JP7060040B2 - 電界放射装置および電界放射方法 - Google Patents
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Description
<X線装置10の概略構成>
図1,図2に示す符号10は、実施例1によるX線装置の概略構成を説明するものである。X線装置10においては、筒状の絶縁体2の両端一方側の開口21と両端他方側の開口22とが、それぞれエミッタユニット30とターゲットユニット70とにより封止(例えば蝋付けして封止)されて、絶縁体2の内周側に真空室1を有した真空容器11が構成されている。
X線装置10のガード電極5等を改質処理する場合、まず、移動体操作孔32に貫装されているシャフト部44の先端部を作業者等が適宜保持して操作し、移動体4を両端一方側に移動させることにより、図2(B)に示すようにエミッタ部43の電子発生部31とガード電極5の縁部52(なお、図3の場合は小径部51)との両者が、互いに離反した状態となる。すなわち、エミッタ部43が放電抑制状態となる。
X線装置10においては、移動体4の両端方向の移動量を適宜設定することにより、エミッタ部43の電子発生部31とガード電極5との両者を所望通りに所定隣接状態にすることが可能であるが、当該X線装置10の内部を視認することができないため、当該両者が実際に所定隣接状態になっているかどうか確認することが困難となる場合が考えられる。すなわち、移動体4の両端方向の移動量を適格に設定することが困難となる場合が考えられる。
図5に示すX線装置10のガード電極5においては、内周面における両端方向の中央側に、両端一方側から両端他方側に向かって階段状に縮径された形状の内周段差部55が設けられている。これにより、ガード電極5の内周面における内周段差部55から両端一方側が、当該内周段差部55から両端他方側と比較して、大径となっている。
10…X線装置
11…真空容器
2…絶縁体
31…電子発生部
31a…周縁部
32…移動体操作孔
4…移動体
41…ベローズ
42…本体部
43…エミッタ部
44…シャフト部
45…外周段差部
5…ガード電極
51…小径部
52…縁部
55…内周段差部
7…ターゲット
Claims (5)
- 筒状の絶縁体の両端が封止されて当該絶縁体の内周側に真空室が形成された真空容器と、
真空室における前記両端方向の一方側に位置し、当該両端方向に伸縮自在なベローズを介して当該両端方向に対し移動自在に支持されている移動体と、
前記移動体の外周側に位置しているガード電極と、
真空室において前記両端方向の他方側に位置し、前記移動体における前記両端方向の他方側に対向して設けられたターゲットと、
を備え、
前記移動体における前記両端方向の他方側の先端部は、当該先端部の表面を成膜加工することにより、電子発生部を有したエミッタ部が形成されており、
前記移動体の外周面には、前記両端方向の一方側から他方側に向かって階段状に縮径された形状の外周段差部が設けられ、
ガード電極の内周面には、前記両端方向の一方側から他方側に向かって階段状に縮径された形状の内周段差部が設けられ、
内周段差部および外周段差部の両者は、前記両端方向において重畳し、エミッタの電子発生部とガード電極との両者が近接または当接している状態において、互いに面接触することを特徴とする電界放射装置。 - ベローズは、前記移動体と同軸状の筒状であって、当該筒状の一端側が真空容器における前記両端方向の一方側に支持されて、当該筒状の他端側が前記移動体を支持しており、
真空容器は、当該真空容器における前記両端方向の一方側でベローズ内周側を当該両端方向に貫通し、軸心が移動体と同軸となるように延在している移動体操作孔が、設けられており、
前記移動体における前記両端方向の一方側は、当該移動体の軸心に沿って前記両端方向の一方側方向に延在した形状のシャフト部が形成されており、当該シャフト部が移動体操作孔に対し前記両端方向に移動自在で貫装されていることを特徴とする請求項1記載の電界放射装置。 - ガード電極における前記両端方向の他方側には、前記移動体の前記両端方向の移動によりエミッタの電子発生部が接離する小径部が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の電界放射装置。
- ガード電極における前記両端方向の他方側には、前記移動体の軸心側に延出し当該両端方向においてエミッタの電子発生部の周縁部と重畳する縁部が設けられていることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の電界放射装置。
- 請求項1~4の何れかに記載の電界放射装置を用いた電界放射方法であって、
電界放射電流の出力は、前記移動体を前記両端方向に移動させることにより、エミッタの電子発生部とターゲットとの両者間の距離を変更して、当該両者間が任意の距離となる位置で移動体を位置決め固定して設定し、
当該位置決め固定の状態でエミッタの電子発生部から電界放射することを特徴とする電界放射方法。
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