に投影された格子の位相Θの差ΘM=Θ−ΘRとして求められる。これよりzが求められ、あるいは基準面からの高さh=zR−zが求められる。
この計算式は次のように求められる。
基準面上の点Rに投影された格子の影の位相ΘRは
となる。
ここで、△LIRと△LCQとの相似より
となり、数式9を数式8に代入すると
となる。
同様に△LBSと△LCGとの相似を用いると、物体上の点Sに投影された格子の影の位相ΘSは以下のようになる。
数式10の点Rの位相と数式11の点Sの位相の差として、次の式のようにモアレ縞の位相ΘMが得られる。
一方、二つの三角形△LPSおよび△LQGの相似より
また、△RLVおよび△RPSの相似より
これらから、
これより
このように、基準面の格子と物体面の格子の位相差としてモアレ縞の位相を計測することにより、基準面から物体面までの高さhが求められる。
ここで、物体面の高さを求めることにより物体面形状を計測する方法を説明する。
図4に計測装置全体の構成を示す。
1はLED等のランプであり、光源に相当する。2は格子、3は計測対象の物体、4は載置台、5はデジタルカメラ、6は撮像素子、7はレンズ、8はコンピュータ、9は出力装置である。計測結果を得るだけであればコンピュータ8などに結果を記憶すればよいので、出力装置9はなくてもよい。また、ランプ1と格子2としては、市販の液晶プロジェクタなどのプロジェクタを用いてもよい。この場合、液晶表示素子等で格子を表示して格子2を形成する。プロジェクタを用いると、格子の幅や方向を自在に変更することができる。
物体3をランプ1で照射すると、物体面に格子2の影が投影され、レンズ7を介してデジタルカメラ5の撮像素子6に影の像が映る。映った像はデジタルカメラ5からコンピュータ8に送られる。そして、コンピュータ8では、記憶されている本発明の方法を実現するプログラムにより前記像が解析されて計測値が得られる。得られた計測値はコンピュータ8に記憶されるとともに、必要であれば出力画像などに加工され、出力装置9に送られて出力される。出力装置は具体的には表示装置や印刷装置などである。
コンピュータ8には、後述する全空間テーブル化法を実行するためのデータテーブル8aをメモリに記憶することも可能である。また、本発明に係るプログラムをコンピュータ8で実行することができる。また、本発明に係るプログラムを記録した記録媒体8bをコンピュータ8に装着することで、本発明に係る計測方法を実行することができる。
基準面を載置台4の表面としても良く、載置台4の上に基準面を有する物体を載置しても良い。基準面と物体面があれば計測できるので、基準面の代わりに物体面を有した物体を置いても良い。また、ランプ1、格子2、物体3、載置台4、デジタルカメラ5を含んだ全体を横にした状態とし、横方向で物体面形状を計測することも可能であり、斜め方向で計測することも可能である。
<位相解析手順>
基準面に一次元格子を投影する。これをデジタルカメラで撮影する。図5はこのようにして撮影した画像の一部の拡大説明図である。この例の場合、格子の1周期をカメラ撮像面のN画素(ここではN=8)となるように倍率を調節している。カメラ撮像面の画素が黒い長方形で表現されている。この図の斜線で示される部分は格子の輝度の低い部分を示し、その他の部分は格子の輝度の高い部分を示している。格子線に直角な方向をx方向、それに垂直な方向をy方向とする。カメラ撮像面における画素の座標を(i,j)とする。そして、i方向、j方向をそれぞれx方向およびy方向に合わせて撮影する。
基準面に一次元格子を投影する。これをデジタルカメラで撮影する。図5はこのようにして撮影した画像の一部の拡大説明図である。この例の場合、格子の1周期をカメラ撮像面のN画素(ここではN=8)となるように倍率を調節している。カメラ撮像面の画素が黒い長方形で表現されている。この図の斜線で示される部分は格子の輝度の低い部分を示し、その他の部分は格子の輝度の高い部分を示している。格子線に直角な方向をx方向、それに垂直な方向をy方向とする。カメラ撮像面における画素の座標を(i,j)とする。そして、i方向、j方向をそれぞれx方向およびy方向に合わせて撮影する。
この画像を次のように処理する。
(1)連続するN画素の画像データ(図6A)を一次元フーリエ変換する。
(2)これにより−N/2〜N/2の周波数スペクトル(図6B)が得られる。この中で最大のパワースペクトルをもつ、N画素を一周期とする周波数1または周波数−1の成分を抽出する。図5Bでは、周波数1だけを取り出している。
(3)その抽出した周波数の位相計算を行えば位相が得られる。そして、そのN画素の格子の先頭の画素に対応して記憶する。(図5C)
