JP6884393B2 - 射影変換を用いて変形格子を長方形格子や正方形格子に変換して位相解析を行なう方法および装置 - Google Patents
射影変換を用いて変形格子を長方形格子や正方形格子に変換して位相解析を行なう方法および装置 Download PDFInfo
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Description
物体面の格子像をカメラにより撮影した撮影像により、物体面の位置に対応する位相を計測する計測方法であって、
前記格子画像の格子の1ピッチが整数画素とならない場合は、撮影した前記格子像を射影変換することにより、前記格子画像の格子の1ピッチが整数画素となるように変換する第1工程と、
前記第1工程により変換された前記格子画像を位相解析することにより前記物体面の位置に対応する位相を計測することを特徴とする。
<OPPA法>
従来のOPPA法では、図1A,図1Bに示すように、格子投影法の一つであるモアレトポグラフィの光学系において、物体上に投影された2の画像は、物体の高さに関係なく、カメラ内の撮像面では一定の長さとなり、高さにより格子の位相だけが異なる。撮影した格子1ピッチの輝度データより位相を解析することにより、すべての画素の位相の解析が可能となる。
2 格子
3 物体
4 載置台
5 デジタルカメラ
6 撮像素子
6S カメラ撮像面
6D カメラ撮像面
7 レンズ
8 コンピュータ
8a データテーブル
8b 記録媒体
9 出力装置
L 光源の位置
V カメラレンズの中心
R 基準面の点
R’ 基準面の点(基準面が格子面に対して平行ではない場合)
R’’ 仮想基準面(格子1ピッチが整数N画素となる面)
Claims (4)
- 物体面の格子像をカメラにより撮影した格子画像により、前記物体面の位置に対応する位相を計測する計測方法であって、
前記格子画像の格子の1ピッチが整数画素とならない場合は、撮影した前記格子画像を射影変換することにより、前記格子画像の格子の1ピッチが整数画素となるように変換する第1工程と、
前記第1工程により変換された前記格子画像を位相解析することにより前記物体面の位置に対応する位相を計測する計測方法。 - 前記カメラの光軸が前記物体面に投影される格子の格子面に対して傾いて配置された光学系を用いる請求項1に記載の計測方法。
- 前記物体面が曲面の場合、前記物体面の微小部分で射影変換のパラメータを変えながら撮影した前記格子画像を射影変換し、前記格子画像の格子の1ピッチが整数となるように曲面を平面に変換する請求項1に記載の計測方法。
- 前記請求項1〜3のいずれかの計測方法を行なう装置。
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