JPWO2014034688A1 - 基板表面の改質方法、改質膜、及び基板表面の改質に用いられる被覆溶液 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の表面を、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物により処理する工程と、
前記金属化合物により処理された前記基板の表面を、シリル化剤により処理する工程と、
を含む、基板表面の改質方法である。
基板の表面に加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を塗布して形成される金属化合物層と、前記金属化合物層の表面にシリル化剤を塗布して形成されるシラン化合物層と、からなる改質膜である。
第1の態様に係る基板表面の改質方法は、基板の表面を、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物により処理する工程である第一工程と、前述の金属化合物により処理された基板の表面を、シリル化剤により処理する工程である第二工程と、を含む。以下、第一工程及び第二工程について順に説明する。
第一工程では、基板の表面を、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物により処理する。以下、基板、基板の表面処理に使用される金属化合物、及び基板表面の処理方法について説明する。
基板の材質は、特に限定されず、種々の無機基板及び有機基板から選択される。特に、第1の態様に係る方法によれば、タングステン基板、窒化チタン基板、窒化ケイ素基板、銅基板、及び金基板のような、従来知られる方法では表面改質が困難な基板についても、良好に表面改質することができる。
加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物(以下、水酸基生成性金属化合物とも記す)に含まれる金属原子は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。水酸基生成性金属化合物に含まれる金属原子の例としては、チタン、ジルコニウム、アルミニウム、ニオブ、ケイ素、ホウ素、ランタニド、イットリウム、バリウム、コバルト、鉄、ジルコニウム、及びタンタル等が挙げられる。これらの金属原子の中では、チタン及びケイ素が好ましく、ケイ素がより好ましい。
Rm−nMXn・・・(1)
式(1)中、Mは、チタン、ジルコニウム、アルミニウム、ニオブ、ケイ素、ホウ素、ランタニド、イットリウム、バリウム、コバルト、鉄、ジルコニウム、及びタンタルからなる群より選択される金属原子である。Rは、炭素数1〜5の直鎖又は分岐鎖状のアルキル基である。Xは、炭素数1〜5の直鎖又は分岐鎖状のアルコキシ基、イソシアネート基、及びハロゲン原子からなる群より選択される基である。mは、金属原子Mの価数である。nは2以上m以下の整数である。
R4−nSiXn・・・(2)
式(2)中、Rは、炭素数1〜5の直鎖又は分岐鎖状のアルキル基である。Xは、イソシアネート基、及びハロゲン原子からなる群より選択される基である。nは2以上4以下の整数である。一般式(2)において、Xはイソシアネート基であるのが好ましく、nは4であるのが好ましい。
水酸基生成性金属化合物により基板の表面を処理する方法は、基板表面に水酸基生成金属化合物を塗布可能であって、水酸基生成性金属化合物に加水分解反応を生じさせることができる方法であれば特に限定されない。水酸基生成性金属化合物の加水分解は、空気中の水分によっても進行するが、必要に応じて、水酸基生成性金属化合物の加水分解を促進させる目的で、基板表面に水酸基生成性金属化合物を塗布した後、基板表面に水を噴霧又は塗布してもよい。
シリル化工程では、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物により処理された基板の表面を、さらにシリル化剤により処理する。以下、基板表面の改質、シリル化剤、及びシリル化剤による基板表面の処理方法について説明する。
第二工程におけるシリル化剤による処理によって、基板表面が改質される。改質される基板表面の性質は特に限定されず、処理に使用されるシリル化剤の種類によって決定される。
F=2γ・cosθ・A/D・・・(I)
シリル化剤の種類は、基板表面の性質を所望する性質に改質できるものであれば、特に限定されず、従来から、種々の材料の改質に使用されているシリル化剤から適宜選択して使用される。以下、上記の改質の中でも、好適な改質である、基板表面の撥水化に使用されるシリル化剤について説明する。
R19 qSi[N(CH3)2]4−q・・・(9)
R20 r[N(CH3)2]3−rSi−R22−SiR21 s[N(CH3)2]3−s・・・(10)
シリル化剤としては、環状シラザン化合物も好ましい。以下、環状シラザン化合物について説明する。
基板表面をシリル化剤により処理する方法としては、従来公知の方法を特に制限なく使用することができる。例えば、シリル化剤を気化させて蒸気とし、その蒸気を基板表面に接触させる方法、シリル化剤を含む表面処理剤を、スプレー法、スピンコート法、ディップコート法、ロールコート法等により基板表面に接触させる方法等が挙げられる。
本発明の第2の態様は、基板の表面に加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を塗布して形成される金属化合物層と、金属化合物層の表面にシリル化剤を塗布して形成されるシラン化合物層と、からなる改質膜である。改質膜の形成方法は特に限定されないが、このましくは、第1の態様に係る基板表面の改質方法によって、上記の改質膜が形成される。
本発明の第3の態様は、第1の態様に係る基板表面の改質方法において、基板の表面の処理に使用される、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を含有する被覆溶液である。
タングステン基板の表面を濃度1質量%のアンモニア水に60秒間接触させた後、基板の表面をイオン交換蒸留水により60秒間洗浄して、タングステン基板表面の自然酸化膜を除去した。次いで、基板表面に付着する水をイソプロパノールにより置換した。その後、濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液に、基板を、浸漬させた。テトライソシアネートシランのn−デカン溶液を基板表面に60秒間接触させることにより、基板表面でテトライソシアネートシランの加水分解物を縮合させて、基板表面に被膜を形成した。次いで、基板表面に残存するn−デカンを、イソプロパノールに置換した後、イオン交換蒸留水により基板を60秒間洗浄した。洗浄後、基板表面に窒素をブローして、基板表面を乾燥させた。
参考例1の結果から、テトライソシアネートシランによる処理により、タングステン基板の表面が親水化されることが分かる。
タングステン基板の表面を濃度1質量%のアンモニア水に60秒間接触させた後、基板の表面をイオン交換蒸留水により60秒間洗浄して、タングステン基板表面の自然酸化膜を除去した。次いで、基板表面に付着する水をイソプロパノールにより置換した。その後、濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液に、基板を、浸漬させた。テトライソシアネートシランのn−デカン溶液を基板表面に60秒間接触させることにより、基板表面でテトライソシアネートシランの加水分解物を縮合させて、基板表面に被膜を形成した。次いで、表1に記載のシリル化剤を濃度5質量%で含む、シリル化剤のn−デカン溶液に、テトライソシアネートシランにより処理された基板を浸漬させ、基板を60秒間静置して、シリル化剤による処理を行った。シリル化剤により処理された基板表面に残存するn−デカンを、イソプロパノールに置換した後、イオン交換蒸留水により基板を60秒間洗浄した。洗浄後、基板表面に窒素をブローして、基板表面を乾燥させた。
濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液による処理を行わないことの他は、実施例1〜4と同様に基板表面の処理を行った。シリル化剤は、表1に記載されるものを用いた。表面処理された基板表面の水の接触角を、実施例1〜4と同様に測定した。水の接触角の測定結果を表1に記す。
基板の材質を表1に記載の材質に変えることと、アンモニア水による処理を行わないこととの他は、実施例1〜4と同様に基板表面の処理を行った。シリル化剤は、表1に記載されるものを用いた。未処理の基板表面と、表面処理された基板表面の水の接触角を、実施例1〜4と同様に測定した。水の接触角の測定結果を表1に記す。
濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液を、同濃度のテトライソシアネートシランの表2に記載の種類の溶媒の溶液に変えることと、濃度5質量%のシリル化剤のn−デカン溶液を、濃度10質量%のシリル化剤のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液に変えることとの他は、実施例2と同様にしてタングステン基板の表面を処理した。実施例7〜9では、実施例2と同じシリル化剤を用いた。なお、処理後のタングステン基板について、実施例2と同様にして水の接触角を測定した。接触角の測定結果を表2に記す。
パターン付のTiN基板に対して、実施例2と同様にして、濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液による処理と、シリル化剤を濃度5質量%で含む、シリル化剤のn−デカン溶液による処理とを行った。TiN基板上のパターンは、幅50nm、ピッチ100nm、深さ700nm、アスペクト比14のパターンであった。また、TiN基板上のパターンは、公知の方法で作成された。シリル化剤により処理された基板表面に残存するn−デカンを、イソプロパノールに置換した後、イオン交換蒸留水により基板を60秒間リンスした。リンス後、スピンドライにより、基板表面を乾燥させた。乾燥されたパターン付のTiN基板の表面を走査型電子顕微鏡(商品名:S−4700、株式会社日立ハイテクノロジーズ製)で観察したところ、パターン倒れは確認されなかった。
濃度5質量%のテトライソシアネートシランのn−デカン溶液による処理と、シリル化剤を濃度5質量%で含む、シリル化剤のn−デカン溶液による処理とを、実施例2に記載の処方から比較例2に記載の処方に変えて行うことの他は、実施例10と同様に、パターン付のTiN基板に対する、撥水化処理と、イオン交換水によるリンスとを行った。リンス後に、スピンドライにより乾燥された基板の表面を走査型電子顕微鏡(商品名:S−4700、株式会社日立ハイテクノロジーズ製)で観察したところ、パターン倒れが確認された。
Claims (6)
- 基板の表面を、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物により処理する工程と、
前記金属化合物により処理された前記基板の表面を、シリル化剤により処理する工程と、
を含む、基板表面の改質方法。 - 前記基板の表面を、前記金属化合物により処理する工程が、前記基板の親水化処理工程である請求項1に記載の基板表面の改質方法。
- 前記金属化合物により処理された前記基板の表面を、シリル化剤により処理する工程が、前記基板の撥水化処理工程である請求項1に記載の基板表面の改質方法。
- 基板の表面に加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を塗布して形成される金属化合物層と、前記金属化合物層の表面にシリル化剤を塗布して形成されるシラン化合物層と、からなる改質膜。
- 前記シリル化剤が撥水化剤である、請求項4に記載の改質膜。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の前記基板表面の改質方法において前記基板の表面の処理に使用する、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を含有する被覆溶液。
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