JPWO2017141999A1 - トンネル磁気抵抗素子及びその製造方法 - Google Patents
トンネル磁気抵抗素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017141999A1 JPWO2017141999A1 JP2018500183A JP2018500183A JPWO2017141999A1 JP WO2017141999 A1 JPWO2017141999 A1 JP WO2017141999A1 JP 2018500183 A JP2018500183 A JP 2018500183A JP 2018500183 A JP2018500183 A JP 2018500183A JP WO2017141999 A1 JPWO2017141999 A1 JP WO2017141999A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- magnetoresistive element
- tunnel magnetoresistive
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/098—Magnetoresistive devices comprising tunnel junctions, e.g. tunnel magnetoresistance sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F10/131—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing iron or nickel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F10/132—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing cobalt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F10/133—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing rare earth metals
- H01F10/135—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing rare earth metals containing transition metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3268—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the exchange coupling being asymmetric, e.g. by use of additional pinning, by using antiferromagnetic or ferromagnetic coupling interface, i.e. so-called spin-valve [SV] structure, e.g. NiFe/Cu/NiFe/FeMn
- H01F10/3272—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the exchange coupling being asymmetric, e.g. by use of additional pinning, by using antiferromagnetic or ferromagnetic coupling interface, i.e. so-called spin-valve [SV] structure, e.g. NiFe/Cu/NiFe/FeMn by use of anti-parallel coupled [APC] ferromagnetic layers, e.g. artificial ferrimagnets [AFI], artificial [AAF] or synthetic [SAF] anti-ferromagnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE]
- H01F41/302—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F41/305—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices applying the spacer or adjusting its interface, e.g. in order to enable particular effect different from exchange coupling
- H01F41/307—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices applying the spacer or adjusting its interface, e.g. in order to enable particular effect different from exchange coupling insulating or semiconductive spacer
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
Description
自由磁性層には、外部からの磁場に反応しやすい軟磁性層(NiFeやCoFeSiBなど)を配置し、さらに、絶縁層に接合する強磁性層と軟磁性層との間に磁気結合層を介在させることで、磁気トンネル接合と軟磁性材料との固体物性上の結合は排除しつつ、磁気的な結合のみ発生させるシンセティック結合が利用されている。これにより、外部からの磁場に反応しやすい軟磁性材料の磁気特性変化に連動して絶縁層の抵抗を変化させ、高感度化が可能である。
例えば、特許文献1において自由磁性層は、絶縁層と接合するCoFeBからなる強磁性層と、NiFeからなる軟磁性層と、それらの間に介在するRuからなる磁気結合層とを備えた構成とされている。
従来、磁気結合層の厚さは薄いほど磁気トンネル接合と軟磁性材料とのシンセティック結合が強固で安定し、磁気的な挙動も安定するとして、磁気結合層は0.5nm程度と非常に薄く設定されている(特許文献1の実施例では0.85nm)。
上記の現象は、例えば、トンネル磁気抵抗素子を形成するための磁場中熱処理や、リフローにより基板にトンネル磁気抵抗素子を含むモジュールを実装する際に、大きな問題となっている。
前記自由磁性層は、前記絶縁層に接合する強磁性層、NiFeからなる軟磁性層、及びこれらの間に介在する磁気結合層を有し、 前記磁気結合層の材料がRu又はTaからなり、層厚が1.0nmから1.3nmであることを特徴とするトンネル磁気抵抗素子である。
前記トンネル磁気抵抗素子に対して、外部磁界を印加しながら第1の温度で第1の熱処理を行い、該第1の温度よりも低い第2の温度でかつ前記第1の熱処理とは向きを異ならせて外部磁界を印加しながら第2の熱処理を行うことで、前記強磁性金属磁化自由層の容易磁化軸を、前記強磁性金属磁化固定層の容易磁化軸に対して異なる方向にするにあたり、
前記第1の温度を340℃から370℃とすることを特徴とするトンネル磁気抵抗素子の製造方法である。
自由磁性層4は、下から軟磁性層41、磁気結合層42、強磁性層43が積層された積層構造を有する。
固定磁性層6は、下から強磁性層61、磁気結合層62、強磁性層63、反強磁性層64が積層された積層構造を有する。
