JPWO2017029729A1 - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
0<G1・G2<1
[1.比較例](2つの平面ミラーを用いた光共振器を含むレーザ装置)
1.1 構成(図1〜図3)
1.2 動作
1.3 課題(図4〜図7)
[2.第1の実施形態](2つのシリンドリカルミラーを用いた光共振器を含むレーザ装置)
2.1 構成(図8〜図10)
2.2 動作(図11、図12)
2.3 作用・効果
[3.第2の実施形態](空間的コヒーレンス調節部を含むレーザ装置)
3.1 構成(図13、図14)
3.2 動作(図15、図16)
3.3 作用・効果
3.4 変形例(図17)
[4.第3の実施形態](MOとPAとを含むレーザシステム)
4.1 構成(図18、図19)
4.2 動作
4.3 作用・効果
[5.第4の実施形態](空間的コヒーレンスの制御システム)
5.1 構成(図20)
5.2 動作(図21)
5.3 作用・効果
[6.各部のバリエーション、及び各部の具体例]
6.1 安定共振器のバリエーション(図22〜図24)
6.2 アニール装置の具体例(図25)
6.3 コヒーレンスモニタの具体例(図26、図27)
6.4 放電電極のバリエーション(図28)
[7.制御部のハードウエア環境](図29)
[8.その他]
(1.1 構成)
図1は、本開示の実施形態に対する比較例に係るレーザ装置のH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図2は、比較例に係るレーザ装置のV軸方向の断面構成例を概略的に示している。また、図3に、図2におけるZ1−Z1矢視図を概略的に示す。
W=2、6、10、14、18、又は20mm、
G=12、15、18、21、24、28、32、又は35mm
また、電極ギャップGの値と放電幅Wの値との組み合わせは、例えば、W=約4mm、G=約16mmであってもよい。
レーザ装置101において、図示しない電源によって1対の放電電極113a,113b間にパルス状の高電圧が印加されると、1対の放電電極113a,113b間で放電が生じ得る。この放電が生じた放電領域114では、チャンバ110内のレーザガスが放電によって励起され得る。レーザガスが励起されると紫外線の光が生成され得る。紫外線の光は、光共振器によって増幅されレーザ発振し得る。
比較例に係るレーザ装置101では、出力されるパルスレーザ光L10のH軸方向とV軸方向とにおける空間的コヒーレント長Xcが異なり得る。
C=(Imax−Imin)/(Imax+Imin)
(測定条件)
・光共振器
出力結合ミラー120:平面ミラー、リアミラー130:平面ミラー
・1対の放電電極113a,113b
電極ギャップG=16mm、放電幅W=4mm
次に、本開示の第1の実施形態に係るレーザ装置について説明する。なお、以下では上記比較例に係るレーザ装置の構成要素と略同じ部分については、同一符号を付し、適宜説明を省略する。
図8は、本開示の第1の実施形態に係るレーザ装置1のH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図9は、本開示の第1の実施形態に係るレーザ装置1のV軸方向の断面構成例を概略的に示している。
0<G1・G2<1 ……(1)
ただし、G1=1−L/R1、G2=1−L/R2、Lは共振器長。
0>G1・G2、又は1<G1・G2
図11は、レーザ装置1から出力されるパルスレーザ光L10のH軸方向とV軸方向とにおける空間的コヒーレント長Xcの測定結果の一例を概略的に示している。図11には、比較例に係るレーザ装置101におけるH軸方向の特性を、「H軸方向(不安定共振器、平面−平面)」として示している。また、本実施の形態に係るレーザ装置1におけるH軸方向の特性を、「H軸方向(安定共振器)」として示している。
0.25<G1・G2<0.75
となり得る。さらに、好ましくは、
0.45<G1・G2<0.55
となり得る。
本実施形態のレーザ装置1によれば、上記比較例に係るレーザ装置101に比べて、H軸方向の空間的コヒーレンスが低くなり得る。H軸方向の空間的コヒーレンスが低くなると、例えば後述する図25に示すアニール装置12のフライアイレンズ72によって生成される干渉縞のコントラストが低くなり得る。これにより、レーザアニール等の性能が向上し得る。例えば、干渉縞のコントラストが低くなったレーザビームが、基板上のアモルファスシリコンに照射されることで、生成した結晶の性能の均一性が向上し得る。
次に、本開示の第2の実施形態に係るレーザ装置について説明する。なお、以下では上記比較例、又は上記第1の実施形態に係るレーザ装置の構成要素と略同じ部分については、同一符号を付し、適宜説明を省略する。
図13は、本開示の第2の実施形態に係るレーザ装置1AのH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図14は、本開示の第2の実施形態に係るレーザ装置1AのV軸方向の断面構成例を概略的に示している。
図15は、レーザ装置1Aから出力されるパルスレーザ光L10のH軸方向とV軸方向とにおける空間的コヒーレント長Xcの測定結果の一例を概略的に示している。図16は、空間的コヒーレンス調節部40におけるシリンドリカル平凸レンズ21及びシリンドリカル平凹レンズ22の両レンズの面間隔Dと干渉縞のコントラストCとの関係の一例を概略的に示している。
R1=2F1、R2=2F2なので焦点距離で表現すると、以下の式となり得る。
G1=1−L/(2F1)、
G2=1−L/(2F2)、
ただし、
F1:フロント側の焦点距離
F2:リア側の焦点距離
0<G1<1
となる。
本実施形態のレーザ装置1Aによれば、空間的コヒーレンス調節部40において両レンズの面間隔Dを調節することで、出力されるパルスレーザ光L10におけるH軸方向の干渉縞のコントラストCが調節され得る。その結果、後述する図25に示すアニール装置12のフライアイレンズ72のH軸方向のピッチ間隔Pに対応して発生する干渉縞のコントラストCを調節し得る。これにより、レーザアニール等の性能を調節し得る。
本実施形態においては、空間的コヒーレンス調節部40において両レンズの面間隔Dを調節できるようにしたが、この実施形態に限定されることなく、あらかじめG1の値が設計で決まっていれば、面間隔Dを固定にして、1軸ステージ43を構成から省略してもよい。
次に、本開示の第3の実施形態に係るレーザシステムについて説明する。なお、以下では上記比較例、又は上記第1若しくは第2の実施形態に係るレーザ装置の構成要素と略同じ部分については、同一符号を付し、適宜説明を省略する。
図18は、本開示の第3の実施形態に係るレーザシステムのV軸方向の断面構成例を概略的に示している。図19は、本開示の第3の実施形態に係るレーザシステムのH軸方向の断面構成例を概略的に示している。
MO2は、H軸方向に対して、安定共振器となっているので、H軸方向に対して、空間横モード数が増加し得る。その結果、MO2から出力されたパルスレーザ光L10のH軸方向の空間的コヒーレンスは、平面ミラーで構成された光共振器の場合と比べて、低下し得る。このパルスレーザ光L10は、高反射ミラー4及び高反射ミラー5を介して、PA3のチャンバ50の放電領域54を通過することによって、増幅され得る。PA3で増幅されたパルスレーザ光L11のH軸方向の空間的コヒーレンスは、MO2の空間的コヒーレンスを略維持した状態となり得る。
本実施形態のレーザシステムによれば、MO2から出力されたパルスレーザ光L10をPA3によって増幅するので、MO2のみの場合にくらべてパルスエネルギが約2倍以上増加し得る。しかも、H軸方向の空間的コヒーレンスは、MO2と同等の状態を維持し得る。
次に、本開示の第3の実施形態に係る制御システムについて説明する。なお、以下では上記比較例、上記第1若しくは第2の実施形態に係るレーザ装置、又は上記第3の実施形態に係るレーザシステムの構成要素と略同じ部分については、同一符号を付し、適宜説明を省略する。
図20は、本開示の第4の実施形態に係る制御システムのV軸方向の断面構成例を概略的に示している。
図21は、本開示の第4の実施形態に係る制御システムにおけるレーザ制御部11による制御の流れの一例を示している。
本実施形態の制御システムによれば、コヒーレンスモニタ9によって計測された干渉縞のコントラストCに基づいて、空間的コヒーレンス調節部40がフィードバック制御され得る。これにより、アニール装置12に入射するパルスレーザ光L12の空間的コヒーレンスが安定化し得る。
次に、上記各実施形態の各部のバリエーション、及び各部の具体例を説明する。なお、以下では上記比較例、又は上記各実施形態に係る装置又はシステムの構成要素と略同じ部分については、同一符号を付し、適宜説明を省略する。
(安定共振器の第1のバリエーション)
図22は、安定共振器の第1のバリエーションのH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図22に示したレーザ装置1Cは、上記比較例に係るレーザ装置101におけるリアミラー130に代えて、空間的コヒーレンス調節部40Bを備えてもよい。空間的コヒーレンス調節部40Bは、シリンドリカル平凸レンズ31と、シリンドリカル平凹レンズ32と、1軸ステージ46とを含んでもよい。また、空間的コヒーレンス調節部40Bは、シリンドリカル平凸レンズ31を保持するホルダ44と、シリンドリカル平凹レンズ32を保持するホルダ45とを含んでもよい。
R1=2F1、R2=2F2なので焦点距離で表現すると、以下の式となり得る。
G1=1−L/(2F1)、
G2=1−L/(2F2)、
ただし、
F1:フロント側の焦点距離
F2:リア側の焦点距離
0<G2<1
となる。
図23は、安定共振器の第2のバリエーションのH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図23に示したレーザ装置1Dは、上記比較例に係るレーザ装置101におけるリアミラー130に代えて、空間的コヒーレンス調節部となるディフォーマブルミラー33を備えてもよい。ディフォーマブルミラー33は、リアミラー34とアクチュエータ35とを含んでもよい。リアミラー34は、表面にHR膜34Hがコートされた薄い平面基板を含んでもよい。アクチュエータ35は、リアミラー34の裏面側から、リアミラー34のH軸方向の曲率半径R2を可変する1次元のアクチュエータであってもよい。
図24は、安定共振器の第3のバリエーションのH軸方向の断面構成例を概略的に示している。図24に示したレーザ装置1Eは、上記比較例に係るレーザ装置101における出力結合ミラー120に代えて空間的コヒーレンス調節部40を備えると共に、リアミラー130に代えて空間的コヒーレンス調節部40Bを備えた構成であってもよい。
図25は、アニール装置12の一具体例を概略的に示している。
図26及び図27は、図20におけるコヒーレンスモニタ9の一具体例を示している。図26は、コヒーレンスモニタ9の一具体例のV軸方向の断面構成例を概略的に示している。図27は、コヒーレンスモニタ9の一具体例のH軸方向の断面構成例を概略的に示す。
図28は、放電電極のバリエーションの一例を概略的に示している。
図3に示した1対の放電電極113a,113bに代えて、チャンバ110内に、図28に示した1対の放電電極115a,115bを含んでもよい。1対の放電電極115a,115bは、表面が湾曲した形状となっていてもよい。1対の放電電極115a,115bの表面は、部分的に電気絶縁物116でコートされていてもよい。
当業者は、汎用コンピュータ又はプログラマブルコントローラにプログラムモジュール又はソフトウエアアプリケーションを組み合わせて、ここに述べられる主題が実行されることを理解するだろう。一般的に、プログラムモジュールは、本開示に記載されるプロセスを実行できるルーチン、プログラム、コンポーネント、データストラクチャーなどを含む。
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
Claims (7)
- 第1の方向において互いに電極ギャップを隔てて対向し、前記第1の方向に直交する第2の方向の放電幅が前記電極ギャップよりも小さい1対の放電電極、を含むレーザチャンバと、
前記第1の方向及び前記第2の方向の双方に直交する第3の方向において前記1対の放電電極を間に挟むようにして互いに対向する第1の光学部材及び第2の光学部材を含み、前記1対の放電電極間で発生したレーザ光を増幅して出力させる光共振器と
を備え、
前記第1の光学部材のGパラメータをG1、前記第2の光学部材のGパラメータをG2としたとき、前記光共振器は、前記第2の方向において、以下の条件を満足する安定共振器を構成する
0<G1・G2<1
レーザ装置。 - 前記光共振器は、さらに、以下の条件を満足する
0.25<G1・G2<0.75
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記光共振器は、さらに、以下の条件を満足する
0.45<G1・G2<0.55
請求項2に記載のレーザ装置。 - 前記第1の光学部材のGパラメータ、及び前記第2の光学部材のGパラメータのうちいずれか一方の値が1である
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記光共振器からの出力レーザ光の光路上に配置され、前記出力レーザ光の前記第2の方向における空間的コヒーレンスを計測するコヒーレンスモニタと、
前記第1の光学部材のGパラメータ及び前記第2の光学部材のGパラメータのうち少なくとも1つのGパラメータの値を調節する調節部と、
前記コヒーレンスモニタの計測値に基づいて、前記調節部を制御する制御部と
を、さらに備える
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記放電幅は、前記電極ギャップの中間位置における前記第2の方向の幅である
請求項1に記載のレーザ装置。 - 第1の方向において互いに電極ギャップを隔てて対向し、前記第1の方向に直交する第2の方向の放電幅が前記電極ギャップよりも小さい1対の放電電極、を含むレーザチャンバと、
前記第1の方向及び前記第2の方向の双方に直交する第3の方向において前記1対の放電電極を間に挟むようにして互いに対向する第1の光学部材及び第2の光学部材を含み、前記第2の方向において安定共振器を構成し、前記1対の放電電極間で発生したレーザ光を増幅して出力させる光共振器と
を備え、
前記光共振器は、
前記レーザ光の幅を前記第2の方向においてM倍に拡大したうえで、ピッチ間隔Pとなるように配置された複数のレンズを含むフライアイレンズに入射させる光学系に向けて、前記第2の方向における前記レーザ光の空間的コヒーレント長がP/M以下となるレーザ光を出力する
レーザ装置。
Applications Claiming Priority (1)
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