JPWO2015194243A1 - 発光素子及びその製造方法 - Google Patents
発光素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015194243A1 JPWO2015194243A1 JP2016529130A JP2016529130A JPWO2015194243A1 JP WO2015194243 A1 JPWO2015194243 A1 JP WO2015194243A1 JP 2016529130 A JP2016529130 A JP 2016529130A JP 2016529130 A JP2016529130 A JP 2016529130A JP WO2015194243 A1 JPWO2015194243 A1 JP WO2015194243A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- compound semiconductor
- gan substrate
- light
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 53
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 201
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 186
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 96
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 15
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 10
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 600
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 46
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 26
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 6
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N magnesium;cyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Mg+2].C1C=CC=[C-]1.C1C=CC=[C-]1 QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTWRPUHOZUFEDH-UHFFFAOYSA-N C[Mg]C1C=CC=C1 Chemical compound C[Mg]C1C=CC=C1 NTWRPUHOZUFEDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000012868 Overgrowth Diseases 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052699 polonium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02576—N-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02579—P-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02581—Transition metal or rare earth elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02639—Preparation of substrate for selective deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0425—Electrodes, e.g. characterised by the structure
- H01S5/04252—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the material
- H01S5/04253—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the material having specific optical properties, e.g. transparent electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18308—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL] having a special structure for lateral current or light confinement
- H01S5/18322—Position of the structure
- H01S5/18327—Structure being part of a DBR
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18361—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3202—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures grown on specifically orientated substrates, or using orientation dependent growth
- H01S5/32025—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures grown on specifically orientated substrates, or using orientation dependent growth non-polar orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02293—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process formation of epitaxial layers by a deposition process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
- H01S2301/176—Specific passivation layers on surfaces other than the emission facet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/04—MOCVD or MOVPE
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/12—Pendeo epitaxial lateral overgrowth [ELOG], e.g. for growing GaN based blue laser diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0201—Separation of the wafer into individual elements, e.g. by dicing, cleaving, etching or directly during growth
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0206—Substrates, e.g. growth, shape, material, removal or bonding
- H01S5/0217—Removal of the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0425—Electrodes, e.g. characterised by the structure
- H01S5/04252—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18341—Intra-cavity contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
- H01S5/18344—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL] characterized by the mesa, e.g. dimensions or shape of the mesa
- H01S5/1835—Non-circular mesa
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2009—Confining in the direction perpendicular to the layer structure by using electron barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3201—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures incorporating bulkstrain effects, e.g. strain compensation, strain related to polarisation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
基板表面に誘電体から成る多層膜を選択的に形成する工程と、
多層膜上部に窒化物半導体層を成長させる工程と、
多層膜上部に形成された窒化物半導体層上部に活性層を含む窒化物半導体層を成長させる工程と、
多層膜を活性層の発光の少なくとも一方の反射鏡とする工程、
とを含む。
GaN基板上に選択成長用マスク層を形成した後、
選択成長用マスク層で覆われていないGaN基板表面から、第1化合物半導体層を選択成長させて、GaN基板及び選択成長用マスク層を第1化合物半導体層で被覆し、次いで、
第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成する、
各工程を少なくとも有する発光素子の製造方法であって、
選択成長用マスク層は、第1光反射層として機能し、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、選択成長用マスク層の面積は0.8S0以下である。尚、第1化合物半導体層で、選択成長用マスク層を全て被覆してもよいし、選択成長用マスク層の一部を被覆してもよい。また、選択成長用マスク層を被覆した第1化合物半導体層の頂面は、平坦であってもよいし、一部に凹部を有していてもよい。
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
好ましくは、
1×10-6/K<CTE≦1×10-5/K
を満足する。
GaN基板、
GaN基板上に形成された、選択成長用マスク層として機能する第1光反射層、
第1光反射層上に形成された第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層から成る積層構造体、並びに、
第2化合物半導体層上に形成された第2電極及び第2光反射層、
を少なくとも備えた発光素子であって、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、第1光反射層の面積は0.8S0以下である。
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
好ましくは、
1×10-6/K<CTE≦1×10-5/K
を満足する。
1.本開示の第1の態様〜第2の態様に係る発光素子、及び、本開示の第1の態様〜第2の態様に係る発光素子の製造方法、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の第1の態様〜第2の態様に係る発光素子、及び、本開示の第1の態様〜第2の態様に係る発光素子の製造方法)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1の別の変形)、その他
本開示の第1の態様に係る発光素子、あるいは、本開示の第1の態様に係る発光素子の製造方法によって得られる発光素子を、以下、総称して、『本開示の第1の態様に係る発光素子等』と呼ぶ場合がある。また、本開示の第2の態様に係る発光素子、あるいは、本開示の第2の態様に係る発光素子の製造方法によって得られる発光素子を、以下、総称して、『本開示の第2の態様に係る発光素子等』と呼ぶ場合がある。活性層と対向する第1化合物半導体層の面を第1化合物半導体層の第2面と呼び、第1化合物半導体層の第2面と対向する第1化合物半導体層の面を第1化合物半導体層の第1面と呼ぶ場合がある。活性層と対向する第2化合物半導体層の面を第2化合物半導体層の第1面と呼び、第2化合物半導体層の第1面と対向する第2化合物半導体層の面を第2化合物半導体層の第2面と呼ぶ場合がある。
t1=λ0/(4n1)
好ましくは、
t1=λ0/(2n1)
を満足することが望ましい。但し、熱膨張緩和膜の厚さt1の値は本質的に任意とすることができ、例えば、1×10-7m以下とすることができる。
t1=λ0/(4n1)
好ましくは、
t1=λ0/(2n1)
を満足することが望ましい。但し、選択成長用マスク層(第1光反射層)の最下層の厚さt1の値は本質的に任意とすることができ、例えば、1×10-7m以下とすることができる。
t2=λ0/(4n2)
を満足することが好ましく、更には、
t2=λ0/(2n2)
を満足することで、第1光反射層の最上層は、波長λ0の光に対して不在層となる。第1光反射層の最上層(第1化合物半導体層と接する層)を窒化シリコン膜から構成する形態とすることができる。
S1>S2
を満足することが望ましいし、第2光反射層出射タイプの発光素子の場合、
S1<S2
を満足することが望ましいが、これに限定するものではない。
S3>S4
を満足することが望ましいし、第2光反射層出射タイプの発光素子の場合、
S3<S4
を満足することが望ましいが、これに限定するものではない。
GaN基板11、
GaN基板11の上に形成された、選択成長用マスク層43として機能する第1光反射層41、
第1光反射層41上に形成された第1化合物半導体層21、活性層23及び第2化合物半導体層22から成る積層構造体20、並びに、
第2化合物半導体層22上に形成された第2電極32及び第2光反射層42、
を少なくとも備えている。
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
好ましくは、
1×10-6/K<CTE≦1×10-5/K
を満足する。
t1=λ0/(2n1)
を満足する窒化ケイ素(SiNX)から成る。尚、このような膜厚を有する熱膨張緩和膜44(選択成長用マスク層43の最下層)は、波長λ0の光に対して透明であり、光反射層としての機能は有していない。また、選択成長用マスク層43(あるいは第1光反射層41)の平面形状は、正六角形である。正六角形は、化合物半導体層が[11−20]方向若しくはこれと結晶学的に等価な方向に横方向にエピタキシャル成長するように、配置あるいは配列されている。窒化ケイ素(SiNX)及びGaN基板11のCTEの値は以下の表1のとおりである。CTEの値は25゜Cにおける値である。
GaN基板 :5.59×10-6/K
窒化ケイ素(SiNX):2.6〜3.5×10-6/K
GaN系化合物半導体から成り、第1面21a、及び、第1面21aと対向する第2面21bを有する第1化合物半導体層21、
GaN系化合物半導体から成り、第1化合物半導体層21の第2面21bと接する活性層(発光層)23、及び、
GaN系化合物半導体から成り、第1面22a、及び、第1面22aと対向する第2面22bを有し、第1面22aが活性層23と接する第2化合物半導体層22、
が積層されて成る。そして、第2化合物半導体層22の第2面22b上には、第2電極32及び多層膜から成る第2光反射層42が形成されており、積層構造体20が形成されたGaN基板11の表面11aと対向するGaN基板11の他方の面11bに第1電極31が形成されている。多層膜から成る第1光反射層41は、GaN基板11の表面11aに形成されているし、第1化合物半導体層21の第1面21aと接して形成されている。
先ず、GaN基板11上に選択成長用マスク層43を形成する。具体的には、GaN基板11上に、選択成長用マスク層43の最下層を構成する熱膨張緩和膜44を形成し、更に、熱膨張緩和膜44上に、多層膜から成る選択成長用マスク層43の残部(第1光反射層41として機能する)を形成する。そして、選択成長用マスク層43をパターニングする。こうして、図4Aに示す構造を得ることができる。図9に模式的な平面図を示すように、熱膨張緩和膜44を含む選択成長用マスク層43の形状は正六角形である。但し、選択成長用マスク層43の形状はこれに限定するものではなく、例えば、円形、格子状又はストライプ状とすることもできる。尚、図9において、選択成長用マスク層43を明確に表示するために、選択成長用マスク層43に斜線を付した。選択成長用マスク層43と選択成長用マスク層43との間には、GaN基板11が露出している。
次に、選択成長用マスク層43で覆われていないGaN基板11の表面から、第1化合物半導体層21を選択成長させて、GaN基板11及び選択成長用マスク層43を第1化合物半導体層21で被覆する。具体的には、MOCVD装置を用いて、アンモニアガスを供給しながらGaN基板11を1000゜Cまで加熱し、次いで、TMGガス及びSiH4ガスを用いたMOCVD法に基づくELO法等の横方向にエピタキシャル成長させる方法を用いて、第1化合物半導体層21を横方向に成長させる。
引き続き、GaN基板11の温度を800゜Cとして、第1化合物半導体層21上に活性層23、第2化合物半導体層22、第2電極32、第2光反射層42を順次形成する。具体的には、エピタキシャル成長法に基づき、第1化合物半導体層21の上に、TMGガス及びTMIガスを用いて活性層23を形成した後、GaN基板11の温度を950゜Cとして、TMGガス、TMAガス、Cp2Mgガスを用いて電子障壁層を形成し、TMGガス、Cp2Mgガスを用いてp型GaN層を形成することで、第2化合物半導体層22を得る。以上の工程によって積層構造体20を得ることができる。即ち、選択成長用マスク層43を含むGaN基板11上に、
GaN系化合物半導体から成り、第1面21a、及び、第1面21aと対向する第2面21bを有する第1化合物半導体層21、
GaN系化合物半導体から成り、第1化合物半導体層21の第2面21bと接する活性層23、及び、
GaN系化合物半導体から成り、第1面22a、及び、第1面22aと対向する第2面22bを有し、第1面22aが活性層23と接する第2化合物半導体層22、
が積層されて成る積層構造体20をエピタキシャル成長させる。次いで、第2化合物半導体層22の第2面22b上に、周知の方法に基づき、厚さ0.2μmの絶縁材料から成り、開口24Aを有する電流狭窄層24を形成する。こうして、図4Bに示す構造を得ることができる。
その後、所謂素子分離を行うことで発光素子を分離し、積層構造体の側面や露出面を、例えば、SiOXから成る絶縁膜で被覆する。そして、第1電極31やパッド電極33を外部の回路等に接続するために端子等を周知の方法に基づき形成し、パッケージや封止することで、実施例1の発光素子を完成させる。
オフ角(度) 表面粗さRa(nm)
0.35 0.87
0.38 0.95
0.43 1.32
0.45 1.55
0.50 2.30
第1光反射層41の面積割合 表面粗さRa(nm)
0.88S0 1.12
0.83S0 1.05
0.75S0 0.97
0.69S0 0.91
0.63S0 0.85
t2=λ0/(4n2)
を満足することが好ましく、更には、
t2=λ0/(2n2)
を満足すれば、第1光反射層41の最上層41Bは、波長λ0の光に対して不在層となる。
先ず、実施例1の[工程−100]〜[工程−120]と同様の工程を実行することで、図1Aに示した構造を得る。但し、第1電極31は形成しない。
その後、第2光反射層42を、接合層25を介して支持基板26に固定する。こうして、図7Aに示す構造を得ることができる。
次いで、GaN基板11を除去して、第1化合物半導体層21の第1面21a及び第1光反射層41を露出させる。具体的には、先ず、機械研磨法に基づき、GaN基板11の厚さを薄くし、次いで、CMP法に基づき、GaN基板11の残部を除去する。こうして、第1化合物半導体層21の第1面21a及び第1光反射層41を露出させ、図7Bに示す構造を得ることができる。
その後、第1化合物半導体層21の第1面21a上に、周知の方法に基づき第1電極31を形成する。こうして、図6Aに示す構造を有する実施例3の発光素子を得ることができる。
その後、所謂素子分離を行うことで発光素子を分離し、積層構造体の側面や露出面を、例えば、SiOXから成る絶縁膜で被覆する。そして、第1電極31やパッド電極33を外部の回路等に接続するために端子等を周知の方法に基づき形成し、パッケージや封止することで、実施例3の発光素子を完成させる。
[A01]《発光素子の製造方法:第1の態様》
GaN基板上に選択成長用マスク層を形成した後、
選択成長用マスク層で覆われていないGaN基板表面から、第1化合物半導体層を選択成長させて、GaN基板及び選択成長用マスク層を第1化合物半導体層で被覆し、次いで、
第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成する、
各工程を少なくとも有する発光素子の製造方法であって、
選択成長用マスク層は、第1光反射層として機能し、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内、好ましくは0.40度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、選択成長用マスク層の面積は0.8S0以下であり、
選択成長用マスク層の最下層として、GaN基板上に熱膨張緩和膜を形成する発光素子の製造方法。
[A02]熱膨張緩和膜は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る[A01]に記載の発光素子の製造方法。
[A03]熱膨張緩和膜の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、熱膨張緩和膜の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する[A01]又は[A02]に記載の発光素子の製造方法。
[A04]《発光素子の製造方法:第2の態様》
GaN基板上に選択成長用マスク層を形成した後、
選択成長用マスク層で覆われていないGaN基板表面から、第1化合物半導体層を選択成長させて、GaN基板及び選択成長用マスク層を第1化合物半導体層で被覆し、次いで、
第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成する、
各工程を少なくとも有する発光素子の製造方法であって、
選択成長用マスク層は、第1光反射層として機能し、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内、好ましくは0.40度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、選択成長用マスク層の面積は0.8S0以下であり、
GaN基板と接する選択成長用マスク層の最下層の線熱膨張係数CTEは、
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
好ましくは、
1×10-6/K<CTE≦1×10-5/K
を満足する発光素子の製造方法。
[A05]選択成長用マスク層の最下層は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る[A04]に記載の発光素子の製造方法。
[A06]選択成長用マスク層の最下層の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、選択成長用マスク層の最下層の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する[A04]又は[A05]に記載の発光素子の製造方法。
[A07]第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成した後、第1光反射層をストッパ層として、GaN基板を除去する[A01]乃至[A06]のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
[A08]第2化合物半導体層の表面粗さRaは、1.0nm以下である[A01]乃至[A07]のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
[A09]選択成長用マスク層の平面形状は、正六角形、円形、格子状又はストライプ状である[A01]乃至[A08]のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
[B01]《発光素子:第1の態様》
GaN基板、
GaN基板上に形成された、選択成長用マスク層として機能する第1光反射層、
第1光反射層上に形成された第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層から成る積層構造体、並びに、
第2化合物半導体層上に形成された第2電極及び第2光反射層、
を少なくとも備えた発光素子であって、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内、好ましくは0.40度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、第1光反射層の面積は0.8S0以下であり、
第1光反射層の最下層として熱膨張緩和膜がGaN基板上に形成されている発光素子。
[B02]熱膨張緩和膜は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る[B01]に記載の発光素子。
[B03]熱膨張緩和膜の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、熱膨張緩和膜の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する[B01]又は[B02]に記載の発光素子。
[B04]《発光素子:第2の態様》
GaN基板、
GaN基板上に形成された、選択成長用マスク層として機能する第1光反射層、
第1光反射層上に形成された第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層から成る積層構造体、並びに、
第2化合物半導体層上に形成された第2電極及び第2光反射層、
を少なくとも備えた発光素子であって、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内、好ましくは0.40度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、第1光反射層の面積は0.8S0以下であり、
GaN基板と接する第1光反射層の最下層の線熱膨張係数CTEは、
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
好ましくは、
1×10-6/K<CTE≦1×10-5/K
を満足する発光素子。
[B05]第1光反射層の最下層は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る[B04]に記載の発光素子。
[B06]第1光反射層の最下層の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、第1光反射層の最下層の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する[B04]又は[B05]に記載の発光素子。
[B07]第2化合物半導体層の表面粗さRaは、1.0nm以下である[B01]乃至[B06]のいずれか1項に記載の発光素子。
[B08]第1光反射層の平面形状は、正六角形、円形、格子状又はストライプ状である[B01]乃至[B07]のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
Claims (11)
- GaN基板上に選択成長用マスク層を形成した後、
選択成長用マスク層で覆われていないGaN基板表面から、第1化合物半導体層を選択成長させて、GaN基板及び選択成長用マスク層を第1化合物半導体層で被覆し、次いで、
第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成する、
各工程を少なくとも有する発光素子の製造方法であって、
選択成長用マスク層は、第1光反射層として機能し、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、選択成長用マスク層の面積は0.8S0以下であり、
選択成長用マスク層の最下層として、GaN基板上に熱膨張緩和膜を形成する発光素子の製造方法。 - 熱膨張緩和膜は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 熱膨張緩和膜の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、熱膨張緩和膜の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する請求項1に記載の発光素子の製造方法。 - GaN基板上に選択成長用マスク層を形成した後、
選択成長用マスク層で覆われていないGaN基板表面から、第1化合物半導体層を選択成長させて、GaN基板及び選択成長用マスク層を第1化合物半導体層で被覆し、次いで、
第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成する、
各工程を少なくとも有する発光素子の製造方法であって、
選択成長用マスク層は、第1光反射層として機能し、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、選択成長用マスク層の面積は0.8S0以下であり、
GaN基板と接する選択成長用マスク層の最下層の線熱膨張係数CTEは、
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
を満足する発光素子の製造方法。 - 選択成長用マスク層の最下層は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム及び窒化アルミニウムから成る群から選択された少なくとも1種類の材料から成る請求項4に記載の発光素子の製造方法。
- 選択成長用マスク層の最下層の厚さをt1、発光素子の発光波長をλ0、選択成長用マスク層の最下層の屈折率をn1としたとき、
t1=λ0/(2n1)
を満足する請求項4に記載の発光素子の製造方法。 - 第1化合物半導体層上に活性層、第2化合物半導体層、第2電極、第2光反射層を順次形成した後、第1光反射層をストッパ層として、GaN基板を除去する請求項1又は請求項4に記載の発光素子の製造方法。
- 第2化合物半導体層の表面粗さRaは、1.0bnm以下である請求項1又は請求項4に記載の発光素子の製造方法。
- 選択成長用マスク層の平面形状は、正六角形、円形、格子状又はストライプ状である請求項1又は請求項4に記載の発光素子の製造方法。
- GaN基板、
GaN基板上に形成された、選択成長用マスク層として機能する第1光反射層、
第1光反射層上に形成された第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層から成る積層構造体、並びに、
第2化合物半導体層上に形成された第2電極及び第2光反射層、
を少なくとも備えた発光素子であって、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、第1光反射層の面積は0.8S0以下であり、
第1光反射層の最下層として熱膨張緩和膜がGaN基板上に形成されている発光素子。 - GaN基板、
GaN基板上に形成された、選択成長用マスク層として機能する第1光反射層、
第1光反射層上に形成された第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層から成る積層構造体、並びに、
第2化合物半導体層上に形成された第2電極及び第2光反射層、
を少なくとも備えた発光素子であって、
GaN基板表面の面方位のオフ角は0.4度以内であり、
GaN基板の面積をS0としたとき、第1光反射層の面積は0.8S0以下であり、
GaN基板と接する第1光反射層の最下層の線熱 膨張係数CTEは、
1×10-6/K≦CTE≦1×10-5/K
を満足する発光素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014124602 | 2014-06-17 | ||
JP2014124602 | 2014-06-17 | ||
PCT/JP2015/061698 WO2015194243A1 (ja) | 2014-06-17 | 2015-04-16 | 発光素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015194243A1 true JPWO2015194243A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6555260B2 JP6555260B2 (ja) | 2019-08-07 |
Family
ID=54935240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016529130A Active JP6555260B2 (ja) | 2014-06-17 | 2015-04-16 | 発光素子及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10141721B2 (ja) |
EP (1) | EP3159983B1 (ja) |
JP (1) | JP6555260B2 (ja) |
CN (1) | CN106663919B (ja) |
WO (1) | WO2015194243A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6436531B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-12-12 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US11150140B2 (en) * | 2016-02-02 | 2021-10-19 | Kla Corporation | Instrumented substrate apparatus for acquiring measurement parameters in high temperature process applications |
JPWO2018037679A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2019-06-20 | ソニー株式会社 | 発光素子 |
WO2018116596A1 (ja) * | 2016-12-20 | 2018-06-28 | ソニー株式会社 | 発光素子 |
US11309686B2 (en) | 2017-06-20 | 2022-04-19 | Sony Corporation | Surface emitting laser and method of manufacturing the same |
CN110785901B (zh) * | 2017-06-28 | 2021-12-17 | 索尼公司 | 发光元件及其制造方法 |
JP7248441B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2023-03-29 | シャープ株式会社 | 画像表示素子 |
TWI677150B (zh) * | 2018-04-30 | 2019-11-11 | 聯勝光電股份有限公司 | 面射型雷射發光二極體結構 |
CN108598867B (zh) * | 2018-06-26 | 2020-06-12 | 扬州乾照光电有限公司 | Dbr结构芯片及其制备方法 |
CN112234434A (zh) * | 2019-07-15 | 2021-01-15 | 太平洋(聊城)光电科技股份有限公司 | 微透镜芯片 |
JP7388908B2 (ja) * | 2019-12-17 | 2023-11-29 | シャープ福山レーザー株式会社 | 表示装置 |
JPWO2022255252A1 (ja) | 2021-05-31 | 2022-12-08 | ||
EP4358324A1 (en) | 2021-06-16 | 2024-04-24 | Kyocera Corporation | Semiconductor device, method and apparatus for producing semiconductor device, and electronic instrument |
TWI832622B (zh) * | 2022-12-20 | 2024-02-11 | 台亞半導體股份有限公司 | 半導體雷射元件 |
CN115693391A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-02-03 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 应用于芯片的n电极及制备方法和vcsel芯片 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000022282A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型発光素子及びその製造方法 |
JP2000164989A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Sony Corp | 窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法および半導体装置 |
JP2001148544A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-05-29 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
JP2003078214A (ja) * | 2002-08-26 | 2003-03-14 | Nec Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2003168846A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-06-13 | Ricoh Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法および光伝送モジュールおよび光交換装置および光伝送システム |
JP2003324251A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Ricoh Co Ltd | 面発光半導体レーザ素子の製造方法および面発光半導体レーザ素子および光伝送システム |
JP2004063957A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Hitachi Ltd | 半導体量子ドットを有する半導体部材の製造方法、半導体レーザ及びそれを用いた光モジュール |
JP2005159047A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ガリウム系半導体膜を形成する方法、および半導体基板生産物 |
JP2006270124A (ja) * | 2000-10-04 | 2006-10-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物系半導体の形成方法 |
JP2008306126A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Nec Corp | 面発光レーザ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3220977B2 (ja) | 1997-05-07 | 2001-10-22 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子及び窒化物半導体レーザ素子の製造方法。 |
US6233267B1 (en) * | 1998-01-21 | 2001-05-15 | Brown University Research Foundation | Blue/ultraviolet/green vertical cavity surface emitting laser employing lateral edge overgrowth (LEO) technique |
US6320206B1 (en) * | 1999-02-05 | 2001-11-20 | Lumileds Lighting, U.S., Llc | Light emitting devices having wafer bonded aluminum gallium indium nitride structures and mirror stacks |
JP2001313440A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-09 | Sony Corp | 窒化物半導体発光素子 |
WO2002065556A1 (fr) * | 2001-02-15 | 2002-08-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Element de source lumineuse a semi-conducteur a base de nitrure et son procede de realisation |
EP2105977B1 (en) * | 2002-01-28 | 2014-06-25 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor element with supporting substrate and method for producing nitride semiconductor element |
JP4140606B2 (ja) * | 2005-01-11 | 2008-08-27 | ソニー株式会社 | GaN系半導体発光素子の製造方法 |
CN100573940C (zh) * | 2005-09-06 | 2009-12-23 | 昭和电工株式会社 | 氮化镓基化合物半导体发光器件及其制造方法 |
JP4042775B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2008-02-06 | ソニー株式会社 | 半導体薄膜および半導体素子の製造方法 |
JP2008285364A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN基板、それを用いたエピタキシャル基板及び半導体発光素子 |
JP2009081374A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
US8580593B2 (en) * | 2009-09-10 | 2013-11-12 | Micron Technology, Inc. | Epitaxial formation structures and associated methods of manufacturing solid state lighting devices |
-
2015
- 2015-04-16 US US15/314,989 patent/US10141721B2/en active Active
- 2015-04-16 JP JP2016529130A patent/JP6555260B2/ja active Active
- 2015-04-16 EP EP15809837.6A patent/EP3159983B1/en active Active
- 2015-04-16 WO PCT/JP2015/061698 patent/WO2015194243A1/ja active Application Filing
- 2015-04-16 CN CN201580031161.XA patent/CN106663919B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000022282A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型発光素子及びその製造方法 |
JP2000164989A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Sony Corp | 窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法および半導体装置 |
JP2001148544A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-05-29 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
JP2006270124A (ja) * | 2000-10-04 | 2006-10-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物系半導体の形成方法 |
JP2003168846A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-06-13 | Ricoh Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法および光伝送モジュールおよび光交換装置および光伝送システム |
JP2003324251A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Ricoh Co Ltd | 面発光半導体レーザ素子の製造方法および面発光半導体レーザ素子および光伝送システム |
JP2004063957A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Hitachi Ltd | 半導体量子ドットを有する半導体部材の製造方法、半導体レーザ及びそれを用いた光モジュール |
JP2003078214A (ja) * | 2002-08-26 | 2003-03-14 | Nec Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2005159047A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ガリウム系半導体膜を形成する方法、および半導体基板生産物 |
JP2008306126A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Nec Corp | 面発光レーザ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015194243A1 (ja) | 2015-12-23 |
CN106663919A (zh) | 2017-05-10 |
JP6555260B2 (ja) | 2019-08-07 |
EP3159983A4 (en) | 2018-02-14 |
US20170201073A1 (en) | 2017-07-13 |
CN106663919B (zh) | 2020-03-10 |
EP3159983B1 (en) | 2023-08-02 |
US10141721B2 (en) | 2018-11-27 |
EP3159983A1 (en) | 2017-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6555260B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法 | |
EP2835885B1 (en) | Light emitting element and method of producing same | |
JP6566034B2 (ja) | 発光素子 | |
US11404849B2 (en) | Light emitting element to control an oscillation wavelength | |
US10541513B2 (en) | Light emitting element and method of manufacturing the same | |
US9515455B2 (en) | Method of manufacturing light emitting element | |
CN106463909B (zh) | 发光元件 | |
JP6699561B2 (ja) | 光半導体デバイス | |
JP6780505B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法 | |
US20220045476A1 (en) | Light emitting element | |
JP6555261B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190624 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6555260 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |