JPWO2014115830A1 - 半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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- H01L33/0093—Wafer bonding; Removal of the growth substrate
Abstract
Description
図4は、サファイア基板100における周期構造形成工程を示すフローチャートである。図4に示すように、サファイア基板100の表面の平坦部101に周期的な凸部102を形成する周期構造形成工程は、マスク層形成工程S1と、レジスト膜形成工程S2と、パターン形成工程S3と、残膜除去工程S4と、レジスト変質工程S5と、マスク層のエッチング工程S6と、サファイア基板のエッチング工程S7と、マスク層除去工程S8と、湾曲部形成工程S9と、を含んでいる。
図5Bはサファイア基板及びマスク層のエッチング方法の過程を示し、(f)はレジスト膜の残膜を除去した状態を示し、(g)はレジスト膜を変質させた状態を示し、(h)はレジスト膜をマスクとしてマスク層をエッチングした状態を示し、(i)はマスク層をマスクとしてサファイア基板をエッチングした状態を示す。尚、変質後のレジスト膜は、図中、塗りつぶすことで表現している。
図5Cはサファイア基板及びマスク層のエッチング方法の過程を示し、(j)はマスク層をマスクとしてサファイア基板をさらにエッチングした状態を示し、(k)はサファイア基板から残ったマスク層を除去した状態を示し、(l)はサファイア基板にウェットエッチングを施した状態を示す。
図6は、発光素子1の製造方法を示すフローチャートである。図6に示すように、本実施形態の発光素子1の製造方法は、周期構造形成工程S10と、バッファ層形成工程S20と、バッファ層一部除去工程S30と、半導体成長工程S40と、支持基板貼付工程S50と、レーザリフトオフ工程S60と、n側電極形成工程S70と、p側電極形成工程S80と、を含んでいる。半導体成長工程S40は、下地層6を形成する工程と、半導体積層部5を形成する工程の両方を含む。
2 支持基板
3 第1のバリアメタル層
4 第2のバリアメタル層
5 半導体積層部
6 下地層
7 n側電極
8 接着剤
9 p側電極
51 p型GaN層
52 多重量子井戸活性層
53 n型GaN層
61 バッファ層
62 凹部
100 サファイア基板
101 平坦部
102 凸部
103 側面
104 湾曲部
130 マスク層
131 SiO2層
132 Ni層
140 レジスト膜
141 凹凸構造
142 残膜
143 凸部
150 モールド
151 凹凸構造
160 接合体
200 プラズマエッチング装置
201 基板保持台
202 容器
203 コイル
204 電源
205 石英板
206 冷却制御部
207 プラズマ
300 レーザ照射装置
310 レーザ発振器
320 ミラー
330 光学レンズ
340 ステージ
350 ハウジング
400 サファイア基板
401 平坦部
402 凹部
501 発光素子
502 支持基板
505 半導体積層部
506 下地層
511 絶縁層
512 金属層
551 p型GaN層
552 多重量子井戸活性層
553 n型GaN層
562 凹部
581 バンプ
582 バンプ
Claims (5)
- サファイア基板の表面の平坦部に、周期的な凹部又は凸部を形成する周期構造形成工程と、
前記サファイア基板の前記平坦部、及び、前記凹部又は前記凸部にIII族窒化物半導体からなるバッファ層を形成するバッファ層形成工程と、
前記サファイア基板に熱処理を施し、前記凹部又は前記凸部から前記バッファ層の少なくとも一部を除去し、前記平坦部上に前記バッファ層を残留させるバッファ層一部除去工程と、
前記凹部又は凸部を埋めるように、前記平坦部上の前記バッファ層からIII族窒化物半導体を成長させる半導体層形成工程と、
前記サファイア基板の裏面に支持基板を貼り付ける支持基板貼付工程と、
前記サファイア基板の前記平坦部上の前記バッファ層にレーザのエネルギーを吸収させ、前記III族窒化物半導体を前記サファイア基板から剥離させるレーザリフトオフ工程と、を含む半導体発光素子の製造方法。 - 前記サファイア基板の表面の平坦部は、c面である請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記凹部又は前記凸部が、c面を有しない請求項2に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記凹部又は凸部の間隔は、1μm未満である請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記凹部の深さ又は凸部の高さは、100nm以上1μm未満である請求項4に記載の半導体発光素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013013744 | 2013-01-28 | ||
JP2013013744 | 2013-01-28 | ||
PCT/JP2014/051472 WO2014115830A1 (ja) | 2013-01-28 | 2014-01-24 | 半導体発光素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014115830A1 true JPWO2014115830A1 (ja) | 2017-01-26 |
Family
ID=51227619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014558626A Ceased JPWO2014115830A1 (ja) | 2013-01-28 | 2014-01-24 | 半導体発光素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2014115830A1 (ja) |
WO (1) | WO2014115830A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069463A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 旭化成株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
CN109256052B (zh) * | 2018-09-21 | 2020-06-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电子设备、显示面板、驱动背板及其制造方法 |
JP7350477B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2023-09-26 | 株式会社小糸製作所 | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2014
- 2014-01-24 WO PCT/JP2014/051472 patent/WO2014115830A1/ja active Application Filing
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Patent Citations (5)
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014115830A1 (ja) | 2014-07-31 |
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