軟磁性層41は、外部からの磁場の影響を受けて磁化の向きが変化し、強磁性層43より反応しやすい。軟磁性層41の厚みは、薄いとTMR比が大きくなり、厚いと2Hkが小さくなるため、バランスよく設定される。軟磁性層41を構成するNiFeは、FCC結晶構造となる。
磁気結合層42は、軟磁性層41と強磁性層43とを磁気的に結合させる。磁気結合層42は、軟磁性層41を構成するNiFeの結晶構造と、強磁性層43を構成するCoFeBの結晶構造とを切り離す役目を有する。磁気結合層42が薄すぎると、CoFeBの結晶構造がNiFeの結晶構造に影響される。
強磁性層43は、絶縁層5と結晶構造が一致し、スピンジャンプを保持する。強磁性層43を構成するCoFeBは、BCC結晶構造となる。磁気結合層42の介在により軟磁性層41と強磁性層43とがシンセティック結合する。
強磁性層61は、絶縁層5と結晶構造が一致し、スピンジャンプを保持する。強磁性層61を構成するCoFeBは、BCC結晶構造となる。強磁性層61は、成膜時はアモルファス構造で、熱処理によりBが抜けてBCC結晶に成長し、抜けたBはTa層やMgO層に移動する。
磁気結合層62は、強磁性層61と強磁性層63とを磁気的に結合させる。磁気結合層62の厚みにより、強磁性層61を構成するCoFeBと強磁性層63を構成するCoFeとの結合の仕方が変化する。その変化は0.4nm毎に繰り返す。磁気結合層62の厚みは、薄いほど結合強度が得られるが、薄すぎると熱処理できなくなる。
強磁性層63は、強磁性層61とシンセティック結合する。強磁性層63を構成するCoFeは、FCC結晶構造となる。
反強磁性層64を構成するIrMnは、強磁性層63を構成するCoFeの結晶化に影響し、強磁性層63の磁化の向きの固定化を促進する。
保護層8は、経年劣化防止する保護作用がある。但し、上層の電極をすぐ製作する場合は省略される場合もある。
電極下地層9は、上部電極層10の付着性向上等のための下地である。
上部電極層10に、ワイヤーボンディングなどで配線が接合される。
各層は、例えば、マグネトロンスパッタリング法により形成することができる。また、所望の結晶構造を得る等の目的のために、必要に応じて熱処理を施すとよい。本実施形態にあっては、図2A,図2Bに示すように、自由磁性層4の容易磁化軸4aは、固定磁性層6の容易磁化軸6aに対してねじれの位置にある。このような関係の容易磁化軸4a,6aを得るために、各層を積層した基板2を炉に納めるとともに磁界中に置き、図3に示すように温度条件の異なる2回の熱処理を行う。
まず、第1の熱処理を行うことで、自由磁性層4及び固定磁性層6に誘導磁気異方性が付加され、自由磁性層4の容易磁化軸4a及び固定磁性層6の容易磁化軸6aが形成される。但し、容易磁化軸4aと容易磁化軸6aとが同方向を向いている。第2の熱処理の温度変遷グラフA2における頂点温度(第2の温度)は、第1の熱処理の温度変遷グラフA1における頂点温度(第1の温度)より低く(好適には10℃以上低く)、第1の熱処理の後、好ましくは室温付近まで冷却した後、第2の熱処理を行うことで固定磁性層6の容易磁化軸6aが容易磁化軸4aに対してねじれの位置に形成される。容易磁化軸4aは、第1の熱処理時の磁界方向に沿って形成される。容易磁化軸6aは、第2の熱処理時の磁界方向に沿って形成される。したがって、第1の熱処理時の磁界方向に対し第2の熱処理時の磁界方向を変えることで容易磁化軸6aを容易磁化軸4aに対してねじれの位置にすることができる。第1の熱処理時の磁界方向及び第2の熱処理時の磁界方向は層に平行である。したがって、基板2上の積層方向の軸(=基板2に垂直な軸)まわりに磁界方向を回転させることで、容易磁化軸6aを容易磁化軸4aに対してねじれの位置にすることができる。熱処理時間に特に制限はなく、例えば10分〜2時間程度行えばよく、また、第1の熱処理よりも第2の熱処理の時間を短くすることが好ましい。熱処理の際の磁界にも特に制限はなく、例えば0.01〜2[T]の範囲で行えばよく、また、第1の熱処理よりも第2の熱処理における外部磁界を小さくすることが好ましい。
トンネル磁気抵抗素子1の耐熱性を向上し、より高温の磁場中熱処理後に優れた磁気抵抗特性を獲得させるために、磁気結合層42の層厚を1.0nmから1.3nmとし、第1の熱処理の温度変遷グラフA1における頂点温度(第1の温度)を340℃から370℃とする。
図4のグラフは、第1の温度を350℃とし、磁気結合層42の層厚を0.85,1.0,1.1,1.35(nm)として上記実施形態に従いそれぞれ製作したトンネル磁気抵抗素子1の磁気抵抗特性を示す。
磁気結合層42の層厚が1.0nmから1.3nmである範囲で、この範囲を下回る場合及び上回る場合に対して、高く安定したTMR比性能が得られた。
2 基板
3 下地層
4 自由磁性層
4a 容易磁化軸
5 絶縁層
6 固定磁性層
6a 容易磁化軸
7 耐腐食層
8 保護層
9 電極下地層
10 上部電極層
41 軟磁性層
42 磁気結合層
43 強磁性層
61 強磁性層
62 磁気結合層
63 強磁性層
64 反強磁性層
Claims (2)
- 磁化の向きが固定された固定磁性層、外部からの磁場の影響を受けて磁化の向きが変化する自由磁性層、及び、前記固定磁性層と前記自由磁性層との間に配置された絶縁層により、磁気トンネル接合を形成し、前記固定磁性層の磁化の向きと前記自由磁性層の磁化の向きとの角度差に従ってトンネル効果により絶縁層の抵抗を変化させるトンネル磁気抵抗素子であって、
前記自由磁性層は、前記絶縁層に接合する強磁性層、NiFeからなる軟磁性層、及びこれらの間に介在する磁気結合層を有し、
前記磁気結合層の材料がRu又はTaからなり、層厚が1.0nmから1.3nmであることを特徴とするトンネル磁気抵抗素子。 - 請求項1に記載のトンネル磁気抵抗素子を製造する方法であって、
前記トンネル磁気抵抗素子に対して、外部磁界を印加しながら第1の温度で第1の熱処理を行い、該第1の温度よりも低い第2の温度でかつ前記第1の熱処理とは向きを異ならせて外部磁界を印加しながら第2の熱処理を行うことで、前記強磁性金属磁化自由層の容易磁化軸を、前記強磁性金属磁化固定層の容易磁化軸に対して異なる方向にするにあたり、
前記第1の温度を340℃から370℃とすることを特徴とするトンネル磁気抵抗素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016029566 | 2016-02-19 | ||
JP2016029566 | 2016-02-19 | ||
PCT/JP2017/005608 WO2017141999A1 (ja) | 2016-02-19 | 2017-02-16 | トンネル磁気抵抗素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017141999A1 true JPWO2017141999A1 (ja) | 2018-12-13 |
JP6978000B2 JP6978000B2 (ja) | 2021-12-08 |
Family
ID=59626053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018500183A Active JP6978000B2 (ja) | 2016-02-19 | 2017-02-16 | トンネル磁気抵抗素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10559748B2 (ja) |
JP (1) | JP6978000B2 (ja) |
