JPWO2017122714A1 - 流量測定可能なガス供給装置、流量計、及び流量測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
⇔ Va=Pb・Vb/(Pa−Pb)・・・(2)
上記式(2)を用いて、流路体積Vaが演算され、メモリ12bに記憶される(ステップ8)。
上記のようにして測定した流量Qcのデータは、例えば、外部コンピュータ18に送られ、外部コンピュータ18において、流量制御器2の設定された流量Qsと比較検証が行われ得る。
1B ガス供給装置
1C 流量計
2 流量制御器
3 第1遮断弁
4a、4b ガス排出口
5 第1の流路
6 第2遮断弁
7 第2の流路
7a 分岐流路
7b 継続流路
8 第3遮断弁
9 圧力検出器
10 温度検出器
11 体積測定用タンク
12 演算制御装置
13 第4遮断弁
14,21 継手
16 電気コネクタ
22 第5遮断弁
Va 流路体積
Claims (10)
- 流通するガス流量を制御する流量制御器と、
前記流量制御器の下流に設けられた第1遮断弁と、
前記第1遮断弁の下流側に連通する第1の流路に設けられた第2遮断弁と、
前記第1遮断弁と前記第2遮断弁との間で前記第1の流路から分岐する第2の流路と、
前記第2の流路に設けられた第3遮断弁と、
前記第1遮断弁、前記第2遮断弁、及び前記第3遮断弁により囲まれる流路内の圧力を検出するための圧力検出器と、
前記第1遮断弁、前記第2遮断弁、及び前記第3遮断弁により囲まれる流路内の温度を検出するための温度検出器と、
前記第3遮断弁の下流に接続され既知体積を有する体積測定用タンクと、
演算制御装置と、を備え、
前記演算制御装置は、前記第1遮断弁、前記第2遮断弁、及び前記第3遮断弁により囲まれる流路体積を、前記第3遮断弁の開状態と閉状態とにボイルの法則を適用することにより求めるとともに、前記流路体積と前記圧力検出器及び前記温度検出器の検出値とを用いて前記流量制御器の流量を演算する、
流量測定可能なガス供給装置。 - 前記体積測定用タンクの上流位置で前記第2の流路に設けられた着脱可能な継手を備える、請求項1に記載の流量測定可能なガス供給装置。
- 前記第3遮断弁と前記体積測定用タンクとの間に第4遮断弁を備え、前記第3遮断弁と前記第4遮断弁との間に前記継手が設けられている、請求項2に記載の流量測定可能なガス供給装置。
- 前記演算制御装置が、電気コネクタを介して、前記圧力検出器及び前記温度検出器と着脱可能に接続されている、請求項1に記載の流量測定可能なガス供給装置。
- 前記圧力検出器及び前記温度検出器より上流位置で前記第2の流路に前記継手が設けられるとともに、前記継手より上流位置で前記第2の流路に第5遮断弁を備える、請求項2に記載の流量測定可能なガス供給装置。
- 前記流量制御器を複数個備え、各流量制御器の下流に前記第1遮断弁が設けられ、各第1遮断弁の下流側が前記第1の流路に連通している、請求項1に記載の流量測定可能なガス供給装置。
- 流通するガス流量を制御する流量制御器と、前記流量制御器の下流に設けられた第1遮断弁と、前記第1遮断弁の下流側に連通する第1の流路に設けられた第2遮断弁と、前記第1遮断弁と前記第2遮断弁との間で前記第1の流路から分岐する分岐流路と、前記分岐流路に設けられた第5遮断弁と、を備えるガス供給装置に、着脱可能とされて前記流量制御器の流量を測定するための流量計であって、
前記第5遮断弁の下流側で前記分岐流路に着脱可能な継手と、
前記継手に接続された継続流路に設けられた第3遮断弁と、
前記継続流路の内部の圧力を検出するための圧力検出器と、
前記継続流路の内部の温度を検出するための温度検出器と、
前記第3遮断弁の下流に接続され既知体積を有する体積測定用タンクと、
演算制御装置と、を備え、
前記演算制御装置は、前記継手が前記分岐流路に接続された状態で前記第1遮断弁、前記第2遮断弁、及び前記第3遮断弁により囲まれる流路体積を、前記第3遮断弁の開状態と閉状態とにボイルの法則を適用することにより求めるとともに、前記流路体積と前記圧力検出器及び前記温度検出器の検出値とを用いて前記流量制御器の流量を演算する、
前記流量計。 - 流量制御器の下流側に接続された第1遮断弁、前記第1遮断弁の下流側に連通する第1の流路に設けられた第2遮断、及び、前記第1遮断弁と前記第2遮断弁との間で前記第1の流路から分岐する流路に設けられた第3遮断弁により囲まれる流路体積を、前記第3遮断弁の下流側に接続された既知体積を有する体積測定用タンクを用いて測定し、前記流路体積を用いてROR法により前記流量制御器の流量を測定する流量測定方法であって、
前記第1遮断弁を閉じるとともに、前記第2遮断弁及び前記第3遮断弁を開き、前記第2遮断弁を通じて排気する第1ステップと、
前記第2遮断弁及び前記第3遮断弁を閉じる第2ステップと、
前記第1遮断弁を開き、前記流量制御器を通じて設定流量のガスを流した後に前記第1遮断弁を閉じてから、前記第1又は第2の流路内の第1の圧力を検出する第3ステップと、
前記第3遮断弁を開き、前記第1遮断弁、第2遮断弁及び第3遮断弁により囲まれる流路内の第2の圧力を検出する第4ステップと、
前記前記第1遮断弁、第2遮断弁及び第3遮断弁により囲まれる前記流路体積を、前記第1の圧力、前記第2の圧力、及び前記体積測定用の既知体積を用いてボイルの法則により演算する第5ステップと、
を含む、前記流量測定方法。 - 前記第1遮断弁及び前記第3遮断弁を閉じるとともに、前記第2遮断弁を開き、前記第2遮断弁を通じて排気する第6ステップと、
前記第1遮断弁を開き、前記流量制御器を通じて設定流量のガスを流す第7ステップと、
前記第2遮断弁を閉じるとともに、前記第1遮断弁、第2遮断弁及び第3遮断弁により囲まれる流路内の第3の圧力を検出する第8ステップと、
前記第1遮断弁、第2遮断弁及び第3遮断弁により囲まれる流路内の温度を測定する第9ステップと、
前記第8ステップから所定時間経過後、第1遮断弁、第2遮断弁及び第3遮断弁により囲まれる流路内の第4の圧力を検出する第10ステップと、
前記第3の圧力及び前記第4の圧力から圧力上昇率を演算し、演算した圧力上昇率と、前記第5のステップにおいて測定された流路体積と、前記第9ステップにおいて測定された温度とを用い、前記流量制御器の流量を演算する第11ステップと、
を含む、請求項8に記載の流量測定方法。 - 前記流量制御器は複数が並列状に設けられるとともに、各々の前記流量制御器の下流側が前記第1の流路によって連通しており、複数の流量制御器のうちの所望の流量制御器の流量が測定される、請求項8に記載の流量測定方法。
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