JPWO2015060256A1 - 撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置 - Google Patents

Abstract

撮像素子ユニットとレンズユニットの位置合わせを高精度に行うことが可能な撮像モジュールの製造方法及び製造装置を提供する。製造装置２００は、Ｚ軸上にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０を保持し、レンズユニット１０のｘ方向ＶＣＭ１６Ａ、ｙ方向ＶＣＭ１６Ｃ、ｚ方向ＶＣＭ１６Ｅと電気的に接続された各端子１４Ａ〜１４Ｆにプローブ１１３ａを接触させ、レンズユニット１０内のレンズ駆動装置１６に通電した状態で撮像素子２７により測定チャートを撮像させる。プローブ１１３ａの接触子は非磁性材料により構成されている。

Description

本発明は、撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置に関する。

撮影機能を有する携帯電話機等の携帯用電子機器には、小型で薄型の撮像モジュールが搭載されている。この撮像モジュールは、撮影用のレンズが組み込まれたレンズユニットと、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子が組み込まれた撮像素子ユニットとが一体化された構造を有する。

撮像モジュールには、レンズユニット内のレンズを動かしてフォーカス調整をするためのオートフォーカス（ＡＦ）機構を有するもの、レンズユニットと撮像素子ユニットを光軸に直交する方向に相対移動させて、撮像される像のブレを光学的に補正するための光学式像ブレ補正機構を有するものがある。

例えば、特許文献１には、ＡＦ機構を有する撮像モジュールが記載されている。また、特許文献２には、ＡＦ機構と光学式像ブレ補正機構を有する撮像モジュールが記載されている。

近年、撮像モジュールに使用される撮像素子は、１００万〜２００万画素程度の低画素数から、３００万〜１０００万画素、或いはそれ以上の高画素数を有するものが広く使用されるようになっている。

低画素数の撮像素子を用いる場合、レンズユニットと撮像素子ユニットとの位置合わせに特に高い精度は要求されなかったが、高画素数の撮像素子を用いる場合には、高い精度での位置合わせが必要となる。

特許文献１には、レンズユニットと撮像素子ユニットの位置合わせをしてから、レンズユニットと撮像素子ユニットの固定を行う技術が記載されている。

特許文献１では、レンズユニットと撮像素子ユニットとを初期位置にセットした後、レンズユニットにプローブを当てて通電した状態で、撮像素子ユニットを光軸方向に移動させながら撮像素子にチャートを撮像させ、得られた撮像画像からレンズユニットと撮像素子ユニットの位置を調整する。この調整後、レンズユニットと撮像素子ユニットを接着固定している。

特許文献２では、レンズユニットと撮像素子ユニットを固定する前のレンズユニットの製造時において、レンズユニット内でのレンズバレルの位置決めを行うために、非磁性体からなる擬似センサカバーを用いることが記載されている。

特許文献３，４には、電子部品の導通検査に用いる検査用のコンタクトプローブとして、ベリリウム銅等の非磁性材料からなるものが記載されている。

日本国特開２０１０−２１９８５号公報 日本国特開２０１２−２５６０１７号公報 日本国特開２００９−２１０４４３号公報 日本国特開２０１２−１２２９０５号公報

特許文献２のように、光学式像ブレ補正機構を有する撮像モジュールでは、レンズユニットに含まれるレンズバレルが光軸に垂直な方向に移動可能に構成されている。また、アクチュエータとしてボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を用いる場合、光学式像ブレ補正機構には永久磁石が含まれる。このため、レンズユニットと撮像素子ユニットとの位置合わせを行う際に、レンズユニットに含まれる永久磁石と装置側の何らかの磁性体との間で引力が発生してしまうことによる、レンズユニット内部でのレンズ光軸のずれを防ぐ必要がある。

特許文献２には、レンズユニット製造時において、レンズユニットに含まれる永久磁石と製造に用いる冶具との間で引力が発生しないように、その冶具を非磁性体とすることが記載されている。しかし、レンズユニットを製造した後の、レンズユニットと撮像素子ユニットの位置合わせ工程におけるレンズ光軸のずれの発生については考慮されていない。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、撮像素子ユニットとレンズユニットの位置合わせ時における撮像素子ユニットの位置を正確に決めて撮像品質を向上させることが可能な撮像モジュールの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

本発明の撮像モジュールの製造方法は、レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、上記レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールの製造方法であって、上記レンズユニットは、上記レンズ群のうち少なくとも一部のレンズを上記レンズ群の光軸に直交する２つの方向にそれぞれ移動させる２つのレンズ駆動部を含むレンズ駆動装置と、上記レンズ群及び上記レンズ駆動装置を収容する筐体と、上記筐体から露出し上記レンズ駆動装置と電気的に接続された電気接続部と、を有し、上記２つのレンズ駆動部は、ボイスコイルと上記ボイスコイルに対向する磁石とを有し、測定チャートに直交する軸上において、上記撮像素子ユニット、上記レンズユニット、及び上記測定チャートの少なくともいずれか１つ以上の上記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、上記撮像素子を駆動して上記撮像素子により上記レンズ群を通して上記測定チャートを撮像させる第一工程と、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、上記レンズユニットに対する上記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整し、上記撮像素子ユニットを上記レンズユニットに固定する第二工程と、を備え、上記第一工程では、上記軸上に上記レンズユニットを保持し、上記レンズユニットの上記電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの上記接触子を押し当てて上記レンズ駆動装置に通電した状態で、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像させるものである。

本発明の撮像モジュールの製造装置は、測定チャートを設置するための測定チャート設置部と、上記測定チャート設置部に設置された上記測定チャートに直交する軸上に、レンズ群を有するレンズユニットを通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットを保持するための撮像素子ユニット保持部と、上記測定チャート設置部と上記撮像素子ユニット保持部との間の上記軸上で上記レンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、上記レンズユニット保持部により保持された上記レンズユニットに、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの上記接触子を押し当てる第一のプローブ押し当て部と、上記測定チャート設置部、上記レンズユニット保持部、及び上記撮像素子ユニット保持部の少なくともいずれか１つ以上の上記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、上記撮像素子ユニットの上記撮像素子を駆動して、上記撮像素子により上記レンズユニットを通して上記測定チャートを撮像させる制御部と、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、上記レンズユニットに対する上記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整する調整部と、上記調整部により調整後の上記撮像素子ユニットを上記レンズユニットに固定するユニット固定部と、を備えるものである。

本発明によれば、撮像素子ユニットとレンズユニットの位置合わせ時における撮像素子ユニットの位置を正確に決めて撮像品質を向上させることが可能な撮像モジュールの製造方法及び製造装置を提供することができる。

撮像モジュール１００の外観斜視図である。 図１に示す撮像モジュール１００においてレンズユニット１０を省略した状態の撮像素子ユニット２０の外観斜視図である。 図１に示す撮像モジュール１００のＡ−Ａ線断面図である。 図２に示すレンズユニット１０内の電気接続構成を示す図 撮像モジュール１００の製造装置２００の概略構成を示す側面図である。 測定チャートの正面図である。 撮像モジュール製造装置２００によるレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の保持状態を示す説明図である。 プローブ１１３ａの接触子の詳細構成例を示す図である。 撮像モジュール製造装置２００の内部構成を示すブロック図である。 撮像モジュール製造装置２００による撮像モジュールの製造工程を説明するためのフローチャートである。 撮像モジュール製造装置２００の変形例を示す図である。 外段取り冶具の外観斜視図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

図１は、撮像モジュール１００の外観斜視図である。

撮像モジュール１００は、レンズ群１２を有するレンズユニット１０と、レンズユニット１０に固定され、レンズ群１２を通して被写体を撮像する撮像素子（図１では不図示）を有する撮像素子ユニット２０と、を備える。

図１では、レンズ群１２の光軸Ａｘに沿う方向をｚ方向とし、ｚ方向に直交する２方向であって互いに直交する２つの方向をそれぞれｘ方向、ｙ方向としている。

レンズユニット１０は、後述する各構成部材を内部に収容する筐体１１を備える。

筐体１１の天面１１ａには、レンズ群１２の光軸Ａｘを中心とする開口１１ｂが形成されている。撮像モジュール１００は、被写体光をこの開口１１ｂからレンズ群１２に取り込んで撮像を行う。

また、筐体１１の天面１１ａには、撮像モジュール１００の製造時にレンズユニット１０を製造装置に保持するための位置決め用の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃが形成されている。天面１１ａの対角線上に配置される凹部９５Ａ，９５Ｃの底面には、凹部９５Ａ，９５Ｃよりも小さい凹部９５Ａ１，９５Ｃ１が形成されている。

筐体１１の外部には、筐体１１に収容されるフレキシブル基板１３の一部が露出している。このフレキシブル基板１３の露出部分の先端には、端子１４Ａ〜１４Ｆを含むレンズユニット端子部１４が接続されている。レンズユニット端子部１４は、筐体１１を構成する面のうち、ｚ方向に直交する面である天面１１ａ以外の面から露出している。

なお、レンズユニット端子部１４は、後述するように、端子１４Ａ〜１４Ｆ以外の端子も含むが、図１では、簡略化のために端子１４Ａ〜１４Ｆのみを図示し、その他の端子の図示を省略している。

図２は、図１に示す撮像モジュール１００においてレンズユニット１０を省略した状態の外観斜視図である。

図２に示すように、撮像素子ユニット２０は、ＣＣＤイメージセンサ又はＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子２７が形成される基板２１と、基板２１と電気的に接続されるフレキシブル基板２２と、を備える。

撮像素子２７の画素ピッチは特に限定されないが、１．０μｍ以下のものが用いられる。ここで、画素ピッチとは、撮像素子２７が有する画素に含まれる光電変換領域の中心間距離のうち、最も小さい距離のことをいう。

近年、画素数の増加に伴い、撮像素子の画素ピッチは狭くなっているが、画素ピッチが狭くなると、１画素あたりの面積が小さくなる。これにより、許容錯乱円の半径が小さくなり、焦点深度が浅くなる。更に、１画素あたりの集光量を多くする必要があるため、レンズのＦナンバーも小さくなる傾向にある。

これらのことから、近年の撮像モジュールは、非常に焦点深度が浅く、レンズユニットと撮像素子ユニットの位置合わせ精度は高いものが要求されている。画素ピッチが１μｍ以下になると、特に高い位置合わせ精度が要求される。

基板２１上には筒状のカバーホルダ２５が形成され、カバーホルダ２５内部に撮像素子２７が配置されている。カバーホルダ２５の中空部には撮像素子２７上方において図示省略のカバーガラスが嵌め込まれる。

カバーホルダ２５の外側における基板２１表面には、レンズユニット１０との電気的接続をとるための端子２４Ａ〜２４Ｆを含む撮像素子ユニット端子部が設けられている。この撮像素子ユニット端子部も、レンズユニット端子部１４と同様に、一部の端子のみ図示している。

基板２１には、撮像素子２７のデータ出力用端子及び駆動用端子等と接続される撮像素子用配線が設けられている。撮像素子用配線は、フレキシブル基板２２に設けられた配線を経由して、フレキシブル基板２２端部に設けられた外部接続用端子部２３に接続されている。外部接続用端子部２３は、撮像素子２７と電気的に接続された電気接続部として機能する。

また、基板２１には、撮像素子ユニット端子部に含まれる各端子と接続されるレンズユニット用配線が設けられている。レンズユニット用配線は、フレキシブル基板２２に設けられた配線を経由して、フレキシブル基板２２端部に設けられた外部接続用端子部２３に接続されている。

レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０を固定した状態では、レンズユニット端子部の各端子とこれに対応する撮像素子ユニット端子部の各端子とが電気的に接続される。

図１では、端子１４Ａと端子２４Ａとが電気的に接続され、端子１４Ｂと端子２４Ｂとが電気的に接続され、端子１４Ｃと端子２４Ｃとが電気的に接続され、端子１４Ｄと端子２４Ｄとが電気的に接続され、端子１４Ｅと端子２４Ｅとが電気的に接続され、端子１４Ｆと端子２４Ｆとが電気的に接続されている。

図３は、図１に示す撮像モジュール１００のＡ−Ａ線断面図である。

図３に示すように、撮像素子２７は、基板２１に設けられた凹部に配置されるとともに、基板２１上に設けられたカバーホルダ２５及びカバーホルダ２５に嵌め込まれたカバーガラス２６によって封止されている。

また、レンズユニット１０は、カバーガラス２６上方に配置された複数（図３の例では１２Ａ〜１２Ｄの４つ）のレンズを含むレンズ群１２と、レンズ群１２を支持する筒状のレンズバレル１５と、撮像素子ユニット２０のカバーホルダ２５の上面に載置された底部ブロック１９と、底部ブロック１９上に固定されたフレキシブル基板１３と、フレキシブル基板１３に接続されたレンズユニット端子部（図３では断面のため端子１４Ｃのみが図示）と、フレキシブル基板１３上に形成されたレンズ駆動装置１６と、を備える。

レンズ群１２、レンズバレル１５、底部ブロック１９、フレキシブル基板１３、及びレンズ駆動装置１６は、筐体１１に収容されている。

レンズ駆動装置１６は、第一のレンズ駆動部と、第二のレンズ駆動部と、第三のレンズ駆動部と、レンズの位置を検出する位置検出素子としてのホール素子と、を備える。

第一のレンズ駆動部は、レンズ群１２のうち少なくとも一部のレンズ（図３の例ではレンズ群１２の全てのレンズとしている）を、レンズ群１２の光軸Ａｘに沿う第一の方向（図１のｚ方向）に移動させてフォーカス調整を行うための駆動部である。

第二のレンズ駆動部は、レンズ群１２のうち少なくとも一部のレンズ（図３の例ではレンズ群１２の全てのレンズとしている）をレンズ群１２の光軸Ａｘに直交する第二の方向（図１のｘ方向）に移動させて、撮像素子２７によって撮像される像のブレを補正するための駆動部である。

第三のレンズ駆動部は、レンズ群１２のうち少なくとも一部のレンズ（図３の例ではレンズ群１２の全てのレンズとしている）をレンズ群１２の光軸Ａｘに直交する第三の方向（図１のｙ方向）に移動させて、撮像素子２７によって撮像される像のブレを補正するための駆動部である。

第一のレンズ駆動部と第二のレンズ駆動部と第三のレンズ駆動部は、それぞれ、レンズを移動させるためのアクチュエータであり、本実施形態ではボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を使用している。

図３に示すように、第一のレンズ駆動部は、レンズバレル１５に固定されたボイスコイル１６１と、ボイスコイル１６１と対向する位置に設けられた磁石１６２と、ボイスコイル１６１と磁石１６２のそれぞれに固定されたバネ１６３とを備える。

また、第二のレンズ駆動部と第三のレンズ駆動部は、それぞれ、フレキシブル基板１３上に固定されたベース１６０と、ベース１６０上に固定されたボイスコイル１６４と、ボイスコイル１６４と対向する位置に設けられ、磁石１６２に固定された磁石１６５と、ボイスコイル１６４と磁石１６５のそれぞれに固定されたバネ１６６とを備える。なお、ベース１６０は第二のレンズ駆動部と第三のレンズ駆動部で共通化されている。

バネ１６６により、磁石１６５とボイスコイル１６４との光軸Ａｘ方向の距離は一定値に固定されている。このため、第一のレンズ駆動部を構成するボイスコイル１６１に駆動電流が供給されると、磁石１６２の光軸Ａｘ方向位置は固定のまま、ボイスコイル１６１とボイスコイル１６１に固定されたレンズバレル１５とが光軸Ａｘ方向に移動する。

第二のレンズ駆動部を構成するボイスコイル１６４に駆動電流が供給されると、第二のレンズ駆動部を構成する磁石１６５と磁石１６５に固定された磁石１６２とがｘ方向に移動する。バネ１６３により、磁石１６２とボイスコイル１６１との光軸Ａｘに直交する方向の距離は一定値に固定されている。このため、磁石１６２がｘ方向に移動することで、レンズ群１２がｘ方向に移動する。

第三のレンズ駆動部を構成するボイスコイル１６４に駆動電流が供給されると、第三のレンズ駆動部を構成する磁石１６５と磁石１６５に固定された磁石１６２とがｙ方向に移動する。バネ１６３により、磁石１６２とボイスコイル１６１との光軸Ａｘに直交する方向の距離は一定値に固定されている。このため、磁石１６２がｙ方向に移動することで、レンズ群１２がｙ方向に移動する。

このように、第二のレンズ駆動部と第三のレンズ駆動部を含むレンズ駆動装置１６を搭載するレンズユニット１０では、磁石１６２，１６５とレンズバレル１５とが一体となってｘ方向又はｙ方向に移動することになる。このため、レンズユニット１０は、磁石１６２，１６５にレンズユニット１０外部から磁性体が近づくと、磁石と磁性体との間に働く引力によって、レンズバレル１５がｘ方向及びｙ方向に移動しやすくなる構造になっている。

図４は、図１に示すレンズユニット１０の電気的接続構成を示すブロック図である。

図４に示すように、レンズ駆動装置１６は、レンズ群１２をｘ方向に移動させるためのｘ方向ＶＣＭ１６Ａ（上記第二のレンズ駆動部）と、レンズ群１２のｘ方向位置を検出するためのｘ方向ホール素子１６Ｂと、レンズ群１２をｙ方向に移動させるためのｙ方向ＶＣＭ１６Ｃ（上記第三のレンズ駆動部）と、レンズ群１２のｙ方向位置を検出するためのｙ方向ホール素子１６Ｄと、レンズ群１２をｚ方向に移動させるためのｚ方向ＶＣＭ１６Ｅ（上記第一のレンズ駆動部）と、レンズ群１２のｚ方向位置を検出するためのｚ方向ホール素子１６Ｆと、を備える。

ｘ方向ＶＣＭ１６Ａには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ａ、端子１４Ｂと電気的に接続されている。

ｘ方向ホール素子１６Ｂには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ａ、端子１４ｂ、端子１４ｃ、端子１４ｄと電気的に接続されている。

ｙ方向ＶＣＭ１６Ｃには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ｃ、端子１４Ｄと電気的に接続されている。

ｙ方向ホール素子１６Ｄには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ｅ、端子１４ｆ、端子１４ｇ、端子１４ｈと電気的に接続されている。

ｚ方向ＶＣＭ１６Ｅには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ｅ、端子１４Ｆと電気的に接続されている。

ｚ方向ホール素子１６Ｆには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ｉ、端子１４ｊ、端子１４ｋ、端子１４ｌと電気的に接続されている。

このように、レンズユニット端子部１４の各端子は、レンズユニット１０のレンズ駆動装置１６と電気的に接続された電気接続部として機能する。

なお、各レンズ駆動部と各ホール素子について必要な端子の数は一例であり、上述したものには限定されない。

以上の構成の撮像モジュール１００は、まず、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０が別々に製造される。そして、レンズ群１２によって結像される被写体の結像面が撮像素子２７の撮像面と一致するように、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の位置合わせをする調整工程が行われ、その後、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０が接着固定される。

上記調整工程は、レンズユニット１０を製造装置によって所定の姿勢で保持した状態で、撮像素子ユニット２０を動かして行われる。

図５は、撮像モジュール１００の製造装置２００の概略構成を示す側面図である。

撮像モジュール製造装置２００は、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の位置及び傾きを調整し、調整後に撮像素子ユニット２０をレンズユニット１０に固定して撮像モジュール１００を完成させる。

撮像モジュール製造装置２００は、チャートユニット７１と、コリメータユニット７３と、レンズ位置決めプレート７５と、レンズ保持機構７７と、撮像素子ユニット保持部７９と、接着剤供給部８１と、光源としての紫外線ランプ８３と、これらを制御する制御部８５と、を備える。チャートユニット７１、コリメータユニット７３、レンズ位置決めプレート７５、レンズ保持機構７７、及び撮像素子ユニット保持部７９は、重力方向に垂直な面８７上で一方向に並べて配置されている。

チャートユニット７１は、箱状の筐体７１ａと、筐体７１ａ内に嵌合される測定チャート８９と、筐体７１ａ内に組み込まれて測定チャート８９を背面から平行光で照明する光源９１とから構成されている。測定チャート８９は、例えば、光拡散性を有するプラスチック板で形成されている。測定チャート８９のチャート面は重力方向に平行となっている。チャートユニット７１は、測定チャートを設置するための測定チャート設置部として機能する。測定チャート８９は取り外し可能として別のものに交換できるようにしてもよい。

図６は測定チャート８９のチャート面を示す図である。測定チャート８９は矩形状であり、チャートパターンが設けられたチャート面には、複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５がそれぞれ印刷されている。

複数のチャート画像は、全て同一の画像であり、黒色の線を所定の一定間隔で配列させた、いわゆるラダー状のチャートパターンである。各チャート画像は、それぞれ画像の水平方向に配列させた水平チャート画像Ｐｘと、画像の垂直方向に配列させた垂直チャート画像Ｐｙから構成されている。

コリメータユニット７３は、測定チャート８９のチャート面の垂線であって、チャート面中心８９ａを通る線であるＺ軸上において、チャートユニット７１に対面配置されている。

コリメータユニット７３は、作業台８７に固定されたブラケット７３ａとコリメータレンズ７３ｂから構成されている。

コリメータレンズ７３ｂは、チャートユニット７１から放射された光を集光し、集光した光をブラケット７３ａに形成された開口７３ｃを通して、レンズ位置決めプレート７５に入射させる。チャートユニット７１とコリメータユニット７３の間隔を調整することで、レンズユニット１０が撮像する測定チャート８９の虚像位置を任意の距離（たとえば無限遠の位置やレンズユニット１０の想定する撮影に適した標準的な被写体距離）に配置することができる。

レンズ位置決めプレート７５とレンズ保持機構７７は、チャートユニット７１と撮像素子ユニット保持部７９との間のＺ軸上でレンズユニット１０を保持するためのレンズユニット保持部を構成する。

レンズ位置決めプレート７５は、剛性を有するように形成されており、コリメータユニット７３により集光された光を通過させる開口７５ｃが設けられている。レンズ位置決めプレート７５は、Ｚ軸上においてコリメータユニット７３に対面配置されている。

図７は、撮像モジュール製造装置２００によるレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の保持状態を示す説明図である。

図７に示すように、レンズ位置決めプレート７５のレンズ保持機構７７側の面には、開口７５ａの周囲に３個の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃが設けられている。

３個の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃのうち、対角線上に配置された２個の当接ピン９３Ａ，９３Ｃの先端には、当接ピンよりも小径の挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１が設けられている。

当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃは、図１に示すレンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃを受け、挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１は、凹部９５Ａ１，９５Ｃ１に挿入されてレンズユニット１０を位置決めする。

このようにしてレンズユニット１０が位置決めされた状態では、Ｚ軸がレンズユニット１０の光軸Ａｘと一致する。

図５に戻り、レンズ保持機構７７は、Ｚ軸方向に移動可能な第１スライドステージ９９と、第１スライドステージ９９のステージ部９９ａ上に設けられた保持プレート１１４及びプローブユニット１１３と、を備える。

第１スライドステージ９９は、電動式の精密ステージであって、図示しないモータの回転によってボールネジを回転させ、このボールネジに噛合されたステージ部９９ａをＺ軸方向に移動させる。第１スライドステージ９９は制御部８５によって制御される。

保持プレート１１４は、Ｚ軸上でチャートユニット７１に筐体１１の天面が向くようにレンズユニット１０を保持するためのものであり、ステージ部９９ａをＺ軸方向に移動させて、レンズ位置決めプレート７５によって位置決めされたレンズユニット１０の底部ブロック１９に保持プレート１１４を押し当てることで、レンズユニット１０を製造装置２００に保持する。

プローブユニット１１３は、６つのプローブ１１３ａ（図５では１つのみ図示）を有する。

第１スライドステージ９９がＺ軸方向に移動し、保持プレート１１４がレンズユニット１０の底部ブロック１９に押し当てられた状態で、レンズユニット１０の各端子１４Ａ〜１４Ｆにプローブ１１３ａの接触子が接触する。プローブユニット１１３は、第一のプローブ押し当て部として機能する。

プローブユニット１１３は、プローブ１１３ａを介して各端子１４Ａ〜１４Ｆに通電し、第一のレンズ駆動部（ｚ方向ＶＣＭ１６Ｅ）、第二のレンズ駆動部（ｘ方向ＶＣＭ１６Ａ）、及び第三のレンズ駆動部（ｙ方向ＶＣＭ１６Ｃ）を駆動する。

プローブユニット１１３に含まれる各プローブ１１３ａは、所謂スプリング式のプローブであり、被接触部位に接触させるための接触子と、プローブユニット１１３内の回路基板と電気的に接続される接続子と、接触子と接続子の間に設けられ、接触子を付勢するスプリング等の弾性体とを備えて構成される。プローブ１１３ａの接触子は非磁性材料からなる。プローブユニット１１３内の回路基板は、後述するレンズ駆動ドライバ１４５と電気的に接続されている。

非磁性材料としては、ベリリウム銅、りん青銅、銅銀合金、及びタングステン等から選ばれるものを利用することができる。ベリリウム銅に代表される非磁性金属は、強度（硬度、じん性）が高いため、接触子を細くすることが可能である。このため、端子面積が小さいレンズユニットに対して好ましく適用することができる。

なお、接触子は、非磁性材料からなる本体と、本体表面に被覆された本体とは異なる材料の膜とにより構成することもできる。

例えば、ベリリウム銅で接触子本体を成形した後、本体の表面にニッケルメッキを施し、その後、ニッケルメッキ表面に金メッキを施した接触子を用いる。又は、ベリリウム銅で接触子本体を成形した後、本体の表面にニッケルメッキを施し、その後、ニッケルメッキ表面に銅メッキを施し、更に、銅メッキ表面に金メッキを施した接触子を用いる。又は、ベリリウム銅で接触子本体を成形した後、本体の表面に硬質金メッキを施した接触子を用いる。

金メッキにより、接触子の導電性、耐摩耗性の向上が期待できる。また、ニッケルメッキにより、接触子の耐食性、導電性、はんだ性の向上が期待できる。また、銅メッキにより、接触子の耐食性、導電性の向上が期待できる。

図８は、プローブ１１３ａの接触子の一構成例を示す図である。

図８に示す接触子８００は、ベリリウム銅等の非磁性材料からなる本体８０１と、本体８０１表面に被覆されたニッケルメッキ膜８０２と、ニッケルメッキ膜８０２表面に被覆された金メッキ膜８０３と、により構成されている。

ニッケルメッキ膜８０２の厚みは１μｍ〜３μｍとするのが好ましく、金メッキ膜８０３の厚みは０．０１μｍ〜０．１μｍとするのが好ましい。この程度の厚みにすることで、接触子８００をレンズユニット端子部１４の各端子に接触させた場合でも、レンズユニット１０内の磁石と接触子８００に含まれる磁性材料との間で発生する引力をほとんど無くすことができる。

撮像素子ユニット保持部７９は、撮像素子ユニット２０をＺ軸上に保持するためのものである。また、撮像素子ユニット保持部７９は、制御部８５の制御により、撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置及び傾きが変更可能となっている。

ここで、撮像素子ユニット２０の傾きは、Ｚ軸に直交する平面に対する撮像素子２７の撮像面２７ａの傾きを意味する。

撮像素子ユニット保持部７９は、Ｚ軸上でチャートユニット７１に撮像面２７ａが向くように撮像素子ユニット２０を保持するチャックハンド１１５と、チャックハンド１１５が取り付けられた略クランク状のブラケット１１７を保持し、Ｚ軸に直交する２軸（水平Ｘ軸、垂直Ｙ軸）の回りで傾きを調整する２軸回転ステージ１１９と、２軸回転ステージ１１９が取り付けられたブラケット１２１を保持してＺ軸方向に移動させる第２スライドステージ１２３とから構成されている。

チャックハンド１１５は、図７に示すように、略クランク状に屈曲された一対の挟持部材１１５ａと、これらの挟持部材１１５ａをＺ軸に直交するＸ軸方向で移動させるアクチュエータ１１５ｂ（図５参照）とから構成されている。挟持部材１１５ａは、撮像素子ユニット２０の外枠を挟み込み、撮像素子ユニット２０を保持する。

また、チャックハンド１１５は、レンズ位置決めプレート７５とレンズ保持機構７７からなるレンズユニット保持部によって保持されたレンズユニット１０の光軸Ａｘと撮像面２７ａの中心位置とが一致するように、挟持部材１１５ａに挟持された撮像素子ユニット２０を位置決めする。

また、チャックハンド１１５は、Ｚ軸方向にみたときに、撮像素子ユニット２０の撮像素子ユニット端子部２４の各端子と、保持されたレンズユニット１０のレンズユニット端子部１４の各端子とが重なるように、挟持部材１１５ａに挟持された撮像素子ユニット２０を位置決めする。

２軸回転ステージ１１９は、電動式の２軸ゴニオステージであって、図示しない２つのモータの回転により、撮像面２７ａの中心位置を回転中心にして、撮像素子ユニット２０を、Ｘ軸の回りのθｘ方向と、Ｚ軸及びＸ軸に直交するＹ軸の回りのθｙ方向に傾ける。これにより、撮像素子ユニット２０を各方向に傾けた際に、撮像面２７ａの中心位置とＺ軸との位置関係がずれることがない。

第２スライドステージ１２３は、電動式の精密ステージであって、図示しないモータの回転によってボールネジを回転させ、このボールネジに噛合されたステージ部１２３ａをＺ軸方向に移動させるものである。ステージ部１２３ａにはブラケット１２１が固定されている。

２軸回転ステージ１１９には、撮像素子ユニット２０のフレキシブル基板２２の先端に設けられた外部接続用端子部２３と接続されるコネクタケーブル１２７が取り付けられている。このコネクタケーブル１２７は撮像素子２７の駆動信号を入力したり、撮像素子２７から出力される撮像画像信号を出力したりする。

接着剤供給部８１と光源としての紫外線ランプ８３は、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０を固定するユニット固定部を構成する。

接着剤供給部８１は、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の位置及び傾きの調整が終了した後、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との隙間に、光によって硬化する接着剤（ここでは一例として紫外線硬化型接着剤）を供給する。

紫外線ランプ８３は、上記隙間に供給された紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射することで、接着剤を硬化させる。なお、接着剤としては、紫外線硬化型接着剤の他、瞬間接着剤、熱硬化接着剤、自然硬化接着剤等も利用可能である。

図９は撮像モジュール製造装置２００の内部構成を示すブロック図である。

制御部８５は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータであり、ＲＯＭに記憶されている制御プログラムに基づいて各部を制御している。また、制御部８５には、各種設定を行うキーボードやマウス等の入力部１３１と、設定内容や作業内容、作業結果等が表示される表示部１３３とが接続されている。

レンズ駆動ドライバ１４５は、第一のレンズ駆動部、第二のレンズ駆動部、及び第三のレンズ駆動部を含むレンズ駆動装置１６を駆動するための駆動回路であり、プローブユニット１１３を介して第一のレンズ駆動部、第二のレンズ駆動部、及び第三のレンズ駆動部の各々に駆動電流を供給する。

撮像素子ドライバ１４７は、撮像素子２７を駆動するための駆動回路であり、コネクタケーブル１２７を介して撮像素子２７に駆動信号を入力する。

合焦座標値取得回路１４９は、撮像素子２７の撮像面２７ａ上に設定された複数の撮像位置（測定チャート８９の各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する位置）について、Ｚ軸方向における合焦度合の高い位置である合焦座標値をそれぞれ取得する。

制御部８５は、複数の撮像位置の合焦座標値を取得する際に、第２スライドステージ１２３を制御し、Ｚ軸上に予め離散的に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に撮像素子ユニット２０を順次に移動させる。

また、制御部８５は、撮像素子ドライバ１４７を制御し、各測定位置でレンズ群１２が結像した測定チャート８９の複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５のチャート像を撮像素子２７に撮像させる。

合焦座標値取得回路１４９は、コネクタケーブル１２７を介して入力された撮像信号から上記複数の撮像位置に対応する画素の信号を抽出し、その画素信号から複数の撮像位置に対する個別の合焦評価値をそれぞれ算出する。そして、各撮像位置について所定の合焦評価値が得られたときの測定位置をＺ軸上の合焦座標値としている。

合焦評価値としては、例えばコントラスト伝達関数値（Ｃｏｎｔｒａｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ：以下、ＣＴＦ値と呼称する）を用いることができる。ＣＴＦ値は、空間周波数に対する像のコントラストを表す値であり、ＣＴＦ値が高いときに合焦度が高いものとみなす。

合焦座標値取得回路１４９は、複数の撮像位置の各々について、Ｚ軸上に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）毎に、ＸＹ座標平面上で設定した複数方向のそれぞれに対してＣＴＦ値を算出している。

ＣＴＦ値が算出される方向としては、例えば、撮像面２７ａの横方向である水平方向（Ｘ軸方向）と、これに直交する垂直方向（Ｙ軸方向）とし、各方向のＣＴＦ値であるＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値をそれぞれ算出する。

合焦座標値取得回路１４９は、各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する複数の撮像位置について、Ｘ−ＣＴＦ値が最大となる測定位置のＺ軸上の座標（Ｚｐ１、Ｚｐ２，Ｚｐ３，Ｚｐ４，Ｚｐ５）を水平合焦座標値として取得する。また同様に、Ｙ−ＣＴＦ値が最大となる測定位置のＺ軸上の座標を垂直合焦座標値として取得する。

結像面算出回路１５１には、合焦座標値取得回路１４９から各撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値が入力される。

結像面算出回路１５１は、撮像面２７ａをＸＹ座標平面に対応させたときの各撮像位置のＸＹ座標値と、それぞれの撮像位置毎に得られたＺ軸上の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値との組み合わせで表される複数の評価点を、ＸＹ座標平面とＺ軸とを組み合わせた三次元座標系に展開し、これらの評価点の相対位置に基づいて三次元座標系で一平面として表される近似結像面を算出する。

調整値算出回路１５３には、結像面算出回路１５１から近似結像面の情報が入力される。

調整値算出回路１５３は、近似結像面とＺ軸との交点であるＺ軸上の結像面座標値Ｆ１と、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸回り及びＹ軸回りの傾きであるＸＹ方向回転角度とを算出し、制御部８５に入力する。

制御部８５は、調整値算出回路１５３から入力された結像面座標値及びＸＹ方向回転角度に基づいて撮像素子ユニット保持部７９の２軸回転ステージ１１９及び第２スライドステージ１２３を駆動し、撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置及び傾きを調整して、撮像面２７ａを近似結像面に一致させる。制御部８５は、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置及び傾きを調整する調整部として機能する。

以上の撮像モジュール製造装置２００は、概略的には以下の工程を実施するものである。
（１）測定チャート８９のチャート面に直交するＺ軸上に、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０を保持する工程
（２）Ｚ軸上に保持された撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置を変化させ、各位置において、Ｚ軸上に保持されたレンズユニット１０の第一〜第三のレンズ駆動部の各々に通電した状態で撮像素子２７を駆動して撮像素子２７により測定チャート８９を撮像させる工程
（３）撮像素子２７により測定チャート８９を撮像して得られる撮像信号に基づいて、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の位置及び傾きを調整し、撮像素子ユニット２０をレンズユニット１０に固定する工程

以下、撮像モジュール製造装置２００による撮像モジュール１００の製造工程の詳細について、図１０のフローチャートに沿って説明する。

まず、レンズ保持機構７７によるレンズユニット１０の保持（Ｓ１）について説明する。

制御部８５は、第１スライドステージ９９を制御して保持プレート１１４をＺ軸方向に沿って移動させることにより、レンズ位置決めプレート７５と保持プレート１１４との間にレンズユニット１０が挿入可能なスペースを形成する。レンズユニット１０は、図示しないロボットにより保持されて、レンズ位置決めプレート７５と保持プレート１１４との間に移送される。

制御部８５は、光学センサ等でレンズユニット１０の移動を検知し、第１スライドステージ９９のステージ部９９ａをレンズ位置決めプレート７５に近付ける方向に移動させる。そして、レンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃが当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃに当接し、凹部９５Ｃ１，９５Ａ１に挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１が挿入される。

これにより、レンズユニット１０は、Ｚ軸方向と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向とで位置決めされる。更に、ステージ部９９ａをレンズ位置決めプレート７５に近付ける方向に移動させると、保持プレート１１４とレンズ位置決めプレート７５とでレンズユニット１０が挟まれた状態となり、レンズユニット１０が保持される。

レンズユニット１０が保持された状態で、プローブユニット１１３のプローブ１１３ａの接触子は、レンズユニット１０の端子１４Ａ〜１４Ｆに接触して、第一〜第三のレンズ駆動部とレンズ駆動ドライバ１４５とを電気的に接続する（Ｓ２）。

次に、撮像素子ユニット保持部７９による撮像素子ユニット２０の保持（Ｓ３）について説明する。

制御部８５は、第２スライドステージ１２３を制御して２軸回転ステージ１１９をＺ軸方向に沿って移動させることにより、レンズ保持機構７７と２軸回転ステージ１１９との間に撮像素子ユニット２０が挿入可能なスペースを形成する。撮像素子ユニット２０は、図示しないロボットにより保持されて、レンズ保持機構７７と２軸回転ステージ１１９との間に移送される。

制御部８５は、光学センサ等で撮像素子ユニット２０の移動を検知し、第２スライドステージ１２３のステージ部１２３ａを保持プレート１１４に近付ける方向に移動させる。そして、作業者は、チャックハンド１１５の挟持部材１１５ａを用いて、撮像素子ユニット２０を保持させる。また、コネクタケーブル１２７を撮像素子ユニット２０の外部接続用端子部２３に接続する。これにより、撮像素子２７と制御部８５とが電気的に接続された状態になる。その後、図示しないロボットによる撮像素子ユニット２０の保持が解除される。

このようにしてレンズユニット１０及び撮像素子ユニット２０がＺ軸上に保持された後、合焦座標値取得回路１４９によって、撮像面２７ａの各撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値が取得される（Ｓ４）。

具体的には、制御部８５は、第２スライドステージ１２３を制御して２軸回転ステージ１１９を保持プレート１１４に近づく方向に移動させ、撮像素子２７がレンズユニット１０に最も近くなる最初の測定位置に撮像素子ユニット２０を移動させる。

制御部８５は、チャートユニット７１の光源９１を発光させる。また、制御部８５は、レンズ駆動ドライバ１４５によって駆動信号を端子１４Ａ〜１４Ｆに入力させ、第一〜第三のレンズ駆動部を駆動して、レンズ群１２の光軸Ａｘのｘ方向位置、ｙ方向位置、ｚ方向位置を基準位置（例えば実使用時の初期位置）に保持する。

次に、制御部８５は、撮像素子ドライバ１４７を制御して、レンズユニット１０により結像したチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５を撮像素子２７に撮像させる。撮像素子２７は、撮像した撮像信号を、コネクタケーブル１２７を介して合焦座標値取得回路１４９に入力する。

合焦座標値取得回路１４９は、入力された撮像信号から各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する撮像位置における画素の信号を抽出し、その画素信号から各撮像位置についてのＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値を算出する。制御部８５は、Ｘ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値の情報を、例えば、制御部８５内のＲＡＭに記憶する。

制御部８５は、撮像素子ユニット２０をＺ軸方向に沿って設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に順次に移動させ、各測定位置において、レンズ群１２の光軸Ａｘのｘ方向位置、ｙ方向位置、ｚ方向位置を基準位置に維持した状態で、撮像素子２７に測定チャート８９のチャート像を撮像させる。合焦座標値取得回路１４９は、各測定位置でそれぞれの撮像位置におけるＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値を算出する。

合焦座標値取得回路１４９は、撮像位置の各々について、算出された複数のＸ−ＣＴＦ値、及びＹ−ＣＴＦ値の中から最大値を選択し、最大値が得られた測定位置のＺ軸座標をその撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値として取得する。

合焦座標値取得回路１４９において取得された水平合焦座標値及び垂直合焦座標値は、結像面算出回路１５１に入力される。結像面算出回路１５１は、例えば最小自乗法により、平面近似された近似結像面Ｆを算出する（Ｓ６）。

結像面算出回路１５１で算出された近似結像面Ｆの情報は、調整値算出回路１５３に入力される。調整値算出回路１５３は、近似結像面ＦとＺ軸との交点である結像面座標値Ｆ１と、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸回り及びＹ軸回りの傾きであるＸＹ方向回転角度とを算出し、制御部８５に入力する（Ｓ７）。

制御部８５は、結像面座標値Ｆ１とＸＹ方向回転角度に基づいて、２軸回転ステージ１１９及び第２スライドステージ１２３を制御し、撮像素子２７の撮像面２７ａの中心位置が結像面座標値Ｆ１に一致するように撮像素子ユニット２０をＺ軸方向に移動する。また、制御部８５は、撮像面２７ａの傾きが近似結像面Ｆに一致するように、撮像素子ユニット２０のθｘ方向及びθｙ方向の角度を調整する（Ｓ８）。

制御部８５は、撮像素子ユニット２０の位置及び傾き調整後に、各撮像位置の合焦位置を確認する確認工程を実施する（Ｓ９）。

この確認工程では、上述したＳ４の各工程が再び実行される。撮像素子ユニット２０の位置及び傾き調整後には、撮像位置の各々について、水平方向及び垂直方向で対応する評価値のバラツキが小さくなる。

制御部８５は、確認工程（Ｓ９）の終了後（Ｓ５：ＹＥＳ）、撮像面２７ａの中心位置が結像面座標値Ｆ１に一致するように撮像素子ユニット２０をＺ軸方向に移動させる（Ｓ１０）。

また、制御部８５は、接着剤供給部８１から、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との隙間に紫外線硬化接着剤を供給させ（Ｓ１１）、紫外線ランプ８３を点灯させることで、紫外線硬化型接着剤を硬化させる（Ｓ１２）。

接着剤が硬化して、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定された後、制御部８５は、ステージ部９９ａを撮像素子ユニット保持部７９側に移動させて、プローブ１１３ａの接触子とレンズユニット１０の各端子１４Ａ〜１４Ｆとの接触を解除する（Ｓ１３）。その後、完成した撮像モジュール１００は、図示しないロボットにより撮像モジュール製造装置２００から取り出される（Ｓ１４）。

なお、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０は、紫外線硬化型接着剤により固定できるが、紫外線硬化型接着剤による硬化を、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との仮固定として利用してもよい。

例えば、撮像モジュール１００は、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを仮固定した状態で撮像モジュール製造装置２００から取り出し、清浄処理等の所望の工程を行った後にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを、熱硬化型接着剤等によって完全に固定するようにしてもよい。

電子回路等への通電を行うためのプローブの接触子は一般的に磁性材料によって構成される。しかし、プローブ１１３ａの接触子が磁性材料によって構成されていると、レンズユニット１０内の磁石１６２，１６５とプローブ１１３ａの接触子との間で引力が発生して、レンズバレル１５の光軸Ａｘがｘ方向及びｙ方向に所望の位置からはずれた状態で製造装置２００に保持される可能性がある。

以上の製造装置２００では、非磁性材料により構成されたプローブ１１３ａの接触子をレンズユニット１０の端子１４Ａ〜１４Ｆに接触させてレンズユニット１０のレンズ駆動装置１６に通電した状態でレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との位置合わせを行う。

このため、プローブ１１３ａの接触子をレンズユニット１０の端子１４Ａ〜１４Ｆに接触させたときに、プローブ１１３ａの接触子と磁石１６２，１６５の間に引力が働かず、磁石１６２，１６５がｘ方向及びｙ方向に動いてしまうのを防ぐことができる。したがって、レンズユニット１０を保持したときに光軸ＡｘとＺ軸とを一致させることができ、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の位置合わせを高精度に行うことができる。

レンズユニット１０に用いられる磁石１６２，１６５の磁力や、レンズバレル１５の重さ、レンズユニット１０に接触させる全てのプローブ１１３ａを合わせた容積の磁石１６２，１６５に対する容積比、レンズ駆動装置１６に用いられるバネ１６３の弾性率等を一般的に考えられる範囲で設計した場合、レンズユニット１０の筐体１１から露出する端子１４Ａ〜１４Ｆの中心と、磁石１６２，１６５とを結ぶ直線距離のうちの最小距離が１．５ｍｍ以下となっているレンズユニット１０に対しては、プローブ１１３ａの接触子が磁性材料であるとレンズ群１２の光軸Ａｘのずれが許容できない程大きくなってしまう。

近年のレンズユニット１０は小型化が要求されているため、上記最小距離を１．５ｍｍより大きくすることが難しい。したがって、プローブ１１３ａのような小さな物体であっても、磁石１６２，１６５がプローブ１１３ａに引き寄せられて光軸Ａｘが動いてしまう可能性がある。このため、通常は磁性材料によって構成するプローブの接触子を敢えて非磁性材料にする必要が生じてきており、本実施形態で説明したプローブ１１３ａの構成が有効となる。

特許文献３には、スプリング式のプローブを前提とした技術ではなく、金属ばね線を用いたプローブを前提とした技術が開示され、金属ばね線の材料としてベリリウム銅等の非磁性材料を用いることが開示されている。特許文献３に記載のプローブは、ばね性のプローブがたわむことによる弾性力を利用して通電対象の電極にプローブを押し当てるものである。

本実施形態の製造装置２００において、ばね性のプローブがたわむことによる弾性力を利用してレンズユニット１０の端子１４Ａ〜１４Ｆにプローブを押し当てる方法を採用すると、プローブの押し当て力によってレンズユニット１０が動いてしまう可能性がある。プローブの押し当て力によってレンズユニット１０が動かないようにするには、レンズユニット１０の保持力を強固なものとする必要があり、製造装置２００のコスト上昇につながる。

製造装置２００では、スプリング式のプローブ１１３ａを用いているため、プロービング時のレンズユニット１０に加わる力を軽減することができる。したがって、レンズユニット１０の保持力を強固なものとする必要がなく、製造装置２００のコスト上昇を抑えることができる。

なお、プローブ１１３ａの接触子が、非磁性材料からなる本体と、この本体表面に被覆された本体材料とは異なる材料の膜とから構成されるものの場合、その被覆膜の材料が磁性材料を含んでいても、本体の容積に対する被覆膜の容積の割合は十分に小さくなるため、プローブ１１３ａと磁石との間の引力の発生を抑えることが可能である。

ここまでは、レンズユニット１０が第一〜第三のレンズ駆動部を有する機種を製造する製造装置について説明した。しかし、レンズユニット１０が第二のレンズ駆動部及び第三のレンズ駆動部しか搭載していない機種であっても、上述してきた方法でレンズユニット１０に通電することで、精度の高い位置合わせが可能となる。

撮像モジュール１００のように、レンズユニット１０が第一〜第三のレンズ駆動部を搭載する機種では、レンズ駆動装置１６に通電するのに使用する端子の数が、第二のレンズ駆動部及び第三のレンズ駆動部のみを搭載する機種と比べて多くなる傾向にある。つまり、レンズユニット１０内の磁石に対するプローブの容積比が大きくなるため、非磁性材料の接触子を含むプローブ１１３ａを採用することが特に有効となる。

また、ここまでは、レンズユニット１０に含まれる第一〜第三のレンズ駆動部を駆動して高精度の位置合わせを可能にしているが、より精度を上げるために、レンズ駆動装置１６に含まれるホール素子にも通電した状態で、各測定位置において撮像素子２７により測定チャート８９を撮像させるようにしてもよい。

レンズ駆動装置１６に含まれるホール素子にも通電する場合には、最大で１８本のプローブが必要になる。このため、プローブ１１３ａが磁性材料で構成されていた場合は、レンズユニット１０内の磁石とプローブとの間で働く引力が大きくなる。したがって、非磁性材料の接触子を含むプローブ１１３ａを採用することが特に有効となる。

なお、図１０のＳ４の工程では、レンズ位置決めプレート７５とレンズ保持機構７７からなるレンズユニット保持部をＺ軸方向に移動可能にしておき、撮像素子ユニット保持部７９のＺ軸方向位置は固定のままレンズユニット保持部をＺ軸方向に移動させたり、レンズユニット保持部と撮像素子ユニット保持部７９をそれぞれＺ軸方向に移動させたりすることで測定位置を変えて、各測定位置で合焦座標値を取得してもよい。

また、レンズユニット保持部と撮像素子ユニット保持部７９のＺ軸方向位置は固定のまま、チャートユニット７１をＺ軸方向に移動させることで測定位置を変えて合焦座標値を取得してもよい。また、レンズユニット保持部と撮像素子ユニット保持部７９とチャートユニット７１のそれぞれのＺ軸方向位置を変えることで測定位置を変えて、合焦座標値を取得してもよい。

つまり、レンズユニット１０、撮像素子ユニット２０、及び測定チャート８９のＺ軸方向の相対位置を変えることで測定位置を変え、各相対位置において、撮像素子２７により測定チャート８９を撮像させて、合焦座標値を取得する構成であればよい。

また、図１０の説明では、上記相対位置を変えることで、複数の測定位置を実現し、各測定位置となったときに測定チャートを撮像するものとしたが、測定チャートの撮像は継続的に行い（つまり動画撮像を行い）、その撮像中に各測定位置となるように、上記相対位置を変化させていくようにしてもよい。

また、図１０のＳ８の工程では、レンズユニット１０のＺ軸方向位置は固定のまま、撮像素子ユニット２０を動かしていくことで、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置を調整している。この変形例として、レンズユニット保持部をＺ軸方向に移動可能にしておき、撮像素子ユニット保持部７９は位置固定のままレンズユニット保持部を移動させたり、レンズユニット保持部と撮像素子ユニット保持部７９をそれぞれ移動させたりして、位置調整を行ってもよい。

また、図１０のＳ８の工程では、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置と傾きを調整しているが、Ｚ軸方向位置の調整は省略してもよい。例えば、レンズユニット１０においてレンズバレル１５を螺子構造等によって光軸Ａｘ方向に摺動可能にしたものであれば、製造装置２００においてＺ軸方向位置の調整を行わなくてすむ。

このように、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の傾きを少なくとも調整する工程を実施する製造装置においては、上述してきたように非磁性材料のプローブ１１３ａを用いることで、高精度の位置合わせが可能になる。

また、図１０のＳ８の工程において、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ軸方向位置と傾きを調整するのであれば、測定チャート８９のチャート面に設けるチャート画像は少なくとも３つあればよい。

上述してきたように、４つ以上のチャート画像を用いた場合には、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の傾き調整をより高精度に行うことができる。

レンズユニット１０に通電を行う場合、通電を行う対象となるレンズ駆動部は第一〜第三のレンズ駆動部の全てとする必要はなく、位置合わせの精度に応じて必要なものにだけ通電を行うようにすればよい。

図１１は、図５に示す製造装置２００の変形例を示す図である。

図１１に示した製造装置２００Ａは、撮像素子ユニット２０の撮像素子２７と撮像素子ドライバ１４７との電気的接続を、撮像素子ユニット２０の外部接続用端子部２３を用いずにプローブ２７ｂを用いて行う点を除いては、図５に示す製造装置２００と同じ構成である。

製造装置２００Ａで撮像素子ユニット保持部７９に保持される撮像素子ユニット２０は、撮像素子２７のデータ出力用端子及び駆動用端子等の撮像素子２７と電気的に接続された複数の電気接続部が基板２１背面に露出している。

２軸回転ステージ１１９には、複数本のプローブ２７ｂが設けられ、この複数本のプローブ２７ｂの各々は撮像素子ドライバ１４７と電気的に接続されている。

作業者が、チャックハンド１１５の挟持部材１１５ａを用いて撮像素子ユニット２０を装置に保持させた状態では、撮像素子２７の基板２１背面に露出する各端子に、複数本のプローブ２７ｂのいずれかが押し当てられて、撮像素子２７と撮像素子ドライバ１４７とが電気的に接続される。図１１の製造装置２００Ａでは、プローブユニット１１３が第一のプローブ押し当て部として機能し、２軸回転ステージ１１９が第二のプローブ押し当て部として機能する。

この製造装置２００Ａにおいて、複数本のプローブ２７ｂの各々はプローブ１１３ａと同じ構成になっている。このため、撮像素子ユニット保持部７９に保持された撮像素子ユニット２０がレンズユニット１０に最も近づいた状態でも、レンズユニット１０内の磁石が複数本のプローブ２７ｂに引き寄せられることはない。このため、レンズユニット１０のレンズ群１２の位置を所望の状態に維持することができ、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の位置合わせを高精度に行うことができる。

図５及び図１１に示した製造装置では、レンズ位置決めプレート７５の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃに、レンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃを当接させ、更に、保持プレート１１４でレンズユニット１０をレンズ位置決めプレート７５側に押し当てることで、レンズユニット１０をＺ軸上に保持している。

この変形例として、図１２に示す外段取り冶具を用い、この外段取り冶具をＺ軸上に配置したプレートに取り付けることで、Ｚ軸上にレンズユニット１０を保持する構成としてもよい。

図１２は、外段取り冶具の外観斜視図である。

図１２に示す冶具７５０（第一の冶具）は、基板７５Ａと、基板７５Ａ上に形成された凸部７５Ｂと、を備える。

基板７５Ａには、開口７５Ｃが設けられている。基板７５Ａの開口７５Ｃの周囲には、８つの突起７５Ｄが形成されている。８つの突起７５Ｄは、レンズユニット１０の筐体１１の天面１１ａを位置決めするためのものである。

凸部７５Ｂには一部凹部が形成され、この凹部に、回転可能な台座７５Ｆが形成されている。

台座７５Ｆには、基板７５Ａの８つの突起７５Ｄで規定される範囲に配置されたレンズユニット１０を押さえるためのレンズユニット押さえ部７５Ｅが形成されている。

作業者が台座７５Ｆを左に回転させて、レンズユニット押さえ部７５Ｅを図１２の状態から左に９０度回転させると、基板７５Ａの８つの突起７５Ｄで規定される範囲の上方に空間が生まれる。この状態で、作業者は、レンズユニット１０の筐体１１の天面１１ａを８つの突起７５Ｄで規定される範囲に配置する。そして、作業者が、台座７５Ｆを右に回転させて、レンズユニット押さえ部７５Ｅを図１２の状態にすることで、レンズユニット押さえ部７５Ｅがレンズユニット１０を基板７５Ａ側に押しつけ、冶具７５０にレンズユニット１０が保持される。

製造装置２００，２００Ａでは、Ｚ軸上のレンズ位置決めプレート７５を配置すべき位置に、冶具７５０を着脱可能なプレート（第二の冶具）を配置しておく。そして、ロボットによって、このプレートに冶具７５０を取り付けることで、Ｚ軸上にレンズユニット１０が保持された状態を得る。この状態で、ステージ部９９ａを移動させて、プローブ１１３ａをレンズユニット１０の各端子に接触させることで、レンズユニット１０のレンズ駆動装置１６に通電可能となる。

このような冶具７５０において、冶具７５０を構成する全ての材料（基板７５Ａの材料、凸部７５Ｂの材料、突起７５Ｄの材料、台座７５Ｆの材料、レンズユニット押さえ部７５Ｅの材料）を非磁性材料にしておくことで、冶具７５０を用いることによる光軸Ａｘの位置ずれを防ぐことができる。冶具７５０に用いる非磁性材料としては、オーステナイト系ステンレス、アルミニウム、銅、銅合金、真鍮等を用いることができる。

また、この冶具７５０において、冶具７５０を構成する全ての構成要素にもメッキ等の表面処理を施しておくのがよい。つまり、冶具７５０は、非磁性材料からなる本体と、この本体表面に被覆されたその本体とは異なる材料の膜とから構成されていてもよい。

非磁性材料としてステンレス系の材料を用いる場合は、レイデント処理やレイデントＨ処理を行うのがよい。非磁性材料としてアルミニウム系の材料を用いる場合は、黒アルマイト処理や硬質黒アルマイト処理を行うのがよい。

冶具７５０において、このような表面処理を行うことで、冶具としての耐久性を向上させることができる。また、冶具７５０表面での光の反射を防止することができ、撮像画像にゴーストやフレア等が発生するのを防いで、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の位置合わせ精度を向上させることができる。

このように、冶具７５０を用いてレンズユニット１０をＺ軸上に保持する装置構成によれば、製造装置によって別の撮像モジュールの製造を行っているときに、次の製品のレンズユニット１０の準備をしておくことができる。このため、撮像モジュールの製造効率を上げることができる。

以上説明してきたように、本明細書には以下の事項が開示されている。

開示された撮像モジュールの製造方法は、レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、上記レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールの製造方法であって、上記レンズユニットは、上記レンズ群のうち少なくとも一部のレンズを上記レンズ群の光軸に直交する２つの方向にそれぞれ移動させる２つのレンズ駆動部を含むレンズ駆動装置と、上記レンズ群及び上記レンズ駆動装置を収容する筐体と、上記筐体から露出し上記レンズ駆動装置と電気的に接続された電気接続部と、を有し、上記２つのレンズ駆動部は、ボイスコイルと上記ボイスコイルに対向する磁石とを有し、測定チャートに直交する軸上において、上記撮像素子ユニット、上記レンズユニット、及び上記測定チャートの少なくともいずれか１つ以上の上記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、上記撮像素子を駆動して上記撮像素子により上記レンズ群を通して上記測定チャートを撮像させる第一工程と、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、上記レンズユニットに対する上記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整し、上記撮像素子ユニットを上記レンズユニットに固定する第二工程と、を備え、上記第一工程では、上記軸上に上記レンズユニットを保持し、上記レンズユニットの上記電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの上記接触子を押し当てて上記レンズ駆動装置に通電した状態で、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像させるものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記第一のプローブは、上記接触子と、上記接触子を付勢する弾性体と、を備えるものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記非磁性材料が非磁性金属であるものを含む。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記接触子は、上記本体と、上記本体表面に被覆された上記本体の材料とは異なる材料の膜とから構成されるものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記レンズユニットにおいて、上記電気接続部と上記磁石とを結ぶ距離のうちの最短の距離が１．５ｍｍ以下となっているものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記第一工程では、上記軸上に上記撮像素子ユニットを保持し、上記撮像素子ユニットに設けられ上記撮像素子と電気的に接続された電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第二のプローブの上記接触子を押し当てて上記撮像素子に通電した状態で、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像させるものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記第一工程では、上記レンズユニットが取り付けられた非磁性材料からなる冶具を上記軸上に配置することで、上記レンズユニットを軸上に保持するものである。

開示された撮像モジュールの製造方法は、上記冶具は、非磁性材料からなる本体と、上記本体表面に被覆された上記本体とは異なる材料の膜とから構成されるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、測定チャートを設置するための測定チャート設置部と、上記測定チャート設置部に設置された上記測定チャートに直交する軸上に、レンズ群を有するレンズユニットを通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットを保持するための撮像素子ユニット保持部と、上記測定チャート設置部と上記撮像素子ユニット保持部との間の上記軸上で上記レンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、上記レンズユニット保持部により保持された上記レンズユニットに、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの上記接触子を押し当てる第一のプローブ押し当て部と、上記測定チャート設置部、上記レンズユニット保持部、及び上記撮像素子ユニット保持部の少なくともいずれか１つ以上の上記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、上記撮像素子ユニットの上記撮像素子を駆動して、上記撮像素子により上記レンズユニットを通して上記測定チャートを撮像させる制御部と、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、上記レンズユニットに対する上記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整する調整部と、上記調整部により調整後の上記撮像素子ユニットを上記レンズユニットに固定するユニット固定部と、を備えるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記第一のプローブは、上記接触子と、上記接触子を付勢する弾性体と、を備えるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記非磁性材料が非磁性金属であるものを含む。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記接触子は、上記本体と、上記本体表面に被覆された上記本体の材料とは異なる材料の膜とから構成されるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記第一のプローブ押し当て部は、上記レンズユニット保持部により保持された上記レンズユニットに含まれ、上記レンズ群のうち少なくとも一部のレンズを上記レンズ群の光軸に直交する２つの方向にそれぞれ移動させる２つのレンズ駆動部を構成するボイスコイル及び磁石を含むレンズ駆動装置と電気的に接続された、上記レンズ群と上記レンズ駆動装置を収容する筐体から露出する電気接続部に、上記第一のプローブの上記接触子を押し当て、上記撮像素子ユニット保持部により保持された上記撮像素子ユニットに設けられ上記撮像素子と電気的に接続された電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第二のプローブの上記接触子を押し当てる第二のプローブ押し当て部を更に備えるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットを取り付けるための非磁性材料からなる第一の冶具を着脱可能に構成された上記軸上に配置される第二の冶具を備えるものである。

開示された撮像モジュールの製造装置は、上記第一の冶具は、非磁性材料からなる本体と、上記本体表面に被覆された上記本体の材料とは異なる材料の膜と、から構成されるものである。

本発明の撮像モジュールの製造方法及び製造装置は、特に携帯電話機、眼鏡型電子機器、腕時計型電子機器等の電子機器に搭載される撮像モジュールの製造に適用して有効である。

以上、本発明を特定の実施形態によって説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、開示された発明の技術思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
本出願は、２０１３年１０月２２日出願の日本特許出願（特願２０１３−２１９２４５）に基づくものであり、その内容はここに取り込まれる。

１００ 撮像モジュール
１０ レンズユニット
１１ 筐体
１２ レンズ群
１３ フレキシブル基板
１４Ａ〜１４Ｆ レンズユニット端子部
１６ レンズ駆動装置
１６０ ベース
１６１ ｚ方向ボイスコイル
１６２ ｚ方向磁石
１６３，１６６ バネ
１６４ ｘ，ｙ方向ボイスコイル
１６５ ｘ，ｙ方向磁石
１６Ａ ｘ方向ＶＣＭ
１６Ｂ ｘ方向ホール素子
１６Ｃ ｙ方向ＶＣＭ
１６Ｄ ｙ方向ホール素子
１６Ｅ ｚ方向ＶＣＭ
１６Ｆ ｚ方向ホール素子
２０ 撮像素子ユニット
２１ 基板
２２ フレキシブル基板
２３ 外部接続用端子部
２４Ａ〜２４Ｆ 撮像素子ユニット端子部
２７ 撮像素子
２００ 撮像モジュール製造装置
７１ チャートユニット
８９ 測定チャート
７５ レンズ位置決めプレート
１１３ プローブユニット
１１３ａ 非磁性材料からなるプローブ
１１４ 保持プレート
８１ 接着剤供給部
８３ 紫外線ランプ
７９ 撮像素子ユニット保持部
８５ 制御部
Ａｘ 光軸
ｚ 光軸に沿う方向
ｘ ｚ方向に直交する方向
ｙ ｚ方向に直交する方向

本発明の撮像モジュールの製造装置は、測定チャートを設置するための測定チャート設置部と、上記測定チャート設置部に設置された上記測定チャー
トに直交する軸上に、レンズ群を有するレンズユニットを通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットを保持するための撮像素子ユニット保持部と、上記測定チャート設置部と上記撮像素子ユニット保持部との間の上記軸上で上記レンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、上記レンズユニット保持部により保持された上記レンズユニットの電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの上記接触子を押し当てる第一のプローブ押し当て部と、上記測定チャート設置部、上記レンズユニット保持部、及び上記撮像素子ユニット保持部の少なくともいずれか１つ以上の上記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、上記撮像素子ユニットの上記撮像素子を駆動して、上記撮像素子により上記レンズユニットを通して上記測定チャートを撮像させる制御部と、上記撮像素子により上記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、上記レンズユニットに対する上記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整する調整部と、上記調整部により調整後の上記撮像素子ユニットを上記レンズユニットに固定するユニット固定部と、を備えるものである。

Claims (15)

1. レンズ群を有するレンズユニットと、前記レンズユニットに固定され、前記レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールの製造方法であって、
   前記レンズユニットは、前記レンズ群のうち少なくとも一部のレンズを前記レンズ群の光軸に直交する２つの方向にそれぞれ移動させる２つのレンズ駆動部を含むレンズ駆動装置と、前記レンズ群及び前記レンズ駆動装置を収容する筐体と、前記筐体から露出し前記レンズ駆動装置と電気的に接続された電気接続部と、を有し、
   前記２つのレンズ駆動部は、ボイスコイルと前記ボイスコイルに対向する磁石とを有し、
   測定チャートに直交する軸上において、前記撮像素子ユニット、前記レンズユニット、及び前記測定チャートの少なくともいずれか１つ以上の前記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、前記撮像素子を駆動して前記撮像素子により前記レンズ群を通して前記測定チャートを撮像させる第一工程と、
   前記撮像素子により前記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、前記レンズユニットに対する前記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整し、前記撮像素子ユニットを前記レンズユニットに固定する第二工程と、を備え、
   前記第一工程では、前記軸上に前記レンズユニットを保持し、前記レンズユニットの前記電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの前記接触子を押し当てて前記レンズ駆動装置に通電した状態で、前記撮像素子により前記測定チャートを撮像させる撮像モジュールの製造方法。
2. 請求項１記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記第一のプローブは、前記接触子と、前記接触子を付勢する弾性体と、を備える撮像モジュールの製造方法。
3. 請求項１又は２記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記非磁性材料が非磁性金属である撮像モジュールの製造方法。
4. 請求項３記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記接触子は、前記本体と、前記本体表面に被覆された前記本体の材料とは異なる材料の膜とから構成される撮像モジュールの製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記レンズユニットにおいて、前記電気接続部と前記磁石とを結ぶ距離のうちの最短の距離が１．５ｍｍ以下となっている撮像モジュールの製造方法。
6. 請求項１〜５のいずれか１項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記第一工程では、前記軸上に前記撮像素子ユニットを保持し、前記撮像素子ユニットに設けられ前記撮像素子と電気的に接続された電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第二のプローブの前記接触子を押し当てて前記撮像素子に通電した状態で、前記撮像素子により前記測定チャートを撮像させる撮像モジュールの製造方法。
7. 請求項１〜６のいずれか１項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記第一工程では、前記レンズユニットが取り付けられた非磁性材料からなる冶具を前記軸上に配置することで、前記レンズユニットを軸上に保持する撮像モジュールの製造方法。
8. 請求項７記載の撮像モジュールの製造方法であって、
   前記冶具は、非磁性材料からなる本体と、前記本体表面に被覆された前記本体とは異なる材料の膜とから構成される撮像モジュールの製造方法。
9. 測定チャートを設置するための測定チャート設置部と、
   前記測定チャート設置部に設置された前記測定チャートに直交する軸上に、レンズ群を有するレンズユニットを通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットを保持するための撮像素子ユニット保持部と、
   前記測定チャート設置部と前記撮像素子ユニット保持部との間の前記軸上で前記レンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、
   前記レンズユニット保持部により保持された前記レンズユニットに、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第一のプローブの前記接触子を押し当てる第一のプローブ押し当て部と、
   前記測定チャート設置部、前記レンズユニット保持部、及び前記撮像素子ユニット保持部の少なくともいずれか１つ以上の前記軸方向の相対位置を変化させ、各相対位置において、前記撮像素子ユニットの前記撮像素子を駆動して、前記撮像素子により前記レンズユニットを通して前記測定チャートを撮像させる制御部と、
   前記撮像素子により前記測定チャートを撮像して得られる撮像信号に基づいて、前記レンズユニットに対する前記撮像素子ユニットの傾きを少なくとも調整する調整部と、
   前記調整部により調整後の前記撮像素子ユニットを前記レンズユニットに固定するユニット固定部と、を備える撮像モジュールの製造装置。
10. 請求項９記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記第一のプローブは、前記接触子と、前記接触子を付勢する弾性体と、を備える撮像モジュールの製造装置。
11. 請求項９又は１０記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記非磁性材料が非磁性金属である撮像モジュールの製造装置。
12. 請求項１１記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記接触子は、前記本体と、前記本体表面に被覆された前記本体の材料とは異なる材料の膜とから構成される撮像モジュールの製造装置。
13. 請求項９〜１２のいずれか１項記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記第一のプローブ押し当て部は、前記レンズユニット保持部により保持された前記レンズユニットに含まれ、前記レンズ群のうち少なくとも一部のレンズを前記レンズ群の光軸に直交する２つの方向にそれぞれ移動させる２つのレンズ駆動部を構成するボイスコイル及び磁石を含むレンズ駆動装置と電気的に接続された、前記レンズ群と前記レンズ駆動装置を収容する筐体から露出する電気接続部に、前記第一のプローブの前記接触子を押し当て、
    前記撮像素子ユニット保持部により保持された前記撮像素子ユニットに設けられ前記撮像素子と電気的に接続された電気接続部に、非磁性材料からなる本体を含む接触子を有する第二のプローブの前記接触子を押し当てる第二のプローブ押し当て部を更に備える撮像モジュールの製造装置。
14. 請求項９〜１３のいずれか１項記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記レンズユニット保持部は、前記レンズユニットを取り付けるための非磁性材料からなる第一の冶具を着脱可能に構成された前記軸上に配置される第二の冶具を備える撮像モジュールの製造装置。
15. 請求項１４記載の撮像モジュールの製造装置であって、
    前記第一の冶具は、非磁性材料からなる本体と、前記本体表面に被覆された前記本体の材料とは異なる材料の膜と、から構成される撮像モジュールの製造装置。

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