JPWO2016104484A1 - 電界放射装置および改質処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1,図2の符号10は、本実施形態の電界放射装置を適用したX線装置の一例を示すものである。このX線装置10においては、筒状の絶縁体2の一端側の開口21と他端側の開口22とが、それぞれエミッタユニット30とターゲットユニット70とにより封止(例えば蝋付けして封止)されて、絶縁体2の内壁側に真空室1を有した真空容器11が構成されている。エミッタユニット30(後述のエミッタ3)とターゲットユニット70(後述のターゲット7)との間には、当該真空室1の横断方向に延在するグリッド電極8が設けられている。
前述のX線装置10のガード電極5を改質処理する場合、まず、支持部4を操作して、図2に示すようにエミッタ3を開口21側に移動(無放電位置に移動)し、電子発生部31の電界放射を抑制した状態にする。この場合、エミッタ3の電子発生部31とガード電極5の縁部52(なお、図3の場合は小径部51)との両者は、互いに離反(エミッタ3を無放電位置(放電電界以下)に移動)した状態となる。この図2に示すような状態であれば、例えばガード電極5とグリッド電極8(引出端子82等)との間に所望の電圧を適宜印加することにより、ガード電極5において放電が繰り返され、当該ガード電極5が改質処理(例えばガード電極5の表面が溶解平滑化)されることになる。
図1,図2に示したX線装置10においては、ベローズ43等を有する支持部4を備えた構成となっているが、例えば図4,図5に示すX線装置10Aのように、磁気吸引力を利用した支持部4Aを備えた構成であっても、X線装置10と同様の作用効果を奏することが可能である。なお、図4,図5において、図1〜図3と同様のものには同一符号を付する等により、その詳細な説明を適宜省略する。
前述のX線装置10Aのガード電極5を改質処理する場合、支持部4Aを以下に示すように適宜操作する。まず、周壁部47の外壁面47aに設けられた磁石48を、図5に示すように側部47dにおける外壁面47aの底部47e側に配置(例えば手作業により適宜スライド移動し、無放電位置面47aaに配置)し、磁性体45Aを支持体46と共に当該底部47e側に移動させておくことにより、エミッタ3を開口21側に移動(無放電位置に移動)する。これにより、電子発生部31の電界放射が抑制された状態であって、エミッタ3の電子発生部31とガード電極5の縁部52(なお、図4,図5の場合は小径部51)との両者が互いに離反(エミッタ3を無放電位置(放電電界以下)に移動)した状態となる。この図5に示したような状態で、ガード電極5とグリッド電極8(引出端子82等)との間に所望の電圧を適宜印加することにより、ガード電極5において放電が繰り返され、当該ガード電極5が改質処理(例えばガード電極5の表面が溶解平滑化)されることになる。
図6,図7に示すX線装置10Bのように、対応磁気面積の大きい磁性体45Bを利用した支持部4Bを備えた構成であっても、X線装置10,10Aと同様の作用効果を奏することが可能である。なお、図6,図7において、図1〜図5と同様のものには同一符号を付する等により、その詳細な説明を適宜省略する。
前述のX線装置10Bのガード電極5を改質処理する場合、支持部4Bを以下に示すように適宜操作する。まず、周壁部49の外壁面49aに設けられた磁石48を、図7に示すように底部49eにおける外壁面49aに配置(例えば手作業により適宜スライド移動し、無放電位置面49aaに配置)し、磁性体45Bを支持体46と共に当該底部49e側に移動させ、エミッタ3を開口21側に移動(無放電位置に移動)する。これにより、電子発生部31の電界放射が抑制された状態であって、エミッタ3の電子発生部31とガード電極5の縁部52(なお、図6,図7の場合は小径部51)との両者が互いに離反(エミッタ3を無放電位置(放電電界以下)に移動)した状態となる。この図7に示したような状態で、ガード電極5とグリッド電極8(引出端子82等)との間に所望の電圧を適宜印加することにより、ガード電極5において放電が繰り返され、当該ガード電極5が改質処理(例えばガード電極5の表面が溶解平滑化)されることになる。
Claims (12)
- 筒状の絶縁体の両端側が封止されて当該絶縁体の内壁側に真空室が形成された真空容器と、
真空室の一端側に位置し、当該真空室の他端側に対向する電子発生部を有したエミッタと、
エミッタの電子発生部の外周側に設けられたガード電極と、
真空室の他端側に位置し、エミッタの電子発生部に対向して設けられたターゲットと、
エミッタを真空室の両端方向に対し移動自在に支持する可動自在な支持部と、を備え、
支持部の可動により、エミッタの電子発生部とターゲットとの間の距離が変化する電界放射装置。 - 筒状の絶縁体の両端側が封止されて当該絶縁体の内壁側に真空室が形成された真空容器と、
真空室の一端側に位置し、当該真空室の他端側に対向する電子発生部を有したエミッタと、
真空室の他端側に位置し、エミッタの電子発生部に対向して設けられたターゲットと、
エミッタの電子発生部の反対側から延出した形状であり、エミッタを支持する支持部と、
