JPWO2016072226A1 - 水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
集積回路や薄膜トランジスターに応用されるシリコン薄膜のパターン形成はCVD法等の真空プロセスによりシリコン膜を形成することが一般的に行われている。このような装置では真空プロセスが用いられているため大がかりな装置が必要であり、原料が気体であるため取り扱いにくい等の問題がある。
例えば非酸化性雰囲気下でSinRm(nは3以上の整数を、mはn乃至2n+2の整数を示す。Rは水素原子、アルキル基、フェニル基、又はハロゲンを示す。)で表されるポリシラン化合物を含有する塗膜を形成し、次いで該塗膜を酸化処理するシリコン酸化膜の形成方法が開示されている(特許文献1参照)。
また、基板上の溶液中のシラン化合物を十分に酸化することが難しいために酸化純度が低いという問題があった。
本発明の目的は基板への塗布前の塗布溶液中に水素化ケイ素の酸化物が形成されていて、塗布時に非酸化性雰囲気下に置く必要がなく、塗布後に基板上での加熱処理が必要なく、基板上に水素化ケイ素の酸化物被膜を形成することができる水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法を提供することにある。本発明により生成された、基板上の酸化物被膜は電気絶縁膜として用いることができる。
第2観点として、水素化ケイ素が環状シランである第1観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、
第3観点として、水素化ケイ素がシクロペンタシランである第1観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、
第4観点として、水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤において、水素化ケイ素又はその重合体の酸化物が、(残存するSi−H基)/(酸化前のSi−H基)=1乃至40モル%となる割合で含まれるものとする第1観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、
第5観点として、前記水素化ケイ素として下記(A)、及び(B)工程:
(A)工程:式(1):
(ただし、式(1)中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1乃至6のアルキル基、又は置換されていても良いフェニル基を示し(ただし、R1及びR2は同時に水素原子でない。)、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを、ハロゲン化アルミニウムの存在下にシクロヘキサン中でハロゲン化水素と反応させ、式(2):
(ただし、式(2)中、R3及びR4はそれぞれハロゲン原子を示し、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを含む溶液を得る工程、
(B)工程:式(2)で示される環状シランを有機溶剤に溶解し、水素又はリチウムアルミニウムハイドライドで還元して、式(3):
(ただし、式(3)中、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを得る工程、を含む方法で得られた環状シランを用いる第1観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、
第6観点として、上記(A)工程において、式(2)で示される環状シランを含む溶液を得た後、更に蒸留して式(2)で示される環状シランを得る工程を含む第5観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、
第7観点として、用いる水素化ケイ素の重合体が不活性ガス下に、水素化ケイ素と金属ロジウムとの接触により生成したものである第1観点に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法、及び
第8観点として、酸素を含むガスが空気である第1観点乃至第7観点のいずれか一つに記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法である。
本発明では基板に塗布する前の溶液中で酸化物を形成するために、塗布時に非酸化性雰囲気下に置く必要がなく、塗布後に基板上での加熱処理の必要がなく、仮に塗布後に酸化処理を行うことにしても緩やかな条件で可能である。そして、低温での処理が必要な基材でも容易に酸化物被膜を形成することができる。生成された基板上の酸化物被膜は電気絶縁膜として用いることができる。
すなわち溶液中での水素化ケイ素の酸化であるため、酸化が十分に進行することができる。また、得られた酸化物は予め溶液中に存在するために溶剤との相容性が高く、形成された酸化物の沈降もなく安定に存在することができる。
上記値が1モル%未満であると、微少な酸化物の析出等があり好ましくない。また、40モル%を超えると十分に酸化されておらず、被覆した時に十分な電気絶縁性を示すことができない。
(A)工程において、式(1)で示される環状シラン中基R1及びR2の定義における炭素数1乃至6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、シクロプロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、シクロブチル基、1−メチル−シクロプロピル基、2−メチル−シクロプロピル基、n−ペンチル基等が挙げられる。さらに置換されていても良いフェニル基において、置換基は例えば上記アルキル基が挙げられる。nは4乃至6の整数であり、好ましくはn=5である環状シランのみ、或いはn=5である環状シランを主成分として用いることができる。n=5である環状シランで、R1とR2がフェニル基である場合はデカフェニルシクロペンタシランであり、デカフェニルシクロペンタシランを原料として好ましく用いることができる。そして、n=4、n=6である環状シランを含むこともできる。
その際に、有機溶媒(例えば、シクロヘキサン、ヘキサン、ヘプタン、トルエン、ベンゼン)中でハロゲン化アルミニウム(例えば、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム)を触媒として反応させることができる。ハロゲン化水素(例えば、塩化水素)は環状シランに対して2nモル以上必要であり、例えば2.5nモル乃至3.5nモルとすることができ、また過剰に添加することもできる。触媒は環状シラン1モルに対して、0.01モル乃至2モルの割合で添加することができる。(A)工程で、塩化水素を用いた場合には式(2)のR3とR4は塩素原子である。
式(3)中で、nは4乃至6の整数であるが、得られた全シラン中にnが5であるシクロペンタシランが80モル%以上、例えば80乃至100モル%、より好ましくは90乃至100モル%の割合で含有していることが好ましい。特に好ましくは純度の高いシクロペンタシラン(100モル%)であることが好ましい。
(ただし、式(a)中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1乃至6のアルキル基、又は置換されていても良いフェニル基を示し(ただし、R1及びR2は同時に水素原子でない。)、Xはハロゲン原子を示す。)で示される化合物を有機溶剤中でアルカリ金属の存在下に反応させ、上記式(1)で示される環状シランを得ることができる。
得られたシクロペンタシランの重合体は、重量平均分子量が600乃至3000程度であり、重量平均分子量Mwと数平均分子量MnとのMw/Mn比が1.03乃至1.55となり、分子量分布が狭い重合体が得られる。
重合体の収率は80乃至90%の高い範囲で得ることができる。
上記溶剤中でもシクロオクタンが好ましく用いられ、シクロオクタン中に上記ポリシランを5乃至8質量%で含有してポリシラン組成物とすることができる。
塗布工程は大気中で行われることが好ましい。また窒素、ヘリウム、アルゴン等のガス中で行うこともできる。
Si−H%についてはIR測定により、2100cm−1のピークをSi−H、1100cm−1のピークをSi−Oとして、次の様に定義した。Si−H%=(Si−Hの積分値)/(Si−Hの積分値+Si−Oの積分値)×100として計算した。なお、IR分析の際は濃縮により、溶媒除去した後に実施した。
窒素雰囲気下、2L反応フラスコにデカフェニルシクロペンタシラン(500.0g)と溶媒としてシクロヘキサン(453.7g)を仕込んだ。これに塩化アルミニウムAlCl3(14.7g)を加えた後、これを水浴で室温まで昇温させた。これに塩化水素HClガスを8時間吹込んだ。その後、減圧と窒素による復圧を10回繰返して塩化水素を除去した後、メンブレンフィルターでろ過してデカクロロシクロペンタシランのシクロヘキサン溶液(1099.5g)を得た。
合成例1にて得たデカクロロシクロペンタシランのシクロヘキサン溶液(1099.5g)の溶媒除去を行い、その後、蒸留することによりシクロヘキシルベンゼンを除去したデカクロロシクロペンタシラン(268.56g)を得た。これにシクロヘキサン(814.5g)加え溶解させた後、メンブレンフィルターでろ過し、シクロヘキサン(50g)で洗浄を行い、高純度デカクロロシクロペンタシランのシクロヘキサン溶液(1100.6g)を得た。
これをアルゴン雰囲気下、2L反応フラスコ仕込み0乃至10℃にて水素化アルミニウムリチウムLiAlH4(57.5g)のジエチルエーテルET2O(269.6g)溶液を2時間かけて滴下した。室温で1時間撹拌後、0乃至10℃にて反応溶液へイオン交換水(592.7g)を1時間かけて滴下した。撹拌、静置後、水層部分を除去した。引き続き、室温でイオン交換水(592.7g)を加え、この水洗操作を4回繰り返した後、有機層を硫酸マグネシウム(23.7g)で乾燥させた後、メンブレンフィルターでろ過、濃縮を行いシクロペンタシランを含む反応混合物(71.8g)を得た。得られたシクロペンタシランを蒸留精製することによりシクロペンタシラン(53.74g)を得た。
