JPWO2014054224A1 - 構造体及びその製造方法、並びに構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 320
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 293
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 187
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 59
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 59
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 59
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 49
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 58
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 49
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 claims description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 94
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 94
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 393
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 56
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 38
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 25
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 25
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 25
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 25
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 19
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 10
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 10
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 4
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- -1 gallium nitride compound Chemical class 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N C1(C=CC=C1)[Mg] Chemical compound C1(C=CC=C1)[Mg] MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000858 La alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 230000005699 Stark effect Effects 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002744 anti-aggregatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/16—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
- H01L33/405—Reflective materials
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
M面を主面とする窒化ガリウム系半導体(41)と、主面の上に配置された金属層(42)とを含む構造体において、該主面はn型の導電型を有し、窒化ガリウム系半導体(41)と金属層(42)との界面(43)には、酸素が含まれる。金属層(42)は、該金属層(42)の下面から上面にまで達する結晶粒を含む。
Description
本発明は、非極性面又は半極性面である表面を有する窒化ガリウム系半導体層とその表面の上に配置された金属層とを含む構造体に関する。
V族元素として窒素(N)を有する窒化物半導体は、そのバンドギャップの大きさから、短波長発光素子の材料として有望視されている。なかでも、III族元素としてGaを含む窒化ガリウム系化合物半導体(GaN系半導体)の研究は盛んに行われており、青色発光ダイオード(LED)素子及び緑色LED素子、並びにGaN系半導体を材料とする半導体レーザ素子も実用化されている。
GaN系半導体は、ウルツ鉱型結晶構造を有している。図1は、GaNの単位格子を模式的に示している。AlxGayInzN(0≦x,z<1、0<y≦1、x+y+z=1)半導体の結晶では、図1に示すGaの一部がAl及びInのうちの少なくとも一方に置換され得る。
図2は、ウルツ鉱型結晶構造の基本ベクトルa1、a2、a3及びcを示している。基本ベクトルcは、[0001]方向に延びており、この方向は「c軸」と呼ばれる。c軸に垂直な面(plane)は「c面」又は「(0001)面」と呼ばれる。さらに、Ga等のIII族元素で終端されている面は、「+c面」又は「(0001)面」と呼ばれ、窒素等のV族元素で終端されている面は、「−c面」又は「(000−1)面」と呼ばれて区別される。
GaN系半導体を用いて半導体素子を作製する場合、一般に、GaN系半導体結晶を成長させる基板として、c面基板、すなわち(0001)面を成長面とする基板が用いられる。しかしながら、c面においてはGa原子と窒素原子とが同一の原子面上に存在しないため、分極(Electrical Polarization)が生じる。このため、「c面」は「極性面」とも呼ばれる。分極の結果、窒化ガリウム系半導体発光素子の活性層を構成するInGaNからなる量子井戸層には、c軸方向に沿ってピエゾ電界が発生する。このようなピエゾ電界が活性層に発生すると、活性層内における電子及びホールの分布に位置ずれが生じ、キャリアの量子閉じ込めシュタルク効果によって、活性層の内部量子効率が低下するという問題がある。半導体レーザ素子であれば、しきい値電流の増大が引き起こされ、LEDであれば、消費電力の増大及び発光効率の低下が引き起こされる。また、注入キャリア密度が上昇すると共に、ピエゾ電界のスクリーニングが起こり、発光波長の変化も生じる。
そこで、これらの課題を解決するため、非極性面、例えば[10−10]方向に垂直な、m面と呼ばれる(10−10)面を成長面とする基板(m面GaN系基板)を用いることが検討されている。ここで、ミラー指数を表すカッコ内の数字の左に付された「−」符号は、その指数の「バー(反転)」を意味し、図中の「バー」と対応する。m面は、図2に示されるように、c軸に平行な面であり、且つc面と直交している。m面においては、Ga原子と窒素原子とは、同一の原子面上に存在するため、m面に垂直な方向には自発分極が発生しない。その結果、m面に垂直な方向に半導体積層構造を形成すれば、活性層にピエゾ電界も発生しないため、上記の課題を解決することができる。なお、m面は、(10−10)面、(−1010)面、(1−100)面、(−1100)面、(01−10)面及び(0−110)面の総称である。
a面は、図3(c)に示すように、c軸(基本ベクトルc)に平行な面であり、図3(a)に示すc面と直交している。なお、a面は、(11−20)面、(−1−120)面、(1−210)面、(−12−10)面、(−2110)面及び(2−1−10)面の総称である。
r面を図3(d)に示す。+r面は、(10−12)面、(−1012)面、(1−102)面、(−1102)面、(01−12)面及び(0−112)面の総称である。
また、−r面は、(10−1−2)面、(−101−2)面、(1−10−2)面、(−110−2)面、(01−1−2)面及び(0−11−2)面の総称である。
特許文献1には、銀(Ag)、ロジウム(Rh)、アルミニウム(Al)又はスズ(Sn)で構成される反射電極の凝集を防止するために、酸化防止電極/凝集防止電極/反射電極/コンタクト電極/p型GaNという構造を用いる技術が開示されている。
非特許文献1には、Ag電極の反射率を向上してコンタクト抵抗を低減するために、GaN層とAg層との界面にニッケル(Ni)層を入れて、Agの結晶化を促進する技術が開示されている。
特許文献2には、電極の高反射率と低接触抵抗とを両立させるために、Agを主成分として、パラジウム(Pd)及び銅(Cu)又はゲルマニウム(Ge)が添加されたAg合金層を含む半導体発光素子用電極が開示されている。
特許文献3は、n型半導体層と、p型半導体層と、n型半導体層とp型半導体層の間に設けられた発光層と、を有する積層構造体と、n型半導体層に接続され、銀及び銀合金の少なくともいずれかを含む第1の電極と、p型半導体層に接続された第2の電極と、を備えた半導体発光ダイオードを開示している。