エミッタの電子発生部の外周側に設けられ真空室の両端方向に延在した筒状であり、一端が真空容器に支持されたガード電極と、
一端側が支持部に支持され、他端側が真空容器に支持されて当該真空容器の一部を形成するベローズと、
を備えた電界放射装置。 - 支持部は、真空室の両端方向に伸縮自在なベローズを有し、そのベローズの一端側が支持部に支持され、他端側が真空容器に支持された請求項1に記載の電界放射装置。
- 支持部は、
エミッタの電子発生部の反対側から延出した形状であって、当該エミッタを真空室の両端方向に対し移動自在に支持した支持体と、
支持体の延出方向側に設けられた磁性体と、
真空容器において支持体の延出方向側と対向する位置から外側に膨出した形状であって、支持体の移動に伴う磁性体の軌道領域を包囲した周壁部と、
周壁部の外壁面に設けられた磁石と、を備え、
磁性体の軌道領域と、当該磁性体の軌道領域に対向した位置における周壁部の外壁面と、の両者間の距離をt1とし、磁石の磁力が磁性体に対して作用し磁気吸引力が発生する最長距離をt2とし、磁石と磁性体との両者間の最短距離をtとした場合に、関係式t1≦t≦t2を満たす請求項1に記載の電界放射装置。 - 筒状の絶縁体の両端側が封止されて当該絶縁体の内壁側に真空室が形成された真空容器と、
真空室の一端側に位置し、当該真空室の他端側に対向する電子発生部を有したエミッタと、
真空室の他端側に位置し、エミッタの電子発生部に対向して設けられたターゲットと、
エミッタの電子発生部の外周側に設けられ真空室の両端方向に延在した筒状であり、一端が真空容器に支持されたガード電極と、
支持部と、を備え、
支持部は、
エミッタの電子発生部の反対側から延出した形状であり、エミッタを支持する支持体と、
支持体の延出方向側に設けられた磁性体と、
真空容器において支持体の延出方向側と対向する位置から外側に膨出した形状であって、支持体及び磁性体を包囲した周壁部と、
周壁部の外壁面に設けられた磁石と、を備え、
磁性体の軌道領域と、当該磁性体の軌道領域に対向した位置における周壁部の外壁面と、の両者間の距離をt1とし、磁石の磁力が磁性体に対して作用し磁気吸引力が発生する最長距離をt2とし、磁石と磁性体との両者間の最短距離をtとした場合に、関係式t1≦t≦t2を満たす電界放射装置。 - 磁性体は、支持体の延出方向側よりも大径であり、
周壁部は、軌道領域とエミッタとの間の位置に、磁性体よりも小径の狭小部が形成された請求項4または5記載の電界放射装置。 - 狭小部の内壁面と磁性体の軌道領域との間に、ギャップが形成された請求項6記載の電界放射装置。
- ガード電極は、エミッタの外周側で真空室の両端方向に延在した筒状であり、
エミッタの電子発生部は、支持部の可動により移動してガード電極のターゲット側に接離する請求項1〜7の何れかに記載の電界放射装置。 - ガード電極のターゲット側に、小径部が形成された請求項8に記載の電界放射装置。
- ガード電極のターゲット側に、真空室の横断方向に延出して当該真空室の両端方向においてエミッタの電子発生部の周縁部と交叉する縁部が形成された請求項8または9に記載の電界放射装置。
- 真空室のエミッタとターゲットとの間に、グリッド電極が設けられた請求項1〜10の何れかに記載の電界放射装置。
- 請求項1〜11の何れかに記載の電界放射装置の改質処理方法であって、
支持部の操作によりエミッタの電子発生部とガード電極との両者を互いに離反した状態で、ガード電極に電圧を印加して、真空室内の少なくともガード電極を改質処理する電界放射装置の改質処理方法。
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JP7434041B2 (ja) * | 2020-04-13 | 2024-02-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | エネルギー線照射装置 |
JP7060040B2 (ja) * | 2020-06-05 | 2022-04-26 | 株式会社明電舎 | 電界放射装置および電界放射方法 |
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JP6973592B1 (ja) * | 2020-09-24 | 2021-12-01 | 株式会社明電舎 | ガード電極および電界放射装置 |
JP2023074441A (ja) * | 2021-11-17 | 2023-05-29 | 株式会社明電舎 | 電界放射装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6162344U (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-26 | ||
JP2005346942A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
JP2008166059A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Shimadzu Corp | 外囲器回転型x線管装置 |
JP2010186694A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | X線源、x線発生方法およびx線源製造方法。 |
JP2011119084A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Life Technology Research Institute Inc | X線発生装置及び携帯型非破壊検査装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL69809C (ja) * | 1946-05-09 | |||
US3303372A (en) * | 1964-08-20 | 1967-02-07 | Dunlee Corp | X-ray generator with a knife edged cold cathode emitter |
US4679219A (en) * | 1984-06-15 | 1987-07-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray tube |
CN85106786B (zh) * | 1985-09-07 | 1988-11-30 | 株式会社东芝 | X射线管 |
US4912739A (en) * | 1987-09-21 | 1990-03-27 | Weiss Mortimer E | Rotating anode X-ray tube with deflected electron beam |
JP2892403B2 (ja) * | 1989-11-15 | 1999-05-17 | 寛 磯部 | フラッシュx線管 |
WO2005117054A1 (ja) | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
JP5099756B2 (ja) * | 2007-06-18 | 2012-12-19 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 電子線発生装置およびその制御方法 |
EP2005992A1 (en) | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Nucletron B.V. | Miniature X-ray source device for effecting radiation therapy as well as a method for performing radiation therapy treatment on an anatomical portion of an animal body using a miniature X-ray source device |
EP2006880A1 (en) * | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Miniature X-ray source with guiding means for electrons and / or ions |
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US8401151B2 (en) * | 2009-12-16 | 2013-03-19 | General Electric Company | X-ray tube for microsecond X-ray intensity switching |
CN102347186B (zh) * | 2010-07-30 | 2015-11-18 | 株式会社理学 | 工业用x射线管 |
JP5044005B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-10-10 | マイクロXジャパン株式会社 | 電界放射装置 |
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Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPS6162344U (ja) * | 1984-09-29 | 1986-04-26 | ||
JP2005346942A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
JP2008166059A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Shimadzu Corp | 外囲器回転型x線管装置 |
JP2010186694A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | X線源、x線発生方法およびx線源製造方法。 |
JP2011119084A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Life Technology Research Institute Inc | X線発生装置及び携帯型非破壊検査装置 |
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