JPWO2014007108A1 - 固体撮像素子、固体撮像装置、およびカメラ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1などの従来の技術においては、垂直転送レジスタ全体に対する総不純物注入量を低減させることは難しく、その結果、十分な白線改善効果を得る事が出来なかった。
光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるための電圧を印加する複数の転送電極とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない
固体撮像素子。
(2)
前記第1の方向と直交する前記第2の方向において、前記ローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の幅が、前記ミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の幅よりも狭い
(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
前記ローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物濃度よりも低い
(1)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記第1の方向と直交する前記第2の方向において、前記読み出し部または前記水平素子分離部を形成する前記p型不純物領域の不純物濃度が最も高い位置である最高濃度位置について、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
(1)乃至(3)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(5)
前記最高濃度位置のうち、前記読み出し部を形成する前記p型不純物領域の最高濃度位置のみについて、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
(4)に記載の固体撮像素子。
(6)
前記最高濃度位置のうち、前記水平素子分離部を形成する前記p型不純物領域の最高濃度位置のみについて、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
(4)に記載の固体撮像素子。
(7)
前記ローレベル電極に対応する位置のセンサ部のn型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極に対応する位置のセンサ部のn型不純物濃度に比べ高い
(1)乃至(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(8)
前記ローレベル電極に対応する位置のセンサ部表面のp型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極に対応する位置のセンサ部表面のp型不純物濃度に比べ低い
(1)乃至(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(9)
光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部に電圧を印加する複数の転送電極と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるために電圧を前記転送電極に供給するタイミング発生回路とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない
固体撮像装置。
(10)
光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるための電圧を印加する複数の転送電極とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない固体撮像素子と、
前記固体撮像素子に対して入射光を導く光学系と、
固体撮像素子から出力される撮像信号を処理する信号処理回路と
を備えるカメラ装置。
(11)
前記固体撮像装置により撮像された画像を表示する表示部をさらに備える
(10)に記載のカメラ装置。
(12)
前記固体撮像装置により撮像された画像のデータを記録する記録部をさらに備える
(10)または(11)に記載のカメラ装置。
(13)
ユーザによる操作の下に操作指令に対応する信号を発生する操作部をさらに備える
(10)乃至(12)のいずれかに記載のカメラ装置。
Claims (13)
- 光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるための電圧を印加する複数の転送電極とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない
固体撮像素子。 - 前記第1の方向と直交する前記第2の方向において、前記ローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の幅が、前記ミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の幅よりも狭い
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記ローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物濃度よりも低い
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第1の方向と直交する前記第2の方向において、前記読み出し部または前記水平素子分離部を形成する前記p型不純物領域の不純物濃度が最も高い位置である最高濃度位置について、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記最高濃度位置のうち、前記読み出し部を形成する前記p型不純物領域の最高濃度位置のみについて、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記最高濃度位置のうち、前記水平素子分離部を形成する前記p型不純物領域の最高濃度位置のみについて、
前記ローレベル電極の下での前記最高濃度位置が、前記ミドルレベル電極の下での前記最高濃度位置より、前記光電変換部に近い
請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記ローレベル電極に対応する位置のセンサ部のn型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極に対応する位置のセンサ部のn型不純物濃度に比べ高い
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記ローレベル電極に対応する位置のセンサ部表面のp型不純物濃度が、前記ミドルレベル電極に対応する位置のセンサ部表面のp型不純物濃度に比べ低い
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部に電圧を印加する複数の転送電極と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるために電圧を前記転送電極に供給するタイミング発生回路とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない
固体撮像装置。 - 光電変換部に蓄積された電荷を転送し、第1の方向に延在するn型不純物領域として形成されるレジスタ部と、
前記レジスタ部に前記光電変換部から電荷を読み出し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される読み出し部と、
前記光電変換部からの電荷の漏れ出しを抑止し、前記レジスタ部と同じ方向に延在するp型不純物領域として形成される水平素子分離部と、
前記レジスタ部のポテンシャル分布を変化させるための電圧を印加する複数の転送電極とを有し、
前記複数の転送電極のうち、待機電圧が所定の低電圧であるローレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量が、待機電圧が前記所定の低電圧より高い電圧であるミドルレベル電極の下における前記レジスタ部を構成するn型不純物の総量より少ない固体撮像素子と、
前記固体撮像素子に対して入射光を導く光学系と、
固体撮像素子から出力される撮像信号を処理する信号処理回路と
を備えるカメラ装置。 - 前記固体撮像装置により撮像された画像を表示する表示部をさらに備える
請求項10に記載のカメラ装置。 - 前記固体撮像装置により撮像された画像のデータを記録する記録部をさらに備える
請求項10に記載のカメラ装置。 - ユーザによる操作の下に操作指令に対応する信号を発生する操作部をさらに備える
請求項10に記載のカメラ装置。
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