特許文献4は、第1導電型の第1半導体層と、第2導電型の第2半導体層と、第1半導体層と第2半導体層との間に設けられた発光層と、を有する積層構造体と、第2半導体層の発光層とは反対側に設けられた電極と、を有する半導体発光ダイオードの製造方法を開示している。特許文献4によれば、第2半導体層の発光層とは反対側の面の上に銀又は銀合金を含む第1金属層を形成し、第1金属層の上に、白金、パラジウム、ロジウムの少なくともいずれかの元素を含む第2金属層を形成し、第2半導体層、第1金属層及び第2金属層を、酸素を含有する雰囲気においてシンター処理し、シンター処理の温度は、シンター処理を実施した後の第1金属層に含まれる銀の平均粒径が、シンター処理を施す前の銀の平均粒径の3倍以下である温度である。
特許文献5は、n型GaNコンタクト層1表面の酸素プラズマアッシャー処理を行ない、次にTi層、Al層、Pt層、Au層を順次形成した電極を形成することを開示している。
Jun Ho Son, Yang Hee Song, Hak Ki Yu, and Jong-Lam Lee,「Applied Physics Letters」,2009年8月14日(Vol.95,P.062108)
しかしながら、上述した従来技術では、さらなる外部量子効率の向上が求められていた。
本願の限定的でない例示的なある実施形態は、金属層による反射率とコンタクト抵抗とを改善すると共に、これにより、外部量子効率を向上させることを目的とする。
前記の目的を達成するため、本開示の一態様は、M面を主面とする窒化ガリウム系半導体層と、主面の上に配置された銀層とを含む構造体であって、主面は、n型の導電型を有し、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面には、酸素が含まれ、銀層は、該銀層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む。
本開示の実施形態によれば、金属層による反射率とコンタクト抵抗とを改善すると共に、外部量子効率を向上させることができる。
特許文献1に記載された発明では、Ag、Rh、Al又はSnを反射電極として用いており、さらに、コンタクト電極は、La系合金、Ni系合金、Zn系合金、Cu系合金、熱電酸化物、ドーピングされたIn酸化物、ITO及びZnOからなる群より選択する必要がある。このため、プロセスが煩雑となり得る。
非特許文献1に記載された発明では、GaN層とAg層との間に異種金属であるNi層を挿入する必要がある。
特許文献2に記載された発明では、Pd及びCu、又はGeといった異種元素をAgに添加する必要があり、この場合もプロセスが煩雑となり得る。
本開示の実施形態では、上述した従来の技術を上回る、外部量子効率が向上した窒化ガリウム系半導体発光素子を実現することができる。
半導体発光素子から光を高効率に取り出すには、発光素子の内部及び外部で吸収される光を可能な限り少なくする必要がある。このため、反射率が高い金属であるAl若しくはAg又はそれらを含む合金を半導体層の上に成膜することが考えられる。このような金属層は、発光素子に通電させるための電極として用いることができる。但し、半導体と金属との組み合わせによってはオーミック接合が実現せず、電力変換効率が低下してしまう場合がある。また、熱又はその他の外乱に対する耐性が小さく、半導体層と金属層との界面反射率が低いことから、光取り出し効率が低下してしまう場合がある。
本開示の実施形態によれば、半導体の表面を改質することによって、半導体層と金属層との親和性が増し、半導体層と金属層との界面が急峻、言い換えれば平坦となって、反射率が向上すると共に長期の信頼性も向上する。さらには、従来技術ではオーミック接合が実現しなかった半導体と金属との組み合わせにおいても、オーミック接合が実現する。
例えば、一実施形態に係る構造体は、M面を主面とする窒化ガリウム系半導体層と、主面の上に配置された銀層とを含む構造体であって、主面は、n型の導電型を有し、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面には、酸素が含まれ、銀層は、該銀層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む。
一実施形態において、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面における反射光には、波長が450nmから500nmの領域において、表面プラズモン共鳴吸収が観測されなくてもよい。
一実施形態において、銀層の厚さは、200nm以上であってもよい。
また、一実施形態において、銀層の厚さは、1200nm以下であってもよい。
一実施形態において、結晶粒の最大長さは、200nm以上であってもよい。
また、一実施形態において、結晶粒の最大長さは、1200nm以下であってもよい。
一実施形態において、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面における酸素濃度は、銀層の内部における酸素濃度に対して、30倍以上且つ200倍以下であってもよい。
一実施形態において、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面における酸素濃度は、3×1020cm−3以上且つ2×1021cm−3以下であり、銀層の内部における酸素濃度は、1×1019cm−3以下であってもよい。
一実施形態において、窒化ガリウム系半導体層と銀層との界面における、銀層の界面の面内方向の算術平均粗さRaは、基準の長さが3.5μmの算術平均粗さRaが、0.27nm以上且つ2.65nm以下であってもよい。
他の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子は、一実施形態に係る構造体と、p型窒化ガリウム系半導体層と、窒化ガリウム系半導体層とp型窒化ガリウム系半導体層とに挟まれた発光層とを備えた窒化ガリウム系半導体発光素子であって、窒化ガリウム系半導体層はn型窒化ガリウム系半導体層であり、銀層は、n型窒化ガリウム系半導体層に対する電極である。
さらに他の実施形態に係る構造体の製造方法は、窒化ガリウム系半導体層の表面を、活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程と、窒化ガリウム系半導体層の表面に、銀層を形成する工程とを備えている。
他の実施形態において、銀層を形成する工程よりも後に、構造体に対して熱処理を施す工程をさらに備えていてもよい。
他の実施形態において、活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程は、窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素原子又は酸素分子を含む気体若しくは液体に暴露した状態で、表面に紫外線を照射する工程を含んでいてもよい。
また、他の実施形態において、活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程は、窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素プラズマを含む雰囲気に暴露する工程を含んでいてもよい。
さらに他の実施形態は、構造体の製造方法を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法であって、窒化ガリウム系半導体層は、n型窒化ガリウム系半導体層であり、n型窒化ガリウム系半導体層の上に、発光層とp型窒化ガリウム系半導体層とを含む半導体積層体を作製する工程を備えている。
以下、第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
(第1の実施形態)
第1の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体層と金属層とを含む構造体について、図4を参照しながら説明する。
第1の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体層と金属層とを含む構造体について、図4を参照しながら説明する。
まず、図4に示すように、n型窒化ガリウム系半導体41を用意する。以下、n型窒化ガリウム系半導体41を、単に半導体41と呼ぶこともある。半導体41は、c面を除く結晶面を成長面とする半導体層、又は半導体積層構造の一部である。本実施形態においては、半導体41のc面を除く結晶面である最表面に対して酸化反応を用いた改質(表面改質)を行い、これによって最表面の濡れ性を制御する。具体的には、例えば、半導体41の最表面を酸素プラズマ雰囲気に暴露することにより、最表面の親水性を高める。本発明者が評価した結果、通常、窒化ガリウム系半導体は親水性であるが、これを「超親水性」へと近付けるように、その濡れ性を制御することにより、本実施形態の効果を高めることができる。
c面を除く結晶面とは、例えば、GaN系半導体のc軸から18°以上且つ90°以下だけ傾いた結晶面をいう。GaN系半導体のc軸から18°以上且つ90°以下だけ傾いた結晶面に対して、本実施形態を適用すると、より「超親水性」に近づけることができる。これは、GaN系半導体の表面の原子構造に起因していると考えられる。sp3混成軌道において、結合手がなす角度は108°である。従って、この108°の角度から90°を引いた18°以上の角度でc軸から傾いたGaN系半導体の結晶面には、2つ以上の結合手が存在することになる。従って、この結晶面は、c面とは異なる原子構造であるといえる。m面GaN系半導体の表面及びa面GaN系半導体の表面は、いずれもGaN系半導体のc軸から90°だけ傾いており、この範囲にある。また、−r面GaN系半導体の表面及び+r面GaN系半導体の表面は、いずれもGaN系半導体のc軸から約43°だけ傾いており、この範囲にある。
本実施形態に係る「m面」は、傾きがないm面に対して完全に平行な面だけでなく、傾きがないm面からいずれかの方向に±5°以内の角度だけ傾斜した面を含む。m面から僅かに傾斜する程度では、自発分極の影響は極めて小さい。結晶成長技術では、表面が結晶方位と厳密に一致した基板よりも、表面が僅かに傾斜した基板上の方が半導体層をエピタキシャル成長させ易い場合がある。従って、自発分極の影響を十分に抑制しながら、エピタキシャル成長する半導体層の質を向上させたり、結晶成長速度を高めたりするために、半導体層の成長面である結晶面を傾斜させることが有用な場合もある。
また、傾きがないm面から全体に僅かに傾斜した面では、ステップ状のm面領域が多数露出し、m面と同様の性質を有する。本発明に係る「m面」は、複数のステップ状のm面領域を有する面をも含む。
また、傾きがないa面、+r面、−r面、S面((10−11)面)、n面((11−23)面)、R面((10−14)面)、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面又は(10−1−3)面等からいずれかの方向に±5°以内だけ傾いた面も、傾きがないこれらの面と同様の性質を有する。よって、本発明に係る「a面」、「+r面」、「−r面」、「S面」、「n面」、「R面」、「(11−22)面」、「(20−21)面」、「(10−13)面」、「(20−2−1)面」又は「(10−1−3)面」等も、傾きがないa面、+r面、−r面、S面、n面、R面、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面又は(10−1−3)面等からいずれかの方向に±5°以内の角度だけ傾斜した面を含む。
次に、図4に示すように、n型窒化ガリウム系半導体41の表面を、銀(Ag)若しくはアルミニウム(Al)又はその両方を含む、厚さが200nm以上且つ1200nm以下の金属層42によって直接に被覆する。すなわち、本実施形態において、金属層42は、Ag単体により構成されていてもよく、Al単体により構成されていてもよく、また、AgとAlとが任意の比率で合金を形成していてもよい。ここで、合金とは、Ag原子とAl原子とが必ずしも均一に混ざり合っている状態である必要はなく、いずれかの原子が偏在している状態であってもよい。この合金の定義は、第2及び第3の実施形態においても同様である。また、金属層42は、AgとAlとの合金に限られない。例えば、Ag単層とAl単層との積層構造であってもよい。積層構造を採る場合は、n型窒化ガリウム系半導体41と直接に接する金属は、Ag単層及びAl単層のうちいずれでもよい。金属層42の上に、さらに1層又は複数層の他の金属層が設けられていてもよい。
金属層42は、表面改質された半導体41の表面を直接に被覆するため、界面43において半導体41と堅牢に接合される。このため、熱や応力といった外乱に対して強靭である。金属層42に含まれる結晶粒の界面43における面内方向の最大長さは、200nm以上且つ1200nmである。また、金属層42に含まれる結晶粒の厚さも、200nm以上且つ1200nmである。金属層42の内部における酸素濃度は低い。これは、結晶粒が比較的に大きいことから、気体が金属層42を通り抜けるための結晶粒界が少ないためであると考えられる。一方、表面改質に起因して、界面43における酸素濃度は高い。界面43における酸素濃度は、金属層42の内部における酸素濃度に対して、30倍以上且つ200倍以下である。例えば、界面43における酸素濃度は3×1020cm−3以上且つ2×1021cm−3以下であり、金属層42の内部における酸素濃度は1×1019cm−3以下である。金属層42は、上述のように、界面43において半導体41と堅牢に接合されている。このため、金属層42の界面43の面内方向における算術平均粗さRaは、基準の長さが3.5μmの算術平均粗さRaが0.27nm以上且つ2.65nm以下である。
なお、第1の実施形態においては、n型窒化ガリウム系半導体41は、金属層42と接する少なくとも表面部分のみの導電型がn型であればよい。
(第2の実施形態)
以下、第2の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子について、図5(a)を参照しながら説明する。
以下、第2の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子について、図5(a)を参照しながら説明する。
図5(a)は第2の実施形態に係る非極性面又は半極性面を成長面とする窒化ガリウム系半導体上に形成された窒化ガリウム系半導体発光素子の断面構造を示している。
図5(a)に示すように、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子55は、上面及び下面にc面を除く結晶面を有するGaNからなる基板51と、基板51の上に順次形成されたn型窒化ガリウム系半導体41、窒化ガリウム系半導体活性層52及びp型窒化ガリウム系半導体53と、p型窒化ガリウム系半導体53の上に接して形成されたp側電極54と、n型窒化ガリウム系半導体41における露出部分の上に接して形成された金属層42とを備えている。ここでも、第1の実施形態と同様に、n型窒化ガリウム系半導体41と金属層42とは界面43を有する。
本実施形態において、n型窒化ガリウム系半導体41をエピタキシャル成長する基板51は、m面GaN基板でもよく、また、m面炭化シリコン(SiC)基板上のm面GaN層、又はr面サファイア基板上のm面GaN層等といった異種基板上のm面GaN層等であってもよい。また、基板51の表面はm面に限定されず、n型窒化ガリウム系半導体41の表面改質効果が高い結晶面であればよい。例えば、基板51として、主面がc面から18°以上且つ90°以下だけ傾いた面でもよい。例えば、主面は、m面、a面、+r面、−r面、S面、n面、R面、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面又は(10−1−3)面でもよい。
n型窒化ガリウム系半導体41は、例えばn型のAluGavInwN(u+v+w=1、u≧0、v>0、w≧0)から形成されている。n型ドーパントとして、例えばシリコン(Si)を用いることができる。
p型窒化ガリウム系半導体53は、例えばp型のAlsGatN(s+t=1、s≧0、t>0)半導体からなる。p型ドーパントとして、例えばマグネシウム(Mg)を用いることができる。p型ドーパントとして、Mgに代えて、例えば亜鉛(Zn)又はベリリウム(Be)等を用いてもよい。p型窒化ガリウム系半導体53において、Alの組成sは、厚さ方向に一様であってもよく、また、組成sが厚さ方向に連続的又は階段的に変化していてもよい。p型窒化ガリウム系半導体53の厚さは、例えば、0.05μm以上且つ2μm以下程度である。p型窒化ガリウム系半導体53の上面近傍、すなわちp側電極54との界面近傍は、Alの組成sが0である半導体、つまりGaNにより形成され得る。また、この場合、GaNには、p型の不純物が高濃度で含まれていてもよく、この領域はコンタクト層として機能し得る。
窒化ガリウム系半導体活性層52は、例えば、厚さ3nm以上且つ20nm以下程度のGa1-xInxNからなる井戸層と、厚さ5nm以上且つ30nm以下程度のGa1-yInyN(0≦y<x<1)からなるバリア層とが交互に積層されたGaInN/GaInN多重量子井戸(MQW)構造を有している。
窒化物半導体発光素子55から出射する光の波長は、井戸層の半導体組成であるGa1-xInxN半導体におけるInの組成xによって決まる。例えば、m面上に形成された窒化ガリウム系半導体活性層52にはピエゾ電界が発生しない。このため、Inの組成xを大きくしても、発光効率の低下を抑制できる。
金属層42は、例えば、Ag及びAlのうち少なくとも一方を含む層から構成されている。すなわち、本実施形態において、n側電極として機能する金属層42は、Ag単体により構成されていてもよく、Al単体により構成されていてもよく、また、AgとAlとが任意の比率で合金を形成していてもよい。また、金属層42は、AgとAlとの合金に限られない、例えば、Ag単層とAl単層との積層構造であってもよい。積層構造を採る場合は、n型窒化ガリウム系半導体41と直接に接する金属は、Ag単層及びAl単層のうちいずれでもよい。
ある態様では、p側電極54は、p型窒化ガリウム系半導体53の表面のほぼ全体を覆っている。p側電極54は、パラジウム(Pd)層及び白金(Pt)層からなる積層構造(Pd/Pt)、又はマグネシウム(Mg)層及び銀(Ag)層からなる積層構造(Mg/Ag)等で形成される。
(第2の実施形態の第1変形例)
第1変形例として、図5(b)に示す窒化物半導体発光素子55のように、窒化ガリウム系半導体活性層52とp型窒化ガリウム系半導体53との間に、アンドープのGaN層56を形成してもよい。
第1変形例として、図5(b)に示す窒化物半導体発光素子55のように、窒化ガリウム系半導体活性層52とp型窒化ガリウム系半導体53との間に、アンドープのGaN層56を形成してもよい。
(第2の実施形態の第2変形例)
また、第2変形例として、図5(c)に示す窒化物半導体発光素子55のように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部に、p−AlGaN層57を形成してもよい。このように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部にp−AlGaN層57を設けることにより、発光素子の動作時に、注入された電子のオーバフローを抑制することができる。
また、第2変形例として、図5(c)に示す窒化物半導体発光素子55のように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部に、p−AlGaN層57を形成してもよい。このように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部にp−AlGaN層57を設けることにより、発光素子の動作時に、注入された電子のオーバフローを抑制することができる。
(製造方法)
次に、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子55の製造方法について、図5(a)を参照しながら説明する。
次に、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子55の製造方法について、図5(a)を参照しながら説明する。
まず、有機金属化学気相堆積(MOCVD)法等によって、c面を除く結晶面を成長面とするn型GaNからなる基板51の成長面の上に、n型窒化ガリウム系半導体41をエピタキシャル結晶成長する。n型ドーパントとして例えばSiを用い、III族源であるTMG(Ga(CH3)3)及びV族源であるNH3を原料として供給し、900℃以上且つ1100℃以下程度の成長温度に設定する。これにより、基板51の上に、厚さが1μm以上且つ3μm以下程度のGaNからなるn型窒化ガリウム系半導体41を形成する。
続いて、n型窒化ガリウム系半導体41の上に、窒化ガリウム系半導体活性層52を形成する。窒化ガリウム系半導体活性層52は、例えば、厚さが15nmのGa1-xInxN井戸層と、厚さが30nmのGaNバリア層とが交互に積層されたGaInN/GaN多重量子井戸(MQW)構造を採る。Ga1−xInxN井戸層を形成する際には、Inの取り込み効率を高めるために、成長温度を800℃に下げることができる。窒化物半導体発光素子55の用途に応じて発光波長を選択し、波長に応じたInの組成xを決定することができる。例えば、波長を450nm(青色)とするには、Inの組成xを0.18以上且つ0.2以下に決定する。波長を520nm(緑色)とするには、x=0.29以上且つ0.31以下に決定する。波長を630nm(赤色)とするには、x=0.43以上且つ0.44以下に決定する。
ここで、図5(b)に示す第1変形例のように、窒化ガリウム系半導体活性層52の上に、例えば厚さが15nm以上且つ50nm以下のアンドープGaN層56を形成する場合には、アンドープGaN層56の上に、p型窒化ガリウム系半導体53を形成する。p型窒化ガリウム系半導体層53を形成するには、例えば、p型ドーパントとしてCp2Mg(シクロペンタジエニルマグネシウム)を用い、TMG及びNH3を原料として供給する。これにより、900℃以上且つ1100℃以下程度の成長温度として、厚さが50nm以上且つ300nm以下程度のp型GaNからなるp型窒化ガリウム系半導体53を形成することができる。
また、図5(c)に示す第2変形例のように、p型窒化ガリウム系半導体層53の内部に、厚さが15nm以上且つ30nm以下程度のp−AlGaN層57を形成すると、動作時に電子のオーバフローを抑制することができる。
次に、図5(a)に示すように、p型窒化ガリウム系半導体53を形成した後、800℃以上且つ900℃以下程度の温度で、基板上にエピタキシャル成長したn型窒化ガリウム系半導体41、窒化ガリウム系半導体活性層52及びp型窒化ガリウム系半導体53を含む半導体積層構造に対して、20分間程度の熱処理を行う。
次に、半導体積層構造体に対して、塩素系ガスを用いたドライエッチングを行うことにより、p型窒化ガリウム系半導体53、窒化ガリウム系半導体活性層52及びn型窒化ガリウム系半導体41の一部を除去して凹部を形成して、n型窒化ガリウム系半導体41の一部を露出する。これにより、c面以外の面、例えば、c面から18°以上且つ90°以下だけ傾いた面が表面に現れる。この面は、例えば、m面、a面、+r面、−r面、S面、n面、R面、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面又は(10−1−3)面である。
次に、露出したn型窒化ガリウム系半導体41の表面を、例えば酸素プラズマ雰囲気に暴露して、n型窒化ガリウム系半導体41の露出部分の表面改質を行う。これにより、n型窒化ガリウム系半導体41の露出部分の表面の親水性(濡れ性)を高める。その後、n型窒化ガリウム系半導体41の露出部分の上に接するように、金属層42を形成する。金属層42には、例えば、Ag若しくはAl又はその両方を含む層を形成する。
続いて、p型窒化ガリウム系半導体53の表面上に接するように、p側電極54を形成する。p側電極54には、例えばPd/Pt層又はMg/Ag層を用いることができる。その後、熱処理を行って、金属層42とn型窒化ガリウム系半導体41とを合金化し、p側電極54とp型窒化ガリウム系半導体53とを合金化する。なお、n側電極となる金属層42と、p側電極54との形成の順序は特に問われない。
その後、基板51の下面を50μm〜300μm程度の厚さにまで研磨をして、基板51を薄膜化する。基板51を薄膜化することによって、該基板51のダイシングが容易となるだけではなく、窒化物半導体発光素子55の内部での光の吸収を抑えることができる。
このようにして作製された窒化物半導体発光素子55は、ダイシングによって個片に分割され、アルミナ(酸化アルミニウム)、窒化アルミニウム(AlN)又は樹脂性基板等により構成された実装基板の上に実装される。また、シリコン(Si)又はゲルマニウム(Ge)等を実装基板に用いる場合には、該実装基板の実装面を絶縁膜で覆うことができる。配線は、窒化物半導体発光素子55の電極の形状に合わせて配置することができる。配線には、Cu、Au、Ag又はAl等を用いることができる。これらの材料は、スパッタ法又はめっき法等によって実装基板の上に形成することができる。
(第3の実施形態)
以下、第3の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子について、図6(a)を参照しながら説明する。
以下、第3の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子について、図6(a)を参照しながら説明する。
図6(a)は第3の実施形態に係る非極性面又は半極性面を成長面とする窒化ガリウム系半導体上に形成された窒化ガリウム系半導体発光素子55Aの断面構造を示している。
本実施形態において、基板51は、表面改質が有効となる面方位の表面を有するn型GaNにより構成されている。例えば、基板51の成長面である上面及び下面は、c面を除く結晶面であり、c軸から18°以上且つ90°以下だけ傾いた結晶面であってもよく、、m面、a面、+r面、−r面、S面、n面、R面、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面又は(10−1−3)面であってもよい。
第3の実施形態においては、金属層42が基板51におけるn型窒化ガリウム系半導体41の反対側の面上に設けられている。金属層42と基板51とは界面43を有する。また、n側電極となる金属層42が反射板として機能する。p側電極54には、透明電極を用いる。
(第3の実施形態の第1変形例)
第1変形例として、図6(b)に示す窒化物半導体発光素子55Aのように、窒化ガリウム系半導体活性層52とp型窒化ガリウム系半導体53との間に、アンドープのGaN層56を形成してもよい。
第1変形例として、図6(b)に示す窒化物半導体発光素子55Aのように、窒化ガリウム系半導体活性層52とp型窒化ガリウム系半導体53との間に、アンドープのGaN層56を形成してもよい。
(第3の実施形態の第2変形例)
また、第2変形例として、図6(c)に示す窒化物半導体発光素子55Aのように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部に、p−AlGaN層57を形成してもよい。このように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部にp−AlGaN層57を設けることにより、発光素子の動作時に、注入された電子のオーバフローを抑制することができる。
また、第2変形例として、図6(c)に示す窒化物半導体発光素子55Aのように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部に、p−AlGaN層57を形成してもよい。このように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部にp−AlGaN層57を設けることにより、発光素子の動作時に、注入された電子のオーバフローを抑制することができる。
(製造方法)
第3の実施形態において、c面を除く結晶面を成長面として形成された窒化物系半導体発光素子55Aを作製する。
第3の実施形態において、c面を除く結晶面を成長面として形成された窒化物系半導体発光素子55Aを作製する。
第2の実施形態と同様に、MOCVD法等によって、c面を除く結晶面を成長面とするGaN層を有する基板51の成長面の上に、n型窒化ガリウム系半導体41、窒化ガリウム系半導体活性層52及びp型窒化ガリウム系半導体53を順次エピタキシャル結晶成長する。その後、800℃以上且つ900℃以下程度の温度で、20分間程度の熱処理を行う。
なお、第1変形例の場合は、図6(b)に示すように、窒化ガリウム系半導体活性層52の上に、第2の実施形態と同等のアンドープGaN層56を形成する。従って、p型窒化ガリウム系半導体53は、アンドープGaN層56の上に形成する。
また、第2変形例の場合は、図6(c)に示すように、p型窒化ガリウム系半導体53の内部に、第2の実施形態と同等のp−AlGaN層57を形成する。
次に、第2の実施形態と同様に、基板51の下面を研磨して薄膜化する。薄膜化された基板51の研磨面は、m面、a面、+r面、−r面、S面、n面、R面、(11−22)面、(20−21)面、(10−13)面、(20−2−1)面及び(10−1−3)面のいずれかの面から±5°以内だけ傾いた面であってもよい。次に、この研磨面を、例えば酸素プラズマ雰囲気に暴露する。これにより、基板51の研磨面の表面改質を行って、該研磨面の親水性を高める。その後、基板51の研磨面の一部と接するように金属層42を形成する。金属層42には、例えば、Ag若しくはAl又はその両方を含む層を形成する。金属層は42には、第2の実施形態と同様に、AgとAlとの合金でもよく、また、Ag単層とAl単層とのいずれかを基板51の研磨面と接するように構成した積層構造としてもよい。
続いて、p型窒化ガリウム系半導体53の表面上に接するように、p側電極54を形成する。p型電極54には、例えば、透光性が維持される程度の厚さを持つPd/Pt層、Mg層/Ag層、又は透光性を有する酸化インジウムスズ(ITO)電極等を形成する。その後、熱処理を行って、金属層42とn型窒化ガリウム系半導体41との接合部分、及びp型電極54とp型窒化ガリウム系半導体53との接合部分をそれぞれ合金化する。
このようにして作製された窒化物半導体発光素子55Aは、ダイシングによって個片に分割され、その後、実装基板上に実装される。
(第1の実施例)
第1の実施例として、2枚のm面GaN基板を準備し、2枚の基板のいずれにも、その上下両面を研磨して鏡面状態に加工した。続いて、そのうちの一方の基板に対して、有機洗浄を行った後に、バッファード弗酸(BHF)により洗浄した。他方の基板に対しては酸素プラズマ雰囲気に暴露することによって表面改質処理を行った。酸素プラズマは、誘導結合型の放電方式である株式会社アルバック製の高密度プラズマエッチング装置(NE−500)を用い、処理条件はアンテナパワーを500Wとし、バイアスパワーを30Wとした。また、酸素流量を20ml/min(0℃、1気圧)とし、圧力を0.6Paとし、処理時間は30秒とした。その後、電子ビーム蒸着法により、2枚の基板の主面に対して、それぞれ厚さが500nmのアルミニウム(Al)層を成膜して、図4に示す構造体を作製した。
第1の実施例として、2枚のm面GaN基板を準備し、2枚の基板のいずれにも、その上下両面を研磨して鏡面状態に加工した。続いて、そのうちの一方の基板に対して、有機洗浄を行った後に、バッファード弗酸(BHF)により洗浄した。他方の基板に対しては酸素プラズマ雰囲気に暴露することによって表面改質処理を行った。酸素プラズマは、誘導結合型の放電方式である株式会社アルバック製の高密度プラズマエッチング装置(NE−500)を用い、処理条件はアンテナパワーを500Wとし、バイアスパワーを30Wとした。また、酸素流量を20ml/min(0℃、1気圧)とし、圧力を0.6Paとし、処理時間は30秒とした。その後、電子ビーム蒸着法により、2枚の基板の主面に対して、それぞれ厚さが500nmのアルミニウム(Al)層を成膜して、図4に示す構造体を作製した。
次に、Al層の上にレジスト液を塗布し、露光機と現像液とを用いてレジスト膜からTransmission Line Model(TLM)パターンを形成した。続いて、Alエッチング液によって、TLMパターンをAl層に転写し、有機洗浄によってレジスト膜を除去することにより、2種類のAl層からなるTLMパターンを作製した。
このように作製した各Al層に関し、熱処理を施す前に光学顕微鏡で観察した結果を、図7(a)、図8(a)、図9(a)及び図10(a)に示す。図7(a)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理前におけるAl層表面の光学顕微鏡像を示す。図8(a)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理前におけるm面n型GaNとAl層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。図9(a)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理前におけるAl層表面の光学顕微鏡像を示す。図10(a)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理前におけるm面n型GaNとAl層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。
図7(a)においては、Al表面に多数の凹凸が確認できるものの、熱処理を施す前の段階では、いずれの観察像も比較的に平坦なAl表面及びAl−GaN界面が作製されていることが分かる。
これに対し、上記の2枚の試料を窒素(N2)雰囲気で、且つ500℃の温度で10分間の熱処理を施した後の光学顕微鏡像を、図7(b)、図8(b)、図9(b)及び図10(b)に示す。図7(b)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理後におけるAl層表面の光学顕微鏡像を示す。図8(b)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAl層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。図9(b)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理後におけるAl層表面の光学顕微鏡像を示す。図10(b)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAl層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAl層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。これらの観察像から、図7及び図8に示すように、表面を改質していない試料については、Al−GaN界面だけでなく、Al表面にも多数の凹凸が発生しているのに対し、図9及び図10に示すように、表面を改質した試料については、Al−GaN界面もAl表面も、熱処理前と差がない程度に平坦であることが分かる。このことから、表面を改質したn型GaN上のAl層は、GaN層と堅牢に接合されており、熱等の外乱に対して強靭であることが分かる。
次に、上記の2枚の試料に対して電流−電圧(I−V)特性を評価した結果を、図11及び図12に示す。図11は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAl層にパターニングを施し、I−V測定を行った結果を示す。図12は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAl層にパターニングを施し、I−V測定を行った結果を示す。これらの結果から、図12に示す、表面を改質したn型GaN上のAl層は、図11に示す表面を改質していないn型GaN上のAl層と同程度の電気的特性を示す。このことから、表面を改質したn型GaN上のAl層もGaN層に対して良好な接触抵抗を示すことが分かる。
(第2の実施例)
第2の実施例として、2枚のm面n型GaN基板を準備し、2枚の基板のいずれにも、その上下両面を研磨して鏡面状態に加工した。続いて、そのうちの一方の基板に対して、有機洗浄を行った後に、バッファード弗酸(BHF)により洗浄した。他方の基板に対しては酸素プラズマ雰囲気に暴露することによって表面改質処理を行った。酸素プラズマは、誘導結合型の放電方式である株式会社アルバック製の高密度プラズマエッチング装置(NE−500)を用い、処理条件はアンテナパワーを500Wとし、バイアスパワーを30Wとした。また、酸素流量を20ml/min(0℃、1気圧)とし、圧力を0.6Paとし、処理時間は30秒とした。その後、電子ビーム蒸着法により、2枚の基板の主面に対して、それぞれ厚さが500nmの銀(Ag)層を成膜して、図4に示す構造体を作製した。
第2の実施例として、2枚のm面n型GaN基板を準備し、2枚の基板のいずれにも、その上下両面を研磨して鏡面状態に加工した。続いて、そのうちの一方の基板に対して、有機洗浄を行った後に、バッファード弗酸(BHF)により洗浄した。他方の基板に対しては酸素プラズマ雰囲気に暴露することによって表面改質処理を行った。酸素プラズマは、誘導結合型の放電方式である株式会社アルバック製の高密度プラズマエッチング装置(NE−500)を用い、処理条件はアンテナパワーを500Wとし、バイアスパワーを30Wとした。また、酸素流量を20ml/min(0℃、1気圧)とし、圧力を0.6Paとし、処理時間は30秒とした。その後、電子ビーム蒸着法により、2枚の基板の主面に対して、それぞれ厚さが500nmの銀(Ag)層を成膜して、図4に示す構造体を作製した。
次に、Ag層の上にレジスト液を塗布し、露光機と現像液とを用いてレジスト膜からTLMパターンを形成した。続いて、Agエッチング液によって、TLMパターンをAg層に転写し、有機洗浄によってレジスト膜を除去することにより、2種類のAg層からなるTLMパターンを作製した。
上記の2枚の試料に対して電流−電圧(I−V)特性を評価した結果を図13及び図14に示す。図13は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層にパターニングを施し、I−V測定を行った結果を示す。図14は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層にパターニングを施し、I−V測定を行った結果を示す。これらの結果から、図13に示す、表面を改質していないn型GaN上のAg層ではオーミック接合が得られないのに対し、図14に示す、表面を改質したn型GaN上のAg層は良好な電気的特性、すなわちオーミック接合が得られていることが分かる。このように、n型GaNの表面を改質することにより、通常は、窒化ガリウム系半導体の電極としては用いることができないAg層が、n型GaN上で利用できることが分かる。
次に、上記の2枚の試料を窒素雰囲気で、且つ500℃の温度で20分間の熱処理を施した後の反射率測定を行った結果を図15及び図16に示す。図15は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面反射率をm面n型GaN側から測定した結果を示す。図16は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面反射率をm面n型GaN側から測定した結果を示す。測定装置は、日本分光株式会社製の紫外可視分光光度計(V−570)に絶対反射率測定装置(ARN−475)が組み込まれた構成を用いた。測定は、両面研磨GaN基板におけるAg層が形成されていない鏡面側から、波長が350nmから800nmまでの光を入射し、GaN基板とAg層との界面で反射した光を、Ag層が形成されていない鏡面側で受光する方法で行われた。表面の改質を行わない比較例においては、図15に示すように、波長が450nmから500nmの領域において、Agのナノ粒子化による表面プラズモン共鳴(SPR)吸収が観測された。しかし、表面の改質を行った本実施例においては、図16に示すように、SPR吸収がほぼ観測されないことから、表面が改質されたn型GaN上のAg層は、GaN層と堅牢に接合されており、熱等の外乱に対して強靭であることから、ナノ粒子化が促進しないことが分かる。
次に、上記の2枚の試料を窒素雰囲気で、且つ500℃の温度で20分間の熱処理を施す前後の光学顕微鏡像を、図17(a)、図17(b)、図18(a)及び図18(b)に示す。
図17(a)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理前におけるm面n型GaNとAg層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。図17(b)は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。図18(a)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理前におけるm面n型GaNとAg層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。図18(b)は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面をm面n型GaN側から観察した光学顕微鏡像を示す。これらの観察像から、図17(b)に示すように、表面を改質していない試料については、Ag−GaN界面に凹凸が発生しているのに対し、図18(b)に示すように、表面を改質した試料ではAg−GaN界面に熱処理前と差がない程度に平坦であることが分かる。このことから、表面を改質したn型GaN上のAg層はGaN層と堅牢に接合されており、熱等の外乱に対して強靭であることが分かる。
次に、熱処理を施した上記の2試料について、断面TEM観察を行った結果を図19、図20、図21及び図22に示す。図19は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面の断面TEM像を示す。図20は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面の断面TEM像を示す。図21は、比較例であって、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面の断面TEM像を示す。図22は、本実施例であって、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の、熱処理後におけるm面n型GaNとAg層との界面の断面TEM像を示す。図23は、図19に示される断面TEM像を模式的に表している。図24は、図20に示される断面TEM像を模式的に表している。表面を改質していない比較例の場合は、図19及び図23に示すように、Ag層内に多数のナノ粒子が確認され、最大粒径が200nm程度未満であることが分かる。これに対し、表面を改質した本実施例の場合は、図20及び図24に示すように、図中のAg層内には4個の結晶粒しか確認されず、その結晶粒のm面n型GaNとの界面における面内方向の最大長さは200nm以上且つ1200nm以下であることが分かる。また、各結晶粒の厚さは200nm以上であり、各結晶粒は、Ag層の下面から上面にまで達している。さらに、最大の結晶粒子の界面における面内方向の長さは600nm以上であり、厚さは400nm以上である。Ag層の厚さ、すなわち結晶粒の厚さは、成膜の厚さにもよるが、1200nm以下程度とすることができる。
また、表面を改質していない比較例である図21からは、GaN−Ag界面の基準の長さが3.5μmの算術平均粗さRaが2.65nmより大きいことが分かる。また、表面を改質した本実施例である図22からは、GaN−Ag界面の基準の長さが3.5μmの算術平均粗さRaが0.27nmであることが分かる。このことから、表面を改質したn型GaN上のAg層は、GaN層と堅牢に接合されており、熱等の外乱に対して強靭であることが分かる。
次に、熱処理を施した上記の2試料について、二次イオン質量分析(SIMS)を行った結果、表面を改質していないm面n型GaNの上に形成されたAg層の内部の酸素濃度は4×1019cm−3であり、Ag−GaN界面における酸素濃度は5×1020cm−3であった。これに対し、表面を改質したm面n型GaNの上に形成されたAg層の内部の酸素濃度は1×1019cm−3であり、Ag−GaN界面における酸素濃度は3×1020cm−3以上且つ2×1021cm−3以下であった。このことから、表面を改質したm面n型GaNとAg層との界面における酸素濃度は、Ag層の内部に存在する酸素濃度に対して30倍以上且つ200倍以下であることが分かった。
ところで、AgもAlも同じ面心立方格子をとる。従って、上記の結晶粒の大きさ、算術平均粗さ、及び金属層内の酸素濃度は、第1実施例のアルミニウム(Al)であっても、第2実施例の銀(Ag)と同様のことがいえる。
(他の実施形態)
図25は他の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体層(AlxGayInzN(0≦x,z<1、0<y≦1、x+y+z=1))と金属層とを含む構造体の製造方法の一例であるフローチャートを示している。
図25は他の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体層(AlxGayInzN(0≦x,z<1、0<y≦1、x+y+z=1))と金属層とを含む構造体の製造方法の一例であるフローチャートを示している。
図25に示すように、まず、工程S0において、非極性面又は半極性面である表面を有する窒化ガリウム系半導体層を用意する。窒化ガリウム系半導体層は、例えばn型GaN層である。
次に、工程S1において、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を酸素に暴露することにより、この表面を改質する。
次に、工程S2において、改質された表面上に、Ag若しくはAl又はその両方を含む金属層を形成する。これにより、窒化ガリウム系半導体層と金属層との界面は酸素を含む。また、金属層はその下面から上面にまで達する結晶粒を含む構造を得る。
工程S2の後に、所定の熱処理を施してもよい。熱処理には、例えば、窒素雰囲気下、500℃の温度で10分から20分程度の熱処理が考えられる。この熱処理を施しても、金属層には、該金属層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む構造を得ることができる。
また、工程S1の暴露処理は、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を、活性酸素を含む雰囲気に暴露してもよい。また、工程S1の暴露処理は、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を酸素原子又は酸素分子を含む気体若しくは液体に暴露した状態で、該表面に紫外線を照射してもよい。また、工程S1の暴露処理は、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素プラズマを含む雰囲気に暴露してもよい。
図26は他の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法の一例であるフローチャートを示している。
図26に示すように、まず、工程S10において、非極性面又は半極性面を成長面とする窒化ガリウム系半導体(例えば、AlxGayInzN(0≦x,z<1、0<y≦1、x+y+z=1))の上に、発光層とp型窒化ガリウム系半導体層とを含む半導体積層体を作製する。ここで、窒化ガリウム系半導体は、例えば、基板及び該基板の上に形成されたn型窒化ガリウム系半導体層である。基板は薄膜化又は除去し得る。n型窒化ガリウム系半導体層は、例えばn型GaN層である。
次に、工程S11において、半導体積層体及び窒化ガリウム系半導体の一部を除去し、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を露出する。
次に、工程S12において、露出された表面を酸素に暴露することにより、露出された表面を改質する。
次に、工程S13において、改質された表面と接するように第1の金属層を形成する。ここで、第1の金属層には、Ag若しくはAl又はその両方を含む金属を用いることができる。また、p型窒化ガリウム系半導体層の上に接するように第2の金属層を形成する。なお、第1の金属層と第2の金属層との形成順序は、何れが先でもよい。これにより、n型GaNと第1の金属層との界面は酸素を含む。また、第1の金属層は、該第1の金属層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む構造を得る。
なお、工程S13の後に、所定の熱処理を施してもよい。熱処理には、例えば、窒素雰囲気下、500℃の温度で10分から20分程度の熱処理が考えられる。この熱処理を施しても、第1の金属層には、該第1の金属層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む構造を得ることができる。
また、工程S12の暴露処理として、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を、活性酸素を含む雰囲気に暴露する処理としてもよい。また、工程S12の暴露処理として、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を酸素原子又は酸素分子を含む気体若しくは液体に暴露した状態で、該露出面に紫外線を照射してもよい。また、工程S12の暴露処理として、n型であって非極性面又は半極性面である窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素プラズマを含む雰囲気に暴露してもよい。
図27はさらに他の実施形態に係る窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法の一例であるフローチャートを示している。
図27に示すように、まず、工程S20において、非極性面又は半極性面を成長面とする窒化ガリウム系半導体(例えば、AlxGayInzN(0≦x,z<1、0<y≦1、x+y+z=1))の上に、発光層とp型窒化ガリウム系半導体層とを含む半導体積層体を作製する。ここで、窒化ガリウム系半導体は、例えば、基板及び該基板の上に形成されたn型窒化ガリウム系半導体層である。基板は薄膜化又は除去し得る。基板及びn型窒化ガリウム系半導体層は、例えばn型GaN層である。n型窒化ガリウム系半導体層において、半導体積層体を作製した側と反対側の表面は、n型であって非極性面又は半極性面である。
次に、工程S21において、工程S20で半導体積層体を作製した側と反対側の表面を酸素に暴露することにより、この表面を改質する。
次に、工程S22において、改質された表面と接するように第1の金属層を形成する。また、p型窒化ガリウム系半導体層の上に接するように第2の金属層を形成する。
工程S21及び22は上述した工程S12及びS13と同様である。
上述したとおり、上記の他の実施形態によれば、窒化ガリウム系半導体の表面を改質することによって、窒化ガリウム系半導体と金属層との親和性が増し、該窒化ガリウム系半導体と金属層との界面が急峻とになる。これにより、金属層の反射率が向上するだけでなく、信頼性も向上する。さらには、従来技術ではオーミック接合が実現しなかった窒化ガリウム系半導体と金属層、例えばAgとの組み合わせであっても、オーミック接合を実現した窒化ガリウム系半導体発光素子を得ることができる。
上記の開示から導出される本発明の好適な一実施形態が、以下に記述される。
以下を具備する窒化物半導体発光素子:
n型窒化物半導体層(41)、
p型窒化物半導体層(53)、
n型窒化物半導体層(41)及びp型窒化物半導体層(53)の間に挟まれた活性層(52)、
n側電極層(42)、並びに
p型窒化物半導体層(53)の表面上に形成されたp側電極層(54)、ここで、
n型窒化物半導体層(41)、活性層(52)、及びp型窒化物半導体層(53)は、非極性面又は半極性面の主面を有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)及び第2表面(42b)を有しており、
第1表面(42a)は、n型窒化物半導体層(41)の表面の少なくとも一部と接しており、
第2表面(42b)は、第1表面(42a)の裏側であり、
n側電極層(42)は銀から形成され、
n側電極層(42)と接するn型窒化物半導体層(41)の表面の一部は、酸素を含有し、
n側電極層(42)は、200nm以上且つ1200nm以下の厚さを有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)から第2表面(42b)に達する銀結晶粒を含む。
n型窒化物半導体層(41)、
p型窒化物半導体層(53)、
n型窒化物半導体層(41)及びp型窒化物半導体層(53)の間に挟まれた活性層(52)、
n側電極層(42)、並びに
p型窒化物半導体層(53)の表面上に形成されたp側電極層(54)、ここで、
n型窒化物半導体層(41)、活性層(52)、及びp型窒化物半導体層(53)は、非極性面又は半極性面の主面を有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)及び第2表面(42b)を有しており、
第1表面(42a)は、n型窒化物半導体層(41)の表面の少なくとも一部と接しており、
第2表面(42b)は、第1表面(42a)の裏側であり、
n側電極層(42)は銀から形成され、
n側電極層(42)と接するn型窒化物半導体層(41)の表面の一部は、酸素を含有し、
n側電極層(42)は、200nm以上且つ1200nm以下の厚さを有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)から第2表面(42b)に達する銀結晶粒を含む。
上記の開示から導出される本発明のより好適な一実施形態が、以下に記述される。
以下を具備する窒化物半導体発光素子:
n型窒化物半導体層(41)、
p型窒化物半導体層(53)、
n型窒化物半導体層(41)及びp型窒化物半導体層(53)の間に挟まれた活性層(52)、
n側電極層(42)、並びに
p型窒化物半導体層(53)の表面上に形成されたp側電極層(54)、ここで、
n型窒化物半導体層(41)、活性層(52)、及びp型窒化物半導体層(53)は、非極性面又は半極性面の主面を有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)及び第2表面(42b)を有しており、
第1表面(42a)は、n型窒化物半導体層(41)の表面の少なくとも一部と接しており、
第2表面(42b)は、第1表面(42a)の裏側であり、
n側電極層(42)は銀から形成され、
n側電極層(42)と接するn型窒化物半導体層(41)の表面の一部は、酸素を含有し、
n側電極層(42)は、200nm以上且つ1200nm以下の厚さを有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)から第2表面(42b)に達する複数の銀結晶粒から構成される。
n型窒化物半導体層(41)、
p型窒化物半導体層(53)、
n型窒化物半導体層(41)及びp型窒化物半導体層(53)の間に挟まれた活性層(52)、
n側電極層(42)、並びに
p型窒化物半導体層(53)の表面上に形成されたp側電極層(54)、ここで、
n型窒化物半導体層(41)、活性層(52)、及びp型窒化物半導体層(53)は、非極性面又は半極性面の主面を有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)及び第2表面(42b)を有しており、
第1表面(42a)は、n型窒化物半導体層(41)の表面の少なくとも一部と接しており、
第2表面(42b)は、第1表面(42a)の裏側であり、
n側電極層(42)は銀から形成され、
n側電極層(42)と接するn型窒化物半導体層(41)の表面の一部は、酸素を含有し、
n側電極層(42)は、200nm以上且つ1200nm以下の厚さを有し、
n側電極層(42)は、第1表面(42a)から第2表面(42b)に達する複数の銀結晶粒から構成される。
本開示に係る構造体及びその製造方法、並びに本構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法は、表示、照明及び光情報分野等への応用が可能である。
41 n型窒化ガリウム系半導体(n型窒化物半導体層)
42 金属層
42a 第1表面
42b 第2表面
43 界面
51 基板
52 窒化ガリウム系半導体活性層
53 p型窒化ガリウム系半導体(p型窒化物半導体層)
54 p側電極
55,55A 窒化物半導体発光素子
56 アンドープGaN層
57 p−AlGaN層
42 金属層
42a 第1表面
42b 第2表面
43 界面
51 基板
52 窒化ガリウム系半導体活性層
53 p型窒化ガリウム系半導体(p型窒化物半導体層)
54 p側電極
55,55A 窒化物半導体発光素子
56 アンドープGaN層
57 p−AlGaN層
Claims (15)
- M面を主面とする窒化ガリウム系半導体層と、
前記主面の上に配置された銀層と
を含む構造体であって、
前記主面は、n型の導電型を有し、
前記窒化ガリウム系半導体層と前記銀層との界面には、酸素が含まれ、
前記銀層は、該銀層の下面から上面にまで達する結晶粒を含む、構造体。 - 前記窒化ガリウム系半導体層と前記銀層との界面における反射光には、波長が450nmから500nmの領域において、表面プラズモン共鳴吸収が観測されない、請求項1に記載の構造体。
- 前記銀層の厚さは、200nm以上である、請求項1に記載の構造体。
- 前記銀層の厚さは、1200nm以下である、請求項1に記載の構造体。
- 前記結晶粒の最大長さは、200nm以上である、請求項1に記載の構造体。
- 前記結晶粒の最大長さは、1200nm以下である、請求項1に記載の構造体。
- 前記窒化ガリウム系半導体層と前記銀層との界面における酸素濃度は、前記銀層の内部における酸素濃度に対して、30倍以上且つ200倍以下である、請求項1に記載の構造体。
- 前記窒化ガリウム系半導体層と前記銀層との界面における酸素濃度は、3×1020cm−3以上且つ2×1021cm−3以下であり、
前記銀層の内部における酸素濃度は、1×1019cm−3以下である、請求項1に記載の構造体。 - 前記窒化ガリウム系半導体層と前記銀層との界面における、前記銀層の前記界面の面内方向の算術平均粗さRaにおいて、
基準の長さが3.5μmの算術平均粗さRaは、0.27nm以上且つ2.65nm以下である、請求項1に記載の構造体。 - 請求項1に記載の構造体と、
p型窒化ガリウム系半導体層と、
前記窒化ガリウム系半導体層と前記p型窒化ガリウム系半導体層とに挟まれた発光層とを備えた窒化ガリウム系半導体発光素子であって、
前記窒化ガリウム系半導体層は、n型窒化ガリウム系半導体層であり、
前記銀層は、前記n型窒化ガリウム系半導体層に対する電極である、窒化ガリウム系半導体発光素子。 - 請求項1に記載の構造体の製造方法であって、
前記窒化ガリウム系半導体層の表面を、活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程と、
前記窒化ガリウム系半導体層の表面に、前記銀層を形成する工程とを備えた、構造体の製造方法。 - 前記銀層を形成する工程よりも後に、
前記構造体に対して、熱処理を施す工程をさらに備えた、請求項11に記載の構造体の製造方法。 - 前記活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程は、
前記窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素原子又は酸素分子を含む気体若しくは液体に暴露した状態で、前記表面に紫外線を照射する工程を含む、請求項11に記載の構造体の製造方法。 - 前記活性酸素を含む雰囲気に暴露する工程は、
前記窒化ガリウム系半導体層の表面を、酸素プラズマを含む雰囲気に暴露する工程を含む、請求項11に記載の構造体の製造方法。 - 請求項11に記載の構造体の製造方法を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法であって、
前記窒化ガリウム系半導体層は、n型窒化ガリウム系半導体層であり、
前記n型窒化ガリウム系半導体層の上に、発光層とp型の窒化ガリウム系半導体層とを含む半導体積層体を作製する工程を備えた、窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013555654A JP5496436B1 (ja) | 2012-10-01 | 2013-09-05 | 構造体及びその製造方法、並びに構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012219533 | 2012-10-01 | ||
JP2012219533 | 2012-10-01 | ||
JP2013555654A JP5496436B1 (ja) | 2012-10-01 | 2013-09-05 | 構造体及びその製造方法、並びに構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法 |
PCT/JP2013/005281 WO2014054224A1 (ja) | 2012-10-01 | 2013-09-05 | 構造体及びその製造方法、並びに構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5496436B1 JP5496436B1 (ja) | 2014-05-21 |
JPWO2014054224A1 true JPWO2014054224A1 (ja) | 2016-08-25 |
Family
ID=50434570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013555654A Expired - Fee Related JP5496436B1 (ja) | 2012-10-01 | 2013-09-05 | 構造体及びその製造方法、並びに構造体を用いた窒化ガリウム系半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9209254B2 (ja) |
JP (1) | JP5496436B1 (ja) |
WO (1) | WO2014054224A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016012717A (ja) * | 2014-06-05 | 2016-01-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 窒化物半導体構造、窒化物半導体構造を備えた電子デバイス、窒化物半導体構造を備えた発光デバイス、および窒化物半導体構造を製造する方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5816801B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-11-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
WO2015182207A1 (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | 三菱化学株式会社 | エピタキシャルウエハ、半導体発光素子、発光装置及びエピタキシャルウエハの製造方法 |
US20160284957A1 (en) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | Toshiba Corporation | REFLECTIVE CONTACT FOR GaN-BASED LEDS |
JP6824829B2 (ja) * | 2017-06-15 | 2021-02-03 | 株式会社サイオクス | 窒化物半導体積層物の製造方法、窒化物半導体自立基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
US11195973B1 (en) * | 2019-05-17 | 2021-12-07 | Facebook Technologies, Llc | III-nitride micro-LEDs on semi-polar oriented GaN |
US11175447B1 (en) | 2019-08-13 | 2021-11-16 | Facebook Technologies, Llc | Waveguide in-coupling using polarized light emitting diodes |
KR20210095266A (ko) * | 2020-01-22 | 2021-08-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발광 소자 및 이를 포함하는 표시 장치 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2967743B2 (ja) | 1997-01-14 | 1999-10-25 | 日本電気株式会社 | n型窒化ガリウム系半導体のコンタクト電極及びその形成方法 |
US7960746B2 (en) | 2004-01-06 | 2011-06-14 | Samsung Led Co., Ltd. | Low resistance electrode and compound semiconductor light emitting device including the same |
JP2007273492A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP4782022B2 (ja) * | 2007-01-09 | 2011-09-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 電極の形成方法 |
JP2010056423A (ja) | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Meijo Univ | 半導体発光素子用電極及び半導体発光素子 |
JP5325506B2 (ja) | 2008-09-03 | 2013-10-23 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
WO2010027016A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光素子および半導体発光素子 |
JP5258707B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2013-08-07 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
JP4772168B2 (ja) | 2009-09-30 | 2011-09-14 | 京セラ株式会社 | 発光素子、および発光素子の製造方法 |
WO2011083551A1 (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-14 | パナソニック株式会社 | 窒化物系半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2012015266A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Sony Corp | 半導体光増幅器 |
DE102011115299B4 (de) * | 2011-09-29 | 2023-04-27 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips |
JP5535250B2 (ja) | 2012-01-27 | 2014-07-02 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子の製造方法 |
-
2013
- 2013-09-05 JP JP2013555654A patent/JP5496436B1/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-05 WO PCT/JP2013/005281 patent/WO2014054224A1/ja active Application Filing
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2014
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JP2016012717A (ja) * | 2014-06-05 | 2016-01-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 窒化物半導体構造、窒化物半導体構造を備えた電子デバイス、窒化物半導体構造を備えた発光デバイス、および窒化物半導体構造を製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140264372A1 (en) | 2014-09-18 |
WO2014054224A1 (ja) | 2014-04-10 |
JP5496436B1 (ja) | 2014-05-21 |
US9209254B2 (en) | 2015-12-08 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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