JPWO2017057589A1 - 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに物体の移動方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図10(b)を用いて説明する。
次に第2の実施形態について、図11を用いて説明する。本第2の実施形態に係る液晶露光装置は、上記第1の実施形態と同様に、エンコーダシステムを用いて基板Pの水平面内の位置情報を求めるが、該エンコーダシステム用(水平面内位置計測系)のヘッドユニットと、Zチルト位置計測系用のヘッドユニットとが独立している点が上記第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態との相違点に関して説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態について、図12(a)及び図12(b)を用いて説明する。第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板Pを投影光学系16(図1参照)に対して高精度位置決めするための基板ステージ装置120の構成が、上記第1の実施形態と異なる。基板Pの6自由度方向の位置情報を求めるための計測系の構成は、上記第1の実施形態と同様である。以下、本第3の実施形態については、上記第1の実施形態との相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (23)
- 物体を非接触支持する支持部と、
前記支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記保持部を、互いに交差する第1及び第2方向へ移動させる第1駆動部と、
前記保持部の前記第1及び第2方向への移動の基準となる基準部材と、
前記第1方向の計測成分を有する第1格子部と、前記第1格子部に対向するように配置され、前記第1格子部に対して計測ビームを照射する第1ヘッドと、を有し、前記第1格子部と前記第1ヘッドとの一方が前記保持部に設けられ、前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方が前記基準部材と前記保持部との間に設けられ、前記第1ヘッド及び前記第1格子部材により前記第1ヘッドの位置情報を計測する第1計測部と、
前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方の位置情報を計測する第2計測部と、
前記第1及び第2計測部により計測された位置情報に基づいて、前記第1及び第2方向に関して、前記物体を保持する前記保持部の位置情報を求める位置計測系と、を備える移動体装置。 - 前記第1駆動部は、前記保持部に保持された前記物体を前記支持部に対して前記第2方向へ相対移動させる請求項1に記載の移動体装置。
- 前記支持部を前記第1方向へ移動させる第2駆動部をさらに備え、
前記第1及び第2駆動部は、前記保持部及び前記支持部を前記第1方向へ移動させる請求項1又は2に記載の移動体装置。 - 前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方が設けられる移動体をさらに備え、
前記移動体は、前記第1駆動部による前記保持部の前記第2方向への駆動とは異なるタイミングで前記第2方向に駆動される請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記移動体が前記第2方向に所定間隔で複数設けられ、
前記第1計測部は、前記複数の移動体のそれぞれに設けられた前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方と、前記保持部に設けられた前記第1格子部と前記第1ヘッドとの一方とによって、位置情報を計測する請求項4に記載の移動体装置。 - 前記第2計測部は、前記第2方向の計測成分を有する第2格子部と、前記第2格子部に対して計測ビームを照射する第2ヘッドと、を有し、前記第2格子部と前記第2ヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記第2格子部と前記第2ヘッドとの一方が前記基準部材に設けられる請求項4又は5に記載の移動体装置。
- 前記第1計測部は、前記第1方向に互いに離間して配置された複数の第1被計測系と、前記第1方向に互いに離間して配置された複数の第1計測系とを含み、
前記第2計測部は、前記第2方向に互いに離間して配置された複数の第2被計測系と、前記第2方向に互いに離間して配置された複数の第2計測系とを含み、
前記第1及び第2計測部は、隣接する一対の前記計測系間の間隔が隣接する一対の前記被計測系間の間隔よりも広い請求項6に記載の移動体装置。 - 前記支持部と前記保持部は、互いに非接触に設けられる請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記支持部は、前記物体の下面を非接触支持する請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記保持部は、前記物体の外周縁部の少なくとも一部を保持する枠状部材を含む請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置と、
エネルギビームを用いて前記物体に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記支持部は、前記物体において前記パターンが形成される対象のほぼ全領域を支持可能な支持面を有する請求項11に記載の露光装置。
- 前記第1駆動部は、前記第2方向に関して前記物体の少なくとも一部が前記支持部から外れるように前記保持部と前記支持部とを相対移動させる請求項12に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項11〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項14に記載の露光装置。
- 請求項11〜14のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項11〜14のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 物体を支持部により非接触支持することと、
前記支持部により非接触支持された前記物体を保持部により保持することと、
前記保持部を、互いに交差する第1及び第2方向へ第1駆動部により移動させることと、
前記第1方向の計測成分を有する第1格子部と、前記第1格子部に対向するように配置され、前記第1格子部に対して計測ビームを照射する第1ヘッドと、を有し、前記第1格子部と前記第1ヘッドとの一方が前記保持部に設けられ、前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方が前記保持部の前記第1及び第2方向への移動の基準となる基準部材と前記保持部との間に設けられた第1計測部により、前記第1ヘッド及び前記第1格子部材を用いて前記第1ヘッドの位置情報を計測することと、
前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方の位置情報を第2計測部により計測することと、
前記第1及び第2計測部により計測された位置情報に基づいて、前記第1及び第2方向に関して、前記物体を保持する前記保持部の位置情報を求めることと、を含む物体の移動方法。 - 前記第1駆動部により移動させることは、前記保持部に保持された前記物体を前記支持部に対して前記第2方向へ相対移動させることを含む請求項18に記載の物体の移動方法。
- 前記第1駆動部により移動させることは、前記保持部を前記第1方向へ移動させるとともに、第2駆動部により前記支持部を前記第1方向へ移動させることを含む請求項18又は19に記載の物体の移動方法。
- 前記第1駆動部により移動させることでは、前記第1駆動部による前記保持部の前記第2方向への駆動とは異なるタイミングで、前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方が設けられる移動体を、前記第2方向に駆動する請求項18〜20のいずれか一項に記載の物体の移動方法。
- 前記移動体が前記第2方向に所定間隔で複数設けられ、
前記第1ヘッドの位置情報を計測することでは、前記複数の移動体のそれぞれに設けられた前記第1格子部と前記第1ヘッドとの他方と、前記保持部に設けられた前記第1格子部と前記第1ヘッドとの一方とによって、位置情報を計測する請求項21に記載の物体の移動方法。 - 前記第2計測部は、前記第2方向の計測成分を有する第2格子部と、前記第2格子部に対して計測ビームを照射する第2ヘッドと、を有し、前記第2格子部と前記第2ヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記第2格子部と前記第2ヘッドとの一方が前記基準部材に設けられる請求項21又は22に記載の物体の移動方法。
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