JP6590339B2 - 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
(1)位相解析による計測であるため精度が良い。
(2)1枚の画像で位相解析できるので、運動する物体の形状計測が可能である。
(3)フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、正確な余弦波の輝度分布をもつ格子を投影しなくても良い。
(4)また、フーリエ変換により周波数1のみを抽出しているので、高周波部分に現れるノイズは自動的に削除されるためノイズに強い。
(5)処理が簡単で、高速に処理ができる。
(6)ゲージ長がN画素となり、サンプリングモアレ法よりも短い。一般的に、デジタル画像相関法よりもゲージ長が短い。
(7)サンプリングモアレ法では直線補間によりモアレ縞を生成しているが、本発明は余弦波と相関をとっていることになるため、精度がより高い。
<光学系と座標>
図1,2に形状計測装置の格子投影機構と計測対象物の説明用概略図を示す。
格子の1周期pの影は、物体面ではpをz1/d倍したx1となり、基準面ではpをz2/d倍したx2となる。カメラ撮像面での大きさx4はx1をz3/z1倍したものであり、x5はx2をz3/z2倍した大きさであるから、x4とx5はともにpのz3/d倍になる。すなわち、カメラ撮像面に映る格子の1周期の大きさは光源面から格子までの距離と、カメラレンズの中心からカメラ撮像面までの距離の比によって定まり、物体面や基準面までの距離には影響されない。
<投影格子の位相>
いま、z=dにある格子の透過率分布Igは余弦波状になっており、次の式で示される。
モアレトポグラフィにおいては、等高線を表すモアレ縞の位相ΘMは、基準面に投影された格子の位相ΘRと物体の上に投影された格子の位相Θの差ΘM=Θ−ΘRとして求められる。これよりzが求められ、あるいは基準面からの高さh=zR−zが求められる。
基準面に一次元格子を投影する。これをデジタルカメラで撮影する。図4はこのようにして撮影した画像の一部の拡大説明図である。この例の場合、格子の1周期をカメラ撮像面のN画素(ここではN=8)となるように倍率を調節している。カメラ撮像面の画素が黒い長方形で表現されている。この図の斜線で示される部分は格子の輝度の低い部分を示し、その他の部分は格子の輝度の高い部分を示している。格子線に直角な方向をx方向、それに垂直な方向をy方向とする。カメラ撮像面における画素の座標を(i,j)とする。そして、i方向、j方向をそれぞれx方向およびy方向に合わせて撮影する。
(1)連続するN画素の画像データ(図5A)を一次元フーリエ変換する。
(2)これにより−N/2〜N/2の周波数スペクトル(図5B)が得られる。この中で最大のパワースペクトルをもつ、N画素を一周期とする周波数1または周波数−1の成分を抽出する。図5Bでは、周波数1だけを取り出している。
(3)その抽出した周波数の位相計算を行えば位相が得られる。そして、そのN画素の格子の先頭の画素に対応して記憶する。(図5C)
(4)次に、N画素の格子の組み合わせをx方向に1画素だけずらして(1)〜(3)の位相計算と記憶を繰り返す。
(5)x方向の移動がすべて終わったら(1)〜(4)の走査をすべてのy方向について行う。
2 格子
3 物体
4 載置台
5 デジタルカメラ
6 撮像素子
7 レンズ
8 コンピュータ
9 出力装置
L 光源の位置
V カメラレンズの中心
R 基準面の点
S 物体面の点
C z軸と格子面の交点
E 格子の原点
Q 光源から点Rへの光が格子面を通過する点
G 光源から点Sへの光が格子面を通過する点
B 物体面における点Sをz軸に垂直に投影した点
P 光源から点Rへの光が、物体面の点Sからz軸に垂直に投影した線を横切る点
I 基準面における点Rをz軸に垂直に投影した点
Claims (2)