WO (1) | WO2017141999A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114034932A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-02-11 | 之江实验室 | 一种测量亚铁磁垂直各向异性薄膜的平面霍尔电阻的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000332318A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-11-30 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
JP2013105825A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Konica Minolta Advanced Layers Inc | 生体磁気センサー及びその製造方法 |
WO2015008718A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6822838B2 (en) * | 2002-04-02 | 2004-11-23 | International Business Machines Corporation | Dual magnetic tunnel junction sensor with a longitudinal bias stack |
JP2003324225A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Nec Corp | 積層フェリ型磁性薄膜並びにそれを使用した磁気抵抗効果素子及び強磁性トンネル素子 |
US9768377B2 (en) * | 2014-12-02 | 2017-09-19 | Micron Technology, Inc. | Magnetic cell structures, and methods of fabrication |
-
2017
- 2017-02-16 JP JP2018500183A patent/JP6978000B2/ja active Active
- 2017-02-16 US US16/077,601 patent/US10559748B2/en active Active
- 2017-02-16 WO PCT/JP2017/005608 patent/WO2017141999A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000332318A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-11-30 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
JP2013105825A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Konica Minolta Advanced Layers Inc | 生体磁気センサー及びその製造方法 |
WO2015008718A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー及びその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114034932A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-02-11 | 之江实验室 | 一种测量亚铁磁垂直各向异性薄膜的平面霍尔电阻的方法 |
CN114034932B (zh) * | 2021-11-04 | 2022-04-19 | 之江实验室 | 一种测量亚铁磁垂直各向异性薄膜的平面霍尔电阻的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6978000B2 (ja) | 2021-12-08 |
US10559748B2 (en) | 2020-02-11 |
US20190044058A1 (en) | 2019-02-07 |
WO2017141999A1 (ja) | 2017-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11309489B2 (en) | Magnetic tunnel junction with low defect rate after high temperature anneal for magnetic device applications | |
US9425387B1 (en) | Magnetic element with perpendicular magnetic anisotropy for high coercivity after high temperature annealing | |
US10746526B2 (en) | Strain sensing element and pressure sensor | |
JP5429480B2 (ja) | 磁気抵抗素子、mram、及び磁気センサー | |
US9705075B2 (en) | Cobalt (Co) and platinum (Pt)-based multilayer thin film having inverted structure and method for manufacturing same | |
JP2017505538A5 (ja) | ||
JPWO2015033464A1 (ja) | 磁気センサ素子 | |
JP6199730B2 (ja) | 電流センサ及び電流センサモジュール | |
US10243139B2 (en) | Magnetoresistive effect element | |
US8900884B2 (en) | MTJ element for STT MRAM | |
JP2018073913A5 (ja) | ||
JP2018073913A (ja) | 磁気センサおよびその製造方法 | |
JP2015179779A (ja) | 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル | |
US9753100B2 (en) | Magnetic sensor | |
WO2017141999A1 (ja) | トンネル磁気抵抗素子及びその製造方法 | |
US20200313083A1 (en) | Magnetoresistive element, manufacturing method thereof and magnetic sensor | |
JP6969751B2 (ja) | トンネル磁気抵抗素子及び磁化方向補正回路 | |
US9523746B2 (en) | Giant magnetoresistance element and current sensor using the same | |
US10998131B2 (en) | Multilayer device having an improved antiferromagnetic pinning layer and a corresponding manufacturing method | |
JP6331862B2 (ja) | 磁気抵抗素子 | |
JP6457614B2 (ja) | 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル | |
JP2022538384A (ja) | 異方性磁場の低い2次元外部磁場を検知する磁場センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190617 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6978000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |