JPWO2016017596A1 - 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(A)ブロックポリマ(バインダーポリマ。以下、場合により「(A)成分」という)と、(B)光重合性化合物(以下、場合により「(B)成分」という)と、(C)光重合開始剤(以下、場合により「(C)成分」という)と、を含有する。本実施形態の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、その他の成分を更に含有してもよい。例えば、本実施形態の感光性樹脂組成物は、(A)成分、(B)成分及び(C)成分に加えて、(D)増感色素(以下、場合により「(D)成分」という)及び/又は(E)水素供与体(以下、場合により「(E)成分」という)を含有することが好ましい。
本実施形態で使用するブロックポリマ((A)成分)について説明する。(A)成分は、三成分以上の重合性モノマを重合してなる(メタ)アクリルポリマであり、第一の重合性モノマに由来する構造単位と、第二の重合性モノマに由来する構造単位とを含む第一のポリマユニット、及び、前記第一の重合性モノマに由来する構造単位と、前記第二の重合性モノマとは異なる第三の重合性モノマに由来する構造単位とを含む第二のポリマユニットを有する。前記第二の重合性モノマは、前記第一の重合性モノマとは異なる。前記第三の重合性モノマは、前記第一の重合性モノマとも異なる。
次に、光重合性化合物((B)成分)について説明する。(B)成分は、光重合が可能なものであれば特に制限はない。(B)成分は、エチレン性不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合を有する化合物としては、分子内にエチレン性不飽和結合を1つ有する化合物、分子内にエチレン性不飽和結合を2つ有する化合物、分子内にエチレン性不飽和結合を3つ以上有する化合物等が挙げられる。
前記含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部中に、5質量部〜30質量部であることが好ましく、10質量部〜25質量部であることがより好ましい。
感光性樹脂組成物は、(C)成分として光重合開始剤の少なくとも1種を含む。(C)成分としては、特に制限はなく、通常用いられる光重合開始剤から適宜選択することができる。(C)成分としては、ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン,2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパノン等の芳香族ケトン;アルキルアントラキノン等のキノン化合物;ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(2−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体(別名:2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール)、2−(2−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体などが挙げられる。(C)成分は、1種類単独で又は2種類以上を任意に組み合わせて用いることができる。
感光性樹脂組成物は、(D)成分として増感色素の少なくとも1種を含むことが好ましい。増感色素は、露光に用いる活性光線の吸収波長を有効に利用できるものであり、且つ、極大吸収波長が340nm〜420nmである化合物が好ましい。
(D)成分の含有量は、充分に良好なレジスト形状が得られ易くなる傾向がある観点から、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、10質量部以下であることが好ましく、5質量部以下であることがより好ましく、3質量部以下であることが更に好ましい。これらの観点から、(D)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.01質量部〜10質量部であることが好ましく、0.05質量部〜5質量部であることがより好ましく、0.1質量部〜3質量部であることが更に好ましい。
感光性樹脂組成物は、露光部(露光部分)と未露光部(未露光部分)とのコントラスト(「イメージング性」ともいう)を良好にするため、(E)成分として、露光部の反応時に光重合開始剤に対して水素を与えることができる水素供与体の少なくとも1種を含有することが好ましい。(E)成分としては、ビス[4−(ジメチルアミノ)フェニル]メタン、ビス[4−(ジエチルアミノ)フェニル]メタン、ロイコクリスタルバイオレット等が挙げられる。(E)成分は、1種類単独で又は2種類以上を任意に組み合わせて用いることができる。
本実施形態の感光性樹脂組成物では、ブロックポリマ以外のその他のポリマをブロックポリマと共に用いてもよい。また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、分子内に少なくとも1つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物(オキセタン化合物等);カチオン重合開始剤;マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブルー、ブリリアントグリーン、メチルバイオレット等の染料;トリブロモフェニルスルホン、ジフェニルアミン、ベンジルアミン、トリフェニルアミン、ジエチルアニリン、2−クロロアニリン等の光発色剤;熱発色防止剤;4−トルエンスルホンアミド等の可塑剤;顔料;充填剤;消泡剤;難燃剤;安定剤;密着性付与剤;レベリング剤;剥離促進剤;酸化防止剤;香料;イメージング剤;熱架橋剤などを含有してもよい。これらは、1種類単独で又は2種類以上を任意に組み合わせて用いることができる。感光性樹脂組成物がこれらの成分を含む場合、これらの成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、それぞれ0.005質量部〜20質量部程度であることが好ましい。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、粘度を調整するために、有機溶剤の少なくとも1種を更に含んでいてもよい。有機溶剤としては、メタノール、エタノール等のアルコール溶剤;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン溶剤;メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤;トルエン等の芳香族炭化水素溶剤;N,N−ジメチルホルムアミド等の非プロトン性極性溶剤などが挙げられる。有機溶剤は、1種類単独で又は2種類以上を任意に組み合わせて用いることができる。感光性樹脂組成物に含まれる有機溶剤の含有量は、目的等に応じて適宜選択することができる。例えば、感光性樹脂組成物は、固形分が30質量%〜60質量%程度となる溶液として用いることができる。以下、有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を「塗布液」ともいう。
本実施形態の感光性エレメントは、支持体と、当該支持体上に設けられた感光性樹脂組成物層とを備える。感光性樹脂組成物層は、上記感光性樹脂組成物を含んでおり、上記感光性樹脂組成物から形成される。なお、前記感光性樹脂組成物層は塗膜であってもよい。本明細書でいう「塗膜」とは、感光性樹脂組成物が未硬化状態のものである。感光性エレメントは、必要に応じて保護層等のその他の層を有していてもよい。
上記感光性樹脂組成物を用いてレジストパターンを形成することができる。本実施形態のレジストパターンの製造方法(レジストパターンの形成方法)は、(i)上記感光性樹脂組成物又は上記感光性エレメントを用いて感光性樹脂組成物層を基板上に形成する感光層形成工程と、(ii)前記感光性樹脂組成物層の少なくとも一部の領域に活性光線を照射して、前記領域を光硬化させて硬化物領域を形成する露光工程と、(iii)前記感光性樹脂組成物層の前記硬化物領域以外の少なくとも一部の領域を前記基板上から除去して、前記硬化物領域であるレジストパターンを前記基板上に形成する現像工程と、を有する。レジストパターンの製造方法は、必要に応じてその他の工程を更に有していてもよく、感光層形成工程における感光性樹脂組成物層は塗膜であってもよい。
まず、上記感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物層を基板上に形成する。基板としては、絶縁層と、当該絶縁層上に形成される導体層とを備える基板(回路形成用基板)を用いることができる。
露光工程では、上記のようにして基板上に形成された感光性樹脂組成物層の少なくとも一部の領域に活性光線を照射することで、活性光線が照射された露光部が光硬化して、潜像が形成される。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が活性光線に対して透明である場合には、支持体を通して活性光線を照射することができる。一方、支持体が活性光線に対して遮光性を示す場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂組成物層に活性光線を照射する。
現像工程では、感光性樹脂組成物層の未硬化部分が基板(回路形成用基板等)上から現像処理により除去されることで、感光性樹脂組成物層が光硬化した硬化物であるレジストパターンが基板上に形成される。感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去してから、未露光部の除去(現像)を行う。現像処理には、ウェット現像とドライ現像とがあるが、ウェット現像が広く用いられている。
本実施形態のプリント配線板の製造方法は、上記レジストパターンの製造方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング処理又はめっき処理する工程を含む。本実施形態のプリント配線板の製造方法は、例えば、絶縁層と、当該絶縁層上に形成された導体層とを備える基板(回路形成用基板等)の当該導体層上に、上記レジストパターンの製造方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング処理又はめっき処理して、導体パターンを形成する工程を含む。プリント配線板の製造方法は、必要に応じてレジスト除去工程等のその他の工程を含んでいてもよい。基板のエッチング処理又はめっき処理は、形成されたレジストパターンをマスクとして用いて、基板の導体層等に対して行われる。
(ブロックポリマの合成例1)
環流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導入管を備えた500mL(ミリリットル)のセパラブルフラスコにメタクリル酸(和光純薬株式会社製)25.0g(290mmol)、スチレン(和光純薬株式会社製)67.5g(648mmol)、クミルジチオベンゾエート1.46g(5.36mmol)、及び、2、2’−アゾビスイソブチロニトリル(和光純薬株式会社製、純度98%)0.45g(2.73mmol)を仕込んだ。次に、室温で窒素をバブリングし、30分間撹拌した。温度を65℃に上げ30分撹拌し、その後温度を70℃に上げた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で2時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。固形分から換算した重合率は94%、スチレン/メタクリル酸ユニットの重量平均分子量(Mw)は12900、数平均分子量(Mn)は9200であった。この反応液にメタクリル酸(和光純薬株式会社製)15.5g(181mmol)、及び、メタクリル酸ベンジル(ベンジルメタクリレート、日立化成株式会社製、ファンクリルFA−BZM)42.0g(238mmol)を加えて更に70℃で撹拌を続けた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で4時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。反応終了後、アクリルポリマのトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合溶液を得た。得られたポリマの重量平均分子量(Mw)は21900、数平均分子量(Mn)は15100、ワニスの固形分は34質量%であった。
