JPWO2017110765A1 - めっき装置 - Google Patents
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Abstract
めっき装置（１０）は、めっき液（２２）が注入される水槽（３０）と、水槽（３０）内に設置される陽極としての筒状のノズル（４０ａ）を有するノズル部（４０）と、水槽（３０）内に陽極に平行に設置される陰極としての被めっき物（２０）と、ノズル部（４０）と被めっき物（２０）との間に電圧を印加する直流電源（６０）と、水槽（３０）に注入されためっき液（２２）がノズル（４０ａ）を通って被めっき物（２０）へ噴出されるように循環させるポンプ（７０）とを有する。ノズル（４０ａ）の内径よりも小径の貫通穴（４２ａ）を有する穴開き板部材（４２）を、ノズル（４０ａ）の開口領域に貫通穴（４２ａ）が対向するように、ノズル部（４０）の流入側に配設した。
Description
本発明は、被めっき物に均一なめっき膜を形成可能なめっき装置に関する。
近年、めっき技術は、様々な技術分野で応用されており、半導体の配線技術にも使用されている。半導体分野では、半導体の高集積化及び高性能化を実現するために、半導体の配線ピッチを縮小することが要求されている。最近では、被めっき物としてのシリコンウェハ上に形成された酸化膜にドライエッチングによって配線用の溝を形成し、その溝をめっきして配線材料を埋め込む手法が多く用いられている。
実際に被めっき物を電気めっきする場合、例えば水槽内にめっき液を注入し、このめっき液を陽極側のノズルから陰極側の被めっき物に向けて噴出させて、めっきを行なう。この場合、陰極近傍の金属イオンが析出して陰極近傍の金属イオン濃度が低下するため、陰極である被めっき物に向けて新しいめっき液をノズルから高速で噴出させながら、めっきする。これにより、陰極側の被めっき物近傍の金属イオン濃度を均一にすることにより、被めっき面に形成されるめっき膜の厚さを均一にすることができる。この種の技術として特許文献１の装置がある。
しかし、上述したようにノズルからめっき液を被めっき物に高速で噴出させると、この噴出されためっき液に多くの泡（気泡）が発生してめっき面に当たる。泡が当たっているめっき面部分では、泡に邪魔されてめっき液が当たりずらくなる。このため、めっき面に模様｛図２Ｂ参照｝や、焦げ付き跡｛図２Ｃ参照｝等が付くことになり、めっき面全体に均一なめっき膜が形成できなくなるという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、被めっき物のめっき面に均一なめっき膜を形成することができるめっき装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するための手段として、本発明は、めっき液が注入される水槽と、当該水槽内に設置される陽極としての筒状のノズルと、当該水槽内に前記ノズルに対向して設置される陰極としての被めっき物と、前記ノズルと前記被めっき物との間に電圧を印加する直流電源と、前記水槽に注入されためっき液が前記ノズルを通って前記被めっき物へ噴出されるように前記めっき液を循環させるポンプとを有するめっき装置において、前記ノズルの流入側の開口を、当該ノズルの内径よりも小径に制限する開口制限手段を備えることを特徴とするめっき装置である。
本発明によれば、被めっき物のめっき面に均一なめっき膜を形成することができるめっき装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
＜実施形態の構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るめっき装置の構成を示す縦断面図である。
図１に示すめっき装置１０は、シリコンウェハ等の被めっき物２０のめっき面２０ａに均一なめっき膜｛図２Ａの符号２２ａ参照｝を形成するものである。めっき装置１０は、大きく分類して、水槽３０と、ノズル部４０と、被めっき物セット部５０と、直流電源（電源）６０と、ポンプ７０とを備えて構成されている。
＜実施形態の構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るめっき装置の構成を示す縦断面図である。
図１に示すめっき装置１０は、シリコンウェハ等の被めっき物２０のめっき面２０ａに均一なめっき膜｛図２Ａの符号２２ａ参照｝を形成するものである。めっき装置１０は、大きく分類して、水槽３０と、ノズル部４０と、被めっき物セット部５０と、直流電源（電源）６０と、ポンプ７０とを備えて構成されている。
水槽３０は、例えば透明なアクリル等の樹脂材により形成され、全体が直方体形状を成し、直方体形状の内部の底面に、上方へ角筒状に突出したノズル固定部３１が設けられている。また、水槽３０の底面部３２は所定の厚みを有し、この底面部３２には、底面３２ａと外部側面３２ｂとの間をＬ字形状に貫通する流路３３が形成されている。流路３３の底面３２ａに抜ける開口は、ノズル固定部３１の角筒内に位置している。本実施形態では、ノズル固定部３１は角筒状として説明するが、円筒形状等の他の形状であってもよい。
更に、水槽３０の上部開口には、角板状の蓋３４が取り付けられている。この蓋３４は、その上部開口を開閉可能なように図示せぬ蝶番等の金具で組み付けられており、上部開口を閉塞状態でロック可能となっている。蓋３４の中央部には、貫通するネジ穴３４ａが形成され、ネジ穴３４ａに押圧ネジ３５が螺合されている。本実施形態では、押圧ネジ３５とするが、押圧ネジ３５に代え、バネの入ったプランジャを用い、蓋３４を閉めるだけで一定の圧力が掛かるようにしてもよい。
ノズル部４０は、金属製の部材によりハット形状に形成され、円筒形状のノズル４０ａと、当該ノズル４０ａの下端開口縁から水平に四角状に拡がって突き出た四角枠状の周回平面部４０ｂを有する。このノズル部４０は、周回平面部４０ｂが水槽３０のノズル固定部３１の上端面に、四角枠状のパッキン４１及び穴開き板部材４２を介して載置固定されている。なお、穴開き板部材４２は、請求項記載の開口制限手段を構成する。なお、ノズル固定部３１が上述したように円筒形状の場合は、ノズル部４０の周回平面部４０ｂ、パッキン４１及び穴開き板部材４２は、環状枠形状となる。
パッキン４１は、シリコーンゴム等の弾性材料により、ノズル固定部３１の上端面と同じ四角枠状に形成されている。
穴開き板部材４２は、角筒状のノズル固定部３１の外径と同じ外径のガラスエポキシ基板等の固形部材を用いて形成されており、中央部にノズル４０ａの内径よりも小さい貫通穴４２ａが形成されている。貫通穴４２ａの径は、例えばノズル４０ａの開口径がφ１５ｍｍ位で有れば、φ８ｍｍ位である。この貫通穴４２ａの径サイズは、後述のように、めっき液２２が所定速度で貫通穴４２ａを通過時にノズル４０ａ内で乱流状態となることが可能なサイズであればよい。
穴開き板部材４２は、角筒状のノズル固定部３１の外径と同じ外径のガラスエポキシ基板等の固形部材を用いて形成されており、中央部にノズル４０ａの内径よりも小さい貫通穴４２ａが形成されている。貫通穴４２ａの径は、例えばノズル４０ａの開口径がφ１５ｍｍ位で有れば、φ８ｍｍ位である。この貫通穴４２ａの径サイズは、後述のように、めっき液２２が所定速度で貫通穴４２ａを通過時にノズル４０ａ内で乱流状態となることが可能なサイズであればよい。
ノズル部４０の周回平面部４０ｂの上には、当該周回平面部４０ｂと同じ四角枠状の絶縁部材４３が載置固定されている。絶縁部材４３の上には、被めっき物セット部５０が載置固定されている。
被めっき物セット部（セット部）５０は、四角状を成し、この角筒形状の角筒部５０ａの内側空間を上と下の空間に隔てる隔壁部５１が設けられている。この隔壁部５１は、角筒部５０ａの上下開口方向に対して直交状態に設けられている。隔壁部５１の中央部には、四角形状の貫通穴５１ａが形成されている。この貫通穴５１ａの対角線のサイズと、ノズル４０ａの内径とは略同じ大きさとなっている。また、貫通穴５１ａの被めっき物２０側は、めっき面２０ａ側からＬ字流路５３の流入口に向かって傾斜する断面テーパ形状５１ｂとなっている。また、断面テーパ形状５１ｂの開口は、めっき面２０ａに対応する大きさとなっている。
また、隔壁部５１の下方側には、角筒部５０ａの内周面から中心に向かって四角状に拡がって突き出た四角枠状の周回突出部５２が、隔壁部５１の下面と一体構成で設けられている。周回突出部５２で四角枠状に囲まれて形成された内部空間は、ノズル４０ａが収容可能なサイズとなっている。
周回突出部５２の内部空間の開口端は、角筒状のノズル固定部３１の端面サイズと略同じであり、周回突出部５２の下面が絶縁部材４３の上面に載置可能なサイズとなっている。つまり、周回突出部５２が、この下方側の絶縁部材４３、ノズル部４０の周回平面部４０ｂ、穴開き板部材４２及びパッキン４１を介して、水槽３０のノズル固定部３１に載置され、これによりセット部５０が水槽３０内の所定位置に配置されている。
セット部５０の角筒部５０ａ及び隔壁部５１には、貫通穴５１ａの内周面から隔壁部５１の壁内を水平に外方へ向かって貫通し、この水平貫通方向に対して垂直に角筒部５０ａの壁内を下方へ向かって貫通する断面Ｌ字形状のＬ字流路５３が形成されている。Ｌ字流路５３は、図１では対向状態に２つ形成されているが、１つ又は３つ以上であってもよく、流路径も任意サイズに形成可能である。なお、Ｌ字流路５３は、請求項記載の屈折流路を構成する。
隔壁部５１の上面にはマスク部材５４が載置固定されている。マスク部材５４には、隔壁部５１の断面テーパ形状５１ｂの開口と同じサイズで貫通しためっき形成穴（穴）５４ａが形成されている。このマスク部材５４は、穴５４ａ以外の部分で被めっき物２０を被覆し、穴５４ａから露出しためっき面２０ａに、めっきを施すためのものである。なお、めっき形成穴５４ａは、隔壁部５１の貫通穴５１ａよりも小さいサイズでもよい。また、マスク部材５４は、被めっき物２０の穴５４ａからの露出部分以外を全て被覆可能な大きさとなっている。
マスク部材５４の上に載置された被めっき物２０の上には、陰極付押圧部（押圧部）５５が載置される。押圧部５５は、直方体形状又は円柱形状を成し、電源６０の負極に接続された導線６１が挿入され、この導線６１が押圧部５５の内部を通って下面の図示せぬ電極に接続されている。その電極が被めっき物２０に電気的に当接するようになっている。また、電源６０の正極は、導線６１を介してノズル部４０の周回平面部４０ｂに接続されている。
電源６０から陽極側のノズル部４０と陰極側の被めっき物２０に電圧を印加すると、例えば銅イオン等の陽イオンを含んだめっき液２２に電流が流れ、陰極側の被めっき物２０のめっき面２０ａで還元反応が起こり、めっき液２２中の金属が析出してめっき面２０ａに、図２Ａに示すような、めっき膜２２ａが成長する。また、図１に示す陽極側のノズル部４０では、陽極の溶解反応が起こり、めっき液中にめっき金属イオンが供給されるようになっている。
押圧部５５の上方には、蓋３４に螺合された押圧ネジ３５が配置される。押圧ネジ３５を時計回り（右回り）に回すことにより、押圧ネジ３５が下がり押圧部５５を下方側へ押圧する。この押圧により、押圧部５５の下方側の各部（後述）を水槽３０のノズル固定部３１に水密状に押し付けて固定可能となっている。各部とは、上から順に、被めっき物２０、マスク部材５４、セット部５０の隔壁部５１及び周回突出部５２、絶縁部材４３、ノズル部４０の周回平面部４０ｂ、穴開き板部材４２、パッキン４１である。
上記の押圧部５５による固定状態では、セット部５０の角筒部５０ａ及びノズル固定部３１の双方の外周側の第１空間Ｓ１と、ノズル部４０を境界とする下方側の第２空間Ｓ２と、上方側の第３空間Ｓ３とが各々分離される。但し、第１〜第３空間Ｓ１〜Ｓ３は、めっき液２２の貯留部又は通過部である。また、第２空間Ｓ２と第３空間Ｓ３とは、穴開き板部材４２の貫通穴４２ａで連通され、第３空間Ｓ３と第１空間Ｓ１とは、複数のＬ字流路５３で連通されている。更に、第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とは、ポンプ７０を介した矢印で示す配管７２，７３及び流路３３で連通されている。
ポンプ７０は、作動時に第１空間Ｓ１に溜まっためっき液２２を、配管７２，７３及び流路３３を介して矢印Ｙ１で示すように第２空間Ｓ２へ流動させ、第２空間Ｓ２から貫通穴４２ａ及びノズル４０ａを介して第３空間Ｓ３へ流動させ、更に第３空間Ｓ３から第１空間Ｓ１へ流動させるといった循環を行うものである。但し、その循環時に、めっき液２２は、第１空間Ｓ１の角筒部５０ａの上端を超えない容量に注入されている。
＜実施形態の動作＞
次に、本実施形態のめっき装置１０により被めっき物２０にメッキを施す場合の動作を説明する。前提条件として、図１に示すようにめっき装置１０が組立てられ、被めっき物２０がセットされて、めっき液２２が必要量貯留されているとする。
次に、本実施形態のめっき装置１０により被めっき物２０にメッキを施す場合の動作を説明する。前提条件として、図１に示すようにめっき装置１０が組立てられ、被めっき物２０がセットされて、めっき液２２が必要量貯留されているとする。
まず、ポンプ７０を起動してめっき液２２が流れてから電源６０をオンとする。これによって、第１空間Ｓ１に溜まっためっき液２２が配管７２，７３及び流路３３を介して矢印Ｙ１で示すように第２空間Ｓ２へ流動する。この流動するめっき液２２は、更に、第２空間Ｓ２において穴開き板部材４２に当たりながら、一部のめっき液２２が貫通穴４２ａを抜けて上方のノズル４０ａへ流動する。この際、めっき液２２が小さい径の貫通穴４２ａを抜け、その径よりも大きい内周径のノズル４０ａ内へ流入するので、ノズル４０ａ内で内周面方向へ拡がり乱流が生じる。この乱流状態のめっき液２２がノズル４０ａから噴出され、上方の被めっき物２０のめっき面２０ａに当たる。
ここで、図３に、穴開き板部材４２（図１）が配設されていない比較例としてのめっき装置１０Ａを示し、このめっき装置１０Ａにおけるめっき液２２のノズル４０ａの通過状態について説明する。めっき装置１０Ａにおいては、ポンプ７０の作動により流路３３から矢印Ｙ１で示すように第２空間Ｓ２に流動して来ためっき液２２が、ノズル４０ａの入口から矢印Ｙ２で示すように流動して出口から噴出される。この噴出されためっき液２２は矢印Ｙ３で示すようにめっき面２０ａに当たって、矢印Ｙ４で示すように、めっき面２０ａに沿った外方へ流れる。
つまり、めっき装置１０Ａにおいては、ノズル４０ａの入口と出口の径が同じなので、矢印Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３で示すように、ノズル４０ａの入口から流入され、出口から噴出されるめっき液２２は層流となる。このため、めっき液２２がめっき面２０ａの中央付近に当たり易く、角部分には余り当たらず、このため、気泡が角部分に付着し易くなる。
つまり、めっき液２２がめっき面２０ａに当たって、矢印Ｙ４で示すように、めっき面２０ａに沿った外方へ流れると、めっき面２０ａと正方形状の貫通穴５１ａとの境界の４隅に気泡が溜まり易くなる。気泡が溜まった部分では、めっき液２２が当たりずらくなる。このため、図２Ｂに示すように、めっき膜２２ｂの四隅に模様ができたり、図２Ｃに示すように、めっき膜２２ｃのように焦げ付き跡ができたりすることが生じる。
ここで、図２Ａに示すめっき膜２２ａは、図１に示すノズル４０ａの内径がφ１４．９ｍｍで、穴開き板部材４２の貫通穴４２ａの径がφ８の場合を条件としたものである。図２Ｂに示すめっき膜２２ｂは、ノズルの内径がφ７ｍｍの場合（穴開き板部材４２は無し）を条件としたものである。図２Ｃに示すめっき膜２２ｃは、図３に示すノズル４０ａの内径がφ１４．９ｍｍの場合（穴開き板部材４２は無し）を条件としたものである。この他の条件（電流値、めっき液の組成等）はめっき膜２２ａ〜２２ｃにおいて同様であるとする。
一方、図１に示す本実施形態のめっき装置１０では、穴開き板部材４２の貫通穴４２ａからノズル４０ａへ抜けためっき液２２には、乱流が生じるので、この乱流により、被めっき物２０のめっき面２０ａに付着する気泡を取り去る能力が向上し、めっき面２０ａ全体に新しいめっき液２２が満遍なく供給される。
この際、めっき液２２には、電源６０からの陽極側のノズル部４０及び陰極側の被めっき物２０への電圧印加に応じた電流が流れている。このため、陰極側の被めっき物２０のめっき面２０ａで還元反応が起こり、めっき液２２中の金属が析出してめっき面２０ａに、めっき膜が成長する。この場合、上述したようにめっき液２２がめっき面２０ａの全体に満遍なく当たるので、図２Ａに示すようにめっき膜２２ａが均一に成長する。
また、めっき面２０ａに当たった後のめっき液２２は、複数のＬ字流路５３を通り第１空間Ｓ１へ流動する。更に、第１空間Ｓ１から上記同様に第２空間Ｓ２へ流動するといった循環を繰り返す。
＜実施形態の効果＞
以上説明したように、本実施形態のめっき装置１０は、めっき液２２が注入される水槽３０と、水槽３０内に設置される陽極としての筒状のノズル４０ａを有するノズル部４０と、水槽３０内にノズル部４０に対向して設置される陰極としての被めっき物２０と、ノズル部４０と被めっき物２０との間に電圧を印加する直流電源６０と、水槽３０に注入されためっき液２２がノズル４０ａを通って被めっき物２０へ噴出されるようにめっき液２２を循環させるポンプ７０とを有する。
以上説明したように、本実施形態のめっき装置１０は、めっき液２２が注入される水槽３０と、水槽３０内に設置される陽極としての筒状のノズル４０ａを有するノズル部４０と、水槽３０内にノズル部４０に対向して設置される陰極としての被めっき物２０と、ノズル部４０と被めっき物２０との間に電圧を印加する直流電源６０と、水槽３０に注入されためっき液２２がノズル４０ａを通って被めっき物２０へ噴出されるようにめっき液２２を循環させるポンプ７０とを有する。
本実施形態の特徴は、ノズル４０ａの内径よりも小径の貫通穴４２ａを有する穴開き板部材４２（開口制限手段）を、ノズル４０ａの開口領域に貫通穴４２ａが対向するように、ノズル部４０の流入側に配設する構成とした。
この構成によれば次のような効果を得ることができる。即ち、穴開き板部材４２の貫通穴４２ａからノズル４０ａへ抜けためっき液２２には、乱流が生じる。この乱流により、被めっき物２０のめっき面２０ａに付着する気泡を取り去る能力が向上し、めっき面２０ａ全体に新しいめっき液２２が満遍なく供給されるようになる。このため、めっき面２０ａ全体にめっき膜２２ａを均一に成長させることができる。
また、ノズル４０ａから噴出されて被めっき物２０に当たった後のめっき液２２を、この流れが途中で下方へ曲がるようにしてポンプ７０の流入側の第１空間Ｓ１へ戻すＬ字流路５３（屈折流路）を備える構成とした。
この構成によれば、被めっき物２０に当たった後のめっき液２２が、Ｌ字流路５３により途中で下方へ曲がって流れ、ポンプ７０の流入側へ戻される。このため、被めっき物２０に当たった後のめっき液２２が水槽３０のめっき液表面側へ戻される場合のように泡が立たなくなる。泡が立たなくなるので、ポンプ７０から泡を吸い込むことが無くなる。これによって、ポンプ７０からノズル４０ａへ循環するめっき液２２中の気泡を抑制することができる。
また、ノズル４０ａのめっき液２２の噴出口に対向する位置に貫通穴５１ａを有し、当該貫通穴５１ａから被めっき物２０のめっき面２０ａが、前記噴出口に向かって露出する状態に、被めっき物２０がセットされるセット部５０を備える。セット部５０の貫通穴５１ａの周回面にＬ字流路５３の流入口が開口する。また、貫通穴５１ａの周回面は、めっき面２０ａ側からＬ字流路５３の流入口に向かって傾斜する断面テーパ形状５１ｂとなっている。
この構成によれば、めっき面２０ａに当たった後のめっき液２２が、断面テーパ形状５１ｂを通って直ぐにＬ字流路５３へ流れるので、めっき面２０ａに当たった泡も直ぐにＬ字流路５３へ流れることになる。このため、めっき面２０ａに泡が付着し難くなり、めっき面２０ａ全体にめっき膜２２ａを均一に成長させることができる。
＜実施形態の変形例＞
図４は、本実施形態の変形例のめっき装置の構成を示す縦断面図である。
変形例のめっき装置１０Ｂは、穴開き板部材４２（図１）を備えない次の特徴構成となっている。即ち、めっき装置１０Ｂの特徴は、ノズル４０Ｂａ及び周回平面部４０Ｂｂを一体に備えて成るハット形状のノズル部４０Ｂが、当該ノズル４０Ｂの流入側の開口に、開口周縁から開口中心に向かって環状に突出する環状板部４０Ｂｒを、周回平面部４０Ｂｂに面一に備えて構成されている。
図４は、本実施形態の変形例のめっき装置の構成を示す縦断面図である。
変形例のめっき装置１０Ｂは、穴開き板部材４２（図１）を備えない次の特徴構成となっている。即ち、めっき装置１０Ｂの特徴は、ノズル４０Ｂａ及び周回平面部４０Ｂｂを一体に備えて成るハット形状のノズル部４０Ｂが、当該ノズル４０Ｂの流入側の開口に、開口周縁から開口中心に向かって環状に突出する環状板部４０Ｂｒを、周回平面部４０Ｂｂに面一に備えて構成されている。
環状板部４０Ｂｒの中央の開口４０Ｂｃは、前述した穴開き板部材４２（図１）の貫通穴４２ａと同じサイズとなっており、めっき液２２が所定速度で貫通穴Ｂｃを通過時にノズル４０Ｂａ内で乱流状態となることが可能なサイズであればよい。この構成においても、図１に示しためっき装置１０と同様に、被めっき物２０のめっき面２０ａに、めっき膜２２ａを均一に成長させることができる。
その他、具体的な構成について、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。
１０，１０Ｂ めっき装置
２０ 被めっき物
２０ａ めっき面
２２ａ めっき膜
３０ 水槽
３１ ノズル固定部
３２ 底面部
３３ 流路
３４ 蓋
３４ａ ネジ穴
３５ 押圧ネジ
４０ ノズル部
４０ａ ノズル
４０ｂ 周回平面部
４１ パッキン
４２ 穴開き板部材
４２ａ 貫通穴
４３ 絶縁部材
５０ 被めっき物セット部
５０ａ 角筒部
５１ 隔壁部
５１ａ 貫通穴
５２ 周回突出部
５３ Ｌ字流路
５４ マスク部材
５４ａ めっき形成穴
５５ 陰極付押圧部
６０ 直流電源
７０ ポンプ
２０ 被めっき物
２０ａ めっき面
２２ａ めっき膜
３０ 水槽
３１ ノズル固定部
３２ 底面部
３３ 流路
３４ 蓋
３４ａ ネジ穴
３５ 押圧ネジ
４０ ノズル部
４０ａ ノズル
４０ｂ 周回平面部
４１ パッキン
４２ 穴開き板部材
４２ａ 貫通穴
４３ 絶縁部材
５０ 被めっき物セット部
５０ａ 角筒部
５１ 隔壁部
５１ａ 貫通穴
５２ 周回突出部
５３ Ｌ字流路
５４ マスク部材
５４ａ めっき形成穴
５５ 陰極付押圧部
６０ 直流電源
７０ ポンプ
Claims (5)
- めっき液が注入される水槽と、当該水槽内に設置される陽極としての筒状のノズルと、当該水槽内に前記ノズルに対向して設置される陰極としての被めっき物と、前記ノズルと前記被めっき物との間に電圧を印加する直流電源と、前記水槽に注入されためっき液が前記ノズルを通って前記被めっき物へ噴出されるように前記めっき液を循環させるポンプとを有するめっき装置において、
前記ノズルの流入側の開口を、当該ノズルの内径よりも小径に制限する開口制限手段
を備えることを特徴とするめっき装置。 - 前記開口制限手段は、前記ノズルの内径よりも小径の貫通穴を有する穴開き板部材を、前記ノズルの開口領域に当該貫通穴が対向するにように、前記ノズルの流入側に配設して成る
ことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。 - 前記開口制限手段は、前記ノズルの流入側の開口に、当該開口の周縁から当該開口中心に向かって環状に突出し、当該環状の内側の開口が前記ノズルの開口よりも小径となっている環状板部を備えて成る
ことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。 - 前記ノズルから噴出されて前記被めっき物に当たった後のめっき液を、この流れが途中で下方へ曲がるようにして前記ポンプの流入側へ戻す屈折流路
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。 - 前記ノズルのめっき液の噴出口に対向する位置に貫通穴を有し、当該貫通穴から前記被めっき物のめっき面が前記噴出口に向かって露出する状態に、当該被めっき物がセットされるセット部を備え、
前記セット部の貫通穴の周回面に前記屈折流路の流入口が開口するように、当該屈折流路が当該セット部に形成されている
ことを特徴とする請求項４に記載のめっき装置。
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