JPWO2015071927A1 - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015071927A1 JPWO2015071927A1 JP2015547281A JP2015547281A JPWO2015071927A1 JP WO2015071927 A1 JPWO2015071927 A1 JP WO2015071927A1 JP 2015547281 A JP2015547281 A JP 2015547281A JP 2015547281 A JP2015547281 A JP 2015547281A JP WO2015071927 A1 JPWO2015071927 A1 JP WO2015071927A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaned
- cleaning
- partition member
- working chamber
- cleaning apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 107
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 74
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る洗浄装置1を模式的に示す斜視図である(ケーシング3は省略)。図2は同一部切欠側面図である。図3は図2の一部拡大図である。図4は本発明の一実施形態に係る洗浄装置1を模式的に示す平面図である。本実施形態の洗浄装置1は、被洗浄物の着脱を行う第1作業室100と、被洗浄物の洗浄を行う第2作業室200と、被洗浄物の乾燥または水切りを行う第3作業室300と、を有する、作業室が3室の例である。
洗浄装置1の動作の一例を、洗浄工程に沿って説明する。まず、ケーシング3の扉33を開けて、第1作業室100のテーブル45に被洗浄物を載置固定する。そして、扉33を閉じ、制御盤の洗浄開始スイッチを押す。
以上説明したように、本実施形態の洗浄装置には、次のような優れた効果がある。
以上のとおり、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。特に、作業室の数は、上記実施形態の3室に限られず、4室や5室にしてもよい(図5(a)(b)参照)。また、それ以上の室数にしてもよい。
2 支持架台
21 床部
22 側壁部
23 脚部
24 隔壁
3 ケーシング
31 内側壁
32 内天井
33 扉
4 搬送部材
41 センターボス
42 アーム
43 保持台
44 治具
44a ベアリング
45 テーブル
45a 台座
45b 回転軸
45c 環状噛合部
46 保持具
5 第1回転機構
51 第1回転軸
52 第1軸受部材
52a 本体部
52b フランジ部
52c 溝
53 第1駆動モータ
54 Oリング
55 オイルシール
6 第2回転機構
61 第2回転軸
62 ハウジング
63 蓋部材
64 第2軸受部材
65 シートパッキン
66 オイルシール
67 スプロケット
67a 噛合部
68 第2駆動モータ
7 第1仕切部材
8 第2仕切部材
9 シリンダ
100 第1作業室
200 第2作業室
300 第3作業室
W 被洗浄物
Claims (10)
- 被洗浄物を回転搬送して洗浄する洗浄装置であって、
前記被洗浄物の着脱を行う第1作業室と、
前記被洗浄物を洗浄する第2作業室と、
前記被洗浄物を乾燥する第3作業室と、
各作業室を区画する第1仕切部材と、
各作業室の外周を覆う外周壁と、
を備え、
各作業室において、
前記回転搬送の第1回転軸に対し径方向に延びるアームと、
前記アームの一端部に配されるテーブルと、
を備え、
前記第1仕切部材と前記アームと前記テーブルとが、前記第1回転軸を中心に水平方向に回転する、洗浄装置。 - 前記外周壁に取り付けられ、前記第1仕切部材に対応する位置で、前記第1仕切部材の外周側に設けられた第2仕切部材を更に備える、請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記テーブルを回転可能に保持する治具と、
前記アームの一端部に設けられ、前記治具が取り付けられる保持台と、
前記アームの他端部に設けられ、前記第1回転軸に取り付けられるセンターボスと、
を更に備える、請求項2に記載の洗浄装置。 - 複数の前記アームおよび前記保持台と、前記センターボスとが一体成形である、請求項3に記載の洗浄装置。
- 前記テーブルに対応する位置に設けられたスプロケットを更に備え、
前記テーブルが前記スプロケットに接続されて、前記テーブルが前記スプロケットにより回転される、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の洗浄装置。 - 前記各洗浄室の底部を構成する支持架台と、
前記支持架台の下方で、前記センターボスの下方に前記第1回転軸を介して設けられた第1駆動モータと、
前記支持架台の下方で、前記スプロケットの下方に第2回転軸を介して設けられた第2駆動モータと、
前記外周壁を含むケーシングと、
を更に備え、
前記支持架台と前記ケーシングとが分離可能である、請求項5に記載の洗浄装置。 - 前記支持架台は中央付近に開口を有し、
前記支持架台に取り付けられ、前記開口を貫通する前記第1回転軸を回転可能に保持する第1軸受部材を更に備え、
前記第1軸受部材は、前記第1回転軸の外周を覆う本体部とフランジ部とを具備し、
前記フランジ部は、前記支持架台と接する部分にOリングが配された、請求項6に記載の洗浄装置。 - 前記本体部は、軸方向の端部に開口を有し、
前記開口にオイルシールが配された、請求項7に記載の洗浄装置。 - 前記第2回転軸を回転可能に保持する第2軸受部材と、
前記支持架台に取り付けられ、前記第2回転軸を囲うハウジングと、
前記第2軸受部材と前記ハウジングとの間に配される蓋部材と、
前記蓋部材と前記ハウジングとの間に介在するシートパッキンと、
を更に備える、請求項6に記載の洗浄装置。 - 前記第2軸受部材は、軸方向の端部に開口を有し、
前記開口にオイルシールが配された、請求項9に記載の洗浄装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2013/006656 WO2015071927A1 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015071927A1 true JPWO2015071927A1 (ja) | 2017-03-09 |
JP6609476B2 JP6609476B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=53056899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015547281A Active JP6609476B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 洗浄装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6609476B2 (ja) |
WO (1) | WO2015071927A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018088102A1 (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 株式会社中農製作所 | 洗浄機 |
CN107413718A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-12-01 | 上海丰禾精密机械有限公司 | 双机械手清洗机及其清洗方法 |
CN112992734B (zh) * | 2021-02-09 | 2022-01-28 | 江苏亚电科技有限公司 | 用于半导体晶圆清洗的烘干装置 |
JP7541349B2 (ja) | 2021-02-12 | 2024-08-28 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | 洗浄機 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10180216A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Tokyo Denki Komusho:Kk | 細長円筒形網状構造部品洗浄装置及び細長円筒形網状構造部品洗浄方法 |
JP2002242854A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Koyo Seiko Co Ltd | ギヤポンプ |
JP2002326063A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-12 | Moriai Seiki Kk | 洗浄装置 |
JP2005171892A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | ギヤポンプ及び液体噴射装置 |
JP2008296186A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Taiheiyo Tokushu Chuzo Kk | 洗浄ノズルおよび洗浄装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0657470U (ja) * | 1993-01-08 | 1994-08-09 | ラサ工業株式会社 | 多室回転テーブル式洗浄機 |
JP5882175B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2016-03-09 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | ワーク作業装置 |
-
2013
- 2013-11-12 JP JP2015547281A patent/JP6609476B2/ja active Active
- 2013-11-12 WO PCT/JP2013/006656 patent/WO2015071927A1/ja active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10180216A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Tokyo Denki Komusho:Kk | 細長円筒形網状構造部品洗浄装置及び細長円筒形網状構造部品洗浄方法 |
JP2002242854A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Koyo Seiko Co Ltd | ギヤポンプ |
JP2002326063A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-12 | Moriai Seiki Kk | 洗浄装置 |
JP2005171892A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | ギヤポンプ及び液体噴射装置 |
JP2008296186A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Taiheiyo Tokushu Chuzo Kk | 洗浄ノズルおよび洗浄装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015071927A1 (ja) | 2015-05-21 |
JP6609476B2 (ja) | 2019-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6609476B2 (ja) | 洗浄装置 | |
US10098428B2 (en) | Horizontal rotating spineboard washer | |
JP5683691B2 (ja) | ウエハ状物品を処理するための装置 | |
US12121943B2 (en) | Cleaning apparatus and method for quartz tube | |
JP5363082B2 (ja) | ワーク洗浄装置 | |
TWI664029B (zh) | 旋轉洗淨裝置 | |
US20080006290A1 (en) | Fluidized bed apparatus and filter washing method for fluidized bed apparatus | |
KR20150062468A (ko) | 세척 및 건조 겸용 부품 세척기 | |
CN102513301A (zh) | 用于晶圆的兆声清洗装置 | |
CN113953281B (zh) | 旋转式石英管清洗干燥装置 | |
PE20070411A1 (es) | Sistema de recirculacion de agua en una maquina para lavar ropa | |
JP4387070B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP2015167898A (ja) | フレキシブルコンテナバッグ洗浄方法および洗浄装置 | |
WO2019201323A1 (zh) | 用于洗碗机装置的流体循环组件的悬挂系统 | |
CN212431170U (zh) | 从下方进风的空气净化装置 | |
JP7579572B2 (ja) | 洗浄装置 | |
KR100544487B1 (ko) | 기판 처리시스템 | |
CN211538733U (zh) | 一种奢侈品精洗机 | |
CN106110789A (zh) | 一种工业除尘装置 | |
JP4553684B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP2022171446A (ja) | 洗浄装置 | |
JP3630538B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP4400055B2 (ja) | 回転部シール装置 | |
JP2547189B2 (ja) | ノズル位置回転型洗浄装置 | |
JP5377008B2 (ja) | 液封防振ゴム品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161003 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170613 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171012 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6609476 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |