JPWO2016098632A1 - 発光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る発光素子の断面の概要の一例を示す。また、図2は、本発明の実施の形態に係る発光層近傍の断面の概要の一例を示す。なお、本実施の形態において説明する図はあくまでも概要図であり、各図に示す各半導体層の厚さ、及びサイズ等は、実際の厚さ及びサイズ等を反映しているとは限らない。
本実施の形態に係る発光素子1は、例えば、主としてGaN系、若しくはAlGaN系のIII−V族化合物半導体を用いて構成され、深紫外領域の光を放射する発光素子としての発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)あるいはレーザダイオードである。発光素子1は、一例として、平面視にて矩形状を有する。発光素子1は、基板10と、基板10の上に設けられる第1導電型の第1半導体層20と、第1半導体層20の上に設けられる発光層30と、発光層30の上に設けられるスペーサー層35と、スペーサー層35の上に設けられるキャリアブロック層40と、キャリアブロック層40の上に設けられ、第1導電型とは異なる第2導電型の第2半導体層50と、第2半導体層50の上に設けられる第3半導体層52とを備える。
一例として、第1導電型がn型であり、第2導電型がp型である例を説明する。
基板10は、予め定められた厚さ及び面方位を有する半導体基板、若しくはサファイア等の単結晶基板である。例えば、基板10として半導体基板を用いる場合、炭化ケイ素(SiC)基板、窒化ガリウム(GaN)基板、又は高熱伝導性を有する窒化アルミニウム(AlN)基板等を用いることができる。本実施の形態では、格子整合する基板を用いることで転位等の結晶欠陥の発生を防ぎ、高品質な半導体層を積層する事を目的として、一例として、C面のAlN基板を基板10として用いる。なお、基板10にサファイア等の第1半導体層20の格子定数とは大きく異なる格子定数を有する材料を用いる場合、基板10と第1半導体層20との間にバッファ層を設けることもできる。
第1半導体層20、発光層30、スペーサー層35、キャリアブロック層40、第2半導体層50、及び第3半導体層52はこの順に積層され、それぞれ、主として窒化物系化合物半導体を用いて構成される。これらの半導体層は、例えば、AlxGa1−xN(ただし、0≦x≦1)で表される化合物半導体から構成される。ここで、キャリアブロック層40は、第1半導体層20側から伝搬してくるキャリア(例えば、電子)が第2半導体層50側に伝搬することを抑制する半導体層である。
第1電極60は、第1半導体層20にオーミック接合する材料から形成される。同様に、第2電極65は、第3半導体層52にオーミック接合する材料から形成される。また、第1電極60及び第2電極65はそれぞれ、単一材料から構成される電極層、又は一部が異なる材料から構成される複数の電極層の組合せを含んで構成される。
以下、本実施の形態に係る発光素子1の製造方法の一例を説明する。
本実施の形態に係る発光素子1は、キャリアブロック層40に最も近い側の井戸層304とスペーサー層35との界面にドーパントを実質的に存在させないこと、若しくは予め定められた不純物濃度に制御することで、発光素子1の外部量子効率を向上させることができる。
10 基板
20 第1半導体層
30 発光層
35 スペーサー層
40 キャリアブロック層
50 第2半導体層
52 第3半導体層
60 第1電極
65 第2電極
100 バンド図
110 濃度プロファイル
300 障壁層
302 井戸層
304 井戸層
Claims (6)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1導電型とは異なる第2導電型の第2半導体層と、
前記第2半導体層の前記第1半導体層側に設けられ、前記第2導電型の不純物を含むキャリアブロック層と、
前記第1半導体層と前記キャリアブロック層との間に設けられる発光層と、
前記キャリアブロック層と前記発光層との間に設けられ、前記発光層との界面近傍の前記第2導電型の不純物濃度を予め定められた濃度以下にするスペーサー層と
を備える窒化物系半導体発光素子。 - 前記スペーサー層が、前記界面近傍の前記第2導電型の不純物濃度を1×1017cm−3以下に制御する請求項1に記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記発光層が、障壁層と井戸層とが交互に積層される量子井戸層であり、
前記スペーサー層が、前記井戸層に接し、前記スペーサー層と前記井戸層との界面の前記第2導電型の不純物濃度が1×1017cm−3以下である請求項1又は2に記載の窒化物系半導体発光素子。 - 前記第1半導体層が、半導体基板の上に設けられ、
前記第1半導体層、前記第2半導体層、前記発光層、及び前記キャリアブロック層が、AlGaN系半導体を含んで構成される請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物系半導体発光素子。 - 前記半導体基板が、AlN基板であり、
前記第1半導体層が、前記AlN基板のC面上に設けられる請求項4に記載の窒化物系半導体発光素子。 - 前記第2導電型の不純物が、Mg、Zn、Ca、C、又はBeである請求項1〜5のいずれか1項に記載の窒化物系半導体発光素子。
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