(4)次に、N画素の格子の組み合わせをx方向に1画素だけずらして(1)〜(3)の位相計算と記憶を繰り返す。
(5)x方向の移動がすべて終わったら(1)〜(4)の走査をすべてのy方向について行う。
(1)連続するN画素の画像データ(図6A)を一次元フーリエ変換する。
(2)これにより−N/2〜N/2の周波数スペクトル(図6B)が得られる。この中で最大のパワースペクトルをもつ、N画素を一周期とする周波数1または周波数−1の成分を抽出する。図5Bでは、周波数1だけを取り出している。
(3)その抽出した周波数の位相計算を行えば位相が得られる。そして、そのN画素の格子の先頭の画素に対応して記憶する。(図5C)
(4)次に、N画素の格子の組み合わせをx方向に1画素だけずらして(1)〜(3)の位相計算と記憶を繰り返す。
(5)x方向の移動がすべて終わったら(1)〜(4)の走査をすべてのy方向について行う。
なお、数式7を用いて位相を直接求める場合は(1)〜(3)の手順をまとめて行っていることになる。このようにして得られたほぼ1画面分の位相がこの格子の基準面の位相分布となる。
物体の格子の位相を解析する場合は、カメラはそのままにして、基準面の代わりに物体を置くなどして同様に(1)〜(5)の計算を繰り返す。このようにして得られた位相分布が物体面の位相分布となる。
次に、得られた物体面の位相および基準面の位相をそれぞれ位相接続する。格子投影法の場合、格子の位相は基本的に単調関数となる。そのため、位相のジャンプが起こる毎に2πを増加あるいは減少させることにより容易に位相接続ができる。
位相接続の後に、各画素に物体の位相と基準面の格子の位相との位相差であるモアレ縞の位相ΘMを求める。これより数式17を用いて高さhを求めることができる。ここでは、フーリエ変換してから周波数1等の位相を得ているため、正確な余弦波の輝度分布をもつ格子を投影することなく、ノイズに強い計測を行うことができる。
前記の前提技術はx方向にN画素、y方向に1画素の横長の画像データを用いて位相解析をしていた。そのため、x方向の空間分解能が悪く、x方向に段差のある部分など位相変化の大きいところでは広い範囲にわたって誤差が大きくなる。
そこで、本発明は、位相解析に同じ画素数を使っても、x方向にMx画素、y方向にNy画素(Mx,Nyは2以上の整数)の2次元領域のデータを使うことにより、x方向とy方向の空間分解能をほぼ同じ程度に小さくでき、段差のある部分でも、誤差の大きくなる部分の幅を狭くできる。
そこで、モアレトポグラフィの光学系においてz=0の基準面に格子を投影し、基準面上のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形(正方形を含む)内において、投影されている格子の位相が2πをMx×Ny等分されるように光学系を調節する。そうすると、すべての画素の位置において、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2πをMx×Ny等分した位相に対応する輝度値が得られ、この輝度データより各画素における位相を求めることができる。
図1に示すモアレトポグラフィの光学系において、光源Lから出た光は、格子を通って格子の影を対象物の上に投影する。対象物の形状に応じて歪んだ格子の影をカメラが撮影する。
前提技術の光学系では、基準面に投影した1次元の格子線が図1および図7に示すように、x軸に垂直となるように設置し、図7に示すようにカメラで撮影された格子の1ピッチがx方向にM画素(図7の場合M=9)となるように光学系を配置しておく。図7は従来技術であるサンプリングモアレ法や前提技術で用いられている格子画像である。格子は、x方向に垂直な格子線からなり、x方向M画素(この図ではM=9)で1ピッチとなるように光学系を調整している。x方向のM画素(この図では、M=9)のデータを用いて位相解析を行う。符号90で示される領域の9画素を用いて位相解析を行う。
一方、本発明の光学系では、基準面に投影した格子が図8に示すようにx軸に垂直とはならず斜めとなっている。それでも格子の1ピッチがx方向にM画素で1ピッチとなるように調整している。ただし、y方向に格子の1ピッチがNy画素(図8の場合、Mx=3、Ny=3)となるように調整している。
結果的に、x方向にMx画素、y方向にNy画素、Mx×Ny=M(M,Mx,Nyは2以上の整数)となるように光学系を配置しておくと、1周期の位相をN等分した位相の輝度データがMx×Nyの領域の輝度データとして得られる。
格子線100は投影されている格子の位相0の線、格子線101は投影されている格子の位相π/2(90度)の線、格子線102は投影されている格子の位相π(180度)の線、格子線は投影されている格子の位相3π/2(270度)の線を表す。
図7の各画素に書いてある数字は、投影されている格子の位相の番号を示しており、0は位相0(0度)、数字が増えるごとに位相が2π/(Mx×Ny)ずつ増える。この図の場合、2π/9(40°)ずつ増える。
図8は本発明で用いられる格子画像の例1の画像を示す図である。格子は、斜めに等間隔に投影されている。符号91のM×1画素の領域を見ると、x方向の1ピッチはM画素である。y方向の1ピッチはNy画素となるように投影する格子の向きを調整している。すなわち、格子線のピッチや方向をうまく調整すると、Mx×Nyの長方形領域の各画素の位相の変化が等間隔で得られる位置がある。図8では、Mx×Ny=M画素のデータが2πをM分割した位相変化となっており、これを用いて位相解析を行うことが可能である。
格子線110は投影されている格子の位相0の線、格子線111は投影されている格子の位相π/2(90度)の線、格子線112は投影されている格子の位相π(180度)の線、格子線113は投影されている格子の位相3π/2(270度)の線を表す。
図8において各画素に書いてある数字は投影されている格子の位相の順番を示す。この図の各画素に書いてある数字は、位相の番号を示しており、0は位相0(0度)、数字が増えるごとに位相が2π/(Mx×Ny)ずつ増える。具体的には、x方向に9画素とy方向に1画素で1周期となり、この9画素(符号91で示される領域)から位相解析が可能である。一方、x方向に3画素、y方向に3画素の計9画素(符号92で示される領域)をみると、どちらも1周期を9分割した同じ位相のデータが得られている。x方向もy方向も3画素の空間分解能となり、x方向も、y方向も、同じ等方性の精度の良い位相解析が可能である。
図8の場合も、符号91で示される領域のM画素を解析しても位相が求められるが、符号92で示される領域のMx×Ny(=M)画素を解析しても同じように画素データが得られており、こちらを解析しても位相が得られる。この符号92で示される領域のx方向の領域の長さが、符号91で示される領域のx方向の長さよりも短く領域が正方形に近いため、空間分解能の方向性が少なく急な段差があってもその影響の及ぶ範囲が小さくてすむ。
具体的には図8に示すように、Mx=3,Ny=3,M=9に選ぶと、領域91であるx方向にM(=9)画素、y方向に1画素の輝度データと、x方向にMx(=3)画素、y方向にNy(=3)画素の輝度データとが同じ位相配置となる。領域91の輝度データを使う代わりに領域92の輝度データを使えば、同じように解析できることになり、細長い領域91の輝度データよりも正方形に近い領域92の輝度データを使う方が、空間分解能が良くなるといえる(なぜなら、領域91ではx方向に9画素のデータを使って位相を求めているが、領域92ではx方向に3画素のデータを使っているだけであり、x方向の空間分解能が良くなる。)。
つぎに、撮影した格子画像のx方向Mx画素、y方向Nx画素となる領域のM=Mx×Ny個の輝度データを取り出し、その輝度データより数18式を用いて(初期)位相θの解析を行う。
得られた画像の各画素ごとに位相解析の処理を行う。処理する画素の周辺にMx×Ny画素領域をとり、その領域の各画素の輝度データを各画素の位相の順(図8の場合、各画素に書いてある番号の順)に並べ、その輝度データを用いて数18式により位相θを求める。その位相θと基準面の位相θRの差Θ(Θ=θ−θR)に対応する高さ情報を計算により求める。あるいは全空間テーブル化手法により予め求めておいたテーブルより求める。
位相差Θと高さhの関係は図3より数19式で与えられる。
位相差Θと高さhの関係は図3より数19式で与えられる。
この作業を1画素ずつずらしながら行う。すべての画素において、高さが求められれば形状が計測されたことになる。
なお、1次元に複数に並んだ画素を基に、基準面から物体面までの高さhを数17式で求めたが、2次元に並んだ画素を基に、基準面から物体面までの高さhも数17式と同じように、数19式によって求めることができる。
図9は本発明で用いられる格子画像の例2の画像を示す図である。図8と格子の向きが異なっているが、図8と同様に符号91で示される領域のM(=9)画素を解析しても位相が求められる。符号92で示される領域(Mx=3,Ny=3の場合)の9画素を解析しても同じように輝度データが得られており、こちらを解析しても位相が得られる。
図10は本発明で用いられる格子画像の例3の画像を示す図である。図8と格子の向きが異なっているが、図8と同様に符号91で示される領域のN(=9)画素を解析しても位相が求められる。符号92で示される領域(Mx=3,Ny=3)の9画素を解析しても同じように輝度データが得られており、こちらを解析しても位相が得られる。
図11は本発明で用いられる格子画像の例4の画像を示す図である。図8と同様に符号93で示される領域のM(=25)画素を解析しても位相が求められるが、符号94で示される領域(Mx=5、Ny=5)の25画素を解析しても同じように輝度データが得られ、こちらを解析しても位相が得られる。
図12は本発明で用いられる格子画像の例5の画像を示す図である。図8と同様に符号95で示される領域のM(=15)画素を解析しても位相が求められる。符号96で示される領域領域(Mx=3、Ny=5)の15画素を解析しても同じように輝度データが得られ、こちらを解析しても位相が得られる。図12に示されるように、長方形の領域でも位相を求めることができる。
図13は本発明で用いられる格子画像の例6の画像を示す図である。図8と同様に符号97で示される領域のM(=20)画素を解析しても位相が求められる。符号98で示される領域の(Mx=4、Ny=5)の20画素を解析しても同じように輝度データが得られ、こちらを解析しても位相が得られる。
<実施形態2>
実施形態2は、全空間誤差テーブルを用いた形状計測法に関する。実施形態1では位相と高さの関係を計算により求めているが、全空間テーブル化手法を用いて各画素の位相を求めることが可能である。なお、全空間テーブル化法は、特開2011−2378号公報(和歌山大学)に記載されているように公知の技術である。
<実施形態2>
実施形態2は、全空間誤差テーブルを用いた形状計測法に関する。実施形態1では位相と高さの関係を計算により求めているが、全空間テーブル化手法を用いて各画素の位相を求めることが可能である。なお、全空間テーブル化法は、特開2011−2378号公報(和歌山大学)に記載されているように公知の技術である。
全空間テーブル化手法は、各画素に対して位相と高さ(さらにはx,y,z座標)との関係を予め求めてテーブルとし、位相が求められれば、そのテーブルを見るだけで、高さ情報が得られた。このため三角測量による計算が不要となり高速計測となり、光学系のもつ誤差もテーブルを参照することによりキャンセルされ高精度となった。
本発明では、モアレトポグラフィに適用するので、位相と高さの関係は理論式で得られ、すべての画素で同じ式となる。しかし、光学系などの誤差により、理論と合わず、画素毎に誤差が出てくる。
そこで、全空間テーブルの代わりに、実際の計測高さと理論高さの比Qあるいは実際の計測高さと理論高さの差Sをテーブル化した全空間誤差テーブルを作成し、位相より得られた理論高さにこのテーブル値Qを掛け算することにより、あるいは理論高さにSを加えることにより、高さを求める方法とする。この全空間誤差テーブルは、画素毎の誤差分布を表しており、この表のデータを可視化し、誤差が小さくなるように光学系を調節することにより、光学系の調整などがし易くなる。
<実施形態3>
上述したように本発明では、長方形領域(正方形を含む、具体的には3×3画素)の領域の画像データを使って位相解析を行っている。本発明の実施形態3では、同じ領域にx方向ピッチの異なる2種類の格子を用い、それぞれの位相を解析し、その結果より位相接続を行い、ダイナミックレンジの広い位相解析方法を実現できる。
<実施形態3>
上述したように本発明では、長方形領域(正方形を含む、具体的には3×3画素)の領域の画像データを使って位相解析を行っている。本発明の実施形態3では、同じ領域にx方向ピッチの異なる2種類の格子を用い、それぞれの位相を解析し、その結果より位相接続を行い、ダイナミックレンジの広い位相解析方法を実現できる。
長方形(正方形を含む)領域の画素においてx方向に周波数の異なる2種類以上の波を入れ、その領域の画像の輝度データより、それぞれの波を、フーリエ変換などを用いて分離抽出し、それらの波の位相を求める(実際にはフーリエ変換をしなくても直接位相を求める周波数1に対応した位相を求める数7式やより高い周波数に対応した同等の式に代入すれば良い)。
求めた2つ以上の波の位相より位相接続を行い、ダイナミックレンジの広い形状計測法とすることができる。本発明の実施形態1、2では、x方向の格子ピッチが1種類の格子だけを投影したため、ダイナミックレンジが狭い。本発明の方法は、2種類の格子を一度に投影することにより、ダイナミックレンジを広げる方法を提供する。その技術内容を以下に示す。
図14はカメラの各画素に映った格子の画像を示す模式図であり、一番小さな正方形が1画素の大きさ、斜めの線が格子の位相を表している。符号130の格子の線が位相0の線、符号131の格子の線が位相π/2の線、符号132の格子の線が位相πの線、符号133の格子の線が位相3π/2の線を表している。符号120の領域に示す横1ライン9画素のデータを見ると、画素が隣へ移動するたびに位相が増えていき、9画素で2周期分の位相変化となっている。
この場合、符号121で示される3×3画素の領域を見ると、1行目は符合120の領域で示される9×1画素の領域の最初の3画素、2行目は次の3画素、3行目はその次の3画素の位相と同じデータが並んでおり、符合120の領域を解析しても、符合121の領域を解析しても同じように位相が得られることになる。
図15の場合は、符合122の領域で周期が3回変化している。符号123で示される3×3画素の領域を見ると、1行目は符合122の領域の最初の3画素、2行目は次の3画素、3行目はその次の3画素の位相と同じデータが並んでおり、符合122の領域を解析しても、青い領域を解析しても同じ位相が得られることになる。
図14の9個のデータを用いてフーリエ変換を行うと、周波数2あるいは−2のみが存在することになる。図15の9個のデータを用いてフーリエ変換を行うと、周波数3あるいは−3のみが存在することになる。
図14の格子と図15の格子を重ねて(輝度を足しあわせて)、図16のように投影すると、符合124の領域のデータには、周波数2の格子と周波数3の格子が重なりあっており、この画像データをフーリエ変換すると周波数2と3の成分が出てくる。
この周波数の位相を解析すると、それぞれの波の位相を得ることができる。周波数の異なる波2つの位相から、位相接続することができ、2つの位相の差が2πになるまでの範囲を広げて解析できる。
<実施形態4>
本発明による位相解析方法は、物体のひずみ解析に適用できる。例として、平面内での面内1次元微小変形を考える。面外変形がなく、微小変形であるので、この場合も、格子のピッチはかわらず位相のみが変化すると考えることができる。x方向のピッチをpxとすると、位相の変化量がΔΘのとき、x方向の変位uは、数20式で与えられる。
<実施形態4>
本発明による位相解析方法は、物体のひずみ解析に適用できる。例として、平面内での面内1次元微小変形を考える。面外変形がなく、微小変形であるので、この場合も、格子のピッチはかわらず位相のみが変化すると考えることができる。x方向のピッチをpxとすると、位相の変化量がΔΘのとき、x方向の変位uは、数20式で与えられる。
上記の位相の変化量は、次のようにして求める。変形を測定する物体に格子を描画する。そして、描画された格子を撮像する。撮像手段は先述のとおりの装置を用いることができる。
前記物体に描画された格子を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、描画されている格子の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny(=M)等分されているように光学系を調節する。
物体に描画された格子を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、描画されている格子の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny等分した輝度値を得る。そして、得られた輝度値を用いて、前記長方形内における位相を数18式により算出する。前記物体に描画された格子を撮像した画像の画素ごとに前記長方形の領域をずらして画素ごとに位相を求める。
次に、物体の変形後に、物体に描画された格子の変更後の模様を撮像する。前記物体に描画された格子の変形後の模様を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをMx×Ny等分した輝度値を得る。そして、得られた輝度値を用いて、変形後の前記長方形内における位相を数18式により算出する。物体の変形後の格子模様を撮像した画像の画素ごとに前記長方形の領域をずらして画素ごとに位相を求める。
そして、前記物体の変形前後の各画素における位相差に基づいて物体面の変位を数20式に基づいて算出することができる。
格子を描画する物体の面は平面に限らない。物体表面の面内での変位を測定するので、物体の表面が曲面であってもよい。
1 光源
2 格子
3 物体
4 載置台
5 デジタルカメラ
6 撮像素子
7 レンズ
8 コンピュータ
8a データテーブル
8b 記録媒体
9 出力装置
L 光源の位置
V カメラレンズの中心
R 基準面の点
S 物体面の点
C z軸と格子面の交点
E 格子の原点
Q 光源から点Rへの光が格子面を通過する点
G 光源から点Sへの光が格子面を通過する点
B 物体面における点Sをz軸に垂直に投影した点
P 光源から点Rへの光が、物体面の点Sからz軸に垂直に投影した線を横切る点
I 基準面における点Rをz軸に垂直に投影した点
2 格子
3 物体
4 載置台
5 デジタルカメラ
6 撮像素子
7 レンズ
8 コンピュータ
8a データテーブル
8b 記録媒体
9 出力装置
L 光源の位置
V カメラレンズの中心
R 基準面の点
S 物体面の点
C z軸と格子面の交点
E 格子の原点
Q 光源から点Rへの光が格子面を通過する点
G 光源から点Sへの光が格子面を通過する点
B 物体面における点Sをz軸に垂直に投影した点
P 光源から点Rへの光が、物体面の点Sからz軸に垂直に投影した線を横切る点
I 基準面における点Rをz軸に垂直に投影した点
Claims (10)
- 物体面に投影された格子像または前記物体面に描画された格子を撮影した撮影像から選択した、x方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、前記投影されている格子像の格子または描画された格子の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny等分されているように、光学系を調節された状態で、撮影像を入力し、
前記撮影像から、前記格子像または前記格子の画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形領域(Mx、Nyは2以上の整数)を抽出し、前記長方形領域の画素の輝度を元に位相を求める計測方法。 - 基準面に投影された格子像を撮像するステップと、
前記基準面に投影された格子像を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、投影された格子像の位相が2mπ(mは整数)をMx×Ny等分されているように光学系を調節するステップと、
前記基準面に載置された物体に形成された格子像を撮像するステップと、
前記物体に形成された格子像を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをMx×Ny等分した輝度値を得るステップと、
前記輝度値を用いて位相を求めるステップと、
を含む計測方法。 - 変形前の物体に描画された格子を撮像するステップと、
前記物体に描画された格子を撮像した画像のx方向Mx画素、y方向Ny画素からなる長方形内(Mx、Nyは2以上の整数)において、描画された格子の位相が2mπ(mは整数)をほぼMx×Ny等分されているように光学系を調節するステップと、
前記物体に描画された格子の変形後の模様を撮像するステップと、
前記物体に描画された格子の変形後の模様を撮像した画像の、x方向Mx、y方向Ny画素からなるMx×Ny画素の長方形領域において、2mπをほぼMx×Ny等分した輝度値を得るステップと、
前記物体の変形前の前記輝度値を用いて前記長方形領域の変形前の位相を求めるステップと、該物体の変形前後の位相差に基づいて物体面の変位を求めるステップと、
を含む計測方法。 - 請求項2において、
前記輝度値を得るステップは、前記物体に投影された格子像を撮像した画像の画素毎に前記長方形領域をずらして前記位相を求める計測方法。 - 請求項3において、
前記輝度値を得るステップは、前記物体に描画された格子を撮像した画像の画素毎に前記長方形領域をずらして前記位相を求める計測方法。 - 請求項2または4において、全空間テーブル化手法を用いて、前記位相に基づいて物体面の位置を求める計測方法。
- 前記請求項2または4において、
前記x方向または前記y方向にピッチの異なる1以上の格子を用い、前記ピッチの異なる1以上の格子に基づいて位相値を求めるステップと、
前記ピッチの異なる格子に基づいて求めた位相より位相接続を行うステップと、を更に含む、計測方法。 - 前記請求項1乃至7のいずれか一つの計測方法を行う計測装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一つの計測方法を実行する計測プログラム。
- 請求項9に記載の計測プログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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