- 基準面に対して、デジタルカメラのレンズの中心とプロジェクタの光源の高さが同じであり、前記デジタルカメラの撮像面および前記プロジェクタに備わった一次元の等間隔の格子線が描画された格子面が、前記基準面に平行であるモアレトポグラフィ光学系を用い、
計測対象物の物体面の格子像を前記デジタルカメラにより撮影した撮影像により、前記物体面の形状を計測する計測方法であって、
前記物体面の形状を計測する計測方法は、
前記格子線に直角な方向をx方向、前記x方向に垂直な方向をy方向、前記基準面に対して垂直な方向をz方向とし、前記格子線に前記デジタルカメラの撮影面における画素の座標を(i,j)とし、i方向、j方向を各々前記x方向、y方向に合わせ、前記プロジェクタの前記格子面が前記基準面に投影されて形成された格子像の1周期が、前記デジタルカメラの撮像面のN画素、ただしNは2より大きく前記デジタルカメラの撮像面の画素の数の範囲にある整数、に映るように設定する工程と、
前記基準面に前記プロジェクタの前記格子面の前記格子線を投影し前記基準面に前記格子像を形成する工程と、
前記格子像の格子の1周期が前記デジタルカメラの撮像面のN画素、ただしNは2より大きく前記デジタルカメラの撮像面の画素の数の範囲にある整数、に合わせられた状態で、前記デジタルカメラにより前記基準面に投影された前記格子像を撮影し撮影像を取得する工程と、
前記取得した撮影像をコンピュータに入力する工程と、
を有し、
前記コンピュータにより前記基準面における位相分布を求めるため、
(1)前記入力した前記撮影像から連続する前記N画素のデータを抽出する工程と、
(2)前記連続するN画素のデータに対して離散的フーリエ変換を行い、得られた周波数スペクトルの中から最大のパワースペクトルを持つ、前記N画素を1周期とする周波数1または周波数−1の周波数成分を抽出する工程と、
(3)前記抽出した周波数成分の位相を求め、前記N画素のいずれかの画素に対応して記憶する工程と、
(4)前記N画素の格子の組み合わせを前記i方向に1画素だけずらして、前記(1)〜前記(3)の処理を前記ずらしが可能な限り繰り返す工程と、
(5)前記(1)〜前記(4)の処理を前記j方向に可能な限り繰り返す工程と、により、前記基準面における前記格子像の位相分布を求める工程と、を実行し、
次に、
計測対象物の前記物体面に前記プロジェクタの前記格子面の前記格子線を投影し前記物体面に前記格子像を形成する工程と、
前記格子像の格子の1周期が前記デジタルカメラの撮像面のN画素、ただしNは2より大きく前記デジタルカメラの撮像面の画素の数の範囲にある整数、に合わせられた状態で、前記デジタルカメラにより前記物体面に投影された前記格子像を撮影し撮影像を取得する工程と、
前記取得した撮影像をコンピュータに入力する工程と、
前記コンピュータにより前記計測対象物の前記物体面の位相分布を求めるため、
(6)前記入力した前記撮影像から連続する前記N画素のデータを抽出する工程と、
(7)前記連続するN画素のデータに対して離散的フーリエ変換を行い、得られた周波数スペクトルの中から最大のパワースペクトルを持つ、前記N画素を1周期とする周波数1または周波数−1の周波数成分を抽出する工程と、
(8)前記抽出した周波数成分の位相を求め、前記N画素のいずれかの画素に対応して記憶する工程と、
(9)前記N画素の格子の組み合わせを前記i方向に1画素だけずらして、前記(6)〜前記(8)の処理を前記ずらしが可能な限り繰り返し実行する工程と、
(10)前記(6)〜前記(9)の処理を前記j方向に可能な限り繰り返す工程と、により、前記物体面における前記格子像の位相分布を求める工程と、を実行し、
前記基準面の位相および前記物体面の位相をそれぞれ位相接続する工程と、
前記前記位相接続の後に、前記デジタルカメラの各画素に前記物体面の位相と前記基準面との位相差であるモアレ縞の位相を求め、前記求めたモアレ縞の位相に基づいて、前記物体面の形状を求める工程と、
を有する計測方法。 - 前記請求項1の計測方法を行なう計測装置。
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