窒素雰囲気下、1L反応フラスコに塩化ロジウムn水和物(1.00g)、炭酸アンモニウム(0.48g)、イオン交換水(482ml)を仕込んだ。次いで、室温から30分かけて90℃まで昇温した。ヒドラジンn水和物(9.65ml)加え、90℃で25分間撹拌した後、撹拌しながら30℃以下まで降温し、溶液を一晩静置させてRhblackを沈降させた。上澄み液を400ml分取した後、残りを遠心分離機(2000rpm)にかけて水を分離し、フラスコに移して真空で一晩乾燥させた。乾燥したRhblack(ロジウムブラック)を、メノウ製すり鉢ですりつぶし、得られたRhblackは0.45gであった。
アルゴン雰囲気下、合成例3より得られたRh black(150.7mg)を仕込み、合成例2で得られたシクロペンタシラン(49.95g)を添加した。この反応混合物を3時間半撹拌した。次いでシクロヘキサン321.5gを加えて反応を停止させ、次いで混合用液を、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)製メンブランフィルターで濾過した。次いで得られたろ液を、ナスフラスコに移し、濃縮したところ生成物が41.94g得られた。GPCを測定したところ、Mn=1,038、Mw=1,287であった。また、重合せずに残っている残存シクロペンタシラン量は、14.7%であった。
アルゴン雰囲気下、合成例4で得られたシクロペンタシランポリマー(4.0g)をシクロヘキサン/シクロオクタン(重量比95/5、96.0g)に溶解させ、4質量%の溶液を調整した。このシクロペンタシランポリマーを4質量%で含有するシクロヘキサン/シクロオクタン溶液(20.0g)へ高純度空気を100ml/分で6時間吹き込み酸化させた。酸化前後のIRチャートについては図1(酸化前)及び図2(酸化後)に示す。得られた溶液については無色透明であり、IR測定を行ったところ酸化後にポリマー中に残存するSi−H基は、酸化前にポリマー中に残存するSi−H基に対して25.3モル%であった。酸化前後の29Si−NMRスペクトルを図3に示す。
アルゴン雰囲気下、合成例2で得られたシクロペンタシラン(4.0g)をシクロヘキサン(96.0g)に溶解させ、4質量%の溶液を調整した。このシクロペンタシランを4質量%で含有するシクロヘキサン溶液(10.0g)へ高純度空気を50ml/分で6時間吹き込み酸化させた。得られた溶液については無色透明であり、IR測定を行ったところ酸化後にポリマー中に残存するSi−H基は、酸化前にポリマー中に残存するSi−H基に対して26.9モル%であった。
Claims (8)
- 水素化ケイ素又はその重合体を含む有機溶剤に、酸素を含むガスを吹き込むことを特徴とする水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 水素化ケイ素が環状シランである請求項1に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 水素化ケイ素がシクロペンタシランである請求項1に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤において、水素化ケイ素又はその重合体の酸化物が、(残存するSi−H基)/(酸化前のSi−H基)=1乃至40モル%となる割合で含まれるものとする請求項1に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 前記水素化ケイ素として下記(A)、及び(B)工程:
(A)工程:式(1):
(ただし、式(1)中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1乃至6のアルキル基、又は置換されていても良いフェニル基を示し(ただし、R1及びR2は同時に水素原子でない。)、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを、ハロゲン化アルミニウムの存在下にシクロヘキサン中でハロゲン化水素と反応させ、式(2):
(ただし、式(2)中、R3及びR4はそれぞれハロゲン原子を示し、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを含む溶液を得る工程、
(B)工程:式(2)で示される環状シランを有機溶剤に溶解し、水素又はリチウムアルミニウムハイドライドで還元して、式(3):
(ただし、式(3)中、nは4乃至6の整数を示す。)で示される環状シランを得る工程、
を含む方法で得られた環状シランを用いる請求項1に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。 - 上記(A)工程において、式(2)で示される環状シランを含む溶液を得た後、更に蒸留して式(2)で示される環状シランを得る工程を含む請求項5に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 用いる水素化ケイ素の重合体が不活性ガス下に、水素化ケイ素と金属ロジウムとの接触により生成したものである請求項1に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
- 酸素を含むガスが空気である請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の水素化ケイ素の酸化物を含む有機溶剤の製造方法。
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