環流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導入管を備えた500mLのセパラブルフラスコにメタクリル酸(和光純薬株式会社製)25.0g(290mmol)、スチレン(和光純薬株式会社製)67.5g(648mmol)、クミルジチオベンゾエート0.68g(2.50mmol)、及び、2、2’−アゾビスイソブチロニトリル(和光純薬株式会社製、純度98%)0.21g(1.28mmol)を仕込んだ。次に、室温で窒素をバブリングし、30分間撹拌した。温度を65℃に上げ30分撹拌し、その後温度を70℃に上げた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で2時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。固形分から換算した重合率は92%、スチレン/メタクリル酸ユニットの重量平均分子量(Mw)は21400、数平均分子量(Mn)は16900であった。この反応液にメタクリル酸(和光純薬株式会社製)15.5g(181mmol)、及び、メタクリル酸ベンジル(日立化成株式会社製、ファンクリルFA−BZM)42.0g(238mmol)を加えて更に70℃で撹拌を続けた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で4時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。反応終了後、アクリルポリマのトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合溶液を得た。得られたポリマの重量平均分子量(Mw)は40300、数平均分子量(Mn)は32000、ワニスの固形分は34質量%であった。
環流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導入管を備えた500mLのセパラブルフラスコにメタクリル酸(和光純薬株式会社製)25.0g(290mmol)、スチレン(和光純薬株式会社製)67.5g(648mmol)、クミルジチオベンゾエート1.12g(4.11mmol)、及び、2、2’−アゾビスイソブチロニトリル(和光純薬株式会社製、純度98%)0.17g(1.01mmol)を仕込んだ。次に、室温で窒素をバブリングし、30分間撹拌した。温度を65℃に上げ30分撹拌し、その後温度を70℃に上げた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で2時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。固形分から換算した重合率は92%、スチレン/メタクリル酸ユニットの重量平均分子量(Mw)は11300、数平均分子量(Mn)は9000であった。室温に冷却後、反応液をヘキサンで再沈殿し、40℃で真空乾燥した。得られた固形物50.0g、トルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液46g、メタクリル酸(和光純薬株式会社製)15.5g(181mmol)、及び、メタクリル酸ベンジル(日立化成株式会社製、ファンクリルFA−BZM)42.0g(238mmol)を加えて撹拌し、固形物を溶解後、温度を70℃に上げ撹拌した。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液を46g加えて更に撹拌した。80℃で2時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。反応終了後、アクリルポリマのトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合溶液を得た。メタクリル酸/メタクリル酸ベンジルのユニットを含めた最終のアクリルポリマの重量平均分子量(Mw)は30500、数平均分子量(Mn)は23800、ワニスの固形分は34質量%であった。
表2に示した成分(モノマ、RAFT化剤等)の組合せを用いたこと以外は、合成例1に従い、アクリルポリマを得た。
環流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導入管を備えた500mLのセパラブルフラスコにスチレン(和光純薬株式会社製)63.0g(605mmol)、メタクリル酸ベンジル(日立化成株式会社製、ファンクリルFA−BZM)39.2g(222mmol)、クミルジチオベンゾエート1.34g(4.93mmol)、及び、2、2’−アゾビスイソブチロニトリル(和光純薬株式会社製、純度98%)0.184g(1.10mmol)を仕込んだ。次に、室温で窒素をバブリングし、30分間撹拌した。温度を65℃に上げ30分撹拌し、その後温度を70℃に上げ2時間撹拌し、更に80℃で2時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。固形分から換算した重合率は96%、スチレン/メタクリル酸ベンジルユニットの重量平均分子量(Mw)は14100、数平均分子量(Mn)は11300であった。この反応液にメタクリル酸(和光純薬株式会社製)37.8g(439mmol)、トルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合液46gを加えて70℃で撹拌を続けた。反応液の粘度が上がったら、別途、窒素を30分間バブリングしておいたプロピレングリコールモノメチルエーテルを46g加えて更に撹拌した。80℃で4時間撹拌し、固形分と分子量とを測定した。反応終了後、アクリルポリマのトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合溶液を得た。得られたポリマの重量平均分子量(Mw)は20900、数平均分子量(Mn)は16000、ワニスの固形分は34質量%であった。
表3に示すモノマを用いたこと以外は比較合成例1に従い、スチレン及びメタクリル酸を重合した後にメタクリル酸ベンジルを添加し、アクリルポリマのトルエン/プロピレングリコールモノメチルエーテル(2/3質量比)混合溶液を得た。得られたポリマの重量平均分子量(Mw)は28800、数平均分子量(Mn)は21500、ワニスの固形分は35質量%であった。
反応液、及び、得られたアクリルポリマの評価は以下に従い行った。
反応液又はアクリルポリマワニスの固形分は、精秤したアルミシャーレに約1gを精秤し150℃で15分加熱した後に再度精秤し、以下の式により求めた。
固形分(%)=[加熱後の質量(g)−アルミシャーレの質量(g)]/アクリルポリマワニスの質量(g)×100
重合率(反応率)(%)=固形分(%)/[全仕込みアクリルモノマ(g)/全仕込み量(g)×100]
アクリルポリマの数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)及びMw/Mnは、アクリルポリマの分子量分布のクロマトグラムをGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)により測定し、25℃における標準ポリスチレンの溶離時間から換算して求めた。なお、測定装置としては、東ソー株式会社製EcoSEC、HLC−8320GPCを使用し、GPCの溶離液としては、テトラヒドロフランを使用し、カラムとしては、ゲルパックGL−A−150、ゲルパックGL−A−10(日立ハイテクノロジーズ株式会社製、商品名)を直結したものを使用した。なお、反応液中のポリマの分子量についても同様に測定した。
アクリルポリマのモノマ組成は核磁気共鳴スペクトル(NMR)により求めた。なお、反応液中のポリマの組成についても同様に解析した。結果を下記表1〜表3に示す。
合成したアクリルポリマ約1gを三角フラスコに秤量し、混合溶剤(質量比:トルエン/メタノール=70/30)を加えて溶解した。その後、指示薬としてフェノールフタレイン溶液を適量添加し、0.1Nの水酸化カリウム水溶液で滴定した。そして、下記式(α)より酸価を測定した。
x=10×Vf×56.1/(Wp×I) …(α)
式(α)中、xは酸価(mgKOH/g)を示し、Vfは0.1Nの水酸化カリウム水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
表4及び表5に示す(B)〜(E)成分及び染料を、表4及び表5に示す配合量(単位:質量部)に従い配合及び溶解した。その後、(A)成分(合成例1〜5、比較合成例1〜2)58質量部(固形分換算)を配合し均一になるまで混合し、感光性樹脂組成物を得た。表4及び表5に示す(A)成分以外の各成分の詳細については、以下のとおりである。
・FA−321M(70):2,2−ビス(4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル)プロパン(エチレンオキサイド平均10mol付加物)のプロピレングリコールモノメチルエーテル70%溶液(日立化成株式会社、「FA−321M」)
・FA−023M:EO変性ポリプロピレングリコールジメタクリレート(日立化成株式会社、「FA−023M」)
・FA−MECH:(2−ヒドロキシ−3−クロロ)プロピル−2−メタクリロイルオキシエチルフタレート(日立化成株式会社、「FA−MECH」)
・B−CIM:2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール[別名:2−(2−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体](Hampford社、「B−CIM」)
・DBA:9,10−ジブトキシアントラセン(川崎化成工業株式会社「DBA」)
・LCV:ロイコクリスタルバイオレット(山田化学株式会社、「LCV」)
・MKG:マラカイトグリーン(大阪有機化学工業株式会社、「MKG」)
上記で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、それぞれ厚さ16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社、「FB−40」)(支持体)上に厚みが均一になるように塗布した。次に、70℃及び110℃の熱風対流式乾燥器で順次乾燥処理して、乾燥後の膜厚が25μmである感光性樹脂組成物層を形成した。この感光性樹脂組成物層上にポリプロピレンフィルム(王子製紙株式会社、「E−200K」)(保護層)を貼り合わせ、支持体と、感光性樹脂組成物層と、保護層とが順に積層された感光性エレメントをそれぞれ得た。
ガラスエポキシ材と、その両面に形成された銅箔(厚さ16μm)とを有する銅張積層板(日立化成株式会社、「MCL−E−679F」)(以下、「基板」という。)を加熱して80℃に昇温させた。その後、実施例1〜5及び比較例1〜2に係る感光性エレメントを用いて、各々、基板の銅表面上に感光性樹脂組成物層を形成(ラミネート)した。ラミネートは、保護層を除去しながら、各感光性エレメントの感光性樹脂組成物層が基板の銅表面に密着するようにして、温度120℃、ラミネート圧力4kgf/cm2(0.4MPa)の条件下で行った。このようにして、基板の銅表面上に感光性樹脂組成物層及び支持体が積層された積層基板を得た。
実施例1〜5及び比較例2について感度の評価を行った。露光後、積層基板から支持体を剥離し、感光性樹脂組成物層を露出させ、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を60秒間スプレーすることにより現像処理し、未露光部を除去した。このようにして、感光性樹脂組成物の硬化物であるレジストパターンを基板の銅表面上に形成した。レジストパターン(硬化膜)として得られたステップタブレットの残存段数(ステップ段数)を測定することにより、感光性樹脂組成物の感度を評価した。感度は、上記ステップ段数により示され、この段数が高いほど感度が良好であることを意味する。結果を表6に示す。
ライン幅(L)/スペース幅(S)(以下、「L/S」と記す。)が3/3〜30/30(単位:μm)である描画パターンを用いて、41段ステップタブレットの残存段数が15段となるエネルギー量で上記積層基板の感光性樹脂組成物層に対して露光(描画)を行った。露光後、上記感度の評価と同様の現像処理を行った。
感光性樹脂組成物層の現像性は、以下のようにして最短現像時間(最小現像時間。単位:秒)を測定することで評価した。上記積層基板を5cm四方に切断し、現像性評価用の試験片を得た。試験片から支持体を剥離した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、露光していない感光層を0.15MPaの圧力でスプレー現像し、1mm以上の未露光部が除去されたことを目視で確認できる最短の時間を、最短現像時間とした。ノズルは、フルコーンタイプを使用した。上記試験片とノズル先端の距離は6cmであり、試験片の中心とノズルの中心が一致するように配置した。最短現像時間は、この時間が短いほど現像性が良好であることを意味する。結果を表6に示す。
アクリルポリマ(合成例1〜5、比較合成例1〜2)58質量部(固形分換算)に、2,2−ビス(4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル)プロパン(エチレンオキサイド平均10mol付加物、日立化成株式会社製「FA−321M」)27質量部、(PO)(EO)(PO)変性ジメタクリレート(エチレンオキサイド平均6mol及びプロピレンオキサイド平均12mol付加物、日立化成株式会社「FA−023M」)10質量部、(2−ヒドロキシ−3−クロロ)プロピル−2−メタクリロイルオキシエチルフタレート(日立化成株式会社「FA−MECH」)5質量部、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN、熱硬化開始剤)0.92質量部を配合し、樹脂組成物ワニスを得た。
破断伸び(%)=[(破断したときのチャック間距離−最初のチャック間距離(60mm))/最初のチャック間距離(60mm)]×100
Claims (11)
- ブロックポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有し、
前記ブロックポリマが、第一のポリマユニットと、第二のポリマユニットと、を有する(メタ)アクリルポリマであり、
前記第一のポリマユニットが、第一の重合性モノマに由来する構造単位と、第二の重合性モノマに由来する構造単位とを含み、
前記第二のポリマユニットが、前記第一の重合性モノマに由来する構造単位と、前記第二の重合性モノマとは異なる第三の重合性モノマに由来する構造単位とを含む、感光性樹脂組成物。 - 前記第一の重合性モノマが(メタ)アクリル酸である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第二の重合性モノマがスチレンである、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第三の重合性モノマが(メタ)アクリル酸エステルである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第一のポリマユニットの片末端又は両末端に前記第二のポリマユニットが結合している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ブロックポリマの重量平均分子量が10000〜200000である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ブロックポリマの分子量分散度が1.2〜4.0である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
- 支持体と、当該支持体上に設けられた感光性樹脂組成物層と、を備え、
前記感光性樹脂組成物層が、請求項1〜7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含む、感光性エレメント。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物、又は、請求項8に記載の感光性エレメントを用いて感光性樹脂組成物層を基板上に形成する工程と、
前記感光性樹脂組成物層の少なくとも一部の領域に活性光線を照射して、前記領域を光硬化させて硬化物領域を形成する工程と、
前記感光性樹脂組成物層の前記硬化物領域以外の少なくとも一部の領域を前記基板上から除去して、前記硬化物領域であるレジストパターンを前記基板上に形成する工程と、を備える、レジストパターンの製造方法。 - 前記活性光線の波長が340nm〜430nmの範囲内である、請求項9に記載のレジストパターンの製造方法。
- 請求項9又は10に記載のレジストパターンの製造方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング処理又はめっき処理する工程を備える、プリント配線板の製造方法。
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