JPWO2016199759A1 - 基板保持装置、成膜装置及び基板保持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記マスクプレートは、磁性材料で構成される。
上記中間プレートは、上記マスクプレートに対向する第1の面と、上記第1の面とは反対側の第2の面とを有し、上記第1の面が上記マスクプレート上に配置された基板に接触可能に構成される。
上記保持プレートは、上記中間プレートを上記マスクプレートと直交する軸方向に相対移動可能に支持する。上記保持プレートは、上記中間プレート及び上記基板を介して上記マスクプレートを磁気吸着することが可能に構成されたマグネットを有する。
上記押圧機構は、上記第2の面に対向して配置される。上記押圧機構は、上記第2の面の少なくとも一部を上記軸方向に沿って押圧することが可能に構成される。
上記構成によれば、中間プレートの第1の面が基板に接触した状態で、中間プレートの第2の面にマグネットが接近しつつ、当該第2の面が押圧機構によって押圧される。したがって、マスクプレートに対する基板の位置ずれを生じさせることなく、基板をマスクプレートに高い平面度をもって密着させることが可能となる。
これにより、中間プレート上の複数の位置に対して所望とする押圧力を安定に付与することが可能となるため、中間プレート及び基板を目的とする平面度に維持することができるようになる。
上記成膜源は、上記成膜室に配置される。
上記マスクプレートは、上記成膜源に対向して配置され、磁性材料で構成される。
上記中間プレートは、上記マスクプレートに対向する第1の面と、上記第1の面とは反対側の第2の面とを有し、上記第1の面が上記マスクプレート上に配置された基板に接触可能に構成される。
上記保持プレートは、上記中間プレートを上記マスクプレートに直交する軸方向に相対移動可能に支持する。上記保持プレートは、上記中間プレート及び上記基板を介して上記マスクプレートを磁気吸着することが可能に構成されたマグネットを有する。
上記押圧機構は、上記第2の面に対向して配置される。上記押圧機構は、上記第2の面の少なくとも一部を上記軸方向に沿って押圧することが可能に構成される。
上記基板の上に中間プレートが接触させられる。
押圧機構により上記中間プレートの少なくとも一部が上記マスクプレートに向けて押圧させられる。
上記中間プレートの上に、上記マスクプレートを磁気吸着するマグネットを有する保持プレートを配置することで、上記中間プレート、上記基板及び上記マスクプレートが一体的に保持される。
本実施形態の成膜装置100は、真空蒸着装置として構成され、成膜室10と、蒸発源20(成膜源)と、基板保持装置30とを備える。
基板保持装置30は、蒸発源20の直上位置に配置され、成膜すべき基板Wを蒸発源20と対向する位置に保持することが可能に構成される。基板保持装置30は、マスク部材31と、中間プレート32と、保持プレート33と、押圧機構34とを有する。
ここで図7は、図2に示される保持プレート33の上昇位置から、基板Wと保持プレート33が下降し、基板Wがマスクプレート311の上面に載置された状態で、かつ、中間プレートが基板Wに接触していない状態を示している。
また、押圧ユニット35の作用を分かり易くするため、図7及び図8において、中間プレート32は、やや変形した状態(撓みが生じた状態)で描かれており、図9に示す基板Wの保持状態においては中間プレート32の撓みが矯正された状態(平面状態)で描かれている。
上記第2の位置では、中間プレート32の下面32aが基板Wに接触し、保持プレート33は、押圧子351が弾性部材355の上面に接触するまで下降し、中間プレート32の上面32bは、保持プレート33(マグネット331)に対して間隙(G1−G2)の相対距離(第1の距離)をおいて対向している。
上記第3の位置では、中間プレート32の下面32aの少なくとも一部が基板Wに接触し、保持プレート33は、弾性部材355を圧縮変形させながら所定量だけさらに下降し、中間プレート32の上面32bは、保持プレート33(マグネット331)に対して、間隙(G1−G2)よりも小さい間隙G3の相対距離(第2の距離)をおいて対向している。
次に、以上のように構成される本実施形態の成膜装置100の典型的な動作について説明する。
20…蒸発源
30…基板保持装置
31…マスク部材
32…中間プレート
33…保持プレート
34…押圧機構
35…押圧ユニット
100…成膜装置
311…マスクプレート
331…マグネット
351…押圧子
355…弾性部材
W…基板
Claims (9)
- 磁性材料で構成されたマスクプレートと、
前記マスクプレートに対向する第1の面と、前記第1の面とは反対側の第2の面とを有し、前記第1の面が前記マスクプレート上に配置された基板に接触可能に構成された中間プレートと、
前記中間プレートを前記マスクプレートと直交する軸方向に相対移動可能に支持し、前記中間プレート及び前記基板を介して前記マスクプレートを磁気吸着することが可能に構成されたマグネットを有する保持プレートと、
前記第2の面に対向して配置され、前記第2の面の少なくとも一部を前記軸方向に沿って押圧することが可能に構成された押圧機構と
を具備する基板保持装置。 - 請求項1に記載の基板保持装置であって、
前記押圧機構は、前記保持プレートに設置される
基板保持装置。 - 請求項2に記載の基板保持装置であって、
前記押圧機構は、前記第2の面の複数個所をそれぞれ押圧することが可能に構成された複数の押圧ユニットを含む
基板保持装置。 - 請求項2又は3に記載の基板保持装置であって、
前記中間プレートは、前記第1の面の少なくとも一部が前記基板に接触し前記保持プレートに対する相対距離が第1の距離である接触位置と、前記保持プレートに対する相対距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である保持位置との間を移動可能に構成され、
前記押圧機構は、前記中間プレートが前記接触位置から前記保持位置へ移動する過程で前記第2の面を前記軸方向に沿って押圧する
基板保持装置。 - 請求項4に記載の基板保持装置であって、
前記押圧ユニットは、
前記第2の面に対向して配置された押圧子と、
前記押圧子と前記第2の面との間に配置され、前記軸方向に弾性変形可能な弾性部材と、を有する
基板保持装置。 - 請求項3〜5のいずれか1つに記載の基板保持装置であって、
前記押圧ユニットは、前記第2の面の中央部及び/又は周縁部を押圧することが可能に構成される
基板保持装置。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の基板保持装置であって、
前記中間プレートは、非磁性材料で構成される
基板保持装置。 - 成膜室と、
前記成膜室に配置された成膜源と、
前記成膜源に対向して配置され、磁性材料で構成されたマスクプレートと、
前記マスクプレートに対向する第1の面と、前記第1の面とは反対側の第2の面とを有し、前記第1の面が前記マスクプレート上に配置された基板に接触可能に構成された中間プレートと、
前記中間プレートを前記マスクプレートに直交する軸方向に相対移動可能に支持し、前記中間プレート及び前記基板を介して前記マスクプレートを磁気吸着することが可能に構成されたマグネットを有する保持プレートと、
前記第2の面に対向して配置され、前記第2の面の少なくとも一部を前記軸方向に沿って押圧することが可能に構成された押圧機構と
を具備する成膜装置。 - 磁性材料で構成されたマスクプレート上に基板を配置し、
前記基板の上に中間プレートを接触させ、
押圧機構により前記中間プレートの少なくとも一部を前記マスクプレートに向けて押圧し、
前記中間プレートの上に、前記マスクプレートを磁気吸着するマグネットを有する保持プレートを配置することで、前記中間プレート、前記基板及び前記マスクプレートを一体的に保持する
基板保持方法。
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